JPS606815A - 微動送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、微動送シ装置に係シ、特に測定機類の可動側
を微動送夛させるのに好適な微動送り装置に関する。

三次元測定機や投影機等の一般的１ｉｉＩＪ定機類にあ
っては、全体としての測定能率を向」二させるだめに、
例えばタッチ信号ゾロープ保持部材や被測定物載置テー
ブル等を時によって微動送シさせる必要があり、このた
め粗動機構と切換可能な微動送り装置が備えられている
場合が多い。

従来、この種の微動送シ装置としては、主として切換の
便宜性とバックラッシュの解消を目的としたもので、例
えば実公昭５７−３３４．３９号や実開昭５８−３２４
１２号等が知られている。この実公昭５７−３３４３９
号を同号第１図に示す三次元測定機をもって説明すると
、可動体を手動操作によってワーク直前迄高速送りし、
ワーク近傍でし・ｑ−の操作によシ半割ナツトをガイド
ロッドに螺合させ、この状態でハンドルを操な作して微
動送−リするように構成したものである。この場合、測
定後にレバーを戻せば、半割ナツトとがイドロッドとの
螺合が解除されるので、再び高速送りが可能である。

しかしながら、この種の従来装置では、可動体がいずこ
にあっても微動送り可能にするためには、例えば上述し
たがイドロッド等の機構を可動体の全ストロークに渡っ
て設けなければならないので、その精度上の問題や経済
上の問題があった。また、微動送り完了後は、次の被測
定物の測定に備え、微動送り装置を復帰操作しなければ
ならないので、操作が煩わしかった。特に、プリント配
線基板に多数穿設された端子孔の中心間寸法を測定する
場合等において、上記復帰操作を怠ると、微動送り途中
でストロークリミットとなり、一旦微動送シを解除しだ
後回保合させなければならず、極めて測定の実際を無視
する描造であった。

本発明の目的は、このような点に鑑みなされたもので、
小型かつ安価で、可動部材が可動範囲のいずこの位置−
においても微動送シが即時に可能な微動送シ装置を提供
することＶこめる。

従来装置の問題は、微動送シ機構の相手側との保合手段
と、微動送り機構とを兼用していたことに起因するもの
と思われる。そこで、本発明では、微動送シ機構と保合
手段とを独立させ、前者を可動部材側に取付けるととも
に、後者を前者と静止部材とを結合、解放するクランプ
装置と１〜、かつクランプ装置の解放時に微動送り機構
を自動的に初期状態に復帰できるように構成したもので
ある。

具体的には、相対移動可能な第１の部祠と第２の部材と
を含む微動送り機構を可動部拐に取付け、前記第１０部
羽に駆動手段を設けるとともに、第２の部材に静止部材
と結合するだめのクランプ装置を設け、前記第１および
第２の部材の相対移動範囲を規定する移動規制検出器が
作動されていないことを条件として前記駆動手段を稼動
させる一方、クランプ装置が解放状態にあることを条件
として前記第１の部材と第２の部材とを初期相対位置へ
復帰させる一方向へ前記駆動手段を稼動させる制御装置
を設け、これによシ上記・目的を達成したものである。

以下、本発明の一実１ｊｆｊｘ例を図面に基づいて説明
する。

第１図は本発明の微動送り装置を位置出顕微鏡を備えた
三次元測定機の一方向の移動部に応用した例を示してい
る。同移動部は、静止部材１に対して、位置出顕微鏡（
図示ぜず）を備えた可動部利２が摺動自在に設けられて
いる。なお、ここでは、静止部材１に対して可動部材２
を円滑に摺動させるための機構、例えば案内レールやエ
アベアリング等が省略されている。まだ、７ｊＪ動部拐
２の移動量は、図示しない変位検出器により検出さすし
るようになっている。

