JPH0257245B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、微動送り装置に係り、特に測定機類
の可動側を微動送りさせるのに好適な微動送り装
置に関する。

三次元測定機や投影機等の一般的測定機類にあ
つては、全体としての測定能率を向上させるため
に、例えばタツチ信号プローブ保持部材や被測定
物載置テーブル等を時によつて微動送りさせる必
要があり、このため粗動機構と切換可能な微動送
り装置が備えられている場合が多い。

従来、この種の微動送り装置としては、主とし
て切換の便宜性とバツクラツシユ解消を目的とし
たもので、例えば実公昭57−33439号や実開昭58
−32412号等が知られている。この実公昭57−
33439号を同号第１図に示す三次元測定機をもつ
て説明すると、可動体を手動操作によつてワーク
直前迄高速送りし、ワーク近傍でレバーの操作に
より半割ナツトをガイドロツドに螺合させ、この
状態でハンドルを操作して微動送りするように構
成したものである。この場合、測定後にレバーを
戻せば、半割ナツトとガイドロツドとの螺合が解
除されるので、再び高速送りが可能である。

しかしながら、この種の従来装置では、可動体
がいずこにあつても微動送り可能にするために
は、例えば上述したガイドロツド等の機構を可動
体の全ストロークに渡つて設けなければならない
ので、その精度上の問題や経済上の問題があつ
た。また、微動送り完了後は、次の被測定物の測
定に備え、微動送り装置を復帰操作しなければな
らないので、操作が煩わしかつた。特に、プリン
ト配線基板に多数穿設された端子孔の中心間寸法
を測定する場合等において、上記復帰操作を怠る
と、微動送り途中でストロークリミツトとなり、
一旦微動送りを解除した後再係合させなければな
らず、極めて測定の実際を無視する構造であつ
た。

本発明の目的は、このような点に鑑みなされた
もので、小型かつ安価で、可動部材が可動範囲の
いずこの位置においても微動送りが即時に可能な
微動送り装置を提供することにある。

従来装置の問題は、微動送り機構の相手側との
係合手段と、微動送り機構とを兼用していたこと
に起因するものと思われる。そこで、本発明で
は、微動送り機構と係合手段とを独立させ、前者
を可動部材側に取付けるとともに、後者を前者と
静止部材とを結合、解放するクランプ装置とし、
かつクランプ装置の解放時に微動送り機構を自動
的に初期状態に復帰できるように構成したもので
ある。

具体的には、静止部材に対して移動自在に設け
られた可動部材を微動送りさせる装置において、
前記可動部材に取付けられた第１の部材およびこ
の第１の部材と相対移動可能に係合された第２の
部材を含む微動送り機構と、この微動送り機構の
第２の部材に設けられ前記静止部材に対して結
合、解放可能なクランプ装置と、このクランプ装
置が結合状態にあるとき前記第２の部材に対して
第１の部材を相対移動させるとともに、クランプ
装置が解放状態にあるとき第１の部材に対して第
２の部材を相対移動させる駆動手段と、前記第１
の部材および第２の部材の相対移動範囲を規定す
る移動規制検出器と、前記第１の部材に対する第
２の部材の初期相対位置を検出する初期相対位置
検出器と、前記移動規制検出器が作動されていな
いことおよび前記クランプ装置が結合状態にある
ことを条件として前記駆動手段を駆動させるとと
もに、前記クランプ装置が解放状態にあることを
条件として前記第２の部材が初期相対位置へ復帰
する方向へかつ前記初期相対位置検出器によつて
第２の部材が初期相対位置に達したことが検出さ
れるまで前記駆動手段を駆動させる制御装置とを
具備した構成とすることにより、上記目的を達成
しようとするものである。

