JPS6075576A - エ−ロゾル液の製法および固形物体の被覆法 - Google Patents
エ−ロゾル液の製法および固形物体の被覆法Info
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、ガスおよび/または蒸気混合物から無火炎化
学反応によってエーロゾルをつくるエーロゾル流の製法
および該エーロゾル流を用いて固形物体を被覆する方法
に関する。
学反応によってエーロゾルをつくるエーロゾル流の製法
および該エーロゾル流を用いて固形物体を被覆する方法
に関する。
従来の技術
本発明は、殊に固体粒子(微粒子)ならびに少なくとも
1種のガスおよび/または蒸気を含有するエーロゾルに
関する。この種のエーロゾルは煙霧とも呼ばれる。ガス
および/または蒸気ならびに液状粒子を含有するエーロ
ゾルは霧とも呼ばれる。流れるエーロゾル(下記にエー
ロゾル流と記載する)の例示的製法は、ガス−および/
または蒸気状の化学成分をノズルを用いて混合し、生じ
るガス−および/または蒸気混合物を熱反応、たとえば
炎内加水分解によりエーロゾル流に変換する事から成る
。エーロゾル流中で粒子は種々の角度で種々の方向に運
動する。この種のエーロゾル流は、たとえばたんに粒子
を被覆すべき物体に衝突させる(その周囲にではない)
被覆装置においてはしばしば適用が不経済である。この
種のエーロゾル流を機械的手段、たとえば絞りにより制
限する事は容易に推測できる。この種の処置は、例示的
に選択された絞りが所望でない方法で同様に被覆される
ので同様に不利に経済的でない。エーロゾル流では損失
が生じ、これは費用のかかる清掃作業を必要とする。
1種のガスおよび/または蒸気を含有するエーロゾルに
関する。この種のエーロゾルは煙霧とも呼ばれる。ガス
および/または蒸気ならびに液状粒子を含有するエーロ
ゾルは霧とも呼ばれる。流れるエーロゾル(下記にエー
ロゾル流と記載する)の例示的製法は、ガス−および/
または蒸気状の化学成分をノズルを用いて混合し、生じ
るガス−および/または蒸気混合物を熱反応、たとえば
炎内加水分解によりエーロゾル流に変換する事から成る
。エーロゾル流中で粒子は種々の角度で種々の方向に運
動する。この種のエーロゾル流は、たとえばたんに粒子
を被覆すべき物体に衝突させる(その周囲にではない)
被覆装置においてはしばしば適用が不経済である。この
種のエーロゾル流を機械的手段、たとえば絞りにより制
限する事は容易に推測できる。この種の処置は、例示的
に選択された絞りが所望でない方法で同様に被覆される
ので同様に不利に経済的でない。エーロゾル流では損失
が生じ、これは費用のかかる清掃作業を必要とする。
発明が解決しようとする問題点
従って、本発明の課題はこの種の方法を、できるだけ高
い粒子密度を有し、費用の点で有利に制御可能で、殊に
被覆−および/または分離装置に適当であるエーロゾル
流が可能になるように改良する事である。
い粒子密度を有し、費用の点で有利に制御可能で、殊に
被覆−および/または分離装置に適当であるエーロゾル
流が可能になるように改良する事である。
問題点を解決するための手段
この課題は本発明により、特許請求の範囲第1項の特徴
、即ちエーロゾル流10を、大体においてエーロゾル不
含のガスおよび/または蒸気流20によって案内する事
によって解決される。
、即ちエーロゾル流10を、大体においてエーロゾル不
含のガスおよび/または蒸気流20によって案内する事
によって解決される。
本発明方法により製造されたエーロゾル流10をその中
に含まれている粒子で固形物体40を被覆するためには
、特許請求の範囲第9項の特徴により、固形物体40を
エーロゾル流10内に配置するようにして使用する。
に含まれている粒子で固形物体40を被覆するためには
、特許請求の範囲第9項の特徴により、固形物体40を
エーロゾル流10内に配置するようにして使用する。
本発明の実施態様は特許請求の範囲第2〜第8項および
第10〜第15項から明らかである。
第10〜第15項から明らかである。
次に、本発明を1実施例につき図面を参照して詳述する
。
。
実施例
図面は、大体において、同心に配置され、生じたエーロ
ゾル流の使用に適合された横断面を有する管21,31
.41から成るエーロゾル発生器の縦断面図である。横
断面はたとえば円形または四角形に選択されている。内
管21゜31により、層流で流れるがスーおよび/また
は蒸気状成分2,3はまず反応室1に導かれる。
ゾル流の使用に適合された横断面を有する管21,31
.41から成るエーロゾル発生器の縦断面図である。横
断面はたとえば円形または四角形に選択されている。内
管21゜31により、層流で流れるがスーおよび/また
は蒸気状成分2,3はまず反応室1に導かれる。
ここでは、拡散によりガス−および/または蒸気混合物
が生じ、これが化学反応によりエーロゾル、エーロゾル
流10に変換される。この化学反応はたとえば、反応室
1の周囲に設けられた炉60により生じる熱作用により
惹起される。
