JPS6091001A - アクチユエ−タの変位制御装置 - Google Patents
アクチユエ−タの変位制御装置Info
- Publication number
- JPS6091001A JPS6091001A JP19750983A JP19750983A JPS6091001A JP S6091001 A JPS6091001 A JP S6091001A JP 19750983 A JP19750983 A JP 19750983A JP 19750983 A JP19750983 A JP 19750983A JP S6091001 A JPS6091001 A JP S6091001A
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- JP
- Japan
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- actuator
- displacement detector
- displacement
- actuator displacement
- detector
- Prior art date
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はアクチュエータの変位制御装置に関するもので
ある。
ある。
従来のアクチュエータの変位制御装置を第１．２図によ
り説明すると、（１１がサーボ増幅器、（２）がサーボ
弁、（３）が加振機（アクチュエータ） 、（４１が被
加工物、（５）が変位検出器、（６）が変位ｊｖｔ＃Ａ
器で、加振機（３）のピストン位置を変位検出器（５）
により検出し、これを変位増幅器（６）へ送って増幅し
、サーボ増幅器（１）へフィート９・バックして、入力
信号との偏差を得て増幅し、これをサーボ弁（２）へ送
り、加振機（３）を制御して、入出力の一致をはかるよ
うにしている。
り説明すると、（１１がサーボ増幅器、（２）がサーボ
弁、（３）が加振機（アクチュエータ） 、（４１が被
加工物、（５）が変位検出器、（６）が変位ｊｖｔ＃Ａ
器で、加振機（３）のピストン位置を変位検出器（５）
により検出し、これを変位増幅器（６）へ送って増幅し
、サーボ増幅器（１）へフィート９・バックして、入力
信号との偏差を得て増幅し、これをサーボ弁（２）へ送
り、加振機（３）を制御して、入出力の一致をはかるよ
うにしている。
前記アクチュエータの変位制御装置では、総合制御精度
が各構成機器の精度の積み重なりにより出てくるが、中
でも変位検出器（５）の精度は、計測範囲（定格ストロ
ーク）が大きい程低下するため、全ストローク中のある
一部だけに高精度が要求される加工装置等には、適さな
いという問題があった。
が各構成機器の精度の積み重なりにより出てくるが、中
でも変位検出器（５）の精度は、計測範囲（定格ストロ
ーク）が大きい程低下するため、全ストローク中のある
一部だけに高精度が要求される加工装置等には、適さな
いという問題があった。
本発明は前記の問題点に対処するもので、第１のアクチ
ュエータ用変位検出器と、同第１のアクチュエータ用変
位検出器よりも検出精度が高い第２のアクチュエータ用
変位検出器と、同第１のアクチュエータ用変位検出器の
出力端と同第２のアクチュエータ用変位検出器の出力端
とのいづれか一方をサーボ増幅器に選択的に接続する切
換スイッチとを具えていることを特徴としたアクチュエ
−タの変位制御装置に係り、その目的とする処は、全ス
トロークに亘って通常の精度で制御でき、かつ、ある一
部については特に高精度で制御できる改良されたアクチ
ュエータの変位制御装置を供する点にある。
ュエータ用変位検出器と、同第１のアクチュエータ用変
位検出器よりも検出精度が高い第２のアクチュエータ用
変位検出器と、同第１のアクチュエータ用変位検出器の
出力端と同第２のアクチュエータ用変位検出器の出力端
とのいづれか一方をサーボ増幅器に選択的に接続する切
換スイッチとを具えていることを特徴としたアクチュエ
−タの変位制御装置に係り、その目的とする処は、全ス
トロークに亘って通常の精度で制御でき、かつ、ある一
部については特に高精度で制御できる改良されたアクチ
ュエータの変位制御装置を供する点にある。
次に本発明のアクチュエータの変位制御装置を第６．４
．５図に示す一実施例により説明すると、（１）がサー
ボ増幅器、（２）がサーボ弁、（３）が加振機（アクチ
ュエータ）、（４）が被加工物、（５ａ）が第１のアク
チュエータ用変位検出器、（５ｈ）が同第１のアクチュ
エータ用変位検出器（５ａ）よりも検出精度が高い第２
のアクチュエータ用変位検出器、（６す（６ｂ）が上記
各検出器（５α）Ｃ５ｂ）に対応した変位増幅器、（７
）か上記各検出器＜５ａ）Ｃ５ｈ）の出力端のいづれか
一方を上記サーボ増幅器（１１に選択的に接続する切換
スイッチで、第５図に示すように上記第１の変位検出器
（５α）は、艮ストロークに亘って計測コイル−（ｓａ
’）を巻き、上記第２の変位検出器（５ｂ）は、高精度
の要求される短区間だり“Ｈｉｌｌ（’Ｉコイル（５ｂ
つを巻いている。なお（３α）が加振機ピストン、（３
ｈ）が加振機シリングである。
．５図に示す一実施例により説明すると、（１）がサー
ボ増幅器、（２）がサーボ弁、（３）が加振機（アクチ
ュエータ）、（４）が被加工物、（５ａ）が第１のアク
チュエータ用変位検出器、（５ｈ）が同第１のアクチュ
エータ用変位検出器（５ａ）よりも検出精度が高い第２
のアクチュエータ用変位検出器、（６す（６ｂ）が上記
各検出器（５α）Ｃ５ｂ）に対応した変位増幅器、（７
）か上記各検出器＜５ａ）Ｃ５ｈ）の出力端のいづれか
一方を上記サーボ増幅器（１１に選択的に接続する切換
スイッチで、第５図に示すように上記第１の変位検出器
（５α）は、艮ストロークに亘って計測コイル−（ｓａ
’）を巻き、上記第２の変位検出器（５ｂ）は、高精度
の要求される短区間だり“Ｈｉｌｌ（’Ｉコイル（５ｂ
つを巻いている。なお（３α）が加振機ピストン、（３
ｈ）が加振機シリングである。
次に前記アクチュエータの変位制御装置の作用を説明す
る。加振機（３）のぎスト／位置を第１のアクチュエー
タ用変位検出器（５ａ）により検出し、これを変位増幅
器（６α）へ送って増幅し、サーボ増幅器（１）へフィ
ード・バックして、入力信号との偏差を得て増幅し、こ
れをサーボ弁（２）へ送り、加振機（３）を制御して、
入出力の一致をはかつているが、ピストンが第２のアク
チュエータ変位検出器（５ｈ）の計測コイル（５ｈつの