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明
する。

第１図は本発明の微動送り装置を位置出顕微鏡
を備えた三次元測定機の一方向の移動部に応用し
た例を示している。同移動部は、静止部材１に対
して、位置出顕微鏡（図示せず）を備えた可動部
材２が摺動自在に設けられている。なお、ここで
は、静止部材１に対して可動部材２を円滑に摺動
させるための機構、例えば案内レールやエアベア
リング等が省略されている。また、可動部材２の
移動量は、図示しない変位検出器により検出され
るようになつている。

前記可動部材２の前記静止部材１と対向する面
には、支持台１１を介して微動送り機構１２が取
付けられている。微動送り機構１２には、可動部
材２の移動方向と平行に配設されかつ両端部が前
記支持台１１に回転自在に支持された第１の部材
としてのねじ軸１３と、このねじ軸１３に螺合さ
れた第２の部材としてのナツト部材１４とが含ま
れている。前記ねじ軸１３には、その略全外周に
おねじ１５が形成されているとともに、一方の支
持台１１から突出した一端に変速クラツチ１６を
介して駆動手段としてのモータ１７が連結されて
いる。また、前記ナツト部材１４には、その上部
にスイツチ作動突子１８が一体形成されていると
ともに、下部に励磁状態において前記静止部材１
と結合するクランプ装置としてのソレノイド１９
が設けられている。ソレノイド１９は、非励磁状
態において、静止部材１の摺動面に対して僅かな
ギヤツプをもつて取付けられている。そのため、
ソレノイド１９が非励磁状態、つまりソレノイド
１９が静止部材１に対して結合していない状態に
あつては、静止部材１に対して可動部材２を手動
または自動で任意の位置へ移動させることができ
るとともに、モータ１７が駆動された際、ナツト
部材１４はねじ軸１３に対して回動されることな
くねじ軸１３に沿つて移動される。更に、ねじ軸
１３の軸方向つまりナツト部材１４の移動方向に
は、前記ナツト部材１４のスイツチ作動突子１８
によつて作動される初期相対位置検出器としての
第１のスイツチ２０、移動規制検出器としての第
２のスイツチ２１Ａ，２１Ｂおよび位置検出器と
しての第３のスイツチ２２Ａ，２２Ｂが、ねじ軸
１３の軸方向へ移動自在にかつ任意の位置に固定
可能に設けられている。第１のスイツチ２０は、
ねじ軸１３の軸方向略中央位置に固定され、ナツ
ト部材１４の中立位置を検知する。また、第２の
スイツチ２１Ａ，２１Ｂは、ねじ軸１３の両端部
位置に固定され、ナツト部材１４の移動可能範囲
を検知する。更に、第３のスイツチ２２Ａ，２２
Ｂは、前記第２のスイツチ２１Ａ，２１Ｂのやや
内側位置に固定され、ナツト部材１４が移動可能
範囲の手前であることを検知する。なお、第２の
スイツチ２１Ａ，２１Ｂと第３のスイツチ２２
Ａ，２２Ｂとの距離は、スイツチ作動突子１８の
長さより小さく設定されている。つまり、第２の
スイツチがオンされた時点でも第３のスイツチは
オン状態を継続するようになつている。また、こ
れらのスイツチ２０，２１Ａ，２１Ｂ，２２Ａ，
２２Ｂからの検知信号は、制御装置３１へ与えら
れている。

