JPS607989A - 超純水の製造装置 - Google Patents
超純水の製造装置Info
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- JPS607989A JPS607989A JP11441083A JP11441083A JPS607989A JP S607989 A JPS607989 A JP S607989A JP 11441083 A JP11441083 A JP 11441083A JP 11441083 A JP11441083 A JP 11441083A JP S607989 A JPS607989 A JP S607989A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発すＪに電子工業用洗渉水、医′薬用水、原子力用
水などに用いるための純度が理論純水に近い超純水の８
Ｍ造装置装に１！！８１″３−る。
水などに用いるための純度が理論純水に近い超純水の８
Ｍ造装置装に１！！８１″３−る。
第１図は従来の超純水製造装置の概略を示すもので、原
液を原液槽ｌに貯え、こ＼から給液ボンプコで膜分離装
置３、例えば限外濾過膜装置、逝浸透膜装置と、場合に
よってはと扛と組合わせたイオン交換樹脂装置に供給し
て超純水を作シ、細菌を透過しない無菌フィルタダを頂
部に取付け、これｔ介し内部が大気に開通した貯槽５に
超純水ｋ Ｉｔ？え、ポンプｔ１配管２で使用個所に送
給【７ている。而、膜分跡装置３の入口室３ｃＬと原液
槽／の間には流量調整弁ｇを備えた濃縮原液を返送する
返送管ワと、ブロー弁１０を備えた排出管／／を設け、
給液ボンプロが膜分離装置３に原液を圧送して超純水の
製造中、流量調整弁ｇを介して膜分離装置３の入口室か
ら一部の濃縮原液全原液槽ｌに返送して膜分離装置の膜
３′に加わる圧力全一定に調整し、且つ膜分離装置に供
給する原液が全体として０縮して来たらブロー弁１０を
開き排出管／／がら所定量プローする。又、使用個所で
超純水全使用しているときに送給ポンプ６で貯槽がら超
純水を送給し、使用個所での使用量に較ベポンプ６の送
給量が大なると＠は過剰分を貯槽に返送管／コで戻す。
液を原液槽ｌに貯え、こ＼から給液ボンプコで膜分離装
置３、例えば限外濾過膜装置、逝浸透膜装置と、場合に
よってはと扛と組合わせたイオン交換樹脂装置に供給し
て超純水を作シ、細菌を透過しない無菌フィルタダを頂
部に取付け、これｔ介し内部が大気に開通した貯槽５に
超純水ｋ Ｉｔ？え、ポンプｔ１配管２で使用個所に送
給【７ている。而、膜分跡装置３の入口室３ｃＬと原液
槽／の間には流量調整弁ｇを備えた濃縮原液を返送する
返送管ワと、ブロー弁１０を備えた排出管／／を設け、
給液ボンプロが膜分離装置３に原液を圧送して超純水の
製造中、流量調整弁ｇを介して膜分離装置３の入口室か
ら一部の濃縮原液全原液槽ｌに返送して膜分離装置の膜
３′に加わる圧力全一定に調整し、且つ膜分離装置に供
給する原液が全体として０縮して来たらブロー弁１０を
開き排出管／／がら所定量プローする。又、使用個所で
超純水全使用しているときに送給ポンプ６で貯槽がら超
純水を送給し、使用個所での使用量に較ベポンプ６の送
給量が大なると＠は過剰分を貯槽に返送管／コで戻す。
そして通常は給液ボンプロの運転は貯槽５に設置ｒＪ−
１ｃレベルスイツチ／３で制御し、槽内に充分に超純水
が貯えらｎるとポンプは停シ、槽の超純水の量が少くな
るとポンプは運転を再開する。
１ｃレベルスイツチ／３で制御し、槽内に充分に超純水
が貯えらｎるとポンプは停シ、槽の超純水の量が少くな
るとポンプは運転を再開する。
