JPS6044088A - 膜分離装置 - Google Patents
膜分離装置Info
- Publication number
- JPS6044088A JPS6044088A JP15162183A JP15162183A JPS6044088A JP S6044088 A JPS6044088 A JP S6044088A JP 15162183 A JP15162183 A JP 15162183A JP 15162183 A JP15162183 A JP 15162183A JP S6044088 A JPS6044088 A JP S6044088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane separation
- separation means
- storage tank
- membrane
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電子工業用洗浄水、医業用水、原子力用水な
どに用いる純度が理論純水に近い超一一 純水を製造するだめの逆浸透膜や限外濾過膜などの分離
膜を内Ｍ した膜分離手段を有する膜分離装置に関する
。
どに用いる純度が理論純水に近い超一一 純水を製造するだめの逆浸透膜や限外濾過膜などの分離
膜を内Ｍ した膜分離手段を有する膜分離装置に関する
。
本特詐出願人は特願昭ｓｇ −ｑ、ｔｑｇｉ （特開昭
）、同ｓｇ−デ３ｑｔ３（特開昭 １１４１Ｑ１０（特開昭 ）で、この様な膜分離手段を
用いた超純水の製造装置ないし、製造した超純水の使用
個所への供給装置を提案した。通常、膜分に１手段で製
造した超純水は貯蔵タンクに貯え、貯蔵夕／りから使用
個所に供給する。このため、膜分離手段の運転は貯蔵タ
ンク内の水位によシ制何し、タンク内の水位が高くなっ
て超純水が充分になると運転を中断し、使用個所で成る
程度超純水が敗出さｎてタンク内の水位が低くなると運
転′ｆｒ、ｌ′＋５開する。この運転停止時には膜分離
手段は圧力開放状態になるので、例えば膜分離手段が排
出する濃縮水の排出管の先端が外気に触れていると、空
気中の細−３− 菌が排出管から通入し、膜分離手段は細菌で汚染される
ことがある。そうすると膜分離手段は使用箇所が満足す
る水質の超純水を製造できなくなシ、この水を用いるプ
ロセス１１１１では製品の歩留の低下と言う不都合が生
じる。又、製造装俗に一江細菌で汚染さ扛ると高純度の
水をなかなか製造できなくなる。
）、同ｓｇ−デ３ｑｔ３（特開昭 １１４１Ｑ１０（特開昭 ）で、この様な膜分離手段を
用いた超純水の製造装置ないし、製造した超純水の使用
個所への供給装置を提案した。通常、膜分に１手段で製
造した超純水は貯蔵タンクに貯え、貯蔵夕／りから使用
個所に供給する。このため、膜分離手段の運転は貯蔵タ
ンク内の水位によシ制何し、タンク内の水位が高くなっ
て超純水が充分になると運転を中断し、使用個所で成る
程度超純水が敗出さｎてタンク内の水位が低くなると運
転′ｆｒ、ｌ′＋５開する。この運転停止時には膜分離
手段は圧力開放状態になるので、例えば膜分離手段が排
出する濃縮水の排出管の先端が外気に触れていると、空
気中の細−３− 菌が排出管から通入し、膜分離手段は細菌で汚染される
ことがある。そうすると膜分離手段は使用箇所が満足す
る水質の超純水を製造できなくなシ、この水を用いるプ
ロセス１１１１では製品の歩留の低下と言う不都合が生
じる。又、製造装俗に一江細菌で汚染さ扛ると高純度の
水をなかなか製造できなくなる。
このため−）二連の特願昭ｓｇ −’ｉａ’ｉｉコでは
膜分離手段と貯蔵タンクの配管中に開閉弁を設け、装置
の〕ψ転を停止する隙は先ずこの開閉弁を閉じ、そのｉ
＆暫くしてから装置の運転を停止し、こうして開閉弁を
閉じた後の暫くの運転で膜分離手段を含む開閉弁の手前
の系内全体に陽圧を保持し、との陽圧を圧力計で監視し
て低下したら開閉弁を閉じた１＼膜分離手段ｔ−仝運転
して陽圧を回ｆ屍する様にしている。
膜分離手段と貯蔵タンクの配管中に開閉弁を設け、装置
の〕ψ転を停止する隙は先ずこの開閉弁を閉じ、そのｉ
＆暫くしてから装置の運転を停止し、こうして開閉弁を
閉じた後の暫くの運転で膜分離手段を含む開閉弁の手前
の系内全体に陽圧を保持し、との陽圧を圧力計で監視し
て低下したら開閉弁を閉じた１＼膜分離手段ｔ−仝運転
して陽圧を回ｆ屍する様にしている。
しかし、こ扛によると陽圧が低下する都度、膜分離手段
を空運転する会費があり、ランニングコストがか＼る。
を空運転する会費があり、ランニングコストがか＼る。
そこで不発明は上述の開閉弁を廃し、膜分離手段と貯蔵
タンクを接続する配管の貯蔵タンク１＋ｉｊの端部をタ
ンクの底部に位負させ、必要（て応じ貯蔵タンク中ＫＦ
ｉ無菌ガスを吹込み、貯Ｎ７．タンク中に充分にある超
純水を膜分離手段に迎入して膜分離手段内を陽圧に保持
