JPS608184B2 - 薄板のラツプ加工方法およびその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は半導体基板等の薄板のラップ加工方法および
その装置に関するものである。

第１図はこの発明のラップ加工対象となる被加工物の一
般的な形状を示すものであり、図示のＡ面およびＢ面で
ある側面がラップ加工されている薄板１を示す。

全長１＝７０〜８物肋の薄板１のＡ、Ｂ面をラップ加工
すると、一般に中央部の板厚Ｃに比較して端部の板厚Ｄ
は平均板厚０．６側において５〜ｌｏＡｍ程度薄くなる
。このような形状の薄板の端面（Ｅ面）をラップ加工す
る従釆の方法および装置を第２図および第３図を用いて
説明する。すなわち、第２図に示すように円板状のベー
ス部材２に固定された角柱状の部材３と矢印方向に押さ
れる部材４との間に複数の薄板１を挟んで取付け、それ
を第３図に示すようにラップ定盤５に軟置してベース部
材２の重量等による加工圧力を加えて加工が行なわれて
いた。この加工法では薄板１の中央が厚くなっているた
め薄板１を都材３，４でしめっけたとき簿板１の中央部
はしめっけられるが端部はしめっけられないので、第３
図に示すようにラップ加工すると薄板１の中央部には加
工圧力が十分に作用するが端部においては加工圧力が十
分に作用しないので端部は加工されにょくくなり、その
結果、加工面は凹状となり、端部と中央部との差が１〜
２ムのにも達する。したがって、この発明の目的は、薄
板の端面を全長に亘つて高精度の夏直度（真直度０．５
仏の程度）にラップ加工するための簿板のラップ加工方
法およびその装置を提供することである。

第４図、第５図、第６図はこの発明の一実施例を示す。

第４図ならびに第４図日一日断面を示す第５図において
、１０‘ま円板状のベース部村、１１はベース部材１川
こ固定された第１の押え部材で、薄板１との当鞍部１２
は薄板１の側面形状に応じて榛むように弾性をもたせる
ために中空部１３を設けてある。１４は第２の押え部材
で第１の押え部材１１と同様に薄板１との当援部１５は
薄板１の側面形状に応じて榛むように弾性をもたせるた
めに中空部１６を設けてある。

１７は両端をベース部村１０１こ固定された弾性を有す
る支持部材で、矢印Ｇ方向の押圧力に対して榛むように
し、その中央部１８で前記第２の押え部材１４と一体に
結合されている。

１９はねじ２０‘こ遊嫁して支持されたくさびで、その
外周の斜面２１は前記支持部村１７の斜面２２に当接可
能となっている。

２３はねじ２０の頭２４とくさび１９の間に入れたポー
ルで、ねじ２０をしめっけるときねじ２０の頭２４とく
さび１９の間の摩擦力を軽減する。

２５はドライバ溝、２６はベース部村１０を取扱うため
のグリップである。

この実施例では、３組の薄板押え部材がくさび１９をと
り囲んで構成してある。ラップ加工の際、複数の薄板１
を第１および第２の押え部材１ １，１４間のベース部
材１０上に軟遣し、ねじ２０をしめっけると、くさび１
９の斜面２１は支持部材１７の斜面２２を押し、支持部
材１７を操ませながら第２の押え部材１４を薄板１に向
って押しつける。

その結果、薄板１の中央部は端部より厚いので、第１お
よび第２の押え部村１１，１４の薄板１との当接部１２
，１５の中央部が凝んで、薄板１を全長に亘つてほぼ均
等な圧力でしめっけることになる。このように、この実
施例によれば加工圧力は均等に作用するため、加工面の
真道度は０．５仏の程度となる。

また、この実施例では、支持部材１７と押え部材１４は
一体であるから、第５図に示すようにＪ一、Ｋ面の直角
度を正確に加工できるので片当りによる薄板１の割れが
生じない。さらに支持部材１７はベース部材１０１こ固
定されているため、しめっけ時に押え部材１４がベース
部材１０の表面から浮き上るおそれは全くないので加工
精度を損なうことはないし、またしめっける時に押え部
材１１，１４が第６図においてＬ−Ｌ′方向に動くこと
はないので押え部材１１，１４と薄板１および薄板同志
間で摩擦が生じることなく互いに傷がつかず、それにと
もなう加工精度の悪化もない。またベース部材１０の略
中央部にしめっけ手段を設け、そのしめっけ手段に遊隊
して設けたくさび１９により薄板１をしめっけるので、
３組の押え部材に均等に押圧力を作用させて同時にしめ
っけることができる。つぎに、他の実施例を第７図に示
す。