が生じ、これが化学反応によりエーロゾル、エーロゾル
流10に変換される。この化学反応はたとえば、反応室
1の周囲に設けられた炉60により生じる熱作用により
惹起される。
生じた、大体において層流で流れるエーロゾル流10は
、エーロゾル流10に外管41によって供給されるエー
ロゾル(粒子)不含のガスおよび/または蒸気流20に
よって案内される。
、エーロゾル流10に外管41によって供給されるエー
ロゾル(粒子)不含のガスおよび/または蒸気流20に
よって案内される。
同様に大体において層流で流れるガス−および/または
蒸気流20は、エーロゾル流10中に含有されている粒
子の半径方向の運動を阻止する。それにより、殊に被覆
装置において、エーロゾル流10の横断面をノズルによ
り、経済的被覆が可能になるように形成する事が可能に
なる。ガス−および/または蒸気流20により殊にノズ
ルの着垢が避けられ、そこで費用的に不利な清掃が避け
られる。図面には被覆すべき物体40が示されており、
該物体は空気力学的案内50により、エーロゾル流10
中に含有されている粒子がほぼ完全に物体40にあたり
、こうして経済的被覆が可能になるように取り囲まれて
いる。分離割合をさらに支持するために、物体40およ
び案内50との間に電場をつくる事が可能であり、この
電場によりエーロゾル流10中に含有されている粒子は
物体40上へ導かれる。この粒子が誘電体、たとえばガ
ラスから成る場合には、電場を、粒子中に物体40の被
覆を支持する電気的双極が生じるように構成する事が可
能である。この種の双極により、物体40が静電気的に
帯電されて、爾後の被覆が困難になる事が避けられる。
蒸気流20は、エーロゾル流10中に含有されている粒
子の半径方向の運動を阻止する。それにより、殊に被覆
装置において、エーロゾル流10の横断面をノズルによ
り、経済的被覆が可能になるように形成する事が可能に
なる。ガス−および/または蒸気流20により殊にノズ
ルの着垢が避けられ、そこで費用的に不利な清掃が避け
られる。図面には被覆すべき物体40が示されており、
該物体は空気力学的案内50により、エーロゾル流10
中に含有されている粒子がほぼ完全に物体40にあたり
、こうして経済的被覆が可能になるように取り囲まれて
いる。分離割合をさらに支持するために、物体40およ
び案内50との間に電場をつくる事が可能であり、この
電場によりエーロゾル流10中に含有されている粒子は
物体40上へ導かれる。この粒子が誘電体、たとえばガ
ラスから成る場合には、電場を、粒子中に物体40の被
覆を支持する電気的双極が生じるように構成する事が可
能である。この種の双極により、物体40が静電気的に
帯電されて、爾後の被覆が困難になる事が避けられる。
適用例
物体40は、その外套面がガラス状および/またはガラ
ス形成層で、光波導体を引き出す事のできるいわゆる予
備成形型が生じるように被覆される棒状または管状支持
体として構成される。この例では、物体40はその長手
軸のまわりを回転し、管21,31.41の横断面は四
角形に形成されているので、物体40の外套線に沿った
同時被覆が可能になる。管21.31中を導かれる成分
2ないしは3は、四塩化ケイ素(5iCta )ないし
は水蒸気(N20 )から成り、これらは反応室1中で
熱作用下に式: %式% により反応して二酸化ケイ素(5iO2)含有エーロゾ
ル流を形成する。
ス形成層で、光波導体を引き出す事のできるいわゆる予
備成形型が生じるように被覆される棒状または管状支持
体として構成される。この例では、物体40はその長手
軸のまわりを回転し、管21,31.41の横断面は四
角形に形成されているので、物体40の外套線に沿った
同時被覆が可能になる。管21.31中を導かれる成分
2ないしは3は、四塩化ケイ素(5iCta )ないし
は水蒸気(N20 )から成り、これらは反応室1中で
熱作用下に式: %式% により反応して二酸化ケイ素(5iO2)含有エーロゾ
ル流を形成する。
このエーロゾル流が、不活性ガス、たとえばN2を含有
するガス−および/または蒸気流20よって導かれる。
するガス−および/または蒸気流20よって導かれる。
ガス状の四塩化ケイ素にドーピング物質、たとえば四塩
化ゲルマニウム(GeOl、 )を添加する場合には、
支持体上にドーピングされたガラス層を分離させる事が
可能である。管21,31.41内の流速は、一方で層
流が生じるが、他方では反応室1からの再拡散が避けら
れるように選択される。それにより、管21,31.4
1中での望ましくない粒子析離が避けられる。
化ゲルマニウム(GeOl、 )を添加する場合には、
支持体上にドーピングされたガラス層を分離させる事が
可能である。管21,31.41内の流速は、一方で層
流が生じるが、他方では反応室1からの再拡散が避けら
れるように選択される。それにより、管21,31.4
1中での望ましくない粒子析離が避けられる。
本発明は記載された実施例に限定されていないで、他の
例、たとえばケイ素円板(ウェーハ)の被覆に同様に適
用可能である。
