JPS606886A - 被測定物の位置検出装置 - Google Patents

被測定物の位置検出装置

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JPS606886A
JPS606886A JP11452783A JP11452783A JPS606886A JP S606886 A JPS606886 A JP S606886A JP 11452783 A JP11452783 A JP 11452783A JP 11452783 A JP11452783 A JP 11452783A JP S606886 A JPS606886 A JP S606886A
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ultrasonic
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01S15/00Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/02Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems using reflection of acoustic waves
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は超音波を利用した被測定物の形状検出装置に関
する。
従来例の構成とその問題点 従来の被測定物の形状検出装置としては超音波送受波素
子を被測定物に対して回転走査して得られた反射信号強
度から、被測定物の位置と姿勢を検出するものがある。
以下その内容の概略を説明する。
第1図は従来の装置の概略の構成を示す一/ステム図で
ある。第2図は従来の装置を用いた形状検出を示す斜視
図である。第1図において超音波送受波素子1に第3図
に示す高電圧パルス17を印加すると空気中に所定の周
波数の超音波パルスが発射される。この超音波パルスが
第2図の対象物体13で反射され、対象物体13の各辺
14,15゜16からの反射信号が超音波送受波素子1
に到達し、受波信号増巾器3で増幅された後、アナログ
−デジタル変換されてメモリ15に記憶される。
第3図は、メモリ15に記憶された超音波送受波素子1
の動作波形を示すもので、37 、38 。
39はそれぞれ対象物体13の各辺14,15゜16か
らの反射信号を示す。メモリ15に記憶された反射信号
は小型電子計算機6に転送され、第3図に示した反射信
号37.38.39の伝播時間40,41.42及び反
射信号強度43,44゜45を検出している。
また第2図において超音波送受波素子1は、小型電子計
算機6からの制御信号によりパルスモータドライバ11
とパルスモータ10を介して矢印A、B方向に回転走査
する構成となっており、超音波送受波素子1を所定の角
度でステップしながら前述の被測定物間で反射信号の伝
播時間及び強度の検出を行なっている。第4図は、超音
波送受波素子1を回転走査させた時の被測定物13から
の反射信号強度を横軸に超音波送受波素子の回転角、縦
軸に反射信号強度をとってプロットしたものである。4
6,4了、4s(dそれぞれ被測定物13の各辺14,
15.16からの反射信号を整理したものであり、それ
ぞれの反射信号強度が最大とガるときの超音波送受波素
子1の回転走査角度から被測定物13の各辺14.IE
S、16の方向を検出している。また前述の反射信号の
伝播時間から被測定物の各辺までの距離が得られるので
被測定物13の各辺13,14.15の座標をめること
ができ、被測定物13の位置と姿勢を検出することがで
きる。
しかしながら、従来の位置姿勢検出装置を穴・溝の形状
検出に適用した場合、大径穴あるいは大巾溝ではその形
状検出が可能であるが、小径穴あるいは小中溝では、穴
・溝の各辺からの反射信号が重畳され、超音波送受波素
子の減衰性を大幅に向上しないと形状検出ができないと
いう問題点があったO 発明の目的 本発明者らは、超音波送受波素子の大幅な減衰性向上な
しに上述の小径穴・小幅溝の形状検出を行なう装置につ
いて鋭意検討し、前記超音波送受波素子を小径穴・小幅
溝に対して概ね一定の距離で平行走査し、前記小径穴・
小幅溝からの反射信号強度を信号処理する手段を用いる
ことにより上記問題をすべて解決できることを見出し本
発明に到った。
すなわち本発明は、上述の欠点をなくし、簡易な構成で
、小径穴・小幅溝の高精度な形状検出が出来る装置を提
供することを目的とする。
発明の構成 本発明は、被測定物に対して超音波送受波素子により超
