JPS6058757B2 - 5−イソプロピル−1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプト−4−エン - Google Patents
5−イソプロピル−1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプト−4−エンInfo
- Publication number
- JPS6058757B2 JPS6058757B2 JP13120477A JP13120477A JPS6058757B2 JP S6058757 B2 JPS6058757 B2 JP S6058757B2 JP 13120477 A JP13120477 A JP 13120477A JP 13120477 A JP13120477 A JP 13120477A JP S6058757 B2 JPS6058757 B2 JP S6058757B2
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、スペアミント系、ベバーミント系ハツカの強
調剤として使用されるザビネンハイドレート等の有用な
化合物の重要な合成中間体である新規物質5−イソプロ
ピルー1−オキサスピ口〔2.4〕ヘブトー4−エンに
関する。
調剤として使用されるザビネンハイドレート等の有用な
化合物の重要な合成中間体である新規物質5−イソプロ
ピルー1−オキサスピ口〔2.4〕ヘブトー4−エンに
関する。
ザビネンハイドレートを製造する方法は、下記^式に示
すように、3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1
−オン(化学構造式(1))を原料とし、これをエーテ
ル中において水素化アルミニウムリチウムで還元して3
−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オール(化
学構造式(2))を合*OoHOH11ICH212、
1、 ;岸:5よ;〔、〕’・二 /′\、 (1) (2)(3) 従つて上記方法は効率的なものではなく、この*成し、
次いでこれにエーテル中で亜鉛−銅触媒の存在下におい
てヨウ化メチレンを反応させて5−イソプロピルビシク
ロ〔3.1.0〕ヘキサンー2ーオール(化学構造式(
3))を合成した後、これをクロム酸て酸化してザビナ
ケトン(化学構造式(4))を形成し、次いでこれにメ
チルマグネシウムブ寵マイド等のメチルグリニヤール試
薬もしくはメチルリチウム等のメチル金属化物を加えて
反応させてザビネンハイドレート (化学構造式(5)
)を形成する方法である。
すように、3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1
−オン(化学構造式(1))を原料とし、これをエーテ
ル中において水素化アルミニウムリチウムで還元して3
−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オール(化
学構造式(2))を合*OoHOH11ICH212、
1、 ;岸:5よ;〔、〕’・二 /′\、 (1) (2)(3) 従つて上記方法は効率的なものではなく、この*成し、
次いでこれにエーテル中で亜鉛−銅触媒の存在下におい
てヨウ化メチレンを反応させて5−イソプロピルビシク
ロ〔3.1.0〕ヘキサンー2ーオール(化学構造式(
3))を合成した後、これをクロム酸て酸化してザビナ
ケトン(化学構造式(4))を形成し、次いでこれにメ
チルマグネシウムブ寵マイド等のメチルグリニヤール試
薬もしくはメチルリチウム等のメチル金属化物を加えて
反応させてザビネンハイドレート (化学構造式(5)
)を形成する方法である。
〔米国特許第3591643号; W、I。Fanta
atal、、J、Org、Chem、93391656
(1968)〕。しカルながら、この方法では工程数が
比較的多い上、3−イソプロピルー2−シクロペンテン
ー1−オンよりザビナケトンは約57%程度の収率でし
か得られず、その通算の収率は低い。・ii月 、j>
・・て一、■5囲 、、、x、゛1〜♂ ゜”。
atal、、J、Org、Chem、93391656
(1968)〕。しカルながら、この方法では工程数が
比較的多い上、3−イソプロピルー2−シクロペンテン
ー1−オンよりザビナケトンは約57%程度の収率でし
か得られず、その通算の収率は低い。・ii月 、j>
・・て一、■5囲 、、、x、゛1〜♂ ゜”。
(4)(5)
程で、しかも高収率で合成する方法の開発が要望されて
いる。
いる。
本発明者等は上記要望に応えるべく鋭意研究を行つた結