［）ＩＩ記ＴｉＪ動部材２の前記静止部材ｊと対向する
面には、支持台１１を介し２て微動送り機構１２が取付
けられている。微動送り機構１２には、可動部月２の移
動方向と平行に配設されかつ両端部が前記支持台１１に
回動自在に支持された第１の部材としてのねじ軸１３と
、このねじ軸１３に螺合された第２の部材としてのナツ
ト部材１４とが含゛まれている。前記ねじ軸１３に（ｒ
ｌ、　、その略全外周におねじ１５が形成されていると
ともに、一方の支持台１１から突出した一端に変、８ハ
クラツチ１６を介し２て駆動手段とＬ７てのモータ１７
が連結されている。また、前記ナツト部材Ｉ４に（ハ、
その上部にスイッチ作動突子１８が一体形成さ１１．で
いるとともに、下部に励磁状態において前記静止部材１
と結合するフランジ装置としてのソレノイド１９が設け
られている。ソレノイド１９８は、非励磁状態において
、静止部材１の摺動ｍ１に対し７て僅かなギヤングをも
って取付けられている。そのプζめ、ソレノイド１９が
非励磁状態、つ捷りソレノイド１９が静止部材ＩＫ刻し
て結合していない状態にあっては、静止部材１に対して
可動部利２を手動または自動で任意の位置へ移動させる
ことができるとともに、モー□り１７が駆動された際、
ナツト部材１４はねじ軸Ｊ−３に対して回動されること
なくねじ軸１３に沿つぞ移動される。更に、ねじ軸１３
の軸方向つまりナツト部材１４の移動方向には、前記ナ
ツト部材１４のスイッチ作動突子１８によって作動され
る第１のスイッチ２０、移動規制検出器としての第２の
スイッチ２１Ａ、、２１Ｂおよび位置検出器としての第
３のスイッチ２２Ａ、２２Ｂが、ねじ軸１３の軸方向へ
移動自在にかつ任意の位置に固定可能に設けられている
。第１のスイッチ２０は、ねじ軸１３の軸方向略中央位
置に固定され、ナツト部材１４の中立位置を検知する。

また、第２のスイッチ２１Ａ、２１１３は、ねじ軸１３
の両端部位置に固定され、ナツト部材１４の移動可能範
囲を検知する。更に、第３のスイッチ２２Ａ。

２２Ｔ３は、前記第２のスイッチ２１．Ａ、２１１３の
やや内側位置に固定され、ナツト部材１４が移動ｈ」能
範囲の手前であることを検知する。なお、第２のスイッ
チ２　］　Ａ　、　２１１３と第３のスイッチ２２Ａ、
２２Ｂとの距離は、スイッチ作動突子１８の長さより小
さく設定されている。つまシ、第２のスイッチがオンさ
れた時点でも２（ｒ、　：、３のスイッチはオン状態を
継続するようになっている。また、これらのスイッチ２
０．２１Ａ、２１１３．２２Ａ、２２Ｂからの検知信号
は、制御装置３１へ与えられている。

前記制御装置３１には、前記スイッチ２０．２１Ａ。

２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂからの検知信号を入力とする信
号判別回路３２と、正方向微動送り操作スイッチ３３Ａ
および負方向微動送り操作スイッチ３３１３を有する微
動送り操作部３３と、フランジ装僅操作部としてのソレ
ノイド駆動操作スイッチ３４と、フランジ装置駆動回路
としてのソレノイド駆動回路３５と、第１の制御回路３
６と、第２の制御回路３７と、モータ駆動回路３８とが
含寸れている。

