JP2586705Y2 - ボールねじ軸装置 - Google Patents
ボールねじ軸装置Info
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- JP2586705Y2 JP2586705Y2 JP1991040487U JP4048791U JP2586705Y2 JP 2586705 Y2 JP2586705 Y2 JP 2586705Y2 JP 1991040487 U JP1991040487 U JP 1991040487U JP 4048791 U JP4048791 U JP 4048791U JP 2586705 Y2 JP2586705 Y2 JP 2586705Y2
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Description
【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案は、ボールねじ軸装置に
関し、詳しくは、直線移動する作動部材の原点出しを高
精度に行なえるようにした構造に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】半導体、液晶等の欠陥を検査するスクリ
ーン印刷機のアライメントテーブルや、ＦＡ機器、ＯＡ
機器などの駆動部には、従来より、小型・軽量で高精度
な位置決めが行なえるボールねじ軸装置が多く用いられ
ている。 【０００３】このようなボールねじ軸装置に対して、エ
ンコーダ等の位置制御器を使用せずに移動部材の移動量
制限と原点出しを行なえるようにしたものを、本出願人
が特願平１−７０３６号により提案している。 【０００４】この装置は、図７に示すように、外筒４０
の内部に、互いに係合するボールねじ軸４１とボールナ
ット４２を収納し、ボールナット４２を駆動部４３によ
り回転させてボールねじ軸４１を直線移動させる構造に
おいて、ボールねじ軸４１に金属板等の検出子４４を取
付け、それに対向して外筒４０に、検出子４４の接近を
検出する３個のリミットセンサ４５、４６、４７を設け
ている。 【０００５】このリミットセンサのうち、両端部の４５
と４７は前進端と後退端のリミットセンサ、中央の４６
は原点用のリミットセンサとなるもので、その各々の検
出信号によりボールねじ軸の移動限界と原点位置を決め
るようにしている。 【０００６】 【考案が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
なリミットセンサ４５、４６、４７は、検出子４４が所
定の距離に接近したときにそれを検出して信号を出すも
のであるため、図６の（ハ）に示すように、検出される
範囲に一定の幅が生じ、ボールねじ軸４１を原点まで移
動させた場合、その移動方向の違いによって原点の検出
位置が一定の誤差をもつ特性がある。即ち、原点のリミ
ットセンサ４６から得られるリミット信号は、原点に接
近した信号（原点接近信号）というにすぎず、正確に原
点を示す信号とはいえない。 【０００７】したがって、ボールねじ軸の作業開始位置
を正確に一致させることができず、ねじ軸の移動や位置
決め精度にばらつきが生じる不具合がある。 【０００８】そこで、この考案は、上記の問題に鑑み、
作動部材の原点に対する移動方向に関係なく、原点への
位置決めを正確に行なうことができるボールねじ軸装置
を提供することを目的とする。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この考案は、互いに係合するボールねじ軸とボール
ナットの一方を静止回転部材、他方を直線作動部材と定
め、上記静止回転部材に駆動部により回転力を与え、上
記直線作動部材に検出子を取付け、その検出子の接近を
検出して上記直線作動部材の移動限界信号と原点接近信
号とを出力するリミットセンサを所要の固定部材に設け
たボールねじ軸装置において、 上記静止回転部材に半径
方向のスリット孔を有する回転板を連結し、その回転板
のスリット孔を検出するフォトセンサを上記の固定部材
に設け、上記フォトセンサの位置を、該フォトセンサに
よる検出信号のうちの１つの検出信号が上記直線作動部
材の原点位置と一致するように設定し、前記リミットセ
ンサによる原点接近信号がオンとなったのち、上記フォ
トセンサによる最初のスリット孔検出信号がオンとなっ
た時点をもって上記直線作動部材の原点位置とすること
