JPS60215540A - 光フアイバ−用多孔質母材の製造装置 - Google Patents

光フアイバ−用多孔質母材の製造装置

Info

Publication number
JPS60215540A
JPS60215540A JP59069569A JP6956984A JPS60215540A JP S60215540 A JPS60215540 A JP S60215540A JP 59069569 A JP59069569 A JP 59069569A JP 6956984 A JP6956984 A JP 6956984A JP S60215540 A JPS60215540 A JP S60215540A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
porous
target
optical fiber
shielding layer
parent material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP59069569A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS632903B2 (ja
Inventor
Masaaki Yoshida
吉田　雅朗
Shigeki Endo
茂樹 遠藤
Shigeru Kisanuki
木佐貫　茂
Hideo Kakuzen
覚前　英夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority to JP59069569A priority Critical patent/JPS60215540A/ja
Priority to DE8585102837T priority patent/DE3583168D1/de
Priority to EP85102837A priority patent/EP0157238B1/en
Priority to CA000477509A priority patent/CA1234971A/en
Priority to AU40405/85A priority patent/AU565670B2/en
Priority to KR1019850002028A priority patent/KR870001741B1/ko
Priority to DK142085A priority patent/DK163659C/da
Publication of JPS60215540A publication Critical patent/JPS60215540A/ja
Priority to US06/940,203 priority patent/US4713107A/en
Publication of JPS632903B2 publication Critical patent/JPS632903B2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/10—Non-chemical treatment
    • C03B37/12—Non-chemical treatment of fibres or filaments during winding up
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/0144—Means for after-treatment or catching of worked reactant gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）技術分野 この発明は光フアイバー用の多孔質母材を製造するため
に用いる、主としてＶＡＤ装置の改良（ＶＡＤ以外にも
、それと原１！ｌ！を同じくする外すす付は方法におい
て効果を有する）に関するものである。
（ロ）技術背景 ＶＡＤ装置において、Ｓｉｎ、を主成分とする光フアイ
バー用の多孔質母材を成長させている際に多孔質母材の
表面の一部に異常に多くの５Ｌｏ２微粒子が付着したり
、割れたり、あるいはそれらの結果落下するような現象
がよく生じる。
そしてこのような異常の生じた多孔質母材はほとんどが
不良品となるのである。
即ち、ＶＡＤ装置の多孔質母材と成長させている部分を
取囲むマツフルと呼ばれる隔離室の隔壁は、一般にガラ
スや石英で作られている。そしてこの部分に酸水素バー
ナからでた帯電した５Ｌｏ２の微粒子が当ると、隔壁の
ガラスや石英の帯電のための静電気効果により、これが
吸引されて隔壁としてのガラスや石英面に積層する。そ
して時間とともにその積層量が増加すると、その一部が
自重により落下し、その途中で成長中の多孔質母材に接
触したり、または下部にある酸水素バーナにより吹き上
げられて多孔質母材の表面上に異常なＳｉ　０２の突起
状物体を形成したりする。
このため多孔質１１（Ａの持つべき長手軸方向に一様性
であるべき特１）＋を１１うのである。
このことを従来使用されている光フアイバー用材製造の
ための第１図のようイｆＶΔｒＬＨ［について説明する
と、２がターゲラ１〜（Ａの石英棒（Ｔどであり、この
ターゲツト材祠の先端に光ファイバーの多孔質母材１が
成長ηる。