し、細菌の浸入を防止すると共に分離膜を湿潤し、膜の
乾燥による機能の劣化を防止したのであって、以下、図
示の一実施例を参照−して説明する。
タンクを接続する配管の貯蔵タンク１＋ｉｊの端部をタ
ンクの底部に位負させ、必要（て応じ貯蔵タンク中ＫＦ
ｉ無菌ガスを吹込み、貯Ｎ７．タンク中に充分にある超
純水を膜分離手段に迎入して膜分離手段内を陽圧に保持
し、細菌の浸入を防止すると共に分離膜を湿潤し、膜の
乾燥による機能の劣化を防止したのであって、以下、図
示の一実施例を参照−して説明する。
ｌは超純水製造用の原液を貯える原液僧で、原液はこ＼
から給液ポンブコで膜分離手段３に供給して超純水を製
造し、超純水は配管ｑで貯蔵タンクｊＫ４いて貯え、使
用個所に弁ｖ、ヲ開いて供給する。貯蔵タンク５の丁目
５Ｂには上端に無菌フィルタＬを取付けた管を設け、無
菌フィルタ６にはＮ２ガス又は圧縮票気などの圧ｆｆ４
気体の給気管ｌを接続し、無菌圧縮気体全圧入する。
から給液ポンブコで膜分離手段３に供給して超純水を製
造し、超純水は配管ｑで貯蔵タンクｊＫ４いて貯え、使
用個所に弁ｖ、ヲ開いて供給する。貯蔵タンク５の丁目
５Ｂには上端に無菌フィルタＬを取付けた管を設け、無
菌フィルタ６にはＮ２ガス又は圧縮票気などの圧ｆｆ４
気体の給気管ｌを接続し、無菌圧縮気体全圧入する。
又、タンク内が常時０．ｒ Ｋｆ／ｃｒＡ程度のＩｔｓ
圧になる様に、圧力計７で給気管ｇＫ設けた？ｈ”’ａ
節弁ｇ′？調節する。
圧になる様に、圧力計７で給気管ｇＫ設けた？ｈ”’ａ
節弁ｇ′？調節する。
膜分離手段３の運転は、前述した様１（貯蔵タンＳ−
り内の超純水の水位によって制御する。このため貯蔵タ
ンクにはタンク内の液面の高位と低位全検出するレベル
スイッチｑを設け、液面が高位値１ζなったらポンプ−
の運転を止めると共に、膜分離手段の入口側の弁■２を
閉じ、原液が膜分離手段に供給さ１するのを止め且つ、
膜分離手段の濃縮水の排出管１０に設けた弁■、を閉じ
、濃縮水の排出も止める。
ンクにはタンク内の液面の高位と低位全検出するレベル
スイッチｑを設け、液面が高位値１ζなったらポンプ−
の運転を止めると共に、膜分離手段の入口側の弁■２を
閉じ、原液が膜分離手段に供給さ１するのを止め且つ、
膜分離手段の濃縮水の排出管１０に設けた弁■、を閉じ
、濃縮水の排出も止める。
この状態のま＼であると膜分離手段３、その濃縮水の排
出ｆＪ １０ 、配管４内は常圧であるので、排出１′
？から前述の様に細菌が通入する膚があると共に、万−
開閉弁Ｖ２、Ｖ、などで液がリークする様なことがある
と長時間の運転中断中には膜分離手段内の分離膜は乾燥
状態におかｎて劣化し、膜の分離効果が著しく低下する
。
出ｆＪ １０ 、配管４内は常圧であるので、排出１′
？から前述の様に細菌が通入する膚があると共に、万−
開閉弁Ｖ２、Ｖ、などで液がリークする様なことがある
と長時間の運転中断中には膜分離手段内の分離膜は乾燥
状態におかｎて劣化し、膜の分離効果が著しく低下する
。
そこで前述した様に本発明は配管〃の貯蔵タンク側の端
部ａ′をタンクの底部に位置きせたのである１、 この実施例では配管ａは膜分離手段の運転が停止すると
タンク内が０．５ ｈ／−の陽圧に保たｎてｊ − いるのでタンク中の超純水を膜分離手段Ｊに供給する。
部ａ′をタンクの底部に位置きせたのである１、 この実施例では配管ａは膜分離手段の運転が停止すると
タンク内が０．５ ｈ／−の陽圧に保たｎてｊ − いるのでタンク中の超純水を膜分離手段Ｊに供給する。
これにより膜分離手段３、排出管１０゜配？７４の内部
は運転停止時に周圧に保たれ、細菌の通入を防止すると
同時に、液がリークすればリークした分を常に補給する
ので分離膜は乾燥状態になると−とがない。そして、リ
ークした分を補給し、タンク内の液面が低位になると膜
分離手段は運転を再開するので何等支障はない。
は運転停止時に周圧に保たれ、細菌の通入を防止すると
同時に、液がリークすればリークした分を常に補給する
ので分離膜は乾燥状態になると−とがない。そして、リ
ークした分を補給し、タンク内の液面が低位になると膜
分離手段は運転を再開するので何等支障はない。
又、タンク内圧力が０．５ｂ／ｃｄと低いので、膜分離
手段Ｊの給液ボンプコの負荷を必要以上に高めることは
ない。
手段Ｊの給液ボンプコの負荷を必要以上に高めることは
ない。
こうして本発明によ几ば膜分離手段が製造し、供給個所
に供給するため貯蔵タンクが貯蔵している超純水を利用
し、膜分離手段の運転中断時に装置系内の陽圧の保持と
、膜の湿潤を簡易に行うことができる特長を有する９、
尚、不発ψ」は蒙［股の装置に実施するｔ）外、既存の
装置を簡単に改造して実施することもできる。
に供給するため貯蔵タンクが貯蔵している超純水を利用
し、膜分離手段の運転中断時に装置系内の陽圧の保持と
、膜の湿潤を簡易に行うことができる特長を有する９、
尚、不発ψ」は蒙［股の装置に実施するｔ）外、既存の
装置を簡単に改造して実施することもできる。