果、新規物質5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2
4〕ヘプトー4−エンを見い出し、この新規物質よりス
ピロ〔5−イソプロピルビシクロ〔3.1.0〕ヘキサ
ンー2,2″−オキシラン〕(以下、ザビネンオキサイ
ドと称する)が生成され、従つて3−イソプロピルー2
−シクロペンテンー1−オンよりわずか3ステップとい
う簡単な工程で、しかも高収率で容易かつ確実にザビネ
ンハイドレートを合成することができ、従つて上記スピ
ロ化合物がザビネンハイドレート等の合成中間体として
有用てあることを知見し、本発明をなすに至つた。
果、新規物質5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2
4〕ヘプトー4−エンを見い出し、この新規物質よりス
ピロ〔5−イソプロピルビシクロ〔3.1.0〕ヘキサ
ンー2,2″−オキシラン〕(以下、ザビネンオキサイ
ドと称する)が生成され、従つて3−イソプロピルー2
−シクロペンテンー1−オンよりわずか3ステップとい
う簡単な工程で、しかも高収率で容易かつ確実にザビネ
ンハイドレートを合成することができ、従つて上記スピ
ロ化合物がザビネンハイドレート等の合成中間体として
有用てあることを知見し、本発明をなすに至つた。
即ち、本発明はザビネンハイドレート等を短工程で、し
かも高収率で合成できる合成中間体として有用である新
規物質5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕
ヘプトー4−エンを提供することを目的とする。
かも高収率で合成できる合成中間体として有用である新
規物質5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕
ヘプトー4−エンを提供することを目的とする。
以下、本発明につき詳しく説明する。
本発明に係わる新規物質は、次の化学構造式(6)で示
される5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕
ヘプトー4−エンである。
される5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕
ヘプトー4−エンである。
本発明の新規物質5−イソプロピルー1−オキサスピロ
〔2.4〕ヘプトー4−エンは、例えば下.記(B)式
に示すように、3−イソプロピルー2−シクロペンテン
ー1−オン(化学構造式(1))を原料とし、これをス
ルホニウムメチリドと所定の溶媒の存在下において反応
させることにより合成される。
〔2.4〕ヘプトー4−エンは、例えば下.記(B)式
に示すように、3−イソプロピルー2−シクロペンテン
ー1−オン(化学構造式(1))を原料とし、これをス
ルホニウムメチリドと所定の溶媒の存在下において反応
させることにより合成される。
本発明に使用されるスルホニウムメチリドは、次の一般
式(7)で示されるメチルスルホニウム塩に塩基を作用
させることによつて得られる。
式(7)で示されるメチルスルホニウム塩に塩基を作用
させることによつて得られる。
但し、(7)式において、Rl,R2はそれぞれメチル
基、t−ブチル基、フェニル基、置換フェニル基、ナフ
チル基、ジエチルアミノ基等であり、これらを任意に組
み合せて使用することができる。また、R3は通常メチ
ル基であるが、その水素基がケイ素、イオウ、ハロゲン
原子(団)等で置換されたメチル基を用いることもでき
る。即ち、本発明においてメチルスルホニウム塩とは、
それぞれ上記(7)式にお・いてR3がメチル基もしく
は置換メチル基てあるものを指す。また、従つてスルホ
ニウムメチリドは一般式 ゝi−ー(′H2て示され
る化合物もし /くはその一τH2基の水素基が
ケイ素、イオウ、ハロゲン原子(団)等で置換された化
合物を指す。
基、t−ブチル基、フェニル基、置換フェニル基、ナフ
チル基、ジエチルアミノ基等であり、これらを任意に組
み合せて使用することができる。また、R3は通常メチ
ル基であるが、その水素基がケイ素、イオウ、ハロゲン
原子(団)等で置換されたメチル基を用いることもでき
る。即ち、本発明においてメチルスルホニウム塩とは、
それぞれ上記(7)式にお・いてR3がメチル基もしく
は置換メチル基てあるものを指す。また、従つてスルホ
ニウムメチリドは一般式 ゝi−ー(′H2て示され
る化合物もし /くはその一τH2基の水素基が
ケイ素、イオウ、ハロゲン原子(団)等で置換された化
合物を指す。
なお、(7)式においてR3が置換メチル基のメチルス
ルホニウム塩を用いて得られたスルホニウムメチリドを
3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オンと反
