JPS6060043B2 - 光半導体パッケ−ジ - Google Patents

光半導体パッケ−ジ

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JPS6060043B2
JPS6060043B2 JP54014471A JP1447179A JPS6060043B2 JP S6060043 B2 JPS6060043 B2 JP S6060043B2 JP 54014471 A JP54014471 A JP 54014471A JP 1447179 A JP1447179 A JP 1447179A JP S6060043 B2 JPS6060043 B2 JP S6060043B2
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optical semiconductor
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    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
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    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
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    • GPHYSICS
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光導入用もしくは光導出用の光ファイバを
貫通させたキャップを備える光半導体パッケージに関す
る。
従来、光通信用等に使用されている光半導体装置のパ
ッケージ、特に受光又は発光ダイオード用パッケージと
しては第1図に示す如き光ファイバ付パッケージが知ら
れている。
同図に於て1は端子とパッケージ間を絶縁するために設
けられた両面金(Au)メッキの酸化ヘリウム(BeO
)板であり、この絶縁板1上に発光ダイオードチップ2
がダイボンドされている。絶縁板1はステム3の主面上
にマウントされ、またチップ2のカソード側のボンディ
ングパッド部はワイヤ4を介して外部リード5と電気的
に接続され、さらにアノード側のボンディング面である
絶縁板1の主面のボンディングパッドはワイヤ6を介し
て外部リード7と電気的に接続されている。そしてチッ
プ2、ワイヤ4、6及びコバール等から成る外部リード
5、7等は光ファイバ付金属キャップ8で保護されてい
る。該金属キャップ8は、予めその中央部を貫通する開
孔(貫通孔)9が設けられ、この開孔9から光ファイバ
10を導入し、開孔9に封着用樹脂11を充填して光フ
ァイバ10を開孔9の中心位置に固定してまず光ファイ
バ付金属キャップとされる。しかる後、該光ファイバ付
金属キャップ8と前記ステム3とが溶接され当該光半導
体装置が構成される。この時チップ2の主面と光ファイ
バ10のチップ側端面との距離は、封止された状態で所
望の結合効率となるように予め設計されており、又、チ
ップ2の光軸と光ファイバ10の光軸とが、ほぼ一致す
るよう位置決めされることはもちろんである。光ファイ
バ10のキャップ’外への突出長は1α程度で、この後
にコネクタを介して長い光ケーブルを接続して使用する
。 キャップ8の開孔9の光ファイバ10を貫通させる
ためのものであるから、本来開孔9の内径は光ファイバ
10の外径に一致していればよい。し・かしながら、実
際には光ファイバ10を導入する作業性の点から、開孔
9の内径を比較的ファイバ径より大とする。このため前
述した固着かつ気密用の樹脂11が必要となるが、従来
はその接着強度、温度特性、不純ガス放出を回避し得る
清浄性等に主眼がおかれていて、その光透過性について
は特に考慮されていなかつた。この点を第2図を参照し
て説明する。同図は、第1図の発光ダイオードの製造試
験工程でファイバ端12の光出力を検査する様子を示し
たものである。発光ダイオードチップ2は電源13で順
方向にバイアスされ、一定電流値に於けるファイバ端1
2からの光14(実線矢印)が較正された受光ダイオー
ド15で受光される。そして、ダイオード15の光電流
を抵抗で電圧に直し、デジタル電圧計で測定し、光ファ
イバ10の光出力に変換しているが、この場合金属キャ
ップ8と光ファイバ10の隙間から、チップ2の放射光
16(波線矢印)が樹脂11を透過して受光ダイオード
15に入射するため、ファイバ端光出力14のみを正確
に試験することができず、測定結果は実効的なファイバ
端出力より多めになつてしまう。そこで、本発明は発光
ダイオードチップから光ファイバに入らすに、樹脂部を
直接通過して出てくる光パワー成分を極度に減すること
により、正確なファイバ端出力を測定できるようにした
光半導体パッケージを提供しようとするものである。
以下、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。第
3図は本発明の一実施例を示す断面図であり、第1図と
同一部分には同一符号を付してある。第3図の光半導体
パッケージは、構造的には第1図と同様であるが、キャ
ップ8の開孔9に充.填される封着用樹脂17の成分が
第1図のものとは異なる。即ち、樹脂17には、発光ダ
イオードチップ2の発光波長に於ける光吸収係数が大な
る物質を用いてある。例えば、発光波長λ=0.82μ
mの光を放射する発光ダイオードに対しては、こ!の波
長で光を吸収する物質を大量に含んだ例えば黒色のエポ
キシ系樹脂を用いる。このような樹脂17を使つたパッ
ケージに於ても、金属キャップ8と光ファイバ10との
隙間の樹脂部に発光ダイオードチップ2からの放射光や
パッケージ内面で(の反射光が入射することに変わりは
ないが、樹脂17が発光波長域の光に対する吸収係数が
大なる物質であるため、入射光はこの中でほとんど吸収
される。従つて、樹脂端18から出てくる光パワー成分
(第2図の光16に相当)はファイバ10から出てくる