範囲に入れは、切換スイッチ（力を切換え、第２のアク
チュエータ変位検出器（５ｈ）とサーボ増幅器（１１と
を接続して、所望の高精度の変位決め制御を行なう。
る。加振機（３）のぎスト／位置を第１のアクチュエー
タ用変位検出器（５ａ）により検出し、これを変位増幅
器（６α）へ送って増幅し、サーボ増幅器（１）へフィ
ード・バックして、入力信号との偏差を得て増幅し、こ
れをサーボ弁（２）へ送り、加振機（３）を制御して、
入出力の一致をはかつているが、ピストンが第２のアク
チュエータ変位検出器（５ｈ）の計測コイル（５ｈつの
範囲に入れは、切換スイッチ（力を切換え、第２のアク
チュエータ変位検出器（５ｈ）とサーボ増幅器（１１と
を接続して、所望の高精度の変位決め制御を行なう。
本発明のアクチュエータの変位制御装置は前記のように
第１のアクチュエータ用変位検出器と、同第１のアクチ
ュエータ用変位検出器よりも検出精度が高い第２のアク
チュエータ用変位検出器と、同第１のアクチュエータ用
変位検出器の出力端と同第２のアクチュエータ用変位検
出器の出力端とのいずれか一方をサーボ増幅器に選択的
に接続する切換スイッチとを具えていて、前記作用を行
なうので、全ストロークに亘って通常の精度で制御でき
、かつ、特に４α度が要求されるストローク範囲を高精
度で制御することかできる効果がある。
第１のアクチュエータ用変位検出器と、同第１のアクチ
ュエータ用変位検出器よりも検出精度が高い第２のアク
チュエータ用変位検出器と、同第１のアクチュエータ用
変位検出器の出力端と同第２のアクチュエータ用変位検
出器の出力端とのいずれか一方をサーボ増幅器に選択的
に接続する切換スイッチとを具えていて、前記作用を行
なうので、全ストロークに亘って通常の精度で制御でき
、かつ、特に４α度が要求されるストローク範囲を高精
度で制御することかできる効果がある。
以上本発明を実施例について説明したが、勿論本発明は
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の鞘神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
このような実施例にだけ局限されるものではなく、本発
明の鞘神を逸脱しない範囲内で種々の設計の改変を施し
うるものである。
第１図は従来のアクチュエータの変位制御装置を示す縦
断側面図、第２図はその系統図、第６図は本発明に係る
アクチコーエータの変位制御装置の一実施例を示すに断
側面図、第４図はその系統図、第５図は各検出器のＨ１
測コイルを示す側面図、第６図は電圧とストロークとの
関係を示す説明図である。 （１）・・・サーボ増幅器、（３）・・・アクチュエー
タ、（５ａ）・・・第１のアクチュエータ用変位検出Ａ
、（５ｂ）・・・第２のアクチュエータ用敦位（剣１１
器、（７ｊ・・・切換スイッチ・。 復代理人 弁ＪＴｌ！士 岡 本 重 文（外３名） 第１図 第２図 第３図 第４図
断側面図、第２図はその系統図、第６図は本発明に係る
アクチコーエータの変位制御装置の一実施例を示すに断
側面図、第４図はその系統図、第５図は各検出器のＨ１
測コイルを示す側面図、第６図は電圧とストロークとの
関係を示す説明図である。 （１）・・・サーボ増幅器、（３）・・・アクチュエー
タ、（５ａ）・・・第１のアクチュエータ用変位検出Ａ
、（５ｂ）・・・第２のアクチュエータ用敦位（剣１１
器、（７ｊ・・・切換スイッチ・。 復代理人 弁ＪＴｌ！士 岡 本 重 文（外３名） 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 第１のアクチュエータ用変位検出器と、同第１のアクチ
ュエータ用変位検出器よりも検出精度が高い第２のアク
チュエータ用変位検出器と、同第１のアクチュエータ用
変位検出器の出方端と同第−２のアクチュエータ用変位
検出器の出方端とのいづれか一方をサーボ増幅器に選択
的に接続する切換スイッチとを具えていることを特徴と
したアクチュエータの変位制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19750983A JPS6091001A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | アクチユエ−タの変位制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19750983A JPS6091001A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | アクチユエ−タの変位制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6091001A true JPS6091001A (ja) | 1985-05-22 |
Family
ID=16375651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19750983A Pending JPS6091001A (ja) | 1983-10-24 | 1983-10-24 | アクチユエ−タの変位制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6091001A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4949346A (ja) * | 1972-06-03 | 1974-05-13 | ||
| JPS5718804A (en) * | 1980-07-08 | 1982-01-30 | Izumi Mitsunari | Hydraulic servo system for cylinder |
-
1983
- 1983-10-24 JP JP19750983A patent/JPS6091001A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4949346A (ja) * | 1972-06-03 | 1974-05-13 | ||
| JPS5718804A (en) * | 1980-07-08 | 1982-01-30 | Izumi Mitsunari | Hydraulic servo system for cylinder |
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