を特徴とする構造としたものである。 【００１０】なお、上記の固定部材としては、ボールね
じ軸やボールナットに対して常に固定状態にある部材が
使用され、ねじ軸装置の外筒や、装置から独立した外部
部材が利用できる。 【００１１】 【作用】上記の構造では、駆動部に連結した静止回転部
材と共に回転板が１回転すると、フォトセンサは少なく
とも１回以上スリット孔を検出し、検出信号を出力す
る。原点用リミットセンサが検出子を検出して原点接近
信号が出力されたのち、最初のスリット孔検出信号が入
力された時点で直線作動部材を止めることにより、正確
な原点出しが行なえる。 【００１２】 【実施例】図１乃至図５は、実施例のボールねじ軸装置
を示している。図１及び図２に示すように、このボール
ねじ軸装置１は、回転力を発生する駆動部３と、その回
転力を直線運動に変えて接続シャフト４に伝達する伝達
機構部２とから構成される。 【００１３】伝達機構部２は、外筒５の内部に、駆動部
３とカップリング６を介して連結するボールナット７を
回転自在に支持し、そのナット７と接続シャフト４と
を、ボールねじ軸８で連結して成っている。即ち、この
場合はボールナット７が静止回転部材、ボールねじ軸８
が直線作動部材となる。 【００１４】接続シャフト４は、ボールねじ軸装置と外
部部材とを接続するためのもので、外筒５の先端部のス
ライド軸受９を介して、移動可能に取付けられている。 【００１５】上記ボールねじ軸８に設けたフランジ部１
０には、図１、図３及び図４に示すように、回り止めピ
ン１１が取付けられ、そのピン１１にねじ軸８の回り止
め機構を果たす２つの偏心リング１２、１３が設けられ
ている。この偏心リング１２、１３は、それぞれ軸受１
４、１５が嵌合し、その軸受１４、１５の周面が外筒５
に設けた予圧ブロック１６と転走ブロック１７にころが
り接触している。上記予圧ブロック１６は、弾性バネ１
８、１９によって固定の転走ブロック１７に向かって付
勢されており、この両ブロック１６、１７による案内に
よって、ボールねじ軸８は回転が阻止され、軸心方向に
直線運動するよう案内される。 【００１６】また、上記ボールねじ軸８のフランジ部１
０には、金属板等から成る検出子２０が取付けられ、外
筒５の内側に、その検出子２０に対向して３個のリミッ
トセンサ２１、２２、２３が設けられている。 【００１７】このリミットセンサは、ボールねじ軸８の
移動方向に沿って配置され、２１が前進端用リミットセ
ンサ、２２が原点用リミットセンサ、２３が後退端用リ
ミットセンサとなるもので、それぞれ検出子２０が所定
の距離まで接近すると、それを検出し、図６の（イ）
（ロ）に示すようなリミット信号を駆動部３の制御回路
に出力する。 【００１８】一方、図１に示すように、ボールねじ軸８
と駆動部３を連結するカップリング６には、回転板２４
が取付けられている。この回転板２４は、ナット７と一
体で共回りするようにカップリング６に固定され、その
端面に、図５に示すように幅が１mm程度の半径方向に延
びるスリット孔２５が形成されている。 【００１９】また、外筒５には、上記検出板２４の両側
に光を照射するフォトセンサ２６が取付けられ、このフ
ォトセンサ２６は、検出板２４が回転してスリット孔２
５がセンサの光を横切るごとに、図６の（ニ）に示すよ
うなパルス信号を、駆動部３の制御回路に出力する。こ
のフォトセンサ２６は、上記の回転板２４に対して、フ
ォトセンサ２６によるスリット孔２５の検出位置と、ボ
ールねじ軸８の幾何学的な原点位置とが正確に一致する
ように高精度に位置決めして取付けられている。 【００２０】上記駆動部３には、ナット７に回転力を与
えるモータが用いられ、例えばステッピングモータやサ
ーボモータにリニアスケール等を組合せたものが利用さ
れる。 【００２１】なお、この実施例では、ボールねじ軸装置
１を、アライメント調整用の移動テーブルに連結した構
造を示している。すなわち、外筒５を移動テーブル２７
の固定ベース２８に固定した支持板２９に取付け、接続
シャフト４の先端を、スライドと回動の動きを許容する
継手３０を介して、ベース２８上をボール３１を介して
移動可能に設けたステージ３２に連結しており、接続シ
ャフト４を直線移動させることにより、ステージ３２に
直線方向の動きと回動の動きを与えるようになってい
る。 【００２２】上記のような構成で成る実施例のボールね
じ軸装置１においては、駆動部３によりナット７を回転
