JPS6086795A - 薄膜elパネルの封止構造 - Google Patents

薄膜elパネルの封止構造

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JPS6086795A
JPS6086795A JP58195418A JP19541883A JPS6086795A JP S6086795 A JPS6086795 A JP S6086795A JP 58195418 A JP58195418 A JP 58195418A JP 19541883 A JP19541883 A JP 19541883A JP S6086795 A JPS6086795 A JP S6086795A
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JP
Japan
Prior art keywords
thin film
sealing structure
panel
injection
sealing
Prior art date
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Pending
Application number
JP58195418A
Other languages
English (en)
Inventor
利昭 石井
猪原 章夫
岸下 博
上出 久
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sharp Corp filed Critical Sharp Corp
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Publication of JPS6086795A publication Critical patent/JPS6086795A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 く技術分野〉 本発明は交流電界の印加に依ってEL(Electr。
Lum1nescence)発光を呈する薄膜EL素子
を使用したEL表示パネルに対して有効な技術となる薄
膜EL素子保護用流体の封止構造に関するものである。
〈従来技術〉 従来、0.1〜2.Owt%のMn(あるいはCu。
At、Br等)をドープしたZ n S + Z n 
S e等の半導体発光層を誘電体薄膜でサンドイッチし
た三層構造薄膜EL素子が開発され、発光緒特性の向上
が確かめられている。この薄膜EL素子は数KHzの交
流電界印加によって高輝度発光し、しかも長寿命である
という特徴を有している。
薄膜EL素子の1例としてZ n S a Mn薄膜E
L素子の基本的構造を第1図に示す。ガラス基板1上に
In2O3,5n02等の透明電極2、さらにその上に
積層してYzOa + TiO2+ Al2O3、5i
3er。
5iOz等からなる第1の誘電体層3がスパッタあるい
は電子ビーム蒸着法等により重畳形成されている。第1
の誘電体層3上にはZnS:Mn焼結ベレットを電子ビ
ーム蒸着することにより得られるZnS発光層4が形成
されている。ZnS発光層4上には第1の誘電体層3と
同様の材質から成る第2の誘電体層5が積層され、更に
その上にA1等から成る背面電極6が蒸着形成されてい
る。透明電極2と背面電極6け交流電源7に接続され、
薄膜EL素子が駆動される。
電極2,6間にAC電圧を印加すると、ZnS発光層4
の両側の誘電体F53.5間に上記AC電圧が誘起され
ることになり、従ってZnS発光層4内に発生した電界
によって伝導帯に励起されかつ加速されて充分なエネル
ギーを得た電子が、直接Mn発光センターを励起し、励
起きれたMn発光センターが基底状態に戻る際に黄色の
発光を行なう。
上記の如き構造を有する薄膜EL素子は、スペース・フ
ァクタの利点を生かした平面薄型ディスプレイ・デバイ
スとして種々の表示装置に文字、記号、静止画像、動画
像等の表示手段として利用することができ非常に有効な
ものである。しかしながら、薄膜EL素子の三層構造部
は誘電体層が製造工程途中で発生した多数のピンホール
やマイクロクランク等を含み、これらの欠陥を通してZ
 n S発光層4に湿気等が侵入し易くこれが原因とな
ってEL発光損失による発熱、層間剥離、素子特性の劣
化等を招来する。この問題を解決することを目的として
、第2図に示すような流体を利用したツーリング構造が
提唱されている。この構造は薄膜EL素子特有の不完全
さ 即ちピンホール等によって通電時に生じるブレーク
ダウンのため起る微小な熱損傷領域の拡大を防止、固定
化し、大気環境下での湿気保護、放熱効果、ざらに振動
、たわみに対しても有効な改良技術となるものである0 以下、第2図に基いて説明すると、ガラス基板1上に一
定ピノチ間隔で平行配列された線状の透明電極2、第1
の誘電体層3、ZnS発光層4が順次積層され、ZnS
発光層4上にはSi3N4膜とSi3N4膜上に重畳さ
れfv A 1.203膜とから成る第2の誘電体層5
が2層構造で積層され、更に上記透明電極2と直交する
方向に一定ピノチ間隔をもって平行配列された線状の背
面電極6が第2の誘電体層5上に設けられ、マトリック
ス電極構造の薄膜EL素子が構成されている。この薄膜
EL素子を封止するため、ガラス基板1にスペーサ10
全介して背面ガラス板11が対向配置され、ガラス基板
1、スペーサ10 及び背面ガラス板11の各接合部は
接着剤12で固定密封されて外囲器が構成されている。
外囲器内には薄膜EL素子が内蔵されるとともにシリコ
ンオイル、真空グリース等の薄膜EL素子保護用注入流
体13が充填封入されている。注入流体13に要求され
る東件としては(1)ピンホールへの浸透性があり、(
2)絶縁耐圧が高く、(3)耐熱性、耐湿性に優れ、(
4)薄膜EL素子構成膜と反応せず、(5)蒸気圧、熱
膨張係数の小さい流動性の液状又は半固型状物質である
ことが望寸しいが特にピンホールへの浸透性があり絶縁
耐圧がある程度高いこと及び薄膜EL素子構成膜と反応
しないことを要する。スペーサ10にはシリコンオイル
等注入用の微小注入孔14が1個乃至数個設けられてい
る。尚、15は電極2,6のリード端子部15である。
〈発明の目的〉 本発明けよ記薄膜EL素子保護用流体が充填された薄膜
ELパネルに於いて、流体封止構造に関する改良技術を