前記信号判別回弗３２は、前記第１のスイッチ２（）か
らの検知信号が入力された際１ｉｆｌ記′？Ｒ２の制御
回路３７に復帰５６了信号ＲＦＳを、前記第２のスイッ
チ２１Ａ、２１１３からの検知信号が入力された際前記
第１の制御回路３６に１・・Ｉ止指令信号ＳＣ８を、前
記第３のスイッチ２２Ａ、２２Ｂからの検知信号が入力
された際＼の信号つまり可動部月２の送り方向に応じて
魁・報ラング３２Ａ、３２Ｂのいずれかを点滅させると
ともに前記第２のｆｉｉ制御回路３７に復帰指令信号几
Ｃ８を、それぞれ出力する。捷だ、前記ソレノイド駆動
回路３５は、前記ソレノイド”駆動操作スイッチ３４が
オンされると、前記ソレノイド１９を励磁するとともに
、前記第１および第２の制御回路３６．３７への状態判
別信号ＣＣ３ｉＬレベルからＨレベルに反転する。第１
の制御回路３６は、前記信号判別回路３２からの停止指
令信号ＳＣ８がなく、かつ前記ソレノイド駆動回路３５
からの状態判別信号ＣＣ８が１■１／ベルの状態つ凍り
ソレノイド１９が静止部材１に一体的に結合した状態に
おいで、正方向微動送り操作スイッチ３３Ａがオンされ
だ際モータ駆動回路３８を介してモータ１７を正回転方
向（例えば、ナツト部材１４に対してねじ軸１３が第１
図中右方へ進む方向）に、負方向微動送シ操作スイッチ
３３Ｂが操作された際モータ駆動回路３ｓ’番介してモ
ータ１７を逆回転方向にそれぞれ駆動させる。第２の制
御回路３７は、Ａｆ記ソレノイド駆動回路３５からの状
態判別信号ＣＣ８がＨレベルからＬレベルになっｒｔ際
、前記信号判別回路３２からの復帰指令信号）？、Ｃ８
の有無を判別し、その復帰指令イキ°号１（Ｃ８が有っ
たとき、ｔ３ｆｌ記変速クラッチ１６を低速から高速に
ギヤチェンジさせた後、１）ｉＪ記情号判別回路３２か
ら復帰完了信号ａＣＳが力えられるまで、前記モータ駆
動回路３８を介してモータ１７をそれ腟でとは逆方向へ
駆動させる。

次に、本実施例の作用を第２図を参照して説明する。測
定に当っては、可動部材２を手動または自動で静止部材
１に対して移動イ′せ、被測定物の測定部位近傍に位置
させる。ここで、ソレノイド駆動操作スイッチ３４をオ
ンすると、ソレノイド駆動回路３５は、ソレノイド１９
を励磁しナツト部材１４を静止部材１に一体的に固定さ
げるとともに、ｉ（レベルの状Ｂ　’Ｉ’ｌｌ別信号Ｃ
ＣＳを第１１第２の制御回路３６．３７へ与える。

いま、ナツト部材１４がねじ軸１３の略中央位置にある
状態、つまりナツト部＠１４のスイッチ作動突子１８が
第１のスイッチ２０をオンした中立位置にある状態にお
いて、いずれかの操作スイッチ３３Ａ、３３１３、例え
ば正方向微動送り陛作スイッチ３３Ａを押すと、第１の
＋ｎｉ制御回路３６１は、信号判別回路３２からの停止
指令信号Ｓ　ＣＳの有無およびソレノイド１堅動回路３
５からの状態判別信号ＣＣ８がＨレベルであるか否かを
それぞれ判断する。

この場合には、停止指令信号ＳＯ８が無く、かつ状態判
別信号ＣＣ８が１ルベルであるので、第１の制御回路３
６は、モータ駆動回路３８を介してモータ１７を正回転
方向へ駆動させる。すると、モータ１７の回転が変速ク
ラッチ１６を介してねじ軸１３に伝達されると、ねじ軸
１３に螺合したナツト部材１４が静止部材１に一体的に
固定されているため、ナツト部材１４に対してねじ軸１
３が第１図中右方へ向って微動送シされる。つまシ、可
動部材２が静止部材１に対して微動送りされる。

そこで、この微動送りにより可動部材２を移動させてい
き、やがてｐＪ動部材２に備えられた位置出顕微鏡で被
測定物の測定点、例えばプリント基板等の端子孔中心を
確認できたとき、正方向微動送り操作スイッチ３３Ａを
オフする。すると、モータ１７の駆動が停止され、可動
部材２がその位置で停止される。ここで、例えばフット
スイッチ等シこよりム」動部材２の移動相を検出する変
位検出器の値を読み取れば、可動部材２の位置をめるこ
とができる。このようにして、可動部材２を微動送りし
ながら次の測定点の測定を順次行う。