音波を送受波する手段と、前記超音波送受波素子を前記
被測定物に対して概ね一定の距離を保ち走査する手段と
、前記被測定物からの反射信号強度を信号処理して前記
被測定物の形状を検出する信号処理手段により、前記被
測定物の形状検出を行なう装置を得るものである。
実施例の説明 以下本発明の第1の実施例について、図面を参照しなが
ら説明する。
第5図は本発明の第1実施例における溝形状検出装置の
概略を示すシステム図である。寸だ第6図は本発明の第
1実施例の形状検出装置を用いた形状検出の斜視図、第
7図は同平面図である。
第5図において50はロボットのマニピユレータであり
、データ処理制御装置51からの制御信号によりマニピ
ュレータ制御装置62を介して動作を制御している。ま
だマニピュレータ50上には、第6図に示すように送受
波兼用の超音波トランスデユーサ63が設置されている
超音波トランスデユーサ53は、発振器55により所定
の周波数の超音波を対象物体54の溝65に向けて送波
し、またその反射信号を受波している。超音波トランス
デユーサ53が出力する受波信号は受波信号増幅器56
を経て、アナログ−デジタル変換器57(以下A/D変
換器という。)によってデジタル値に変換され、メモリ
58に記憶される。さらにデータ処理制御装置51が設
けられるが、このデータ処理制御装置51はインタフェ
イスコンi・ロールユニット69(以下工Cυという。
)・フロッピディスクドライブ装置6゜(以下FDDと
いう。)および小型電子計算機61(以下CPUという
。)から構成される。ICU39はFDDeoおよびC
PU61に接続されるとともに、前述の発振器55とメ
モリ58に接続される。FDDeoは本形状検出装置を
用いて形状検出を行なうだめのプログラム或は諸条件を
入力する。このデータ処理制御装置61においては、発
振器55を動作させるだめの制御信号の出力。
マニピュレータ50の動作を制御するマニピュ1/−タ
制御装置52への制御信号の出力を行なうとともにメモ
リ58から転送された入力データの前処理を行ない、F
DDeoから予め入カスドアされたプログラムに従って
CPU61で反射信号強度の検出、対象物体の溝の形状
の演算処理、マニピュレータ60の移動量の演算処理を
行なう。
次に上記のように構成しだ形゛状検出装置の動作を説明
する。なお本実施例では、第6図に示す超音波トランス
デユーサ53の直径が36賜、対象物体64と超音波ト
ランスデユーサ53の距離が100肱、対象物体54の
溝66の幅が5M・、深さ10賜で、超音波トランスデ
ユーサ53の送受波面は対象物体54及び対象物体54
の溝65に対して所定の角度θ1(本実施例では100
)傾斜して配置されており、0.1Mのステップで矢印
入方向へ、対象物体64と一定の距離か保って平行走査
した場合について説明する。
形状検出はFDDeoから予め入カスドアされた第8図
のフローチャートに示す形状検出プログラムの手順に従
って行なわれる。第8図のフローチャートにおいて、ま
ずステップ1でデータ処理費 制御装置51からの制御信号によりマニピュレータ制御
装置62を介してマニピュレータ50を駆動して超音波
トランスデユーサ53をセンシング開始位置に移動する
。第6図において62は超音波トランスデユーサ53か
ら送波される超音波ビームの中心位置を示す。まだ63
はセンシング開始時の、まだ64はセンシング完了時の
、超音波ビームの中心位置と対象物体54の交点を示し
、センシングは、この区間内で行なわれる。なお本実施
例ではセンシング区間は40Mである。
次にステップ2でデータ処理制御装置51からの制御信
号により発振器55を動作させ超音波トランスデユーサ
53で所定の周波数の超音波を被測定物54に向けて送
波すると同時に、A/D変換器57.メモリ68を動作
させて、対象物体64からの反射信号をメモリ58に記
憶する。第9図にはメモリ58に記憶された反射信号を
示す。
68は対象物体54の平面部分66からの反射信号、6
9は対象物体54の溝65の底面部分67からの反射信
号を示す。
次にステップ3でメモリ58に記憶された反射信号をI
CU39を介してCPUelに転送する。
CPU61ではFDDeoから予め入カスドアされてい
るプログラムに従って対象物体64の平面部分66から
の反射信号68の反射信号強度Pを検出する。
次にステップ4ではマニピュレータ50を矢印入方向へ
O,’1M移動して上記ステ・ノブ1.ステ・ノブ2を
繰返して所定のセンシング回数(本実施例では400回
)を完了すればステップ6へ進?J Oステップ5では
、上記ステップ2.ステップ3で得られた検出対象溝6
6を含む対象物体54からの反射信号強度をもとにして