させると、ボールねじ軸８が予圧ブロック１６及び転走
ブロック１７により回転が阻止され、軸心方向に直線運
動する。この場合、ボールねじ軸８の移動ストロークの
前後方向の限界位置は、リミットセンサ２１、２３のリ
ミット信号によって決められる。 【００２３】一方、上記の構造では、ボールねじ軸８の
位置を検出する手段をもたないため、運転の開始時や、
運転途中で不意に停電等が生じた場合、ボールねじ軸８
がどの位置に停止しているのか不明な状態になる。 【００２４】この場合、ねじ軸８を原点に戻した後、運
転を再開する必要があるが、ねじ軸を原点と異なる方向
に移動させて、前後端のどちらかのリミットセンサを作
動させると、駆動部３が停止し、自動運転をストップさ
せる不具合がある。 【００２５】このため、次のような方法で原点出しを行
なう。先ず、ボールねじ軸８を自動又は手動によって前
進端又は後退端のいずれか一方のリミットセンサ２１、
２３が作動するまで移動させ、図６の（イ）又は（ロ）
に示すような移動限界信号としてのリミット信号が出た
後、次に駆動部３に逆方向への動きの指令を与えて、原
点用センサ２２が原点センサ進入点に達して作動するま
でボールねじ軸８を移動させる。同図（ハ）、（ニ）に
示すように、原点用センサ２２の作動により、原点接近
信号Ｂが出力された後、最初にフォトセンサ２６からス
リット孔検出に基づくパルス信号Ｃが出力された時点で
ねじ軸８を停止させる。このフォトセンサ２６の検出位
置は、予め正確に原点位置Ａに一致させてあるため、ボ
ールねじ軸８は高い精度で確実に原点に位置決めされる
ことになる。 【００２６】なお、上記の作用は、ボールねじ軸の反対
方向からの原点への移動、すなわち図６の（ハ）におい
て、右側からの移動に対しても同様に行なうことができ
る。 【００２７】また、上記の実施例では、ナットを静止回
転部材とし、ボールねじ軸を直線作動部材とする構造と
したが、ボールねじ軸を駆動部に連結して静止回転部材
とし、ナットを直線作動部材とする構造としても、全く
同様にこの考案を実施することができる。 【００２８】 【効果】以上のように、この考案は、直線作動部材の移
動ストロークの限界位置と原点を決めるリミットセンサ
の検出誤差を、静止回転部材に連結した回転板の半径方
向のスリット孔を検出するフォトセンサの検出信号で補
正するようにしたので、原点に対する移動方向に関係な
く正確な原点出しを行なうことができ、常に高精度な移
動と位置決めが実現できる効果がある。
関し、詳しくは、直線移動する作動部材の原点出しを高
精度に行なえるようにした構造に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】半導体、液晶等の欠陥を検査するスクリ
ーン印刷機のアライメントテーブルや、ＦＡ機器、ＯＡ
機器などの駆動部には、従来より、小型・軽量で高精度
な位置決めが行なえるボールねじ軸装置が多く用いられ
ている。 【０００３】このようなボールねじ軸装置に対して、エ
ンコーダ等の位置制御器を使用せずに移動部材の移動量
制限と原点出しを行なえるようにしたものを、本出願人
が特願平１−７０３６号により提案している。 【０００４】この装置は、図７に示すように、外筒４０
の内部に、互いに係合するボールねじ軸４１とボールナ
ット４２を収納し、ボールナット４２を駆動部４３によ
り回転させてボールねじ軸４１を直線移動させる構造に
おいて、ボールねじ軸４１に金属板等の検出子４４を取
付け、それに対向して外筒４０に、検出子４４の接近を
検出する３個のリミットセンサ４５、４６、４７を設け
ている。 【０００５】このリミットセンサのうち、両端部の４５
と４７は前進端と後退端のリミットセンサ、中央の４６
は原点用のリミットセンサとなるもので、その各々の検
出信号によりボールねじ軸の移動限界と原点位置を決め
るようにしている。 【０００６】 【考案が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
なリミットセンサ４５、４６、４７は、検出子４４が所
定の距離に接近したときにそれを検出して信号を出すも
のであるため、図６の（ハ）に示すように、検出される
範囲に一定の幅が生じ、ボールねじ軸４１を原点まで移
動させた場合、その移動方向の違いによって原点の検出
位置が一定の誤差をもつ特性がある。即ち、原点のリミ
ットセンサ４６から得られるリミット信号は、原点に接
