JPS6079734U - 気相成長装置におけるガス噴出ノズル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は縦型気相成長装置における従来の反応ガス噴出
ノ・ズル部の縦方向断面図であり、第２図は本考案によ
る同反応ガス噴出ノズル部の縦方向断面図である。 １・・・・・・ノズル、２・・・・・・ワークコイル、
３・・・・・・サセプタ、４・・・・・・基台、５・・
・・・・回転軸、７・・・・・・ノズル支持体、８・・
・・・・ブツシュ、９・・・・・・ふた部材、１０・・
・・・・ボルト、１１・・・・・・ノズルの内筒、１１
ａ・・・・・・ノズルの内筒の噴出孔、１２・・・・・
・ノズルの外筒、１２ａ・・・・・・ノズルの外筒の噴
出孔、１３・・・・・・キャリヤガス導入孔、１４・・
・・・・溝、１５・・・・・・キャリヤガス供給孔、１
６・・・・・・反応ガス供給通路、１７・・・・・・反
応ガス供給孔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １　基板を保持し所定の反応温度まで加熱する手段と、
   前記基板に対して反応ガスを供給するガス噴出ノズルを
   内部に収納した反応室を有する気相成長装置において、
   少なくともガス噴出孔の近傍に至るまでの部分を、中心
   部に反応ガス、周辺部にキャリヤガスを流すようにした
   ことを特徴とする気相成長装置におけるガス噴出ノズル
   。 ２　上端部に夫々ガス噴出孔を有する同心の内外両筒状
   部材で構成され、前記内側筒状部材内に反応ガスを、前
   記外側筒状部材内にキャリヤガスを流すようにした、実
   用新案登録請求の範囲第１項に記載のガス噴出ノズル。 　　。 ３　前記内外両筒状部材の下端部はノズル支持体に装着
   されたブツシュと係合し、前記外側筒状部材の下端部は
   キャリヤガス導入孔を介して外部供給源と連通し、前記
   内側筒状部材の下端部はふた部材に設けた供給通路を介
   して外部反応ガス供給源と連通している、実用新案登録
   請求の範囲第２項に記載のガス噴出ノズル。 ４　前記内外両筒状部材に形成されたガス噴出孔が同じ
   高さ位置に設けられている、実用新案登録請求の範囲第
   ２項に記載のガス噴出ノズル。 ５　前記外側筒状部材のガス噴出孔が前記内側筒状部材
   のガス噴出孔より高い位置に設けられている実用新案登
   録請求の範囲第２項に記載のガス噴出ノズル。 ６　前記キャリヤガスが水素ガス、前記反応ガスがジク
   ロールシランガスである実用新案登録請求の範囲第１項
   に記載のガス噴出ノズル。 ７　前記キャリヤガスが水素ガス、前記反応ガスがモノ
   シランガスである実用新案登録請求の範囲第１項に記載
   のガス噴出ノズル。 ８　前記キャリヤガスは水素ガス、前記反応ガスが四塩
   化シリコンである、実用新案登録請求の範囲第１項に記
   載のガス噴出ノズル。