検出対象溝66の中心位置・幅を検出する。第10図は
、超音波トランスデユーサ53を矢印入方向に平行走査
した時の対象物体54からの反射信号強度を、横軸に超
音波トランスデユーサ63の平行走査量、縦軸に反射信
号強度をとって10点おきにプロットしたものであり、
CPU61では、FDDeoから予め入カスドアされた
プログラムに従って反射信号強度の極小値を検出して溝
66の中心位置を検出している。さらに閾値強度70を
設定し、閾値強度70が前記反射信号強度とクロスする
区間に該当する超音波トランスデユーサ53の平行走査
量Wを検出することにより検出対象溝65の幅を検出し
ている。
なお溝検出感度Sは一16dBであった。
以上のように本実施例によれば、溝66を有する対象物
体54に対して超音波トランスデユーサ53の送受波面
を10°傾斜して超音波送受波するト同時に、マニピュ
レータ5oを動作させて対象物体54に対して超音波ト
ランスデユーサ53を一定の距離を保って平行に走査す
ることにより得られる対象物体54からの反射信号強度
の中で溝53を有する対象物体54からの反射信号強度
は、溝53が存在しない対象物体からの反射信号強度に
対して大幅に減少するので、その極小値を検出すること
により検出対象溝65の中心位置を検出することができ
、本実施例では0.1鵡の位置精度が得られた。さらに
、前記閾値強度70が反射信号強度とクロスする区間に
該当する超音波トランスデユーサ53の平行走査量から
検出対象溝66の幅が検出でき、本実施例では6.1r
、w、の精度が得られた。
つぎに本発明の第2の実施例について図面を参照しなが
ら説明する。
第11図は本発明の第2の実施例における穴の形状検出
装置の概略を示すシステム図である。第11図において
マニピュレータ制御装置71はマニピュレータ了2をX
−Y軸の直交2軸で動作可能な構成になっている。これ
以欠のシステム構成は前述の第1実施例と同様である。
第12図は本実施例の形状検出装置による穴形状検出を
示す斜視図、第13図は同平面図である。
次に上記のように構成した形状検出装置の動作を説明す
る。なお本実施例では、第12図に示す超音波トランス
デユーサ73の直径が36藺5、対象物体81と超音波
)・ランスデューサ了3の距離が100賜、対象物体8
1の穴82の直径が5 I#n、、超音波トランスデュ
ーザ了3を対象物体81に対して0.1+IIII+、
のステップで、かつ一定の距離(本実施例では1oom
)を保ち平行走査した場合について説明する。
なお詳細な説明は省略するが、超音波)・ランスデュー
サ73の送受波面は検出対象穴82の中心軸に対してX
及びY軸方向に独立して10°傾斜をする構成である。
第13図に1は超音波トランスデユーサ73がX軸方向
へ移動する時の傾斜状態を示す。
形状検出はFDD78から予め入カスドアされた第14
図のフローチャートに示す形状検出プログラムの手順に
、従って行なわれる。第14図のフローチャートにおい
て、ステップ1で前記第1実施例と同様に超音波トラン
スデユーサ73をX軸のセンシング開始位置へ移動する
。第12図において83は超音波トランスデユーサγ3
から送波される超音波ビームの中心位置を示す。また8
4はX軸方向のセンシング開始時の、86はX軸方向の
センシング完了時の、まだ86はY軸方向のセンシング
開始時の、87ばY軸方りのセンシング完了時の超音波
ビームの中心位置と対象物体81の交点を示し、X軸・
Y軸のセンシングは、それぞれこの区間(本実施例では
各401B)内で行なわれる。この時超音波トランスデ
ユーサ73の送受波面は穴82の中心軸に対してX軸方
向へ100傾斜している。
次にステップ2,3.4では前記第1実施例と同様にマ
ニピュレータ72を動作させ、超音波トランスデユーサ
73をX軸方向へ平行走査して得られた検出対象穴82
を含む対象物体81からの反射信号強度をもとにして検
出対象穴82のX軸方向の中心位置を検出する。第」5
図にはメモリ76に記憶された反射信号を示す。90は
対象物体81からの反射信号を示す。
次にステップ5ではY軸方向のセンシングをすべくマニ
ピュレータ72を動作させ超音波トラ7スデユーサ73
をY軸のセンシング開始位置へ移動する。この時の超音
波ビームの中心位置とt=3象物体81の交点のX座標
は上述のX軸方向のセンシングで検出した穴の中心位置
座標と同一に設定している。この時超音波トランスデュ
ーザア3の送受波面は、穴82の中心軸に対してY軸方
向へ100傾斜している。
次にステップ2,3.4では、前記第1実施例と同様に
マニピュレータ72を動作させ、超音波トランスデユー
サ73をY軸方向へ平行走査して得られた検出対象穴8
