JPS606296B2 - 光フアイバ素材の製造方法 - Google Patents
光フアイバ素材の製造方法Info
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- JPS606296B2 JPS606296B2 JP9713078A JP9713078A JPS606296B2 JP S606296 B2 JPS606296 B2 JP S606296B2 JP 9713078 A JP9713078 A JP 9713078A JP 9713078 A JP9713078 A JP 9713078A JP S606296 B2 JPS606296 B2 JP S606296B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
- C03B37/01876—Means for heating tubes or rods during or immediately prior to deposition, e.g. electric resistance heaters
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は内付CVD法により低損失な光フアィバ用素材
を製造する方法に関するものである。
を製造する方法に関するものである。
内付けCVD法は「周知のように、反応ガスを石英管中
に流し、これを管の外側から加熱して反応させ、できた
ガラス層を管の内壁上にたし、積させる方法で、不純物
の混入がなく、均一性の良いフアィバ母材が得られる方
法として知られている。しかし〜 この方法においても
反応ガスを供給する配管系あるいは出発母材であり反応
管となる石英パイプの内側表面に吸着している水分がフ
アィバ素材に取り込まれ光通信に用いる光波長域で大き
な伝送損失をもたらす。因みに0.95山肌の波長で水
分1胸当り1.2母B′物、1.39r肌の波長で水分
1脚当り50船/物の吸収損失を引き起こす。
に流し、これを管の外側から加熱して反応させ、できた
ガラス層を管の内壁上にたし、積させる方法で、不純物
の混入がなく、均一性の良いフアィバ母材が得られる方
法として知られている。しかし〜 この方法においても
反応ガスを供給する配管系あるいは出発母材であり反応
管となる石英パイプの内側表面に吸着している水分がフ
アィバ素材に取り込まれ光通信に用いる光波長域で大き
な伝送損失をもたらす。因みに0.95山肌の波長で水
分1胸当り1.2母B′物、1.39r肌の波長で水分
1脚当り50船/物の吸収損失を引き起こす。
従って低損失な光フアイバ用素材を得るには配管系内及
び石英パイプ内に吸着している水分を完全にしかも安定
に除去する必要がある。
び石英パイプ内に吸着している水分を完全にしかも安定
に除去する必要がある。
本発明は、SIC14、QC14、BBr3、BC13
、POC13、PC13、PC15、GaC13、As
C13、SbC13、S比15、SのCI、AIC13
、TIC14等の金属ハロゲン化合物が室温で水分と容
易に式SIC14十2LO→Si02十岬CIで示され
る加水分解反応を起こすことに注目し「ガラス層を堆積
させる前に加熱源で加熱することなく石英パイプ内に送
り込み水分を除去する方法である。
、POC13、PC13、PC15、GaC13、As
C13、SbC13、S比15、SのCI、AIC13
、TIC14等の金属ハロゲン化合物が室温で水分と容
易に式SIC14十2LO→Si02十岬CIで示され
る加水分解反応を起こすことに注目し「ガラス層を堆積
させる前に加熱源で加熱することなく石英パイプ内に送
り込み水分を除去する方法である。
この反応により生ずる塩化水素は、さらにN2、Aで、
He等の不活性ガスを導入することにより配管系及び石
英パイプ内から除去される。
He等の不活性ガスを導入することにより配管系及び石
英パイプ内から除去される。
目的から考えて不活性ガスの代りに02ガスでもよいこ
とは明らかである。また塩化水素が一部管内表面に吸着
することは考えられるが、塩化水素の状態では反応部に
送り込まれても塩素の方が取り込まれ易いため、OH基
が生成されず、光通信に用いられる光波長城では吸収は
生じない。
とは明らかである。また塩化水素が一部管内表面に吸着
することは考えられるが、塩化水素の状態では反応部に
送り込まれても塩素の方が取り込まれ易いため、OH基
が生成されず、光通信に用いられる光波長城では吸収は
生じない。
金属ハロゲン化合物としては通常の内付CVD法に反応
ガスとして用いられるものが装置的には有利であるが、
本発明の目的から明らかなように100qo以下で加水
分解を起こすものであれば特に反応ガスに制限されるも
のではない。以下に実施例を示す。02ガス1.5ク′
minを20qoに保ったSIC14内に送り込み泡立
