JPS6059507A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPS6059507A JPS6059507A JP16509383A JP16509383A JPS6059507A JP S6059507 A JPS6059507 A JP S6059507A JP 16509383 A JP16509383 A JP 16509383A JP 16509383 A JP16509383 A JP 16509383A JP S6059507 A JPS6059507 A JP S6059507A
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- Japan
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(’tk術分!′f)
本発明は、VTR等の磁気記録再生装置に用いて好適な
磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。
(背景技術)
第1図に従来の磁気へ・ンドの一例を斜視図で示す。こ
の磁気ヘッドは、コアlが単一の磁性材料、例えばフェ
ライトのみから成り、磁気記録媒体(図示せず)と対向
する側にギャップ2が設けられると共に図に示すように
コイル3が巻回されて構成されている。またコアlの厚
さははCトラックの幅と等しくなっている。一般にフェ
ライトは透磁率は大きく高周波に対する損失は少ないが
、飽和磁束密度は小さい性質を有する。
の磁気ヘッドは、コアlが単一の磁性材料、例えばフェ
ライトのみから成り、磁気記録媒体(図示せず)と対向
する側にギャップ2が設けられると共に図に示すように
コイル3が巻回されて構成されている。またコアlの厚
さははCトラックの幅と等しくなっている。一般にフェ
ライトは透磁率は大きく高周波に対する損失は少ないが
、飽和磁束密度は小さい性質を有する。
ところで最近の磁気記録媒体は抗磁力が大きくなってい
るので、」−記のようなフェライトコアから成る磁気ヘ
ッドを使用した場合、飽和磁束密度が小さいことから磁
気記録媒体が十分に磁化される前に磁気ヘッドが飽和し
てしまいそれ以上磁束がでなくなってしまう欠点があっ
た。また一般にフェライト以外の飽和磁束密度の大きい
材料を使用すると、高周波に対する損失が大きくなって
しまう。
るので、」−記のようなフェライトコアから成る磁気ヘ
ッドを使用した場合、飽和磁束密度が小さいことから磁
気記録媒体が十分に磁化される前に磁気ヘッドが飽和し
てしまいそれ以上磁束がでなくなってしまう欠点があっ
た。また一般にフェライト以外の飽和磁束密度の大きい
材料を使用すると、高周波に対する損失が大きくなって
しまう。
(発明の課1/fi )
本発明は1.述の如き欠点を解決するためになされたも
のであって、高周波に対する損失の少ない第1の磁性部
材と飽和磁束密度の大きい第2の磁性部材を複合してコ
アを構成することにより、電磁変換特性に優れ、媒体摺
動性、走行性、耐久性の良好な磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
のであって、高周波に対する損失の少ない第1の磁性部
材と飽和磁束密度の大きい第2の磁性部材を複合してコ
アを構成することにより、電磁変換特性に優れ、媒体摺
動性、走行性、耐久性の良好な磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とする。
(発明の構成および作用)
以下本発明を図面に基づいて詳細に説明する。
第2図(A)〜(C)は本発明による磁気ヘッドの一実
施例を示す図で、第2図(A)は平面図、第2図(B)
は正面図、第2図(C)は第2図(A) (7)X−X
′線断面図である。これらの図において、llaおよび
Ilbは第1の磁性部材、12aおよび12bは第2の
磁性部材、13aおよび13bは非磁性部材、14は前
部ギャップ、15は後部ギャップ、16はコイル、17
aおよび+7hはC字状溝、18は媒体対向面である。