３は酸水素バーナで、酸素ど水素を燃焼ガスどし、さら
にこの酸水素バーブ３　＋、１バーナ内部が多重管（図
示省略）になっていてＳｉ、　ＣＲ４、Ｇ３Ｃ９４、Ａ
ｒなどを同時に吹田−リことができるＪ：うに′／′に
、）でいる。
４はその焔であり、この内部には酸化した５１０２、Ｇ
ａＯ，などの微粒子が存在する。
５はこれらを取囲むマツフルと呼ばれる隔壁であって、
外界との隔＃１を目的としており、一般には通常のガラ
ス、石英質ガラス２Ｚどからイ【っている。
このガラス類は一般に帯電しやすく、付近に微小物体が
飛来してくると、それらの帯電関係により吸着してしま
う。このため酸水素バーナ３により隔壁５内で発生する
Ｓｉ　Ｇ２、Ｇｅｎｅなどの微粒子は、多孔質母材製造
中に隔壁の内面に堆積する。
また、これらの微粒子自体も帯電しているので、隔壁の
帯電に対する異種帯電粒子は吸着が加速される。
このにうにして堆積が発生し、それが成長すると重力の
ためにその一部が落下し、一時的に隔壁内部は不安定な
状態となり、母材の表面に多量のＳｉ　Ｇ２が付着した
り、落下物が多孔質母材に当ることににす、母材にクラ
ックが発生し、また一部の落下が見られる。
これによりＶＡＤ生産歩留りが低下する。
第１図において、６は隔壁に取付けられた排気孔であり
、酸水素バーナ３により流入したガス、発生したガスあ
るいは廃棄物質がこの排気孔６により外部へ排出される
。
（ハ）発明の開示 このような従来のＶＡＤ装置における隔壁表面での５Ｌ
０２やＧ１０２の微粒子の堆積、あるいはこれら３− の落下にＪ：る多孔質用材への悪影響といった欠点を改
善すべく検問の結束得られたのが、この発明の隔壁内表
面に導電ＩＩＩ　４４質の遮蔽層を母材と酸水素バーナ
を取巻くように設置ｌノたＶ　Ａ　Ｄ　ＨＩＩＱ？であ
・　る。
即ち、この発明のＶＡｒ）装置−Ｉでは隔壁が帯電し、
Ｄつこの帯電のために発生する電界を隔壁内部にで及ぼ
さずにシールドすることにＪζり川４Ａ　Ｉ！　造中の
空間を外部電界の影響を断ち、安定化するのである。
このために１１＋Ｊ　！ＩＩ　％Ｊで、その全過程中に
おいて安定したすすＭ　ｔ−Ｊが可能となるのである。
以下、この発明に＜−７６装置をその一実７ｉｌｌｉ例
を示す第２図を参照して具体的に説明する。
なおこの第２図中、第１図と間部位で同じ働きをする部
分については第１図と同一符号を付１ノでその説明を省
略り゛る。
第２図において、ＷＡＡｓ２多孔質の光フアイバー用母
材１、酸水素バーナ３から出る焔４との間を導電性材質
からなる遮蔽層７で取囲む。（但し、４− 光フアイバー母材のターゲツト材２に近い側は一部囲み
の中に物理的に入れることは無理であるが）この場合、
最も現実的に遮蔽層７を隔壁５内面に取付は容易にする
形状は、網状のほぼ球形状の物体で、これを遮蔽層７と
して取付けるものである。
この場合、球形状の網状の遮蔽層７は酸水素バーナ３の
取イ」けや光フアイバー母材１の通過のための所定の孔
をあ番ノでおくことが好ましい。
このような網状の球形状の導電性材質からなる遮蔽層７
を隔壁５の内面に取付けた場合は、その外側に存在する
電界が遮蔽層７の内部には全く影響を及ぼさない。換言
すれば、隔壁５のガラスが帯電したために、それによる
周辺に存在する電界、隔壁５の内側に付着、形成された
Ｓｊ　Ｏ２の微粒子による電界は、この遮蔽層７の有す
る遮蔽効果により内部に電界が及ばない。
なお、上記では導電性材質からなる遮蔽層として網状の
球形状のものを用いた場合について説明したが、隔壁５
が、例えば円柱状であるような場合においては、これに
見合う円柱状またはそれに底のついた導電ｆ１材質で、
網状か２１、たはパンチメタル状の遮蔽層を用いてｂ同
様の効果が１ｑられる。
このような状況下で光ファイバーの多孔質ＩＩ祠１の製
造中に隔壁５内に浮遊１゛るＳシＯｆ！やＧａ０ｅの微
粒子は、遮蔽層７の外に右づる電気的な影響を受けるこ
とはない。
即ち、外部電界に引さつ【ノられて隔壁５の内壁面に付
着することはあって−ｂ、Ｉｌｌ積することはないので
ある。
また酸水素バーナ３ｈ１１らの８１０３、ＧａＯ２など
の微粒子の流れも外乱を受（）ることなく流れるため、
光ファイバーの多孔ｗＩＩ目イを１’ｌＪ　造”Ｊるに
当り、安定した品質の予定通りの形状のものができ、製
造途中で隔壁内面をＳ（０，を主体どりる微粒子のＩｆ
ｌ積物の落下による破旧どいったおそれもなくなり、ま
た同時に母材表面に局部的に微粒子が（！Ｉ　ｎ−する
という異常現象も見られないのである。
なお、この発明で遮蔽層を構成する導電（１１＋、４質
としては、導電ｆ１を有Ｊるものであれば、そのｌ１的
を達しうるが、光ファイバーを製造する装置内に装填す
るという点からはその材質を吟味することも必要であり
、そのような点からアルミニウムが最−ｔ）良好である
。
そしてこの発明の遮蔽層の形状としては、前述した球状
かご型が適当である。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来のＶＡＤ装置の断面図、第２図はこの発明
のＶＡＤ装置の断面図である。 １・・・多孔質母材　２・・・ターゲツト材３・・・酸
水素バーナ　４・・・焔　５・・・隔壁６・・・排気孔
　７・・・遮蔽層 特許出願人　住友電気工業株式会社 代　埋　人　弁理士　和　１）　昭