2を含む対象物体81からの反射信号強度をもとにして
穴82のY軸方向の中心位置を検出する。これにより穴
82の中心位置の座標が検出できる。さらに前記第1実
施例と同様にして検出対象穴82の直径を検出している
0なお穴82の検出感度は一16dBであっだQなお本
実施例では、超音波トランスデユーサ73の送受波面は
、検出対象の穴82の中心軸に対して走査方向に10°
傾斜して構成したものについて述べたが、この傾斜角度
を変化することにより穴82の検出感度も変化する。第
16図は本実施例と同様の構成で超音波トランスデユー
サ53の送受波面を穴82の中心軸に対してX軸方向に
傾斜させX軸方向に平行走査した時の対象物体54から
の反射信号強度を、横軸に超音波トランスデユーサ53
の傾斜角度、縦軸に穴82の検出感度をとったものであ
り、傾斜角度が1Q0の時に穴82の検出感度が最大値
を示した。
以上のように本実施例によれば、穴82を有する対象物
体81の穴82の中心軸に対して超音波トランスデユー
サ73の送受波面を10°傾斜して超音波を送受波する
と同時に、マニピュレータ72を動作させて対象物体8
1に対して超音波トランスデー−ザγ3を一定の距離を
保って平行に走査することにより得られる対象物体81
からの反射信号強度の中で穴82を有する対象物体81
からの反射信号強度は、穴82が存在しない対象物体8
1からの反射信号強度に比して大幅に減少するので、そ
の極小値を検出することにより穴82のx−Y軸方向の
中心位置を検出でき、本実施例では0.1 Mの位置精
度が得られた。さらに、超音波トランスデョーサ73を
Y軸方向に平行走査して得られる反射信号強度が閾値強
度とクロスする区間に該当する超音波トランスデユーサ
73の平行走査量から穴82の直径が検出でき、本実施
例では、0.1111111.の精度が得られた。
次に本発明の第3の実施例について図面を参照しながら
説明する。
第17図は本発明の第3の実施例における溝の形状検出
装置による溝形状検出の斜視図、第18図は同平面図で
ある。なお本実施例の形状検出装置のシステムは前述の
第1実施例と同様である。
次に上記のように構成した形状検出装置の動作を説明す
る。なお本実施例では第17図に示す対象物体102の
溝103の幅が5#L、深さ10靴対象物体102が超
音波トランスデユーサ53と対向する面は曲率100w
tbの曲面1Q8.超音波トランスデユーサ53の送受
波面は対象物体102の溝103の中心軸に対して所定
の角度θ3 (本実施例では100)傾側して配置され
ており0.1iAのステップで、矢印入方向へ、対象物
体102の曲面108と一定の距離(本実施例では10
0門)を保って走査した場合について説明する。
形状検出は前述の第1実施例と同様の第8図のフローチ
ャートに示す形状検出プログラムの手順に従って行なわ
れる。なお本実施例では超音波トランスデユーサ53を
設置したマニピュレータ50はデータ処理制御装置51
からの制御信号によりマニピュレータ制御装置52を介
して対象物体102の曲面109と一定の距離を保ち(
本実施例では1oom)0.1賜のステップで走査した
第17図において105は超音波トランスデユーサ63
から送波される超音波ビームの中心位置を示す。また1
06はセンシング開始、時の、また107はセンシング
完了時の超音波ビーム中心位置と対象物体102の交点
を示し、七ン/ング(はこの区間(本実施例では40 
mm、 )で行なわれる。
ステップ1.2,3,4.5では前述の第1実施例と同
様にして、検出対象溝103を含む対象物体102から
の反射信号強度をもとにして溝1o3の中心位置、幅を
検出している。本実施例では前述の第1実施例と同様の
溝検出感度を得だ。
以上のように本実施例によれば溝103を有する対象物
体102に超音波を送受波すると同時に、対象物体10
2に対して超音波トランスデユーサ53の送受波面を1
0°傾斜して超音波を送受波する七同時にマニピュレー
タ60を動作させて対象物体102の曲面108に対し
て超音波トランスデユーサ53を一定の距離を保って走
査することにより得られる反射信号強度を処理すること
により0,1訴の溝位置精度、0.1M、の溝幅精度が
得られた。
発明の効果 以上のように本発明は、被測定物に対して超音波送受波
素子により超音波を送受波すると同時に前記超音波送受
波素子を前記被測定物に対して概ね一定の距離で平行走
査して得られた反射信号強度を信号処理して、被測定物
の形状を検出するので簡易な構成で、高精度の形状検出
装置を得ることができ、その実用的効果は大なるものが
ある。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の超音波形状検出装置の概略の構成を示す