施例を示す図で、第2図(A)は平面図、第2図(B)
は正面図、第2図(C)は第2図(A) (7)X−X
′線断面図である。これらの図において、llaおよび
Ilbは第1の磁性部材、12aおよび12bは第2の
磁性部材、13aおよび13bは非磁性部材、14は前
部ギャップ、15は後部ギャップ、16はコイル、17
aおよび+7hはC字状溝、18は媒体対向面である。
本実施例の磁気ヘッドは、ギャップ接合面に関して対称
に構成されている。第1の磁性部材11a(llb)は
、直方体状ブロックの一面のはぐ中央に長手方向(ギャ
ップ接合面と平行)に沿って延びる凸状部11a’ (
llb’ )を有する形状となっている。
に構成されている。第1の磁性部材11a(llb)は
、直方体状ブロックの一面のはぐ中央に長手方向(ギャ
ップ接合面と平行)に沿って延びる凸状部11a’ (
llb’ )を有する形状となっている。
この凸状部!1a’ (llb’ )は媒体対向面18
から後部キャップ15のある面まで延びている。凸状部
+1a’ (llb’)の頂面にはこれと同幅の細長い
直方体状の第2の磁性部材12a(12b)が設けられ
、凸状部+1a’ (llb’ )と第2の磁性部材+
2a(+2b)を両側方から図に示すように非磁性部材
13a(13b)かはさんだ形となっている。なお、第
1の磁性部材11a(llb)の凸状部11a’ (l
lb’)と第2の磁性部材12a(12b)の幅ははC
トラック幅と等しくなるように決定されている。また、
第1の磁性部材11a(llb) 、第2の磁性部材1
2a(12b)及び非磁性部材+3a(13b)から成
るはC直方体状の組立体(第2図(A)〜(C)の左半
分(右半分))にはC字状溝17a(17b)がコアの
厚み方向に図示の如く形成されている。このような一対
の組立体を、C字状溝!7a。
から後部キャップ15のある面まで延びている。凸状部
+1a’ (llb’)の頂面にはこれと同幅の細長い
直方体状の第2の磁性部材12a(12b)が設けられ
、凸状部+1a’ (llb’ )と第2の磁性部材+
2a(+2b)を両側方から図に示すように非磁性部材
13a(13b)かはさんだ形となっている。なお、第
1の磁性部材11a(llb)の凸状部11a’ (l
lb’)と第2の磁性部材12a(12b)の幅ははC
トラック幅と等しくなるように決定されている。また、
第1の磁性部材11a(llb) 、第2の磁性部材1
2a(12b)及び非磁性部材+3a(13b)から成
るはC直方体状の組立体(第2図(A)〜(C)の左半
分(右半分))にはC字状溝17a(17b)がコアの
厚み方向に図示の如く形成されている。このような一対
の組立体を、C字状溝!7a。
38
+7bが形成されている側の面が相対向するようにし、
かつ、両面の間にギャップ部材(図示せず)をはSんで
接合させることによりコアが形成されている。
かつ、両面の間にギャップ部材(図示せず)をはSんで
接合させることによりコアが形成されている。
このコアにコイル16を巻回して本実施例の磁気ヘッド
が構成されている。コアの媒体に対向する側の面18は
丸味を帯びた形状になるように研磨等により加「されて
いる。
が構成されている。コアの媒体に対向する側の面18は
丸味を帯びた形状になるように研磨等により加「されて
いる。
本実施例にJ3いて使用される第1の磁性部材11a
、llbは、高周波におけるコア損失が小さい等の磁気
特性が優れ、加工性が良いものが好ましく、例えば酸化
物ではフェライト、金属ではセンダストを挙げることが
できる。もちろん上記の性質を満足するその他各種磁性
材料が使用可能である。第2の磁性部材12a 、 1
2bとしては各種磁性材料の使用が考えられるが、本発
明が磁性材料を複合させてコアを構成し磁気ヘッドの性
能を向上させることを目的とするので、飽和磁束密度が
大きく、高周波においても高い透磁率を有し、媒体摺動
にあったては冶動特性、耐久性、耐食性に優れているこ
とが望ましい。これらの性質を満足するものとしてアモ
ルファス磁性体の使用が最適である。アモルファス磁性