なお、次の測定点呼での距離が可動部材２の微動送りス
トロークより大きい場合には、ソレノイド駆動操作スイ
ッチ３４のオフ操作によりソレノイド１９をｊす〒磁し
、ナツト部＠１４と静止部拐１との結合を一旦解除した
後、前述の操作と同様に可動部材２を手動ま）こは自動
で次のｆｉｌｌｌ定点近傍まで移動させて行う。この間
、つ壕りソレノイド１９が解磁され、静止部材１に対し
て可動部材２が自由に移動可能な状態にある間なよ、ソ
レノイド９駆動回路３５からＬレベルの状態判別信号が
第１の制御回路３６へ与えられているため、操作スイッ
チ３３Ａ、３３Ｂがオンされても、モータ１７が駆動さ
れることはない。

一方、可動部材２の微動送りにより第３のスイッチ２２
Ａ、２２Ｂのいずれか一方、例えば第３のスイッチ２２
Ａがナツト信相１４のスイッチ作動突子１８によってオ
ンされると、その第３のスイツチ２２Ａから検知信号が
ｉｔｉ’１１′ｉ１１装置３１の信号判別回路３２へ力
えられる。すると、信号判別回路：３２（は、警報ラン
プ３２Ａを点滅させ、可動部利２の第１図中右方向への
ストロークの余裕がなく々つだことを知らせるとともに
、復帰指令信号Ｊ（、ＣＳを第２の制御回路３７へ力え
る。とのとき、可動部材２の右方への微動送りは、第２
のスイッチ２ＪＡがオンする寸で行うことができる。

そこで、可動部材２を第３のスイッチ２２Ａ−がオンし
た位置から更に同方向へ微動送りしていくと、第２のス
イッチ２１Ａがナツト部材１４のスイッチ作動突子１８
によってオンされ、その第２のスイッチ２１Ａから検知
信号が信号判別回路３２へ与えられる。すると、信号判
別回路３２は、停止指令信号ＳＣ８を第１の制御回路３
６へ与える。

これにより、第１の制御回路３６は、壬−り駆動回路３
８を介してモータ１７のメ嘔動を停止させる。

従って、微動送シ機溝１２の破損が防止さｇている。

いま、用動部材２を、第３のスイッチ２２Ａがオン状態
の位置または第２、第３のスイッチ２１Ａ。

２２Ａがいずれもオン状態の位置寸で微動送りし、その
停止位置において、ソレノイド駆動操作スイッチ３４を
オフすると、ソレノイド駆動回路３５は、ソレノイド１
９を解磁してナツト部材１４と静止部材１との結合を解
くとともに、Ｌレベルの状態判別信号ＣＣ８を第１、第
２の制御回路３６゜３７へ力える。すると、第２の開側
１回路３７は、”前記ソレノイド駆動回路３５からＬレ
ベルの状態判別信号ＣＣ８が与えられたとき、信号判別
回路３２からの復帰指令信号Ｈ，Ｃ８の有無を判別する
。

この場合には、ナツト部材１４のスイッチ作動突子１８
により第３のスイッチ２２Ａがオンされ、信号判別回路
３２から復帰指令信号Ｈ，Ｃ８が与えられているだめ、
第２の制御回路３７は、変速クラッチ１６を低速から高
速にギャチェンノさせた後、モータ駆動回路３８を介し
てモータ１７を逆回転方向へ駆動させる。このとき、ナ
ツト部材Ｉ４と静止部材１との結合が解除されているだ
め、ねじ軸１３に対してナツト部材１４が第１図中右方
へ向って高速で送られる。やがて、ナツト部材１４がね
じ軸１３の略中央位置まで移動されると、ナラ）・部材
１４のスイッチ作動突子１８によって第１のスイッチ２
０がオンされ、第１のスイッチ２０から検知信号が信号
判別回路３２へ与えられる。すると、信号判別回路３２
は、警報ラング３２の点滅を停止させるとともに、復帰
完了信号１ＬＦｓを第２の制御回路３７へ与える。第２
の制御回路３７は、モータ駆動回路３８を介してモータ
■７の駆動を停止させるとともに、変速クラッチ１６を
高速から低速に切換える。これによシ、ナツト部材１４
がねじ１１１１３の中立位置へ自動的に復帰されるため
、可動部材２を次の測定位置まで自由に移動させた後、
その位置から可動部材２を即時に微動送りさせることが
できる。