応させる場合には、その生成物よりその置換原子(団)
を除去する必要があり、除去することによつて5−イソ
プロピルー1一オキサスピロ〔2.4〕ヘプトー4−エ
ンが得られる。更に(7)式において、X]ま通常の陰
イオンであり、例えばハロゲンイオン、ホウフッ化イオ
ン、塩素酸イオン、過塩素酸イオン、6塩化アンチモン
イオン、ピクリン酸5イオン、スルホン酸イオン、硫酸
イオン、硫酸エステルイオン、硝酸イオン、テトラフェ
ニルホウ素イオン等であり、通常はハロゲンイオンや硝
酸エステルイオンが用いられる。また、上記メチルスル
ホニウム塩と反応させる塩基としては、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム等の金属水酸化
物、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属炭酸塩、酢
酸ナトリウム、酢酸カリウム等の脂肪酸金属塩、酸化銀
、酸化カルシウム等の金属酸化物、水素化ナトリウム、
水素化カリウム、水素化カルシウム等の金属水素化物、
ナトリウムエトキシド、カリウムt−プトキシド等のア
ルコラート類、ジムシルナ (CH3SCH2Na
)トリウム i1 ジムシルカリウム、
アルキルリチウム、アリールリチウム、フェニルカリウ
ム、トリチルナトリウム、ナフタリンナトリウム、ナト
リウムアミド、リチウムアミド、金属リチウム、金属ナ
トリウム、金属カリウム、アミン類、第4級アンモニウ
ム塩等が使用される。
ルホニウム塩を用いて得られたスルホニウムメチリドを
3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オンと反
応させる場合には、その生成物よりその置換原子(団)
を除去する必要があり、除去することによつて5−イソ
プロピルー1一オキサスピロ〔2.4〕ヘプトー4−エ
ンが得られる。更に(7)式において、X]ま通常の陰
イオンであり、例えばハロゲンイオン、ホウフッ化イオ
ン、塩素酸イオン、過塩素酸イオン、6塩化アンチモン
イオン、ピクリン酸5イオン、スルホン酸イオン、硫酸
イオン、硫酸エステルイオン、硝酸イオン、テトラフェ
ニルホウ素イオン等であり、通常はハロゲンイオンや硝
酸エステルイオンが用いられる。また、上記メチルスル
ホニウム塩と反応させる塩基としては、水酸化ナトリウ
ム、水酸化カリウム、水酸化カルシウム等の金属水酸化
物、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の金属炭酸塩、酢
酸ナトリウム、酢酸カリウム等の脂肪酸金属塩、酸化銀
、酸化カルシウム等の金属酸化物、水素化ナトリウム、
水素化カリウム、水素化カルシウム等の金属水素化物、
ナトリウムエトキシド、カリウムt−プトキシド等のア
ルコラート類、ジムシルナ (CH3SCH2Na
)トリウム i1 ジムシルカリウム、
アルキルリチウム、アリールリチウム、フェニルカリウ
ム、トリチルナトリウム、ナフタリンナトリウム、ナト
リウムアミド、リチウムアミド、金属リチウム、金属ナ
トリウム、金属カリウム、アミン類、第4級アンモニウ
ム塩等が使用される。
なお、好ましくは金属水酸化物、金属水素化物、ジムシ
ルナトリウムが使用される。そして、上記メチルスルホ
ニウム塩と塩基とを反応させる場合は、後述する溶媒中
で反応温度一80〜100′C1通常は−20〜80℃
、反応時間1分乃至1日の条件下て行う。
ルナトリウムが使用される。そして、上記メチルスルホ
ニウム塩と塩基とを反応させる場合は、後述する溶媒中
で反応温度一80〜100′C1通常は−20〜80℃
、反応時間1分乃至1日の条件下て行う。
而して、3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−
オンにスルホニウムメチリドを反応させて目的物質を合
成する場合は、上記メチルスルホ5ニウム塩と塩基とを
反応させてスルホニウムメチリドを合成した後、その反
応物から不純物を除去して精製し、この精製したスルホ
ニウムメチリドと3−イソプロピルー2−シクロペンテ
ンー1ーオンとを適当な溶媒中で反応させることもでき
る−が、一般に上記スルホニウムメチリドは不安定であ
るため、メチルスルホニウム塩と塩基とを適当な溶媒中
で反応させた後、この反応物に直接3−イソプロピルー
2−シクロペンテンー1−オンを加えて反応させるか、
又はメチルスルホニウム塩と塩基と3−イソプロピルー
2−シクロペンテンー1−オンとを適当な溶媒中で混合
し、同時に反応させることが好ましい。
オンにスルホニウムメチリドを反応させて目的物質を合
成する場合は、上記メチルスルホ5ニウム塩と塩基とを
反応させてスルホニウムメチリドを合成した後、その反