体は例えばシート状のものを1枚あるいは複数枚重ねて
使用しても良いり、物理的、化学的薄膜作成法等を用い
て形成させることもできる。また非磁性部材13a 、
13bは磁気ヘッド完成後にトラックと共に媒体対向
面18を形成するので、摺動特性に優れ、ゴミ等の付着
が少ない性質のものが好ましい。従って非磁性部材13
a 、 +3bとしては、各種ガラス、セラミック、非
磁性金属材料等を挙げることができる。
、llbは、高周波におけるコア損失が小さい等の磁気
特性が優れ、加工性が良いものが好ましく、例えば酸化
物ではフェライト、金属ではセンダストを挙げることが
できる。もちろん上記の性質を満足するその他各種磁性
材料が使用可能である。第2の磁性部材12a 、 1
2bとしては各種磁性材料の使用が考えられるが、本発
明が磁性材料を複合させてコアを構成し磁気ヘッドの性
能を向上させることを目的とするので、飽和磁束密度が
大きく、高周波においても高い透磁率を有し、媒体摺動
にあったては冶動特性、耐久性、耐食性に優れているこ
とが望ましい。これらの性質を満足するものとしてアモ
ルファス磁性体の使用が最適である。アモルファス磁性
体は例えばシート状のものを1枚あるいは複数枚重ねて
使用しても良いり、物理的、化学的薄膜作成法等を用い
て形成させることもできる。また非磁性部材13a 、
13bは磁気ヘッド完成後にトラックと共に媒体対向
面18を形成するので、摺動特性に優れ、ゴミ等の付着
が少ない性質のものが好ましい。従って非磁性部材13
a 、 +3bとしては、各種ガラス、セラミック、非
磁性金属材料等を挙げることができる。
以」―の如く構成された本実施例の磁気ヘッドにおいて
は、フェライト、センダストのごとき高周波におけるコ
ア損失が小さい第1の磁性部材と、アモルファス磁性体
のごとき飽和磁束密度が大きく、摺動特性、耐久性、耐
食性に優れた第2の磁性部材を複合してコアを構成し、
ギャップ接合部において対向する部材は第2の磁性部材
としたので、第1図に示すごとき従来の磁気ヘッドと比
べて、電磁変換特性、走行性、摺動特性、耐食性等を向
1.させることができ、第1図に示すごとき従来の磁気
ヘッドが有していた欠点を解消することができる。また
前部ギャップ部においては第2の磁性部材から成るトラ
ックをその両側から摺動特性が優れ、ゴミ等が付着しに
くい非磁性部材がはさみ込んでいるので、走行性、摺動
特性がより一層良好なものとなる。
は、フェライト、センダストのごとき高周波におけるコ
ア損失が小さい第1の磁性部材と、アモルファス磁性体
のごとき飽和磁束密度が大きく、摺動特性、耐久性、耐
食性に優れた第2の磁性部材を複合してコアを構成し、
ギャップ接合部において対向する部材は第2の磁性部材
としたので、第1図に示すごとき従来の磁気ヘッドと比
べて、電磁変換特性、走行性、摺動特性、耐食性等を向
1.させることができ、第1図に示すごとき従来の磁気
ヘッドが有していた欠点を解消することができる。また
前部ギャップ部においては第2の磁性部材から成るトラ
ックをその両側から摺動特性が優れ、ゴミ等が付着しに
くい非磁性部材がはさみ込んでいるので、走行性、摺動
特性がより一層良好なものとなる。
次に、本実施例の磁気ヘッドの製造方法を第3図(A)
〜(I)を参照して説明する。
〜(I)を参照して説明する。
先ず、第3図(A)に示すようなはぐ直方体状ブロック
をなす第1の磁性部材21を準備する。そして第1の磁
性部材21の一面から所定の幅と深さの第1のコ字状溝
22を第3図(B)に示すように所定の間隔で加工形成
する。このようにしてできた被加工物は厚さの比較的大
きいくしの如き形状をしている。次に第1のコ字状溝2
2を第3図(C)に示すように非磁性部材23で埋める
。この埋込み方法としては、物理的、化学的薄膜作成法
、あるいはメッキ、溶かし込み、接着等の方法が用いら
れる。次に第3図(B)でくし刃に相当する部分を第3
図(D)のように加工成形し、第2のコ字状溝24を形
成する。第2のコ字状溝24の深さは第1のコ字状溝2
2より少し浅くなっており、幅は完成後の磁気ヘッドの