従って、本実施例によれば、互いに螺合するねじ軸１３
とナツト部材１４とを含む微動送り機構１２を可動部材
２に取付け、ねじ軸１３にモータを、ナツト部材１４に
静止部材１に対して結合するソレノイド１９をそれぞれ
取付け、ねじ軸１３とナツト部材１４とが移動可能な範
囲にあることを条件としてモータを、駆！ｐｂさせる一
方、ソレノイド１９が解磁された際、ねじ軸１：３どナ
ツト部材Ｊ４とを中立位置へ復帰させる方向ヘモ−・夕
１７を、不動させるようにＵ７だので、ソレノイｌ’　
Ｉ　Ｏを解磁すれば１１動部材２をｉｉ？止部利１に看
１．て自由に移動させること、ヂできる一方、Ｉｆｆ動
体２の全ストローク中の任意の位置においてツレノイｌ
”　Ｉ　９を励磁すればそのｆ１７置から可動体２を微
動送りすることができる結果、測定能率の向トが＆、１
かれる。

また、１ｌｔｌｌ定範囲全長（・Ｃ渡る１１Ｎ成でない
ので、小型、軽量化でき、かつ安価にできろ。このこと
、つｔυ小型、軽量化は、精密１１１１定機において、
全体の精度確保にを与できる利点がある。

また、本実施例では、微動送り行ｊ′構１２をねじ軸１
３とナツト部材１４とし、このナツト部材１４に設けら
１１だソレノイド１９（α＝よって１ｊｐ止部材１との
結合を行うようにしたので、粗動お」２び微動送りの切
換に関係なく、ねじ軸１３とナラ］・部材１４とは常に
螺合さｆ＋、ているので、・くソクラツシュが皆無であ
る。そのため、高精度な送シが期待できる。

また、ねじ軸１３の両端部に第２のスイッチ２１Ａ、２
１Ｂを設け、このスイッチ２．ＩＡ、２１Ｂがオンされ
た際、モータ１７の駆動を停止し、ねじ軸１３とナツト
部材１４との相対移動を停止させるようにしだので、微
動送シ機構１２の破損を未然に防止することができる。

更に、第２のスイッチ２１Ａ、２１Ｂの手前に第３のス
イッチ２２Ａ、　２２Ｂを設け、このスイッチ２２Ａ、
２２Ｂがオンされた際、警報ラン、７’３２Ａ、３２Ｂ
を点滅させるようにしたので、この警報ラック３２Ａ、
３２Ｂの点滅によって微動送りストロークの余裕が無く
なったことを知らせることができる。しかも、この２つ
の警報ラック３２Ａ、３２１３によって、どの方向の送
シストロークの余裕がないかを判別できる。

凍た、第２のスイッチ２．２Ａ　、　２２　Ｂがオンさ
れた状態において、ソレノイド１９が解磁された際、ナ
ツト信相１４をねじ軸１３の略中央位置、つまり第１の
スイッチ２０がオンされる中立位置まで自動的に復帰き
せるよう゛にしたので、ソレノイド１９を１９゛ｆ磁し
、可動部材２を次の測定点１で粗動送りしている間に微
動送シ機構１２が自動的に中立位置へ復帰されるだめ、
作業を中断して手動戻し操作を行う必要がない。このこ
とは、ｏＪ動部材２が全ストローク中のいずこにあって
も、その位置から直ちに微動送りできるので、前述した
小型化に伴う微動送りストロークの縮小化を解決できる
。しかも、中立復帰時には、モータ】７とねじ軸１３と
を連結する変速クラッチ１６を低速から高速に切換える
ようにしだので、復帰動作を迅速に行うことができる、 このほか、第１、第２、第３のスイッチ−２０゜２１Ａ
、２１Ｂ、２２Ａ、２２Ｂをねじ軸１３の軸方向へ移動
自在としたので、中立位置、微動ストローク範囲および
残ストローク表示位置を任意に設定することができる。