応物から不純物を除去して精製し、この精製したスルホ
ニウムメチリドと3−イソプロピルー2−シクロペンテ
ンー1ーオンとを適当な溶媒中で反応させることもでき
る−が、一般に上記スルホニウムメチリドは不安定であ
るため、メチルスルホニウム塩と塩基とを適当な溶媒中
で反応させた後、この反応物に直接3−イソプロピルー
2−シクロペンテンー1−オンを加えて反応させるか、
又はメチルスルホニウム塩と塩基と3−イソプロピルー
2−シクロペンテンー1−オンとを適当な溶媒中で混合
し、同時に反応させることが好ましい。
この場合、メチルスルホニウム塩と塩基との反応に用い
る溶媒と、これによ一つて得られたスルホニウムメチリ
ドと3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オン
との反応に用いる溶媒とは同じでも異つていてもよく、
溶媒としては、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチ
ルホルムアミド、アセトニトリル、ピリジン、トリエチ
ルアミン、水、アルコール、テトラヒドロフラン、ジオ
キサン、エーテル、石油エーテル、ヘキサン、ベンゼン
、トルエン、キシレン、塩化メチレン等を単独で、或い
は適宜組合せて使用することができる。
る溶媒と、これによ一つて得られたスルホニウムメチリ
ドと3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オン
との反応に用いる溶媒とは同じでも異つていてもよく、
溶媒としては、ジメチルスルホキシド、N,N−ジメチ
ルホルムアミド、アセトニトリル、ピリジン、トリエチ
ルアミン、水、アルコール、テトラヒドロフラン、ジオ
キサン、エーテル、石油エーテル、ヘキサン、ベンゼン
、トルエン、キシレン、塩化メチレン等を単独で、或い
は適宜組合せて使用することができる。
なお、スルホニウムメチリドのモル比は、化学量論的に
は3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オンと
等モルあれば良く、実際上は3ーイソプロピルー2−シ
クロペンテンー1−オン1モルに対し1.1モル程度使
用すれば充分であるが、更にスルホニウムメチリドを過
剰に使用して反応の完結時間を早めることもできる。
は3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オンと
等モルあれば良く、実際上は3ーイソプロピルー2−シ
クロペンテンー1−オン1モルに対し1.1モル程度使
用すれば充分であるが、更にスルホニウムメチリドを過
剰に使用して反応の完結時間を早めることもできる。
3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−オンとス
ルホニウムメチリドとを適当な溶媒中で反応させて得た
反応液は、これを水もしくは氷水に注加し、エーテル等
の溶剤で抽出した後、この溶剤を留去して反応物を採取
する。
ルホニウムメチリドとを適当な溶媒中で反応させて得た
反応液は、これを水もしくは氷水に注加し、エーテル等
の溶剤で抽出した後、この溶剤を留去して反応物を採取
する。
この反応物中には副生成物は殆んど含まれていないので
、得られた反応物を必ずしも精製する必要がなく、上記
反応物をそのまま種々の目的に利用することができる。
なお、5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕
ヘプトー4−エンの収率は40〜80%である。
、得られた反応物を必ずしも精製する必要がなく、上記
反応物をそのまま種々の目的に利用することができる。
なお、5−イソプロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕
ヘプトー4−エンの収率は40〜80%である。
上記のようにして得られた新規物質5−,イソプロピル
ー1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプトー4−エンを例え
ばエーテル中で銅一亜鉛触媒の存在下においてヨウ化メ
チレンと反応させると、下記(C)式に示すように、化
学構造式(8)のザビネンオキサイドが形成される(こ
の新規化合物の一製法および特性は特願昭52−391
99号(特公昭55−39551)に開示されている)
。
ー1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプトー4−エンを例え
ばエーテル中で銅一亜鉛触媒の存在下においてヨウ化メ
チレンと反応させると、下記(C)式に示すように、化
学構造式(8)のザビネンオキサイドが形成される(こ