近した信号（原点接近信号）というにすぎず、正確に原
点を示す信号とはいえない。 【０００７】したがって、ボールねじ軸の作業開始位置
を正確に一致させることができず、ねじ軸の移動や位置
決め精度にばらつきが生じる不具合がある。 【０００８】そこで、この考案は、上記の問題に鑑み、
作動部材の原点に対する移動方向に関係なく、原点への
位置決めを正確に行なうことができるボールねじ軸装置
を提供することを目的とする。 【０００９】 【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この考案は、互いに係合するボールねじ軸とボール
ナットの一方を静止回転部材、他方を直線作動部材と定
め、上記静止回転部材に駆動部により回転力を与え、上
記直線作動部材に検出子を取付け、その検出子の接近を
検出して上記直線作動部材の移動限界信号と原点接近信
号とを出力するリミットセンサを所要の固定部材に設け
たボールねじ軸装置において、 上記静止回転部材に半径
方向のスリット孔を有する回転板を連結し、その回転板
のスリット孔を検出するフォトセンサを上記の固定部材
に設け、上記フォトセンサの位置を、該フォトセンサに
よる検出信号のうちの１つの検出信号が上記直線作動部
材の原点位置と一致するように設定し、前記リミットセ
ンサによる原点接近信号がオンとなったのち、上記フォ
トセンサによる最初のスリット孔検出信号がオンとなっ
た時点をもって上記直線作動部材の原点位置とすること
を特徴とする構造としたものである。 【００１０】なお、上記の固定部材としては、ボールね
じ軸やボールナットに対して常に固定状態にある部材が
使用され、ねじ軸装置の外筒や、装置から独立した外部
部材が利用できる。 【００１１】 【作用】上記の構造では、駆動部に連結した静止回転部
材と共に回転板が１回転すると、フォトセンサは少なく
とも１回以上スリット孔を検出し、検出信号を出力す
る。原点用リミットセンサが検出子を検出して原点接近
信号が出力されたのち、最初のスリット孔検出信号が入
力された時点で直線作動部材を止めることにより、正確
な原点出しが行なえる。 【００１２】 【実施例】図１乃至図５は、実施例のボールねじ軸装置
を示している。図１及び図２に示すように、このボール
ねじ軸装置１は、回転力を発生する駆動部３と、その回
転力を直線運動に変えて接続シャフト４に伝達する伝達
機構部２とから構成される。 【００１３】伝達機構部２は、外筒５の内部に、駆動部
３とカップリング６を介して連結するボールナット７を
回転自在に支持し、そのナット７と接続シャフト４と
を、ボールねじ軸８で連結して成っている。即ち、この
場合はボールナット７が静止回転部材、ボールねじ軸８
が直線作動部材となる。 【００１４】接続シャフト４は、ボールねじ軸装置と外
部部材とを接続するためのもので、外筒５の先端部のス
ライド軸受９を介して、移動可能に取付けられている。 【００１５】上記ボールねじ軸８に設けたフランジ部１
０には、図１、図３及び図４に示すように、回り止めピ
ン１１が取付けられ、そのピン１１にねじ軸８の回り止
め機構を果たす２つの偏心リング１２、１３が設けられ
ている。この偏心リング１２、１３は、それぞれ軸受１
４、１５が嵌合し、その軸受１４、１５の周面が外筒５
に設けた予圧ブロック１６と転走ブロック１７にころが
り接触している。上記予圧ブロック１６は、弾性バネ１
８、１９によって固定の転走ブロック１７に向かって付
勢されており、この両ブロック１６、１７による案内に
よって、ボールねじ軸８は回転が阻止され、軸心方向に
直線運動するよう案内される。 【００１６】また、上記ボールねじ軸８のフランジ部１
０には、金属板等から成る検出子２０が取付けられ、外
筒５の内側に、その検出子２０に対向して３個のリミッ
トセンサ２１、２２、２３が設けられている。 【００１７】このリミットセンサは、ボールねじ軸８の
移動方向に沿って配置され、２１が前進端用リミットセ
ンサ、２２が原点用リミットセンサ、２３が後退端用リ
ミットセンサとなるもので、それぞれ検出子２０が所定
の距離まで接近すると、それを検出し、図６の（イ）
（ロ）に示すようなリミット信号を駆動部３の制御回路
に出力する。 【００１８】一方、図１に示すように、ボールねじ軸８
と駆動部３を連結するカップリング６には、回転板２４
が取付けられている。この回転板２４は、ナット７と一
体で共回りするようにカップリング６に固定され、その