前記制御装置３１には、前記スイツチ２０，２
１Ａ，２１Ｂ，２２Ａ，２２Ｂからの検知信号を
入力とする信号判別回路３２と、正方向微動送り
操作スイツチ３３Ａおよび負方向微動送り操作ス
イツチ３３Ｂを有する微動送り操作部３３と、ク
ランプ装置操作部としてのソレノイド駆動操作ス
イツチ３４と、クランプ装置駆動回路としてのソ
レノイド駆動回路３５と、第１の制御回路３６
と、第２の制御回路３７と、モータ駆動回路３８
とが含まれている。前記信号判別回路３２は、前
記第１のスイツチ２０からの検知信号が入力され
た際前記第２の制御回路３７に復帰完了信号
RFSを、前記第２のスイツチ２１Ａ，２１Ｂか
らの検知信号が入力された際前記第１の制御回路
３６に停止指令信号SCSを、前記第３のスイツチ
２２Ａ，２２Ｂからの検知信号が入力された際そ
の信号つまり可動部材２の送り方向に応じて警報
ランプ３２Ａ，３２Ｂのいずれかを点滅させると
ともに前記第２の制御回路３７に復帰指令信号
RCSを、それぞれ出力する。また、前記ソレノ
イド駆動回路３５は、前記ソレノイド駆動操作ス
イツチ３４がオンされると、前記ソレノイド１９
を励磁するとともに、前記第１および第２の制御
回路３６，３７への状態判別信号CCSをＬレベル
からＨレベルに反転する。第１の制御回路３６
は、前記信号判別回路３２からの停止指令信号
SCSがなく、かつ前記ソレノイド駆動回路３５か
らの状態判別信号CCSがＨレベルの状態つまりソ
レノイド１９が静止部材１に一体的に結合した状
態において、正方向微動送り操作スイツチ３３Ａ
がオンされた際モータ駆動回路３８を介してモー
タ１７を正回転方向（例えば、ナツト部材１４に
対してねじ軸１３が第１図中右方へ進む方向）
に、負方向微動送り操作スイツチ３３Ｂが操作さ
れた際モータ駆動回路３８を介してモータ１７を
逆回転方向にそれぞれ駆動させる。第２の制御回
路３７は、前記ソレノイド駆動回路３５からの状
態判別信号CCSがＨレベルからＬレベルになつた
際、前記信号判別回路３２からの復帰指令信号
RCSの有無を判別し、その復帰指令信号RCSが
有つたとき、前記変速クラツチ１６を低速から高
速にギヤチエンジさせた後、前記信号判別回路３
２から復帰完了信号RCSが与えられるまで、前
記モータ駆動回路３８を介してモータ１７をそれ
までとは逆方向へ駆動させる。

次に、本実施例の作用を第２図を参照して説明
する。測定に当つては、可動部材２を手動または
自動で静止部材１に対して移動させ、被測定物の
測定部位近傍に位置させる。ここで、ソレノイド
駆動操作スイツチ３４をオンすると、ソレノイド
駆動回路３５は、ソレノイド１９を励磁しナツト
部材１４を静止部材１に一体的に固定させるとと
もに、Ｈレベルの状態判別信号CCSを第１、第２
の制御回路３６，３７へ与える。

いま、ナツト部材１４がねじ軸１３の略中央位
置にある状態、つまりナツト部材１４のスイツチ
作動突子１８が第１のスイツチ２０をオンした中
立位置にある状態において、いずれかの操作スイ
ツチ３３Ａ，３３Ｂ、例えば正方向微動送り操作
スイツチ３３Ａを押すと、第１の制御回路３６
は、信号判別回路３２からの停止指令信号SCSの
有無およびソレノイド駆動回路３５からの状態判
別信号CCSがＨレベルであるか否かをそれぞれ判
断する。この場合には、停止指令信号SCSが無
く、かつ状態判別信号CCSがＨレベルであるの
で、第１の制御回路３６は、モータ駆動回路３８
を介してモータ１７を正回転方向へ駆動させる。
すると、モータ１７の回転が変速クラツチ１６を
介してねじ軸１３に伝達されると、ねじ軸１３に
螺合したナツト部材１４が静止部材１に一体的に
固定されているため、ナツト部材１４に対してね
じ軸１３が第１図中右方に向つて微動送りされ
る。つまり、可動部材２が静止部材１に対して微
動送りされる。

そこで、この微動送りにより可動部材２を移動
させていき、やがて可動部材２に備えられた位置
出顕微鏡で被測定物の測定点、例えばプリント基
板等の端子孔中心を確認できたとき、正方向微動
送り操作スイツチ３３Ａをオフする。すると、モ
ータ１７の駆動が停止され、可動部材２がその位
置で停止される。ここで、例えばフイトスイツチ
等により可動部材２の移動量を検出する変位検出
器の値を読み取れば、可動部材２の位置を求める
ことができる。このようにして、可動部材２を微
動送りしながら次の測定点の測定を順次行う。