なお、実施に当って、微動送り機構１２としては、上記
実施例で述べたねじ軸１３とナツト部材１４との組合せ
のほか、例えばピニオンとラックとの組合せ、塘たはシ
リンダとピストンとの組合せ等でもよい。ピニオンとラ
ックとの組合せでは、ピニオンをモータ等で１小動させ
る一方、ラックにクランプ装置を設ければよい。まプヒ
、シリンダとピストンとの組合せでは、シリンダに切換
弁を介して空気または油圧等の流体源を接続する一方、
ピストンロッドにクランプ装置を設ければよい。

また、駆動手段としては、微動送シ機構１２が上記実施
例のようにねじ軸１３とナツト部材１４との組合せの場
合にはモータ１７が好ましいが、微動送シ機構１２の楢
成要素に応じて最適な駆動源が選択されることは言うま
でもない。

また、クランプ装置としては、上記実施例で述べたフレ
ノイド１９等の電磁結合手段のほか、エアー吸引装置や
機械的ロック機構等、要するに静止部材１に対して選択
的に結合、解除できるものであれば、いずれでもよい。

また、上記Ｘ施例では、３種のスイッチ２０゜２１Ａ、
２１Ｂ、２２Ａ、２２１３を設けたが、例えば第３のス
イッチ２２Ａ、２２Ｂを省略し、第２のスイッチ２１、
Ａ、２１Ｔ３がオンした際、モータ１７の駆動を逆回転
させ、ナツト部材１４を中立位置に自動的に復帰させる
ように構成してもよい。このほか、第２のスイッチ２１
Ａ、２１Ｂおよび第３のスイッチ２２Ａ、２２Ｂのオン
、オフに関係なく、ソレノイド１９が解磁される毎にナ
ツト部材１４を中立位置に自動的に復帰させるようにし
てもよい。なお、これらのスイッチは、リミットスイッ
チや光電スイッチ等倒れでもよい。

まだ、上記実施例では、第：３のスイッチ２２Ａ。

２２Ｂがオンしたときに点滅する警報ランｆ　３２Ａ　
。

３２Ｂのみを設けだが、これ以外に第１のスイッチ２０
がオンしたときに点滅または点灯するラングや第２のス
イッチ２１Ａ、２１１１．バ引ンしたときに点滅または
点灯するランプ等を設ければ、ナンド部拐１４がねじ軸
１３の中立位置にあるか否か、ナツト部材１４が可動限
界位置にあるか否かをそれぞれ知らせることができる。

なお、これらのラングは、通常の白熱ランプや発光ダイ
オード等によって構成することができる。この際、ラッ
クの点灯または点滅と同時に警報を発するようにしでも
よい。

更に、制御装置３１は、可動部材２に直接設けてもよく
、まだケーブル等を介して別位置に設けるようにしても
よい。ちなみに、可動部月２に直接設ければ、被測定物
の間近で確認しながら作業できる利点がある。