トラック幅とはζ同じになるように決定される。そして
第3図(E)に示すように次の段階では第2のコ字状溝
24を第2の磁性部材25で埋める。この埋込み方法と
しては、物理的、化学的薄膜作成法、あるいはメッキ、
場合によっては溶かし込み、接着等を用いることができ
る。なお、第2の磁性部材25としてシート状のアモル
ファス磁性体を用いるときには1枚あるいは数枚重ねで
挿着しても良い。更に、第3図(E)のように構成され
たブロック状体に第3図(F)に示すようなC字状yj
2Bを第2の磁性部材24の配列方向に加工成形する。
をなす第1の磁性部材21を準備する。そして第1の磁
性部材21の一面から所定の幅と深さの第1のコ字状溝
22を第3図(B)に示すように所定の間隔で加工形成
する。このようにしてできた被加工物は厚さの比較的大
きいくしの如き形状をしている。次に第1のコ字状溝2
2を第3図(C)に示すように非磁性部材23で埋める
。この埋込み方法としては、物理的、化学的薄膜作成法
、あるいはメッキ、溶かし込み、接着等の方法が用いら
れる。次に第3図(B)でくし刃に相当する部分を第3
図(D)のように加工成形し、第2のコ字状溝24を形
成する。第2のコ字状溝24の深さは第1のコ字状溝2
2より少し浅くなっており、幅は完成後の磁気ヘッドの
トラック幅とはζ同じになるように決定される。そして
第3図(E)に示すように次の段階では第2のコ字状溝
24を第2の磁性部材25で埋める。この埋込み方法と
しては、物理的、化学的薄膜作成法、あるいはメッキ、
場合によっては溶かし込み、接着等を用いることができ
る。なお、第2の磁性部材25としてシート状のアモル
ファス磁性体を用いるときには1枚あるいは数枚重ねで
挿着しても良い。更に、第3図(E)のように構成され
たブロック状体に第3図(F)に示すようなC字状yj
2Bを第2の磁性部材24の配列方向に加工成形する。
このC字状溝28の深さは、例えば第1のコ字状溝22
と第2のコ字状溝24の深さの中間のものとする。以−
Lのようにして第2図(A)〜(C)におけるコアの右
半分に相当する部分が構成される。
と第2のコ字状溝24の深さの中間のものとする。以−
Lのようにして第2図(A)〜(C)におけるコアの右
半分に相当する部分が構成される。
上記と同様な工程により第2図(^)〜(C)において
コアの左計分に相当する部分を構成する。この場合、C
字状溝は−1−記の場合とギャップ接合面に関して対称
に形成される。このように形成された一対のコアハーフ
をC字状溝が形成されている側の面を相対向させて前部
ギャップ部にはギャップ材(図示せず)を間挿して第3
図(G)のごとく接合する。しかる後、第3図(G)の
点線で示す位置でスライスし、第3図(H)に示すよう
に1個のコアとする。このコアの媒体対向面27を研磨
等により丸味を帯びた形状に加工し、コイル28を巻回
して所望の磁気ヘッドを得る。
コアの左計分に相当する部分を構成する。この場合、C
字状溝は−1−記の場合とギャップ接合面に関して対称
に形成される。このように形成された一対のコアハーフ
をC字状溝が形成されている側の面を相対向させて前部
ギャップ部にはギャップ材(図示せず)を間挿して第3
図(G)のごとく接合する。しかる後、第3図(G)の
点線で示す位置でスライスし、第3図(H)に示すよう
に1個のコアとする。このコアの媒体対向面27を研磨
等により丸味を帯びた形状に加工し、コイル28を巻回
して所望の磁気ヘッドを得る。
なお、−1−記の製造工程において、第3図(E)の工
程と第3図(F)の工程を入れかえることも可能である
。このようにするとC字状溝26の内面全体にi2の磁
刊?゛τh材を設けることもiIf能となり、付着強度
が1−がるという利点がある。
程と第3図(F)の工程を入れかえることも可能である
。このようにするとC字状溝26の内面全体にi2の磁
刊?゛τh材を設けることもiIf能となり、付着強度
が1−がるという利点がある。
以上の実施例では、前部および後部ギャップ接合面とも
第2の磁性部材が相対向して接合しているが、本発明に
よれば、どちらか一方のギャップ接合面、例えば前部ギ