例、たとえばケイ素円板(ウェーハ)の被覆に同様に適
用可能である。
発明の効果
本発明によれば、できるだけ高い粒子密度を有し、費用
の点で有利に制御可能なエーロゾル流が得られ、それに
含有されている固体粒子で固形物体を外套線に沿って同
時的被覆する事が可能となった。
の点で有利に制御可能なエーロゾル流が得られ、それに
含有されている固体粒子で固形物体を外套線に沿って同
時的被覆する事が可能となった。
図面はエーロデル発生器の縦断面図である。
1・・・反応室、2,3・・・蒸気−および/またはガ
ス状成分、10・・・エーロゾル流、20・・・エーロ
ゾル不含のガスおよび/または蒸気流、21゜31.4
1・・・同心に配置された管、40・・・被覆すべき物
体、50・・・案内、60・・・炉団面の浄書(内容に
変更なし) 八〇 F;3. 1 手続補正書(方式) 昭和59年1り月/シ日 特許庁長官殿 1・ 事件の表示 昭和59年特許願第148732号
2、発明の名称 エーロゾル液の製法および固形物体の被覆法3、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 名称リツエンツイアパ、・ξテントーフエルヴアルツン
グスーゲゼルシャフ+−・ミツl−拳ベシュレンクテル
・ハフラング4、代理人 6・補正の対象 (2)は別紙のとおり、但し図面の浄書(内容に変更な
し)415−
ス状成分、10・・・エーロゾル流、20・・・エーロ
ゾル不含のガスおよび/または蒸気流、21゜31.4
1・・・同心に配置された管、40・・・被覆すべき物
体、50・・・案内、60・・・炉団面の浄書(内容に
変更なし) 八〇 F;3. 1 手続補正書(方式) 昭和59年1り月/シ日 特許庁長官殿 1・ 事件の表示 昭和59年特許願第148732号
2、発明の名称 エーロゾル液の製法および固形物体の被覆法3、補正を
する者 事件との関係 特許出願人 名称リツエンツイアパ、・ξテントーフエルヴアルツン
グスーゲゼルシャフ+−・ミツl−拳ベシュレンクテル
・ハフラング4、代理人 6・補正の対象 (2)は別紙のとおり、但し図面の浄書(内容に変更な
し)415−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、 がスーおよび/または蒸気混合物から無炎化学反
応によりエーロゾルをつくる、エーロツル流の製法にお
いて、エーロツル流(1・0)な大体においてエーロゾ
ル不含のガス−および/またiま蒸気流(20)によっ
て案内する事を特徴とする、エーロゾル流の製法。 2、反応室(1)に層流で流れる蒸気−および/または
ガス状成分(2,3)を供給し、反応室(1)中で成分
から差当り生じるガス−および/または蒸気混合物を化
学反応によりエーロゾルに変換し、生じるエーロゾル流
(10)を、ガス−および/または蒸気流(20)によ
り、大体において層流で案内する、特許請求の範囲第1
項記載のエーロゾル流の製法。 3、 ガス−および/または蒸気混合物を成分(2,3
)の相互散乱によりつくる、特許請求の範囲第1項また
は第2項記載のエーロゾル流の製法。 4、 ガス−および/または蒸気流(20)として不活
性ガスを特徴する特許請求の範囲第1項から第3項まで
のいずれか1項記載のエーロゾル流の製法。 5、 成分(2,3)ならびにガス−および/または蒸
気流(20)を大体において同心に配置された管(21
,31,41)中を反応室(1)に向って案内し、ガス
−および/または蒸気流(20)を最外側管(41)中
を特徴する特許請求の範囲第1項から第4項までのいず
れか1項記載のエーロゾル流の製法。 6、 少なくとも1′つの管(41)を一端でノズルと
して構成し、エーロゾル流(10)の渦形成を特徴する
特許請求の範囲第1項から第5項までのいずれか1項記
載のエーロゾル流の製法。 2 固形の二酸化ケイ素(”i02 )−粒子を含有す
るエーロゾルをつくる、特許請求の範囲第1項から第6
項までのいずれが1項記載のエーロゾル流の製法。 8、四塩化ケイ素(5icz、 )の蒸気状の水との式
: SiC!t4 +2H2”→5i02 + 4aa
zによる化学反応により生じる、固形8102粒子を含
有するエーロゾルをつくる、特許請求の範囲第1項から
第7項までのいずれが1項記載のエーロゾル流の製法。 9 ガス−および/または蒸気混合物がら無炎化学反応
によりエーロゾルをつくる、エーロゾル流の製法によっ
てつくられたエーロゾル流中に含まれている粒子で固形
物体を被覆する方法において、該物体(40)をエーロ
ゾル流(10)内に配置する事を特徴とする、固形物体
の被覆法。 10、エーロゾル流(10)の形成のために、物体(4
0)の範囲内に、物体(40)の被覆を支持する、少な
くとも1つの空気力学的案内(50)を設ける、特許請
求の範囲第9項(3) 記載の被覆法。 11、物体(40)と案内(5o)との間に、物体(4
0)の被覆を支持する電場をつくる、特許請求の範囲第
9項または第1o項記載の被覆法。 12、誘電体粒子を有するエーロゾル流(1o)の場合