第７図の装置はくさび１９のかわりにカム３０を用いた
例である。カム３０は外周に凸部３１としンチ溝３２が
構成されており、軸３３でベース部材１川こ回動自在に
遊鉄している。カム３０を１／３回転すると、凸部３１
は支持部材１７の中央部１８を押して前記実施例と同様
に薄板１をしめっける。この実施例によると、カム１／
３回転で薄板の着脱ができるので、作業性が大変良い。
なお、以上の実施例では第１および第２の押え都材１
１，１４はともに弾性体としているが、薄板１の加工枚
数が少なければどちらか一方だけ弾性体としても十分目
的を達成することができる。

さらに実施例ではベース部材１０上に３組の押え部材を
構成しているが、この組数に限られるものでないことは
当然であるが、この組数を奇数とすれば各々の組により
均一にしめっけ力を加えることができて好都合である。
また、実施例はともに支持部材１７を併用したものを示
したが必ずしもこれは必要としない。また、中央部の薄
い薄板を加工する場合には押え部材の端部を弾性体とす
ればよい。以上のように、この発明の薄板のラップ加工
方法は、少なくとも一方が押え方向に対して弾性を有す
る第１および第２の押え部材により薄板の側面を挟持し
、前記第１および第２の押え部材をしめっけて前記薄板
の側面のほぼ全長にわたってほぼ均等な力で前記薄板を
しめっけ保持したのち、前記薄板の端面をラップ定盤に
押圧して前記薄板の端面をラップ加工することを特徴と
するものであり、また、この発明の薄板のラップ加工装
置は、ベース部材と、このベース部材に固定された第１
の押え部材と、この第１の押え部材に対面するように前
記ベース部材上に配置された第２の押え部材と、前記ベ
ース部材に固定されて前記第２の押え部村を弾性変位部
分で支持する弾性支持部材と、この弾性支持部材を押圧
することにより弾性変位させて前記第２の押え部材を前
記第１の押え部材に向かう方向に沿って進退させる押圧
機構とを備え、前記第１および第２の押え部材の少なく
とも一方がこれら両押え都村間に侠持される薄板の側面
のほぼ全長範囲に沿った形状に弾性変位する弾性を有す
るものであり、特異な形状の薄板でもその全長に亘つて
加工圧力が均等に作用して高精度の真直度をもった加工
面が得られる効果を有する。

また、押え部材の少なくとも一方は弾性体で自ら復帰力
を有するものであるから加工済薄板の取出しも容易であ
り、押え部の動作が弾性変形によるものであるため動作
部に摩耗等が生じることは少なく、長期間高精度を維持
することができる効果も有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の対象となる薄板の一形状を説明する
ための斜視図、第２図および第３図は従釆のラップ加工
方法を説明するための斜視図ならびに側面図、第４図、
第５図および第６図はこの発明の一実施例を説明するた
めの部分上面図、断面図および動作説明のための部分上
面図、第７図は他の実施例を説明するための部分上面図
である。 １・・…・薄板、１１・・・・・・第１の押え都材、１
３・・・・・・中空部、１４・・・・・・第２の押え部
材、１６・・・・・・中空部、１７・・・・・・支持部
材、１９・・・…くさび、２０……ねじ、３０……カム
。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも一方が押え方向に対して弾性を有する第
   １および第２の押え部材により薄板の側面を挾持し、前
   記第１および第２の押え部材をしめつけて前記薄板の側
   面のほぼ全長にわたってほぼ均等な力で前記薄板をしめ
   つけ保持したのち、前記薄板の端面をラツプ定盤に押圧
   して前記薄板の端面をラツプ加工することを特徴とする
   薄板のラツプ加工方法。 ２ ベース部材と、このベース部材に固定された第１の
   押え部材と、この第１の押え部材に対面するように前記
   ベース部材上に配置された第２の押え部材と、前記ベー
   ス部材に固定されて前記第２の押え部材を弾性変位部分
   で支持する弾性支持部材と、この弾性支持部材を押圧す
   ることにより弾性変位させて前記第２の押え部材を前記
   第１の押え部材に向かう方向に沿って進退させる押圧機
   構とを備え、前記第１および第２の押え部材の少なくと
   も一方がこれら両押え部材間に挾持される薄板の側面の
   ほぼ全長範囲に沿った形状に弾性変位する弾性を有する
   薄板のラツプ加工装置。 ３ 前記押圧機構がくさび機構である特許請求の範囲第
   ２項記載の薄板のラツプ加工装置。 ４ 前記押圧機構がカム機構である特許請求の範囲第２
   項記載の薄板のラツプ加工装置。