ャップ接合面のみを第2の0 磁性部材により構成することもできる。このような構成
にするには第3図(D)のごとき第2のコ字状溝24を
形成する代わりに、第4図に示すように溝の深さがブロ
ックの一端から徐々に浅くなるように溝24を形成し、
その他の工程は前記方法と同様とする。このようにして
磁気ヘッドを構成しても前記実施例と同様な効果を奏す
ることができる。
第2の磁性部材が相対向して接合しているが、本発明に
よれば、どちらか一方のギャップ接合面、例えば前部ギ
ャップ接合面のみを第2の0 磁性部材により構成することもできる。このような構成
にするには第3図(D)のごとき第2のコ字状溝24を
形成する代わりに、第4図に示すように溝の深さがブロ
ックの一端から徐々に浅くなるように溝24を形成し、
その他の工程は前記方法と同様とする。このようにして
磁気ヘッドを構成しても前記実施例と同様な効果を奏す
ることができる。
また、本発明によれば、前部ギャップの近傍においての
み非磁性部材がトラックをはさむ構成とすることも可能
である。このような構成とするには、第3図(B)の工
程に代えて第5図に示すように刺め状の溝22′を形成
し、この溝22′を非磁性部材で埋めれば良い。その他
の工程は前記方法と同様とする。このように構成しても
前記実施例と同様な効果を奏し得る。
み非磁性部材がトラックをはさむ構成とすることも可能
である。このような構成とするには、第3図(B)の工
程に代えて第5図に示すように刺め状の溝22′を形成
し、この溝22′を非磁性部材で埋めれば良い。その他
の工程は前記方法と同様とする。このように構成しても
前記実施例と同様な効果を奏し得る。
更に、本発明によれば、媒体対向面において非磁性部材
がトラックをはさむのではなく、第6図に示すようにト
ラック一層と非磁性部材一層とにより媒体対向面を構成
することもできる。このよ1 うに構成するには第3図(G)のスライスの際、切断位
置を適当に選択すれば良い。この場合も前記実施例と同
様な効果を奏することができる。
がトラックをはさむのではなく、第6図に示すようにト
ラック一層と非磁性部材一層とにより媒体対向面を構成
することもできる。このよ1 うに構成するには第3図(G)のスライスの際、切断位
置を適当に選択すれば良い。この場合も前記実施例と同
様な効果を奏することができる。
(発明の効果)
以1−訂細に説明したように、未発IJ口こよれば、電
磁変換特性が向にし、走行性、耐久性の優れた磁気ヘッ
ドを提供することができる。またこれらの優れた特性を
持つ磁気ヘッドを容易に製造することが0f能となる。
磁変換特性が向にし、走行性、耐久性の優れた磁気ヘッ
ドを提供することができる。またこれらの優れた特性を
持つ磁気ヘッドを容易に製造することが0f能となる。
第1図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図、第2図(A)
〜(C)はそれぞれ本発明の一実施例の磁気ヘッドの平
面図、正面図及び断面図(第2図(A)のx −x’線
断面図)、第3図(A)〜(I)は本発明の一実施例の
磁気ヘッドを製造する工程を示す図、第4図は本発明の
変形例の磁気ヘッドの製造方法を説明するための図、第
5図は本発明の別の変形例の磁気ヘッドの製造方法を説
明するだめの図、第6図は本発明の更に別の変形例の磁
気ヘッドを示す上面図である。 2 11a、Ilb 、 21−−−一第1の磁性部材12
a、 12b 、 25−−−一第2の磁性部材+3a
、 13b 、 23−−−一非磁性部材14−−−前
部ギャップ 18 、28−−−−コイル 特許出願人 ティーディーケイ株式会社 特許出願代理人 弁理士 山木恵− 3 幕3図 竿、3図 襄3図 乳4図 本5 Σ 幕6図 ど−づ
〜(C)はそれぞれ本発明の一実施例の磁気ヘッドの平
面図、正面図及び断面図(第2図(A)のx −x’線
断面図)、第3図(A)〜(I)は本発明の一実施例の
磁気ヘッドを製造する工程を示す図、第4図は本発明の
変形例の磁気ヘッドの製造方法を説明するための図、第