端面に、図５に示すように幅が１mm程度の半径方向に延
びるスリット孔２５が形成されている。 【００１９】また、外筒５には、上記検出板２４の両側
に光を照射するフォトセンサ２６が取付けられ、このフ
ォトセンサ２６は、検出板２４が回転してスリット孔２
５がセンサの光を横切るごとに、図６の（ニ）に示すよ
うなパルス信号を、駆動部３の制御回路に出力する。こ
のフォトセンサ２６は、上記の回転板２４に対して、フ
ォトセンサ２６によるスリット孔２５の検出位置と、ボ
ールねじ軸８の幾何学的な原点位置とが正確に一致する
ように高精度に位置決めして取付けられている。 【００２０】上記駆動部３には、ナット７に回転力を与
えるモータが用いられ、例えばステッピングモータやサ
ーボモータにリニアスケール等を組合せたものが利用さ
れる。 【００２１】なお、この実施例では、ボールねじ軸装置
１を、アライメント調整用の移動テーブルに連結した構
造を示している。すなわち、外筒５を移動テーブル２７
の固定ベース２８に固定した支持板２９に取付け、接続
シャフト４の先端を、スライドと回動の動きを許容する
継手３０を介して、ベース２８上をボール３１を介して
移動可能に設けたステージ３２に連結しており、接続シ
ャフト４を直線移動させることにより、ステージ３２に
直線方向の動きと回動の動きを与えるようになってい
る。 【００２２】上記のような構成で成る実施例のボールね
じ軸装置１においては、駆動部３によりナット７を回転
させると、ボールねじ軸８が予圧ブロック１６及び転走
ブロック１７により回転が阻止され、軸心方向に直線運
動する。この場合、ボールねじ軸８の移動ストロークの
前後方向の限界位置は、リミットセンサ２１、２３のリ
ミット信号によって決められる。 【００２３】一方、上記の構造では、ボールねじ軸８の
位置を検出する手段をもたないため、運転の開始時や、
運転途中で不意に停電等が生じた場合、ボールねじ軸８
がどの位置に停止しているのか不明な状態になる。 【００２４】この場合、ねじ軸８を原点に戻した後、運
転を再開する必要があるが、ねじ軸を原点と異なる方向
に移動させて、前後端のどちらかのリミットセンサを作
動させると、駆動部３が停止し、自動運転をストップさ
せる不具合がある。 【００２５】このため、次のような方法で原点出しを行
なう。先ず、ボールねじ軸８を自動又は手動によって前
進端又は後退端のいずれか一方のリミットセンサ２１、
２３が作動するまで移動させ、図６の（イ）又は（ロ）
に示すような移動限界信号としてのリミット信号が出た
後、次に駆動部３に逆方向への動きの指令を与えて、原
点用センサ２２が原点センサ進入点に達して作動するま
でボールねじ軸８を移動させる。同図（ハ）、（ニ）に
示すように、原点用センサ２２の作動により、原点接近
信号Ｂが出力された後、最初にフォトセンサ２６からス
リット孔検出に基づくパルス信号Ｃが出力された時点で
ねじ軸８を停止させる。このフォトセンサ２６の検出位
置は、予め正確に原点位置Ａに一致させてあるため、ボ
ールねじ軸８は高い精度で確実に原点に位置決めされる
ことになる。 【００２６】なお、上記の作用は、ボールねじ軸の反対
方向からの原点への移動、すなわち図６の（ハ）におい
て、右側からの移動に対しても同様に行なうことができ
る。 【００２７】また、上記の実施例では、ナットを静止回
転部材とし、ボールねじ軸を直線作動部材とする構造と
したが、ボールねじ軸を駆動部に連結して静止回転部材
とし、ナットを直線作動部材とする構造としても、全く
同様にこの考案を実施することができる。 【００２８】 【効果】以上のように、この考案は、直線作動部材の移
動ストロークの限界位置と原点を決めるリミットセンサ
の検出誤差を、静止回転部材に連結した回転板の半径方
向のスリット孔を検出するフォトセンサの検出信号で補
正するようにしたので、原点に対する移動方向に関係な
く正確な原点出しを行なうことができ、常に高精度な移
動と位置決めが実現できる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例のボールねじ軸装置を示す横断平面図
【図２】同上の側面図
【図３】図１のIII −III 線に沿った断面図
【図４】図３のIV−IV線に沿った断面図
【図５】ａは回転板の正面図、ｂはその縦断側面図
【図６】各センサの検出信号を示す図
【図７】従来例を示す横断平面図
【符号の説明】
１ ボールねじ軸側面図