しかし、この従来装置でに使用個所で超純水が使用さ扛
、そのために送給ボンプルが運転されているときは支障
ないが、例えば終業などで超純水の使用が止んで送給ポ
ンプ乙が停シ、又、貯槽Ｓにも充分な超純水が貯えら九
で給液ポンプａの運転も停ると系内の圧力は常圧になる
ため使用個所では配管７中に細菌が通入して、次に超純
水を使用する際にその純度を低下することかあると共に
、場合によっては製造装置そのものが却［菌で汚染さｎ
ることがラフ、そうなると使用個所での用水は満足丁べ
きものでなくなシ、この用水音用いるプロセス側で゛製
品の歩留低下と言う不都合を生じる。又、製造装置が汚
染さ几るとなかなか高純度の水になるまで長時間装する
だけでなく、高純度の水が製造できなくなる。
、そのために送給ボンプルが運転されているときは支障
ないが、例えば終業などで超純水の使用が止んで送給ポ
ンプ乙が停シ、又、貯槽Ｓにも充分な超純水が貯えら九
で給液ポンプａの運転も停ると系内の圧力は常圧になる
ため使用個所では配管７中に細菌が通入して、次に超純
水を使用する際にその純度を低下することかあると共に
、場合によっては製造装置そのものが却［菌で汚染さｎ
ることがラフ、そうなると使用個所での用水は満足丁べ
きものでなくなシ、この用水音用いるプロセス側で゛製
品の歩留低下と言う不都合を生じる。又、製造装置が汚
染さ几るとなかなか高純度の水になるまで長時間装する
だけでなく、高純度の水が製造できなくなる。
そこで本発明は膜分離装置への原水供給手段と、膜分離
装置からの超純水を使用個所へ供給する手段との間を常
に陽圧に保持する陽圧保持手段を設け、上述した従来の
装置が有する問題点を解消したのである。更に本発明の
副次的目的は従来の装置で使用していた貯槽５全廃し、
経済的で簡易な装置を提供することにある。
装置からの超純水を使用個所へ供給する手段との間を常
に陽圧に保持する陽圧保持手段を設け、上述した従来の
装置が有する問題点を解消したのである。更に本発明の
副次的目的は従来の装置で使用していた貯槽５全廃し、
経済的で簡易な装置を提供することにある。
以下、本発明を第２図以降の実施例を参照して説明する
。尚、図面中、第１図と共通な構成要素ないし構成１η
ｂ分には同じ符号を付して説明を省略する。
。尚、図面中、第１図と共通な構成要素ないし構成１η
ｂ分には同じ符号を付して説明を省略する。
各実施例の膜分離装置３の処理室３ｂには使用例ｔｉｒ
への配管７の基管７′全直接に接続し、従来装置の貯槽
Ｓを使用せず、膜分離装置は製造した超純水を基管７′
を経て使用場所に供給する様になっている。
への配管７の基管７′全直接に接続し、従来装置の貯槽
Ｓを使用せず、膜分離装置は製造した超純水を基管７′
を経て使用場所に供給する様になっている。
第２図及び第３図に示す各実施例は給液ポングコと膜分
離装置３の間を結ぶ給液管−′に流量調整５Ｐ ／４１
を備えた循環管／Ｓの一端を接続し、その他端を原液槽
／に連結する。
離装置３の間を結ぶ給液管−′に流量調整５Ｐ ／４１
を備えた循環管／Ｓの一端を接続し、その他端を原液槽
／に連結する。
そして、圧力指示調節計／Ａｆ第２図の実施例では絽液
管コ′の循環管ｉｓの接続点と膜分離装置の間或いは膜
分離装置の入口室に設け、第３図の実施例では基管７′
に設け、圧力指示調節計／Ａの圧力指示値で循環管／Ｓ
に設けらｎた流量調整弁／りの開度’（ｒ １ＩＡＩ節
する。
管コ′の循環管ｉｓの接続点と膜分離装置の間或いは膜
分離装置の入口室に設け、第３図の実施例では基管７′
に設け、圧力指示調節計／Ａの圧力指示値で循環管／Ｓ
に設けらｎた流量調整弁／りの開度’（ｒ １ＩＡＩ節