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）光ファイバー用多孔質用月の製造装置であって、
    先端にて多孔質母材を成長させるターゲツト材と酸水素
    バーナを収容する隔離室の内壁面に導電性材質によりな
    る遮蔽層を設けたことを特徴とする光ファイバー用多孔
    質ＰＪ材の製造装置。
  2. （２）導電性材質Ｊ：りなる遮蔽層がかご型形状からな
    ることを特徴とする特許請求の節囲第１項記載の光ファ
    イバー用多孔質用材の製造装置。
JP59069569A 1984-04-06 1984-04-06 光フアイバ−用多孔質母材の製造装置 Granted JPS60215540A (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59069569A JPS60215540A (ja) 1984-04-06 1984-04-06 光フアイバ−用多孔質母材の製造装置
DE8585102837T DE3583168D1 (de) 1984-04-06 1985-03-12 Vorrichtung zur herstellung von poroesen vorformen fuer optische fasern.
EP85102837A EP0157238B1 (en) 1984-04-06 1985-03-12 Apparatus for producing porous preforms for optical fibers
CA000477509A CA1234971A (en) 1984-04-06 1985-03-26 Apparatus for producing porous preforms for optical fibers
AU40405/85A AU565670B2 (en) 1984-04-06 1985-03-27 Producing fibre optical preforms
KR1019850002028A KR870001741B1 (ko) 1984-04-06 1985-03-27 광파이버용 다공질 모재의 제조장치
DK142085A DK163659C (da) 1984-04-06 1985-03-29 Apparat til fremstilling af poroese emner til brug ved frembringelse af optiske fibre
US06/940,203 US4713107A (en) 1984-04-06 1986-12-10 Apparatus for producing porous preforms for optical fibers

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59069569A JPS60215540A (ja) 1984-04-06 1984-04-06 光フアイバ−用多孔質母材の製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS60215540A true JPS60215540A (ja) 1985-10-28
JPS632903B2 JPS632903B2 (ja) 1988-01-21

Family

ID=13406540

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59069569A Granted JPS60215540A (ja) 1984-04-06 1984-04-06 光フアイバ−用多孔質母材の製造装置

Country Status (8)