３ 駆動部
５ 外筒
６ カップリング
７ ボールナット
８ ボールねじ軸
２０ 検出子
２１、２２、２３ リミットセンサ
２４ 回転板
２５ スリット孔
２６ フォトセンサ
Claims (1)
- (57)【実用新案登録請求の範囲】互いに 係合するボールねじ軸とボールナットの一方を静
止回転部材、他方を直線作動部材と定め、上記静止回転
部材に駆動部により回転力を与え、上記直線作動部材に
検出子を取付け、その検出子の接近を検出して上記直線
作動部材の移動限界信号と原点接近信号とを出力するリ
ミットセンサを所要の固定部材に設けたボールねじ軸装
置において、上記静止回転部材に半径方向 のスリット孔を有する回転
板を連結し、その回転板のスリット孔を検出するフォト
センサを上記の固定部材に設け、上記フォトセンサの位
置を、該フォトセンサによる検出信号のうちの１つの検
出信号が上記直線作動部材の原点位置と一致するように
設定し、前記リミットセンサによる原点接近信号がオン
となったのち、上記フォトセンサによる最初のスリット
孔検出信号がオンとなった時点をもって上記直線作動部
材の原点位置とすることを特徴とするボールねじ軸装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991040487U JP2586705Y2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | ボールねじ軸装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1991040487U JP2586705Y2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | ボールねじ軸装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04133053U JPH04133053U (ja) | 1992-12-10 |
| JP2586705Y2 true JP2586705Y2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=31921517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1991040487U Expired - Fee Related JP2586705Y2 (ja) | 1991-05-31 | 1991-05-31 | ボールねじ軸装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2586705Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5310434B2 (ja) * | 2009-09-18 | 2013-10-09 | 株式会社島津製作所 | ボールネジを用いた送液装置及び分析装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60260808A (ja) * | 1984-06-08 | 1985-12-24 | Yamatake Honeywell Co Ltd | ボ−ルねじエンコ−ダ− |
| JPS61149463A (ja) * | 1984-12-25 | 1986-07-08 | Hitachi Zosen Corp | 高温構造用耐熱鋼 |
-
1991
- 1991-05-31 JP JP1991040487U patent/JP2586705Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002341076A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-27 | Nippon Thompson Co Ltd | 角度調整テーブル装置 |
| JP4560235B2 (ja) * | 2001-05-16 | 2010-10-13 | 日本トムソン株式会社 | 角度調整テーブル装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04133053U (ja) | 1992-12-10 |
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