電場を、物体(4o)の被覆を支持する、電気的有極粒
子が生じるように構成する、特許請求の範囲第11項記
載の被覆法。 16、物体(40)として少なくとも1つの円筒形の支
持体を使用し、該相持物体から被覆により光波導体の製
造のための予備成形型をつくる、特許請求の範囲第9項
がら第12項までのいずれか1項記載の固形物体の被覆
法。 14、支持体を大体において同時に少なくとも1つの外
套線に沿って被覆する、特許請求の範囲第13項記載の
固形体の被覆法。 15、エーロゾル流(10)中に含有されている被覆の
ための粒子がドーピングされたおよび/またはげ一ピン
グされていない51o2粒子(4) である、特許請求の範囲第9項から第14項までのいず
れか1項記載の被覆法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3326043.5 | 1983-07-20 | ||
DE19833326043 DE3326043A1 (de) | 1983-07-20 | 1983-07-20 | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes und dessen verwendung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JPS6075576A true JPS6075576A (ja) | 1985-04-27 |
Family
ID=6204376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59148732A Pending JPS6075576A (ja) | 1983-07-20 | 1984-07-19 | エ−ロゾル液の製法および固形物体の被覆法 |
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EP (1) | EP0134507B1 (ja) |
JP (1) | JPS6075576A (ja) |
AT (1) | ATE31187T1 (ja) |
CA (1) | CA1222660A (ja) |
DE (2) | DE3326043A1 (ja) |
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DE3417438A1 (de) * | 1984-05-11 | 1985-11-14 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines aerosolstromes |
DE3434674A1 (de) * | 1984-09-21 | 1986-04-03 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes |
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DE3530153A1 (de) * | 1985-08-23 | 1987-03-05 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes |
KR910009841B1 (ko) * | 1985-09-30 | 1991-11-30 | 유니온 카바이드 코포레이션 | 진공챔버중에서 피막을 아아크 증착하기 위한 방법 및 장치 |
JPH02222134A (ja) * | 1989-02-23 | 1990-09-04 | Nobuo Mikoshiba | 薄膜形成装置 |
CA2061069C (en) * | 1991-02-27 | 1999-06-29 | Toshio Kubota | Method of electrostatically spray-coating a workpiece with paint |
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EP1010672A1 (en) * | 1998-12-17 | 2000-06-21 | PIRELLI CAVI E SISTEMI S.p.A. | Method and apparatus for forming an optical fiber preform by combustionless hydrolysis |
US6331689B1 (en) | 1999-06-15 | 2001-12-18 | Siemens Aktiengesellschaft | Method and device for producing a powder aerosol and use thereof |
Family Cites Families (12)