の新規化合物の一製法および特性は特願昭52−391
99号(特公昭55−39551)に開示されている)
。
次に、上記の如くして得られたザビネンオキサイドを例
えば特願昭52−1171(1)号(特公昭55−39
528)に記載の方法により所定の還元剤でオキlシラ
ン環の還元開裂反応を行うと、ザビネンハイドレートが
形成される。
えば特願昭52−1171(1)号(特公昭55−39
528)に記載の方法により所定の還元剤でオキlシラ
ン環の還元開裂反応を行うと、ザビネンハイドレートが
形成される。
上記ザビネンオキサイド及びザビネンハイドレートは、
香料、歯磨、医薬品等の多くの分野で応用可能な物質で
あるため、これらの物質を形成する本発明の5−イソプ
ロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプトー4−エン
は工業上極めて有用な合成中間体である。
香料、歯磨、医薬品等の多くの分野で応用可能な物質で
あるため、これらの物質を形成する本発明の5−イソプ
ロピルー1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプトー4−エン
は工業上極めて有用な合成中間体である。
以下、実施例及ひ参考例を示し、本発明を具体的に説明
する。
する。
〔実施例1〕
水素化ナトリウム0.53y(22rr1M)にジメチ
ルスルホキシド(以下、D.M.S.O.と称する)2
0m1を加え、60〜70℃で4吟間攪拌してジムシル
ナトリウムを合成した。
ルスルホキシド(以下、D.M.S.O.と称する)2
0m1を加え、60〜70℃で4吟間攪拌してジムシル
ナトリウムを合成した。
これにテトラヒドロフラン(以下、T.H.F.と称す
る)20m1を加え、0℃に冷却した後、トリメチルス
ルホニウムメチルサルフェート4.32y(23mM)
、次いで3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−
オン1.24ダ(10rnM)をD.M.S.O.7m
lに溶解した溶液を加え、0℃て1時間、室温で5時間
3紛反応させた。次いで、反応液を氷水に注ぎ、エーテ
ルにて3回抽出した。この抽出液を水で3回洗浄し、硫
酸マグネシウムで乾燥した後、エーテルを留去すると粗
生成物0.65y(収率46.8%)が得られた。沸点
70〜72℃/3wImHg元素分析値C9Hl,O 計算値C78.2l%,HlO.2l% 実測値C77.99%,HlO.58% 核磁気共鳴スペクトルNMR(CCI4.TMS)δ1
.05(D.6FI),1.20〜2.10(M.5H
)2.60(D.?),5.35(S.lH)赤外線吸
収スペクトル(NEAT)943cm−1,3045c
m−1 MS,m/e:138.123.109.81.67G
C(PEG2OM.lO%.2n1.120℃):Rt
=4.扮参考例ザビネンオキサイドの合成 銅一亜鉛触媒0.49y(7.5n1M)にジメトキシ
エタン6m1、エーテル20m11少量のヨウ素および
1.60y(6rnM)のヨウ化メチレンを加え4紛間
400Cに加温しシモンズースミス試薬を調製した。
る)20m1を加え、0℃に冷却した後、トリメチルス
ルホニウムメチルサルフェート4.32y(23mM)
、次いで3−イソプロピルー2−シクロペンテンー1−
オン1.24ダ(10rnM)をD.M.S.O.7m
lに溶解した溶液を加え、0℃て1時間、室温で5時間
3紛反応させた。次いで、反応液を氷水に注ぎ、エーテ
ルにて3回抽出した。この抽出液を水で3回洗浄し、硫
酸マグネシウムで乾燥した後、エーテルを留去すると粗
生成物0.65y(収率46.8%)が得られた。沸点
70〜72℃/3wImHg元素分析値C9Hl,O 計算値C78.2l%,HlO.2l% 実測値C77.99%,HlO.58% 核磁気共鳴スペクトルNMR(CCI4.TMS)δ1
.05(D.6FI),1.20〜2.10(M.5H
)2.60(D.?),5.35(S.lH)赤外線吸
収スペクトル(NEAT)943cm−1,3045c
m−1 MS,m/e:138.123.109.81.67G
C(PEG2OM.lO%.2n1.120℃):Rt
=4.扮参考例ザビネンオキサイドの合成 銅一亜鉛触媒0.49y(7.5n1M)にジメトキシ
エタン6m1、エーテル20m11少量のヨウ素および
1.60y(6rnM)のヨウ化メチレンを加え4紛間
400Cに加温しシモンズースミス試薬を調製した。
)次いで室温まで冷却し5−イソプロピルー1−オキサ
スピロ〔2.4〕ヘプトー4−エン0.41f1(3r
nM)を10mtのエーテルに溶解した溶液を2分間で
加えた。40℃に加温し、6時間反応させた後、飽和塩