提供することを目的とする。
〈実施例〉 第3図は本発明の1実施例の説明に供する薄膜ELパネ
ルの構成断面図である。
ガラス基板1上に透明電極2が帯状に一定ピッチ間隔を
もって平行配列され、薄膜E L素子16が構成されて
いる。この薄膜EL素子16を収納する如く皿状の背面
ガラス板17がガラス基板1上に重畳され、その内部間
隙に薄膜EL素子が内蔵されている。ガラス基板1と背
面ガラス板17の接合部は光硬化性樹脂、エポキシ樹脂
等の接着剤で密封されている。背面ガラス板17の製作
工程途中に於ける詳細を第4図に示す。背面ガラス板1
7としてはソーダガラスやホウケイ酸ガラス等が使用さ
れ、EL素子構造部の収納部分がサンドエツチング等に
より深さ11膜m程度に凹陥成形されている。凹陥成形
領域の隅部1愉所には流体注入用の注入孔18が形成さ
れ、またこの注入孔18の外方端には直径3〜101m
深き1 mm程度のザグリ穴と一辺15〜20+++m
深さ0.5 mm程度の凹陥部が重畳して2段に形成さ
れている。注入孔18はザグリ穴と凹陥部の中心位置に
配置され、この中に中空の注入用パイプ19が挿入固定
されている。
注入用パイプ196″i金属製で保護用流体の注入前は
長く延設されている。保護用流体としてシリコーンオイ
ルを使用した場合、その注入操作は次の如く行なわれる
。即ち、真空下に薄膜EL素子16を内蔵した外囲器を
置き、脱ガス処理後、注入用パイプ19の先端をシリコ
ーンオイル槽内に浸漬し、周囲を常圧下に復帰させる。
この圧力制御によってシリコーンオイルは注入用パイプ
19内を通過して外囲器内部へ注入される。シリコーン
オイルの注入操作が完了すると第5図(5)に示す如く
注入パイプ19の注入孔18との接合部近傍を圧着し注
入パイプ19内部を閉塞して仮封止する。
次に仮封止部の注入パイプ19を第5図(B)に示す如
く切断し、切断部の注入パイプ19にエポキシ系樹脂や
光硬化性樹脂等から成る接着剤20全貼着して注入パイ
プ19を完全封止する。接着剤20はザグリ穴の上平面
位置から上方へ突出しないように深さDの範囲で設ける
。更にこの上に平板のガラスキャップ22を凹陥部へ挿
入して接着剤で冠着する。接着剤としては光硬化性接着
剤等が使用される。ガラスキャップ22の寸法は凹陥部
形状に対応して10〜18mm、厚さ0.5mm程度に
設定する。ガラスキャップ22の被冠によりザグリ穴部
が密封される。捷たザグリ穴部に形成される空隙は熱膨
張等によりシリコーンオイルが注入用パイプ19の封止
部より洩出した場合の貯溜部として利用できる。ガラス
キャップ22の代わりにプラスチック、セラミック、金
属あるい(dコム等を使用することもできるが、本実施
例では背面ガラス板17との密着性を考慮してガラスを
使用した○ 尚、第6図(A)(B)(C)は背面ガラス板17にザ
グリ穴や凹陥部を形成することなく皿状成形されたガラ
スキャップ24を用いて注入パイプの封止部を密封した
従来の封止構造部を示す。
本実施例による封止構造と従来の封止構造を比較すると
、背面ガラス板に円形状ザグリ穴及び矩形状凹陥部を二
段切込みしてガラスキャップ22を凹陥部内に没入させ
た封止構造の方が総合的な厚さがガラスキャップの分だ
け薄くなる。またガラスキャップ自体も薄いものを使用
することができる3、尚、凹陥部形状は矩形以外により
径大の円形あるいけ多肉形状に成形しても良い。
〈発明の効果〉 以上詳説した如く、本発明によれば薄形ディスプレイパ
ネルの総合的な厚さを厚くすることなく薄膜EL素子保
護用流体の封止を行なうことができる。寸だ封止イ2と
して用いるガラスキャップ等は薄い部材を利用すること
ができるため、軽量化、低コスト化全達成することも可
能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は薄膜EL素子の具体的構造を示す構成図である
。第2図は従来の薄膜ELパネルの1例を示す要部構成
図である。第3図は本発明の1実施例の説明に供する薄
膜ELパネルの要部構成図である。第4図は第3図の薄
膜ELパネルに使用される背面ガラス板の断面図である
。第5図(A)(B)(C)il′i:本発明の1実施
例を説明する封止構造部の製造工程図である。第6図(
5)(B)(C)は従来のガラスキャップに凹陥部を設
けた封止構造を説明する製造工程図である。 1・・・ガラス基板 16 薄膜EL素子17・・・背
面ガラス板 18・・注入孔19 ・注入用パイプ 2
0 接着剤 22 平板ガラスキャップ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 透光性前面基板と背面板とから成る外囲器内に薄膜
    EL素子及び該薄膜EL素子に対する絶縁性保護用流体
    を収納した薄膜ELノぐネルに於いて、前記背面板に前
    記絶縁性保護用流体を注入するための注入孔を穿設する
    とともに該注入孔の外方端に径太のザグリ穴と凹陥部を
    重畳形成し、該ザグリ穴内で前記注入孔の開口を封止す
    るとともに前記凹陥部に平板キャップを被冠して密封し
    たことを特徴とする薄膜ELノ々ネ3−の封止構造。
JP58195418A 1983-10-18 1983-10-18 薄膜elパネルの封止構造 Pending JPS6086795A (ja)

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JPS6086795A true JPS6086795A (ja) 1985-05-16

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5068693A (ja) * 1973-10-19 1975-06-09
JPS577086A (en) * 1980-06-16 1982-01-14 Sharp Kk Thin film el panel

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5068693A (ja) * 1973-10-19 1975-06-09
JPS577086A (en) * 1980-06-16 1982-01-14 Sharp Kk Thin film el panel

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