光パワー成分(第2図の光14に相当)に比べてほとん
ど無視でき、第2図の試験方法で正確なファイバ端光出
力を測定することができる。第4図は吸収係数の異なる
前述した2種類の樹脂11,17で各々ファイバ10を
封止したパッケージのファイバ端光出力測定値を比較し
たものである。
測定は各樹脂11,17を用いた多数のj製品について
行なわれたもので、横軸を光出力測定値(任意目盛、正
規化してある)、縦軸をその個数としてある。測定値は
各製品毎にチップ2と光ファイバ10の中心位置のわず
かな偏位に起因して多少の偏差はあるが、概ね正規化さ
れた目盛1,2を中心とした2つの群1,■に分布する
。群1は吸収係数の大なる樹脂17を用いた本発明の特
性てあり、群■は吸収係数の小なる樹脂11を用いた第
1図の特性である。群■では出力の大きい製品個数が多
く、群1ではこれが少ない。第4図では発光ダイオード
チップ2の発光量は等しいようにしてあるので、群1で
示される本発明の光出力測定値と群■て示される従来の
光出力測定値との差は樹脂部を透過する漏洩光出力の差
であることが窺える。そして、本発明では樹脂17を透
過する光パワー成分を無視できるので、第4図の特性差
は樹脂11を通過した光量を示すと言える。封着用樹脂
17はまた光ファイバ10との関係でその屈折率が問題
となるものてある。
これを第5図を参照して説明する。発光ダイオードチッ
プ2からステップインデックス形の光ファイバ10へ入
射した光のうち、伝送に有効な光パワー成分は、光ファ
イバ10の開口数NAで規定される入射臨界角θ。より
小さい角度で入射するものである。この入射臨界角θ。
はで表わされる。
ここで、n1は光ファイバ10のコア層10aの屈折率
であり、またτは光ファイバ10のクラッド層10bの
屈折率である。今、00より大きい角度θで入射した光
線の軌跡を考えてみる。媒質の配置は第3図の場合の構
造を規定し、樹脂17の屈折率は〜とする。又、コア1
0aの径をd1、光ファイバ10の樹脂封着されている
部分の全長をlとすると、現実的にはI??d1である
のでこの場合を対象とする。各媒質の境界ではスネルの
屈折法則が成立することを考慮すると、入射角θで〜〈
jの場合にはチップ2から光ファイバ10への入射光線
の軌跡(破線矢印)は第5図aとなり、逆に〜〉jの場
合の入射光線の軌跡(破線矢印)は第5図bとなる。N
2くN3の場合は臨界角θ。より大きな角度0で入射し
た光は、樹脂−クラッド界面18で全反射せず、第5図
aのように樹脂17内へ屈折して進入することにより樹
脂17で吸収される。ファイバ端12からの光出力の実
測値は伝送に有効な実効光パワーであるのが望ましい。
この伝送に有効な光はコア10aを直進するもの及びコ
ア−クラッド界面19で全反射しながら進行する光であ
つて、クラッドー樹脂間の界面18で反射する光はコネ
クタに接続された伝送路光ファイバのクラッド層と一次
皮覆層との間において損失となつてしまう。しかるに丁
〉〜の場合は、臨界角θ。より大きな角度θで光ファイ
バ10へ入射した光も第5図bのように樹脂−クラッド
界面18で全反射しながら進行するのでファイバ端12
の光出力の実測値はこの伝送に無効な光パワー成分(ク
ラッドモード成分)も含むことになるので好ましくない
。尚、この無効光パワー成分の割合はコア径d1が発光
部径仇より大きければ、1コアの径が一定の場合には発
光部の径が大なる程、また2発光部の径が一定の場合に
はコア径が小なる程大きくなる。従つて、第3図の樹脂
17は先ず発光ダイオードチップ2からの発光波長に対
し充分なる光吸収性が要求されるが、さらにその屈折率
へを光ファイバ10のクラッド層10bの屈折率fより
大に選定することで伝送に無効な光パワー成分を樹脂1
7で除去することができ、従つて光ファイバ10からは
伝送に有効な光パワー成分のみを取り出すことができる
利点がある。
尚、第1図の樹脂11も第3図の樹脂17も共にエポキ
シ系であり、厳密にはその成分差により上記の相違をも
たらすが、外観上は光吸収係数の小なる樹脂11は茶色
を呈するのに対し、光吸収係数の大なる樹脂17は黒色
を呈するので、これで区別して使用してよい。
但し、これはあくまで外形上のことであり、基本的には
前述した要件を満たす樹脂であればその種類は限定され
ない。以上述べた本発明の光半導体パッケージであれば
、光ファイバ以外からの漏洩光出力を極力低減すること
ができるので、ファイバ端光出力の測定を正確に行なう
ことができる。また、封着用樹脂の屈折率を選定するこ
とにより、ファイバ端光出力を伝送に有効な光パワー成
分のみとすることが可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の光ファイバ付光半導体パッケージを示す
断面図、第2図は光ファイバ端の光出力測定試験の模式
図、第3図は本発明の一実施例を示す断面図、第4図は
第1図および第3図のパッケージによるファイバ端光出
力の測定値を対比して示す特性図、第5図A,bは異な
る屈折率の樹脂に隣接した光ファイバへ入射した光の軌
跡を示す模式図である。 図中、2は発光ダイオードチップ、8はキヤツ・プ、9
は開孔(貫通孔)、10は光ファイバ、10bはクラッ
ド層、17は封着用樹脂である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 光半導体装置の外囲を覆うパッケージのキャップに
    貫通孔を設け、該貫通孔に光ファイバを通してその先端
    を該光半導体装置に近接対向させかつ後端を該キャップ
    から所定長突出させると共に、該光半導体装置が発、受
    光する光の波長での吸収係数が大なる黒色封着用樹脂を
    該貫通孔に充填して光ファイバを固着してなることを特
    徴とする光半導体パッケージ。 2 封着用樹脂は光ファイバのクラッド層より屈折率の
    大なる物質であることを特徴とする特許請求の範囲第1
    項記載の光半導体パッケージ。
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