JPS61206677U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61206677U JPS61206677U JP8962485U JP8962485U JPS61206677U JP S61206677 U JPS61206677 U JP S61206677U JP 8962485 U JP8962485 U JP 8962485U JP 8962485 U JP8962485 U JP 8962485U JP S61206677 U JPS61206677 U JP S61206677U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- susceptor
- shallow
- vapor phase
- phase growth
- growth apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 4
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は、本考案を適用した気相成長装置の内
部の概略断面図、第２ないし第５図は本考案の一
実施例を示すもので、第２図はサセプタの正面図
、第３図は基板載置部の拡大正面図、第４図は基
板載置部と基板ホルダの拡大断面図、第５図は反
応ガスの流れを示す図、第６図は本考案によらな
い場合の反応ガスの流れを参考的に示す図である
。 １……ベースプレート、２……反応外筒、３…
…上プレート、４……反応内筒、８……サセプタ
、１５……浅穴底面、１６……浅穴下側側面、１
７，１７ａ，１７ｂ……基板、１８……浅穴、１
９……溝、Ａ……反応ガスの流れ、Ｂ……基板ホ
ルダ。
部の概略断面図、第２ないし第５図は本考案の一
実施例を示すもので、第２図はサセプタの正面図
、第３図は基板載置部の拡大正面図、第４図は基
板載置部と基板ホルダの拡大断面図、第５図は反
応ガスの流れを示す図、第６図は本考案によらな
い場合の反応ガスの流れを参考的に示す図である
。 １……ベースプレート、２……反応外筒、３…
…上プレート、４……反応内筒、８……サセプタ
、１５……浅穴底面、１６……浅穴下側側面、１
７，１７ａ，１７ｂ……基板、１８……浅穴、１
９……溝、Ａ……反応ガスの流れ、Ｂ……基板ホ
ルダ。
Claims (1)
- 気相成長装置用サセプタにおいて、複数の半導
体基板載置用浅穴を設け、反応ガス流の下流にし
てかつ前記浅穴の外縁部に前記浅穴１個につき１
個または複数個の溝を有することを特徴とする気
相成長装置用サセプタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8962485U JPS61206677U (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8962485U JPS61206677U (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61206677U true JPS61206677U (ja) | 1986-12-27 |
Family
ID=30643876
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8962485U Pending JPS61206677U (ja) | 1985-06-14 | 1985-06-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61206677U (ja) |
-
1985
- 1985-06-14 JP JP8962485U patent/JPS61206677U/ja active Pending