なお、次の測定点までの距離が可動部材２の微
動送りストロークより大きい場合には、ソレノイ
ド駆動操作スイツチ３４のオフ操作によりソレノ
イド１９を解磁し、ナツト部材１４と静止部材１
との結合を一旦解除した後、前述の操作と同様に
可動部材２を手動または自動で次の測定点近傍ま
で移動させて行う。この間、つまりソレノイド１
９が解磁され、静止部材１に対して可動部材２が
自由に移動可能な状態にある間は、ソレノイド駆
動回路３５からＬレベルの状態判別信号が第１の
制御回路３６へ与えられているため、操作スイツ
チ３３Ａ，３３Ｂがオンされても、モータ１７が
駆動されることはない。

一方、可動部材２の微動送りにより第３のスイ
ツチ２２Ａ，２２Ｂのいずれか一方、例えば第３
のスイツチ２２Ａがナツト部材１４のスイツチ作
動突子１８によつてオンされると、その第３のス
イツチ２２Ａから検知信号が制御装置３１の信号
判別回路３２へ与えられる。すると、信号判別回
路３２は、警報ランプ３２Ａを点滅させ、可動部
材２の第１図中右方向へのストロークの余裕がな
くなつたことを知らせるとともに、復帰指令信号
RCSを第２の制御回路３７へ与える。このとき、
可動部材２の右方への微動送りは、第２のスイツ
チ２１Ａがオンするまで行うことができる。

そこで、可動部材２を第３のスイツチ２２Ａが
オンした位置から更に同方向へ微動送りしていく
と、第２のスイツチ２１Ａがナツト部材１４のス
イツチ作動突子１８によつてオンされ、その第２
のスイツチ２１Ａから検知信号が信号判別回路３
２へ与えられる。すると、信号判別回路３２は、
停止指令信号SCSを第１の制御回路３６へ与え
る。これにより、第１の制御回路３６は、モータ
駆動回路３８を介してモータ１７の駆動を停止さ
せる。従つて、微動送り機構１２の破損が防止さ
れている。

いま、可動部材２を、第３のスイツチ２２Ａが
オン状態の位置または第２、第３のスイツチ２１
Ａ，２２Ａがいずれもオン状態の位置まで微動送
りし、その停止位置において、ソレノイド駆動操
作スイツチ３４をオフすると、ソレノイド駆動回
路３５は、ソレノイド１９を解磁してナツト部材
１４と静止部材１との結合を解くとともに、Ｌレ
ベルの状態判別信号CCSを第１、第２の制御回路
３６，３７へ与える。すると、第２の制御回路３
７は、前記ソレノイド駆動回路３５からＬレベル
の状態判別信号CCSが与えられたとき、信号判別
回路３２からの復帰指令信号RCSの有無を判別
する。この場合には、ナツト部材１４のスイツチ
作動突子１８により第３のスイツチ２２Ａがオン
され、信号判別回路３２から復帰指令信号RCS
が与えられているため、第２の制御回路３７は、
変速クラツチ１６を低速から高速にギヤチエンジ
させた後、モータ駆動回路３８を介してモータ１
７を逆回転方向へ駆動させる。このとき、ナツト
部材１４と静止部材１との結合が解除されている
ため、ねじ軸１３に対してナツト部材１４が第１
図中右方へ向つて高速で送られる。やがて、ナツ
ト部材１４がねじ軸１３の略中央位置まで移動さ
れると、ナツト部材１４のスイツチ作動突子１８
によつて第１のスイツチ２０がオンされ、第１の
スイツチ２０から検知信号が信号判別回路３２へ
与えられる。すると、信号判別回路３２は、警報
ランプ３２の点滅を停止させるとともに、復帰完
了信号RFSを第２の制御回路３７へ与える。第
２の制御回路３７は、モータ駆動回路３８を介し
てモータ１７の駆動を停止させるとともに、変速
クラツチ１６を高速から低速に切換える。これに
より、ナツト部材１４がねじ軸１３の中立位置へ
自動的に復帰されるため、可動部材２を次の測定
位置まで自由に移動させた後、その位置から可動
部材２を即時に微動送りさせることができる。