図面は本発明の一実施ｉ＋ｌｊのフローシートで、−７
− １゛イ１中、Ｊ仁を膜分離１手段、ｑは配管 ｇｌは配
管の貯メまタンク側端部、Ｓけ貯蔵タンクを示す。 特許出願人 栗田工業株式会社 ｆ”’：”’ ”；”： 同 代理人 ヅＰ理士 福 １） 信 行 、：同 代
理人 弁理士 福 １） 武 通 １１．′７、同 代
理人 ヲｒ理士 福 １）賢 三 、・特開昭ＧＯ−４
４０８８（３）
− １゛イ１中、Ｊ仁を膜分離１手段、ｑは配管 ｇｌは配
管の貯メまタンク側端部、Ｓけ貯蔵タンクを示す。 特許出願人 栗田工業株式会社 ｆ”’：”’ ”；”： 同 代理人 ヅＰ理士 福 １） 信 行 、：同 代
理人 弁理士 福 １） 武 通 １１．′７、同 代
理人 ヲｒ理士 福 １）賢 三 、・特開昭ＧＯ−４
４０８８（３）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （リ 原液を導入し、逆浸透膜や限外濾過膜などの分離
膜で超純水を得る膜分離手段と、膜分離手段で製造した
超純水を貯える貯蔵タンクとを有し、 ＩＱ膜分離手段貯蔵タンクを接続する配管の貯蔵タンク
側の端部をタンクの底部に位置させ、ｌｉ４！分離装置
の運転中断時に貯蔵タンク中の超純水を膜分離手段に逆
流して供給する様にしたことをｔＦ！ｆ徴とする膜分ｍ
装置。 （２１特許請求の範囲（１）の装置において、貯蔵タン
クには焦面の圧縮気体を供給する手段が設けである膜分
離装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15162183A JPS6044088A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 膜分離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15162183A JPS6044088A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 膜分離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6044088A true JPS6044088A (ja) | 1985-03-08 |
Family
ID=15522540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15162183A Pending JPS6044088A (ja) | 1983-08-22 | 1983-08-22 | 膜分離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6044088A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6316087A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 | Japan Organo Co Ltd | 逆浸透膜装置 |
| US4793932A (en) * | 1985-04-10 | 1988-12-27 | Memtec Limited | Variable volume filter or concentrator |
| US4931186A (en) * | 1985-03-05 | 1990-06-05 | Memtec Limited | Concentration of solids in a suspension |
| JPH02157086A (ja) * | 1988-12-10 | 1990-06-15 | Takuma Co Ltd | 超純水製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5252878A (en) * | 1975-10-28 | 1977-04-28 | Kurita Water Ind Ltd | Desalting apparatus using reverse osmotic membrane |
| JPS53102281A (en) * | 1977-01-14 | 1978-09-06 | Ebara Infilco Co Ltd | Separating method with membrane |
| JPS5561905A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-10 | Hitachi Ltd | Regeneration of porous filter body |
| JPS5573896A (en) * | 1978-11-29 | 1980-06-03 | Mazda Motor Corp | Ultrafiltration apparatus for electrodeposition coating |