システム図、第2図は従来の装置を用いた形状検出の斜
視図、第3図は従来の装置の動作波形を示す図、第4図
は従来の装置の動作波形を整理した図、第6図は本発明
の第1実施例における装置の概略の構成を示すシステム
図、第6図は本発明の第1実施例における溝形状検出の
斜視図、第7図は同平面図、第8図は本発明の第1実施
例における溝形状検出のためのプログラムの1例を示す
フローチャート図、第9図は本発明の第1実施例におけ
る形状検出装置の動作波形を示す図、第10図は本発明
の第1実施例における装置の動作波形を整理した図、第
11図は本発明の第2実施例における装置の概略の構成
を示すシステム図、第12図は本発明の第2実施例にお
ける穴形状検出の斜視図、第13図は同断面図、第14
図は本発明の第2実施例における穴形状検出のだめのプ
ログラムの1例を示すフローチャート図、第15図は本
発明の第2実施例における装置の動作波形を示す図、第
16図は本発明の第2実施例における穴検出感度を示す
図、第17図は本発明の第3実施例における溝形状検出
の斜視図、第18図は同平面図である。 5Q、72・・・・・・マニピュレータ、53.73・
・・・・・超音波トランデューサー、61・・・・・C
PtJ。 65・・・・・・溝、82・・・・・・穴、103・・
・・溝。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名@1
図 第3図 第4図 第8図 第9図 第10図 3 f 511.1−ラシステ亙−サty>’+ffλ
=ti (mm)第11図 第12図 第13図 第14図 第15図 @16図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)超音波送受波素子を用いて被測定物に超音波を送
    受波する手段と、前記被測定物に対して概ね一定の距離
    を保って前記超音波送受波素子を走査する手段と、前記
    被測定物からの反射信号強度を信号処理して前記被測定
    物の形状を検出する信号処理手段からなる被測定物の形
    状検出装置。 (2)前記被測定物は、穴もしくはスリットである特許
    請求の範囲第1項記載の被測定物の形状検出装置。 (3)前記超音波送受波素子を走査する手段は、前記超
    音波送受波素子を配置したマニピュレータを移動する手
    段からなる特許請求の範囲第1項記載の被測定物の形状
    検出装置。 (4)前記超音波送受波素子は、前記被測定物の中心軸
    に対して傾斜して配置されている特許請求の範囲第1項
    記載の被測定物の形状検出装置。 (6)前記超音波送受波素子を走査する手段は、前記超
    音波送受波素子を直線的に移動する手段からなる特許請
    求の範囲第1項記載の被測定物の形状検出装置。
JP11452783A 1983-06-06 1983-06-24 被測定物の位置検出装置 Granted JPS606886A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11452783A JPS606886A (ja) 1983-06-24 1983-06-24 被測定物の位置検出装置
EP84902085A EP0148952B1 (en) 1983-06-06 1984-06-05 Apparatus for detecting position of object being measured
DE8484902085T DE3485371D1 (de) 1983-06-06 1984-06-05 Stellungsdetektor eines zu messenden gegenstandes.
US06/705,470 US4627291A (en) 1983-06-06 1984-06-05 Position sensing apparatus for an object to be measured
PCT/JP1984/000287 WO1984004961A1 (en) 1983-06-06 1984-06-05 Apparatus for detecting position of object being measured

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11452783A JPS606886A (ja) 1983-06-24 1983-06-24 被測定物の位置検出装置

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