5図は本発明の別の変形例の磁気ヘッドの製造方法を説
明するだめの図、第6図は本発明の更に別の変形例の磁
気ヘッドを示す上面図である。 2 11a、Ilb 、 21−−−一第1の磁性部材12
a、 12b 、 25−−−一第2の磁性部材+3a
、 13b 、 23−−−一非磁性部材14−−−前
部ギャップ 18 、28−−−−コイル 特許出願人 ティーディーケイ株式会社 特許出願代理人 弁理士 山木恵− 3 幕3図 竿、3図 襄3図 乳4図 本5 Σ 幕6図 ど−づ
Claims (5)
- (1)第1及び第2の磁性部材を複合して成るコアを有
し、該コアの少なくとも前部ギャップ部近傍において前
記第2の磁性部材が相対向するごとく接合されl・ラッ
ク主要部となると共に、前記前部ギャップ部近傍におい
て前記第2の磁性部材とこれに接合される前記第1の磁
性部材の一部の少なくとも一側方に非磁性部材が設けら
れていることを特徴とする磁気ヘッド。 - (2)前記第1の磁性部材がフェライトである特許請求
の範囲第1項記載の磁気ヘッド。 - (3)前記第1の磁性部材がセンダストである特許請求
の範囲第1項記載の磁気ヘッド。 - (4)前記第2の磁性部材がアモルファス磁性体である
特許請求の範囲第1項記載の磁気ヘッド。 - (5)第1及び第2の磁性部材を複合して成るコアを有
し、少なくとも前部ギャップ部において前記第2の磁性
部旧が対向するごとく前記コアが形成されるごとき磁気
ヘッドの製造方法であって、(A)はぐ直方体状の前記
第1の磁性部材の一面に所定形状の第1の溝を所定の間
隔で形成する工程と、 (B)前記第1の溝を非磁性部材で埋込む工程と、(C
)前記第1の溝どうしの間に所定形状の第2の溝を形成
する工程と、 (D)前記第2の溝を前記第2の磁性部材で埋込む工程
と、 (E)1−記の工程により構成されたはC直方体状のブ
ロック体のギャップ接合側の面にコアの厚さ方向に延び
る第3の溝を形成する工程と、(F)前記第3の溝が形
成された一対のブロック体を前記第3の溝が形成されて
いる側の面を相対向させて接合し、しかる後に所望のコ
アを切出す工程と、 を具備することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16509383A JPS6059507A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16509383A JPS6059507A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6059507A true JPS6059507A (ja) | 1985-04-05 |
Family
ID=15805750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16509383A Pending JPS6059507A (ja) | 1983-09-09 | 1983-09-09 | 磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6059507A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01148585U (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-16 |
-
1983
- 1983-09-09 JP JP16509383A patent/JPS6059507A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01148585U (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-16 | ||
JPH0633342Y2 (ja) * | 1988-03-31 | 1994-08-31 | ヤマト科学株式会社 | 凍結乾燥装置 |
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