-
1983
- 1983-08-22 JP JP15162183A patent/JPS6044088A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5252878A (en) * | 1975-10-28 | 1977-04-28 | Kurita Water Ind Ltd | Desalting apparatus using reverse osmotic membrane |
| JPS53102281A (en) * | 1977-01-14 | 1978-09-06 | Ebara Infilco Co Ltd | Separating method with membrane |
| JPS5561905A (en) * | 1978-11-06 | 1980-05-10 | Hitachi Ltd | Regeneration of porous filter body |
| JPS5573896A (en) * | 1978-11-29 | 1980-06-03 | Mazda Motor Corp | Ultrafiltration apparatus for electrodeposition coating |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4931186A (en) * | 1985-03-05 | 1990-06-05 | Memtec Limited | Concentration of solids in a suspension |
| US4793932A (en) * | 1985-04-10 | 1988-12-27 | Memtec Limited | Variable volume filter or concentrator |
| JPS6316087A (ja) * | 1986-07-07 | 1988-01-23 | Japan Organo Co Ltd | 逆浸透膜装置 |
| JPH02157086A (ja) * | 1988-12-10 | 1990-06-15 | Takuma Co Ltd | 超純水製造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101801860B (zh) | 有机废物的处理方法及装置 | |
| US4773993A (en) | Apparatus for purifying and dispensing water with stagnation preventing means | |
| US20030052068A1 (en) | Separating system for hollow fiber membranes and operating method thereof | |
| JPS6044088A (ja) | 膜分離装置 | |
| JP3208053B2 (ja) | 精製水製造装置 | |
| JPH0427485A (ja) | 純水の脱泡法と純水生産の逆浸透装置 | |
| JP4673804B2 (ja) | 脱炭酸装置及び脱炭酸方法 | |
| JPS6094105A (ja) | 膜分離装置 | |
| JPS607989A (ja) | 超純水の製造装置 | |
| JPS60882A (ja) | 超純水製造装置 | |
| CN206051735U (zh) | 一种双级反渗透系统 | |
| JP7155373B1 (ja) | 液封式ポンプの運転方法、膜脱気装置、純水製造システム及び純水製造方法 | |
| JPS62106890A (ja) | 純水製造装置の洗浄装置 | |
| JPH05138170A (ja) | 連続式電解イオン水生成装置の排水構造 | |
| JP4736339B2 (ja) | 送液手段および送液方法 | |
| JP7019860B1 (ja) | 精製水供給システム | |
| WO2022014221A1 (ja) | 超純水製造装置 | |
| CN219709641U (zh) | 一种单晶炉副炉室净化装置 | |
| CN211035557U (zh) | 一种优化的抛光混床净化装置 | |
| JPH0929073A (ja) | 膜分離装置 | |
| JP2602197Y2 (ja) | 配管構造物 | |
| JP2000296899A (ja) | ガス溶解水の貯留方法及びその貯留装置 | |
| JPH05317854A (ja) | 逆浸透法海水淡水化装置の停止時の保管方法 | |
| JP4860915B2 (ja) | 送液手段および送液方法 | |
| JPS57147405A (en) | Method for treating water by reverse osmotic membrane |