せ、SIC14と02ガスを外径20肋ふ長さ100仇
柵の石英パイプ内に10分間送り込み吸着水分を除去し
たのち石英パイプ内をN2ガスで置換処理した。
ガスとして用いられるものが装置的には有利であるが、
本発明の目的から明らかなように100qo以下で加水
分解を起こすものであれば特に反応ガスに制限されるも
のではない。以下に実施例を示す。02ガス1.5ク′
minを20qoに保ったSIC14内に送り込み泡立
せ、SIC14と02ガスを外径20肋ふ長さ100仇
柵の石英パイプ内に10分間送り込み吸着水分を除去し
たのち石英パイプ内をN2ガスで置換処理した。
次にクラッド層を形成するためにSICWoocc′m
in、BBr320cc′min「021.0ぞ′mi
nを石英パイプ内に送り込み、酸水素炎で1100午0
(光高温により測定)に加熱することによりSi02m
B203ガラス膜を堆積させた。
in、BBr320cc′min「021.0ぞ′mi
nを石英パイプ内に送り込み、酸水素炎で1100午0
(光高温により測定)に加熱することによりSi02m
B203ガラス膜を堆積させた。
さらにコア層を形成するためにSICl490cc′m
in、QCl415cc′min、Poq36cc′m
in、020.95そ′minを管内へ送り込みli5
0午○(光高温計で測定)に加熱してSj02‐P24
‐蛇02ガラス膜を堆積させた。このようにして得られ
た管状素材を酸水素炎による加熱温度を1900℃(光
高温計で測定)に上げることにより中美化して光フアイ
バ用素材ロッドを得た。このロッドを紙糸して伝送損失
を評価したところ0.95〆仇の光波長で0.1dB′
物「水分の含有量にして0.0鱗岬であった。
in、QCl415cc′min、Poq36cc′m
in、020.95そ′minを管内へ送り込みli5
0午○(光高温計で測定)に加熱してSj02‐P24
‐蛇02ガラス膜を堆積させた。このようにして得られ
た管状素材を酸水素炎による加熱温度を1900℃(光
高温計で測定)に上げることにより中美化して光フアイ
バ用素材ロッドを得た。このロッドを紙糸して伝送損失
を評価したところ0.95〆仇の光波長で0.1dB′
物「水分の含有量にして0.0鱗岬であった。
第1図には本発明により製造された光フアイバと従来品
との比較を示す。これから明らかなようにこの発明によ
り非常に低損失な光フアィバが得られる。
との比較を示す。これから明らかなようにこの発明によ
り非常に低損失な光フアィバが得られる。
第1図はこの発明の方法で処理した光フアィバと従来法
による光フアィバの伝送損失波長特性を示す。 カー図
による光フアィバの伝送損失波長特性を示す。 カー図
Claims (1)
- 1 反応ガスを石英パイプ内に送り込み外部から加熱し
てパイプの内面にガラス膜を堆積させて光フアイバ素材
を形成せしめる方法において、反応ガスを石英パイプ内
に送る前に室温で金属ハロゲン化合物を送りこみ、次い
で不活性ガスで置換し配管系及び石英パイプ内に吸着し
ている水分を除去する工程を付加したことを特徴とする
光フアイバ素材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9713078A JPS606296B2 (ja) | 1978-08-08 | 1978-08-08 | 光フアイバ素材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9713078A JPS606296B2 (ja) | 1978-08-08 | 1978-08-08 | 光フアイバ素材の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5523080A JPS5523080A (en) | 1980-02-19 |
| JPS606296B2 true JPS606296B2 (ja) | 1985-02-16 |
Family
ID=14183975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9713078A Expired JPS606296B2 (ja) | 1978-08-08 | 1978-08-08 | 光フアイバ素材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS606296B2 (ja) |
-
1978
- 1978-08-08 JP JP9713078A patent/JPS606296B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5523080A (en) | 1980-02-19 |
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