化アンモニウム水溶液20mLを加え反応を停止し常法
により処理してザビネンオキサイド0.10y(収率2
2%)を得た。
スピロ〔2.4〕ヘプトー4−エン0.41f1(3r
nM)を10mtのエーテルに溶解した溶液を2分間で
加えた。40℃に加温し、6時間反応させた後、飽和塩
化アンモニウム水溶液20mLを加え反応を停止し常法
により処理してザビネンオキサイド0.10y(収率2
2%)を得た。
〔実施例2〕
水素化ナトリウム0.26y(11mM)にD.M.S
.O.l5mlを加え、60〜70′Cで40分間攪拌
してジムシルナトリウムを合成した。
.O.l5mlを加え、60〜70′Cで40分間攪拌
してジムシルナトリウムを合成した。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 5−イソプロピル−1−オキサスピロ〔2,4〕ヘ
プト−4−エン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13120477A JPS6058757B2 (ja) | 1977-11-01 | 1977-11-01 | 5−イソプロピル−1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプト−4−エン |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13120477A JPS6058757B2 (ja) | 1977-11-01 | 1977-11-01 | 5−イソプロピル−1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプト−4−エン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5466657A JPS5466657A (en) | 1979-05-29 |
JPS6058757B2 true JPS6058757B2 (ja) | 1985-12-21 |
Family
ID=15052468
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13120477A Expired JPS6058757B2 (ja) | 1977-11-01 | 1977-11-01 | 5−イソプロピル−1−オキサスピロ〔2.4〕ヘプト−4−エン |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6058757B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6077613U (ja) * | 1983-11-04 | 1985-05-30 | クリナツプ株式会社 | 浴室の天井ユニツト |
JPH0347320U (ja) * | 1989-09-09 | 1991-05-01 | ||
JPH0393564U (ja) * | 1990-01-16 | 1991-09-24 | ||
US11720014B2 (en) | 2019-02-13 | 2023-08-08 | Hoya Corporation | Mask blank, phase shift mask, and method of manufacturing semiconductor device |
-
1977
- 1977-11-01 JP JP13120477A patent/JPS6058757B2/ja not_active Expired
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6077613U (ja) * | 1983-11-04 | 1985-05-30 | クリナツプ株式会社 | 浴室の天井ユニツト |
JPH0347320U (ja) * | 1989-09-09 | 1991-05-01 | ||
JPH0393564U (ja) * | 1990-01-16 | 1991-09-24 | ||
US11720014B2 (en) | 2019-02-13 | 2023-08-08 | Hoya Corporation | Mask blank, phase shift mask, and method of manufacturing semiconductor device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5466657A (en) | 1979-05-29 |
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