このほか、本発明は、上述した測定機に限らず、微動お
よび粗動が必要な機械、例えば工作機械等にも適用でき
る。

以上の通り、本発明によれば、小型かつ安価で、可動部
材が可動範囲のいずこにあってもその位置から直ちに微
動送シが可能な微動送シ装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一寿施例を示すもので、第１図は全体の説
明図、第２図はタイミングチャートである。 １・・・酊止部材、２・・・可動部材、１２・・・微動
送り機構、１３・・・第１の部栃、１４・・・第２の部
材、Ｊ７・・・１駆動手段としてのモータ、１９・・・
クランプ装置としてのルノイド、２１Ａ、２１１３　・
停動Ｊ見市１ｊ検出器としてのスイッチ、２２Ａ、２．
２Ｂ・・位置検出器としてのスイッチ、３１・・・制御
装置、３２・・・信号判別回路、３２Ａ、３２１３・・
・六相ラング、３：３・・微動送シ操作部、３４・・・
フラング装置操作部としてのソレノイド駆動操作スイソ
チ、３５・・・クランノ装置駆動回路としてのソレノイ
ド駆σｊＪ）回路、３（５・・・第１の開側ｊ回路、３
７・・・第２の制御回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）静止部材に対して移動自在に設けられた可動部材
   を微動送りさせる装置において、相対移動可能な第１の
   部材と第２の部材とを含む微動送シ機構を前記可動部材
   に取付け、前記第１の部材に駆動手段を設けるとともに
   、第２の部材に前記静止部材と結合するだめのクランプ
   装置を設け、前記第１および第２の部材の相対移動範囲
   を規定する移動規制検出器が作動されていないことを条
   件として前記駆動手段を稼動させる一方、前記クランプ
   装置が解放状態にあることを条件として前記第１の部材
   と第２の部材とを初期相対位置へ復帰させる方向へ前記
   駆動手段を稼動させる制御装置を設けたことを特徴とす
   る微動送シ装置。 （２）　特許請求の範囲第１項において、前記第１の部
   材をねじ軸、前記第２の部材をナツト部材とし、かつ前
   記駆動手段をモータとしたことを特徴とする微動送り装
   置。 （３）特許請求の範囲第２項において、前記ねじ軸とモ
   ータとを、そのねじ軸とナツト部材とが初期相対位置へ
   復帰される際、前記制御装置によって高速に切換作動さ
   れる変速クラッチで連結したことを特徴とする微動送シ
   装置。 （４）特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに
   おいて、前記クランプ装置を電磁結合手段によシ構成し
   たことを特徴とする微動送り装置ｉ？７゜（５）特許請
   求の範囲８′！１項ないし第４項のいずれかにおいて、
   前記第１の部材と第２の部材との相対位置を検出するた
   めの位置検出器を前記相対移動方向に沿って位置調整可
   能に設けたことを特徴とする微動送シ装置。 （６）特許請求の範囲＝ｉｓ　１唄ないし第４項のいず
   れかにおいて、前記制御装置は、クランプ装置操作部と
   、微動送り操作部と、前記クランノ°装置操作部が操作
   された際前記クランプ装置を作動させるクランプ装置駆
   動回路と、前記微動送り操作部が操作された際、前記移
   動規制検出器が作動されていないことおよび前記クラン
   プ装置が作動状態にあることを条件として前記駆動手段
   を稼動させる第１の制御商略と、前記クランプ装置が解
   放された際、岬記第１の・部材とＣπ２の部材とを初期
   相対位置へ復帰させる方向へ１１０記駆動手段を稼動さ
   せる第２のｆｌｉ制御回路とをよむことを特徴とする微
   動送り装置。 （７）特許請求の範囲第５項において、前記制御装置は
   、クランプ装置操作部と、微動送Ｉ）操作部と、前記ク
   ランプ装置操作部が操作され／ζ際前記クりング装置を
   作動させるクランプ装置駆動回路と、前記位置検出器が
   作動された際丹報ラングを点滅まだは点灯させる信号判
   別回路と、前記微動送り操作部が操作きれた際、前記移
   動規制検出器が作動されていないことおよび前記クラン
   プ装置が作動状態にあることを条件として前記駆動子７
   段を稼動させる第１の制御回路と、前記クランプ装置が
   解放された際、前記位置検出器が作動されていることを
   条件として第１の部材と第２の部材とを初期相対位置へ
   復帰させる方向へ前記駆動手段を稼動させる第２の制御
   回路とを沈むことを特徴とする微動送り装置。