従つて、本実施例によれば、互いに螺合するね
じ軸１３とナツト部材１４とを含む微動送り機構
１２を可動部材２に取付け、ねじ軸１３にモータ
を、ナツト部材１４に静止部材１に対して結合す
るソレノイド１９をそれぞれ取付け、ねじ軸１３
とナツト部材１４とが移動可能な範囲にあること
を条件としてモータを駆動させる一方、ソレノイ
ド１９が解磁された際、ねじ軸１３とナツト部材
１４とを中立位置へ復帰させる方向へモータ１７
を駆動させるようにしたので、ソレノイド１９を
解磁すれば可動部材２を静止部材１に対して自由
に移動させることができる一方、可動体２の全ス
トローク中の任意の位置においてソレノイド１９
を励磁すればその位置から可動体２を微動送りす
ることができる結果、測定能率の向上がはかれ
る。

また、測定範囲全長に渡る構成でないので、小
型、軽量化でき、かつ安価にできる。このこと、
つまり小型、軽量化は、精密測定機において、全
体の精度確保に寄与できる利点がある。

また、本実施例では、微動送り機構１２をねじ
軸１３とナツト部材１４とし、このナツト部材１
４に設けられたソレノイド１９によつて静止部材
１との結合を行うようにしたので、粗動および微
動送りの切換に関係なく、ねじ軸１３とナツト部
材１４とは常に螺合されているので、バツクラツ
シユが皆無である。そのため、高精度な送りが期
待できる。

また、ねじ軸１３の両端部に第２のスイツチ２
１Ａ，２１Ｂを設け、このスイツチ２１Ａ，２１
Ｂがオンされた際、モータ１７の駆動を停止し、
ねじ軸１３とナツト部材１４との相対移動を停止
させるようにしたので、微動送り機構１２の破損
を未然に防止することができる。更に、第２のス
イツチ２１Ａ，２１Ｂの手前に第３のスイツチ２
２Ａ，２２Ｂを設け、このスイツチ２２Ａ，２２
Ｂがオンされた際、警報ランプ３２Ａ，３２Ｂを
点滅させるようにしたので、この警報ランプ３２
Ａ，３２Ｂの点滅によつて微動送りストロークの
余裕が無くなつたことを知らせることができる。
しかも、この２つの警報ランプ３２Ａ，３２Ｂに
よつて、どの方向の送りストロークの余裕がない
かを判別できる。

また、第２のスイツチ２２Ａ，２２Ｂがオンさ
れた状態において、ソレノイド１９が解磁された
際、ナツト部材１４をねじ軸１３の略中央位置、
つまり第１のスイツチ２０がオンされる中立位置
まで自動的に復帰させるようにしたので、ソレノ
イド１９を解磁し、可動部材２を次の測定点まで
粗動送りしている間に微動送り機構１２が自動的
に中立位置へ復帰されるため、作業を中断して手
動戻し操作を行う必要がない。このことは、可動
部材２が全ストローク中のいずこにあつても、そ
の位置から直ちに微動送りできるので、前述した
小型化に伴う微動送りストロークの縮小化を解決
できる。しかも、中立復帰時には、モータ１７と
ねじ軸１３とを連結する変速クラツチ１６を低速
から高速に切換えるようにしたので、復帰動作を
迅速に行うことができる。

このほか、第１、第２、第３のスイツチ２０，
２１Ａ，２１Ｂ，２２Ａ，２２Ｂをねじ軸１３の
軸方向へ移動自在としたので、中立位置、微動ス
トローク範囲および残ストローク表示位置を任意
に設定することができる。