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CA1080562A (en) * | 1977-02-10 | 1980-07-01 | Frederick D. King | Method of and apparatus for manufacturing an optical fibre with plasma activated deposition in a tube |
JPS5927728B2 (ja) * | 1977-08-11 | 1984-07-07 | 日本電信電話株式会社 | 煤状ガラスロッドの製造方法 |
US4233045A (en) * | 1978-11-27 | 1980-11-11 | Corning Glass Works | Apparatus and method for making optical filament preform |
DE2930781A1 (de) * | 1979-07-28 | 1981-02-12 | Licentia Gmbh | Verfahren zur herstellung einer lichtleitfaser |
CA1166527A (en) * | 1979-09-26 | 1984-05-01 | Shiro Takahashi | Method and apparatus for producing multi-component glass fiber preform |
US4310474A (en) * | 1980-04-02 | 1982-01-12 | Western Electric Company, Inc. | Method and apparatus for generating a vapor stream |
DE3027450C2 (de) * | 1980-07-19 | 1982-06-03 | Standard Elektrik Lorenz Ag, 7000 Stuttgart | Verfahren zur Innenbeschichtung eines Glas-Substratrohres für die Herstellung eines Glasfaser-Lichtleiters |
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US4440558A (en) * | 1982-06-14 | 1984-04-03 | International Telephone And Telegraph Corporation | Fabrication of optical preforms by axial chemical vapor deposition |
-
1983
- 1983-07-20 DE DE19833326043 patent/DE3326043A1/de not_active Withdrawn
-
1984
- 1984-07-13 EP EP84108296A patent/EP0134507B1/de not_active Expired
- 1984-07-13 DE DE8484108296T patent/DE3467891D1/de not_active Expired
- 1984-07-13 AT AT84108296T patent/ATE31187T1/de active
- 1984-07-19 CA CA000459231A patent/CA1222660A/en not_active Expired
- 1984-07-19 JP JP59148732A patent/JPS6075576A/ja active Pending
- 1984-07-19 US US06/632,291 patent/US4597983A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-07-19 FI FI842910A patent/FI77636C/fi not_active IP Right Cessation
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---|---|
FI842910A (fi) | 1985-01-21 |
FI77636B (fi) | 1988-12-30 |
ATE31187T1 (de) | 1987-12-15 |
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US4597983A (en) | 1986-07-01 |
EP0134507A1 (de) | 1985-03-20 |
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FI77636C (fi) | 1989-04-10 |
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DE3326043A1 (de) | 1985-02-07 |
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