Country Link
US (1) US4713107A (ja)
EP (1) EP0157238B1 (ja)
JP (1) JPS60215540A (ja)
KR (1) KR870001741B1 (ja)
AU (1) AU565670B2 (ja)
CA (1) CA1234971A (ja)
DE (1) DE3583168D1 (ja)
DK (1) DK163659C (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007131487A (ja) * 2005-11-10 2007-05-31 Fujikura Ltd 光ファイバ用ガラス母材の製造方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6003342A (en) * 1991-10-25 1999-12-21 The Furukawa Electric Co., Ltd. Apparatus for production of optical fiber preform
US5472509A (en) * 1993-11-30 1995-12-05 Neomecs Incorporated Gas plasma apparatus with movable film liners
JP3485697B2 (ja) * 1995-11-07 2004-01-13 古河電気工業株式会社 光ファイバ用母材の製造装置
DE10111733B4 (de) * 2001-03-09 2007-02-08 Heraeus Tenevo Gmbh Verfahren zur Herstellung eines SiO2-Rohlings

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5653768B2 (ja) * 1972-05-18 1981-12-21
DE2821131C2 (de) * 1978-05-13 1986-02-06 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Vakuumbeschichtungsanlage mit einer Kondensat-Auffangeinrichtung
JPS57100934A (en) * 1980-12-12 1982-06-23 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Manufacturing of optical fiber preform
US4435199A (en) * 1982-04-26 1984-03-06 Western Electric Co., Inc. Exhaust system for a vapor deposition chamber
US4547404A (en) * 1982-08-27 1985-10-15 Anicon, Inc. Chemical vapor deposition process
DE3326043A1 (de) * 1983-07-20 1985-02-07 Licentia Gmbh Verfahren zur herstellung eines aerosolstromes und dessen verwendung

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007131487A (ja) * 2005-11-10 2007-05-31 Fujikura Ltd 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP4494325B2 (ja) * 2005-11-10 2010-06-30 株式会社フジクラ 光ファイバ用ガラス母材の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
DK163659C (da) 1992-08-17
US4713107A (en) 1987-12-15
DK142085A (da) 1985-10-07
EP0157238B1 (en) 1991-06-12
AU4040585A (en) 1985-10-10
EP0157238A2 (en) 1985-10-09
DK163659B (da) 1992-03-23
KR850007234A (ko) 1985-12-02
JPS632903B2 (ja) 1988-01-21
DK142085D0 (da) 1985-03-29
DE3583168D1 (de) 1991-07-18
CA1234971A (en) 1988-04-12
KR870001741B1 (ko) 1987-09-26
EP0157238A3 (en) 1989-05-24
AU565670B2 (en) 1987-09-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5348571A (en) Apparatus for dedusting a gas at high temperature
WO1998037973A1 (fr) Precipitateur et incinerateur electrostatiques
JPS60215540A (ja) 光フアイバ−用多孔質母材の製造装置
JPS605036A (ja) 単モ−ド光導波プリフオ−ムの製造方法
US2932966A (en) Apparatus for smoke detection
KR20040008223A (ko) 유리 미립자 퇴적체의 제조장치 및 제조방법
US3714762A (en) Electrofilter insulator without damaging dust deposits
KR20020031277A (ko) 다공질 광섬유모재의 제조장치
JP4494325B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
US20010037662A1 (en) Method for maintaining quality of optical fiber preform and storage apparatus of the same
WO2021090595A1 (ja) 電気集塵機
JPH0331501B2 (ja)
JP4449272B2 (ja) ガラス微粒子堆積体の製造方法
JPH05116978A (ja) 光フアイバ母材の製造方法
GB562043A (en) Improvements in or relating to electrical dust precipitators, for use with mobile producer gas plants
JP2001278634A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JPH01275443A (ja) 光ファイバ線引き炉
JP2000109329A (ja) 多孔質母材の製造方法
JPH02283632A (ja) ガラス微粒子堆積装置
JPH0417723B2 (ja)
Suda et al. Fine glass particle-deposition mechanism in the VAD process
JPS56141854A (en) Electrostatic filter
JP4663487B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JPS58217447A (ja) 気相軸付法による光フアイバ−用多孔質母材の製造方法ならびに装置
JPS58161936A (ja) 外付ｃｖｄ法による光フアイバ−のプレフオ−ム製造方法ならびに装置