なお、実施に当つて、微動送り機構１２として
は、上記実施例で述べたねじ軸１３とナツト部材
１４との組合せのほか、例えばピニオンとラツク
との組合せ、またはシリンダとピストンとの組合
け等でもよい。ピニオンとラツクとの組合せ、ま
たはシリンダとピストンとの組合せ等でもよい。
ピニオンとラツクとの組合せでは、ピニオンをモ
ータ等で駆動させる一方、ラツクにクランプ装置
を設ければよい。また、シリンダとピストンとの
組合せでは、シリンダに切換弁を介して空気また
は油圧等の流体源を接続する一方、ピストンロツ
ドにクランプ装置を設ければよい。

また、駆動手段としては、微動送り機構１２が
上記実施例のようにねじ軸１３とナツト部材１４
との組合せの場合にはモータ１７が好ましいが、
微動送り機構１２の構成要素に応じて最適な駆動
源が選択されることは言うまでもない。

また、クランプ装置としては、上記実施例で述
べたソレノイド１９等の電磁結合手段のほか、エ
アー吸引装置や機械的ロツク機構等、要するに静
止部材１に対して選択的に結合、解除できるもの
であれば、いずれでもよい。

また、上記実施例では、３種のスイツチ２０，
２１Ａ，２１Ｂ，２２Ａ，２２Ｂを設けたが、例
えば第３のスイツチ２２Ａ，２２Ｂを省略し、第
２のスイツチ２１Ａ，２１Ｂがオンした際、モー
タ１７の駆動を逆回転させ、ナツト部材１４を中
立位置に自動的に復帰させるように構成してもよ
い。このほか、第２のスイツチ２１Ａ，２１Ｂお
よび第３のスイツチ２２Ａ，２２Ｂのオン、オフ
に関係なく、ソレノイド１９が解磁される毎にナ
ツト部材１４を中立位置に自動的に復帰させるよ
うにしてもよい。なお、これらのスイツチは、リ
ミツトスイツチや光電スイツチ等何れでもよい。

また、上記実施例では、第３のスイツチ２２
Ａ，２２Ｂがオンしたときに点滅する警報ランプ
３２Ａ，３２Ｂのみを設けたが、これ以外に第１
のスイツチ２０がオンしたときに点滅または点灯
するランプや第２のスイツチ２１Ａ，２１Ｂがオ
ンしたときに点滅または点灯するランプ等を設け
れば、ナツト部材１４がねじ軸１３の中立位置に
あるか否か、ナツト部材１４が可動限界位置にあ
るか否かをそれぞれ知らせることができる。な
お、これらのランプは、通常の白熱ランプや発光
ダイオード等によつて構成することができる。こ
の際、ランプの点灯または点滅と同時に警報を発
するようにしてもよい。

更に、制御装置３１は、可動部材２に直接設け
てもよく、またケーブル等を介して別位置に設け
るようにしてもよい。ちなみに、可動部材２に直
接設ければ、被測定物の間近で確認しながら作業
できる利点がある。

このほか、本発明は、上述した測定機に限ら
ず、微動および粗動が必要な機械、例えば工作機
械等にも適用できる。

以上の通り、本発明によれば、小型かつ安価
で、可動部材が可動範囲のいずこにあつてもその
位置から直ちに微動送りが可能な微動送り装置を
提供できる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の一実施例を示すもので、第１図は
全体の説明図、第２図はタイミングチヤートであ
る。 １……静止部材、２……可動部材、１２……微
動送り機構、１３……第１の部材、１４……第２
の部材、１７……駆動手段としてのモータ、１９
……クランプ装置としてのソレノイド、２１Ａ，
２１Ｂ……移動規制検出器としてのスイツチ、２
２Ａ，２２Ｂ……位置検出器としてのスイツチ、
３１……制御装置、３２……信号判別回路、３２
Ａ，３２Ｂ……警報ランプ、３３……微動送り操
作部、３４……クランプ装置操作部としてのソレ
ノイド駆動操作スイツチ、３５……クランプ装置
駆動回路としてのソレノイド駆動回路、３６……
第１の制御回路、３７……第２の制御回路。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 静止部材に対して移動自在に設けられた可動
   部材を微動送りさせる装置において、 前記可動部材に取付けられた第１の部材および
   この第１の部材と相対移動可能に係合された第２
   の部材を含む微動送り機構と、 この微動送り機構の第２の部材に設けられ前記
   静止部材に対して結合、解放可能なクランプ装置
   と、 このクランプ装置が結合状態にあるとき前記第
   ２の部材に対して第１の部材を相対移動させると
   ともに、クランプ装置が解放状態にあるとき第１
   の部材に対して第２の部材を相対移動させる駆動
   手段と、 前記第１の部材および第２の部材の相対移動範
   囲を規定する移動規制検出器と、 前記第１の部材に対する第２の部材の初期相対
   位置を検出する初期相対位置検出器と、 前記移動規制検出器が作動されていないことお
   よび前記クランプ装置が結合状態にあることを条
   件として前記駆動手段を駆動させるとともに、前
   記クランプ装置が解放状態にあることを条件とし
   て前記第２の部材が初期相対位置へ復帰する方向
   へかつ前記初期相対位置検出器によつて第２の部
   材が初期相対位置に達したことが検出されるまで
   前記駆動手段を駆動させる制御装置と、 を具備したことを特徴とする微動送り装置。 ２ 特許請求の範囲第１項において、前記第１の
   部材をねじ軸、前記第２の部材をナツト部材と
   し、かつ、前記駆動手段をモータとしたことを特
   徴とする微動送り装置。 ３ 特許請求の範囲第２項において、前記ねじ軸
   とモータとを、前記ナツト部材が初期相対位置へ
   復帰される際に前記制御装置によつて高速に切換
   作動される変速クラツチで連結したことを特徴と
   する微動送り装置。 ４ 特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
   かにおいて、前記クランプ装置を電磁結合手段に
   より構成したことを特徴とする微動送り装置。 ５ 特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれ
   かにおいて、前記第１の部材と第２の部材との相
   対位置を検出するための位置検出器を前記相対移
   動方向に沿つて位置調整可能に設けたことを特徴
   とする微動送り装置。 ６ 特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれ
   かにおいて、前記制御装置は、クランプ装置操作
   部と、微動送り操作部と、前記クランプ装置操作
   部が操作された際前記クランプ装置を作動させる
   クランプ装置駆動回路と、前記微動送り操作部が
   操作された際前記移動規制検出器が作動されてい
   ないことおよび前記クランプ装置が結合状態にあ
   ることを条件として前記駆動手段を駆動させる第
   １の制御回路と、前記クランプ装置が解放された
   際前記第２の部材が初期相対位置へ復帰する方向
   へかつ前記初期相対位置検出器によつて第２の部
   材が初期相対位置に達したことが検出されるまで
   前記駆動手段を駆動させる第２の制御回路とを含
   むことを特徴とする微動送り装置。 ７ 特許請求の範囲第５項において、前記制御装
   置は、クランプ装置操作部と、微動送り操作部
   と、警報ランプと、前記クランプ装置操作部が操
   作された際前記クランプ装置を作動させるクラン
   プ装置駆動回路と、前記位置検出器が作動された
   際前記警報ランプを点滅または点灯させる信号判
   別回路と、前記微動送り操作部が操作された際前
   記移動規制検出器が作動されていないことおよび
   前記クランプ装置が結合状態にあることを条件と
   して前記駆動手段を駆動させる第１の制御回路
   と、前記クランプ装置が解放された際前記位置検
   出器が作動されていることを条件として前記第２
   の部材が初期相対位置へ復帰する方向へかつ前記
   初期相対位置検出器によつて第２の部材が初期相
   対位置に達したことが検出されるまで前記駆動手
   段を駆動させる第２の制御回路とを含むことを特
   徴とする微動送り装置。