する。
これによシ返送管９に設けらｎた流量調整弁ｇ−は給液
ボングコの運転中、膜３′に加わる圧力を最適値に保つ
様に入口室、ｊａから原液槽ｌに濃縮原液を返送し、又
、圧力指示調節計７６は使用個所での超純水の使用量の
変動を感知し、そｎに応じて循環管／！ｉに設けた流量
調整弁／ｌの開度を調節する。つまシ、使用個所で大量
に超純水を使用しているときは弁／４’の開度を小にし
、使用量が少いときは開度音大にし、使用していないと
きは給液ポンプが吐出する全量゛の原液を原液槽ｌに循
環するために開度全最大にする。
ボングコの運転中、膜３′に加わる圧力を最適値に保つ
様に入口室、ｊａから原液槽ｌに濃縮原液を返送し、又
、圧力指示調節計７６は使用個所での超純水の使用量の
変動を感知し、そｎに応じて循環管／！ｉに設けた流量
調整弁／ｌの開度を調節する。つまシ、使用個所で大量
に超純水を使用しているときは弁／４’の開度を小にし
、使用量が少いときは開度音大にし、使用していないと
きは給液ポンプが吐出する全量゛の原液を原液槽ｌに循
環するために開度全最大にする。
従って、第２図、第６図どちらの実施例も給液ポンプ、
２（（常時運転し、使用個所で超純水を使用していると
きはその使用量に応じた量の超純水を膜分離装置で製造
して使用個所に供給し、使用していないときは原液を循
環管／！ｉで原液槽ｌに戻丁。このため使用個所で超純
水を使用しているか、いないかに拘らず、給液ポンプ２
を常時運転することによ勺膜分離装置への原液供給手段
である給液ポンプロ、超純水を使用個所へ供給する手段
である基管７′、配管７中は常時加圧状態に保たれるた
め使用個所から配管中に細菌が通入するのを完全に防止
できる。
２（（常時運転し、使用個所で超純水を使用していると
きはその使用量に応じた量の超純水を膜分離装置で製造
して使用個所に供給し、使用していないときは原液を循
環管／！ｉで原液槽ｌに戻丁。このため使用個所で超純
水を使用しているか、いないかに拘らず、給液ポンプ２
を常時運転することによ勺膜分離装置への原液供給手段
である給液ポンプロ、超純水を使用個所へ供給する手段
である基管７′、配管７中は常時加圧状態に保たれるた
め使用個所から配管中に細菌が通入するのを完全に防止
できる。
第４図の実施例は給液管λ′の途中に加圧タンク７７を
設けである。この加圧タンク／７は頂部に無菌フィルタ
／ｇと弁／ｑを有し、タンク内に空気、不活性ガスを吹
込む吹込管、２０と、タンク内部の圧力全検出して作動
する圧力スイッチ２ノとを備え、無菌フィルタを通じ所
定量のガスを吹込んだら弁／９會閉じ吹込管２０ヲ遮断
し、圧力スイッチ２／は給液ポンプΩと接続Ｔる。
設けである。この加圧タンク／７は頂部に無菌フィルタ
／ｇと弁／ｑを有し、タンク内に空気、不活性ガスを吹
込む吹込管、２０と、タンク内部の圧力全検出して作動
する圧力スイッチ２ノとを備え、無菌フィルタを通じ所
定量のガスを吹込んだら弁／９會閉じ吹込管２０ヲ遮断
し、圧力スイッチ２／は給液ポンプΩと接続Ｔる。
この実施例では給液ポンプ２全運転し、加圧タンク７７
全経て原液を膜分離装置に供給して使用個所７に超純水
を供給する。この場合、使用個所での超純水の使用量が
少くなるか、使用しなくなると加圧タンク中には次第に
原液が貯シ、タンク内部の圧力は高まるので、圧力スイ
ッチは圧力の高まシを検出してそれが上限になると給液
ポンプの運転全土め、使用個所で綴純水を使用し、或い
は使用量が多くなると加圧タンクは内部の圧縮されたガ
スで原液を膜分離装置に−押出し、超純水を製造させる
。そして、内部の圧力が下がシ下限になるとそノを全検
出して給液ボンプコの運転を再開させる。
全経て原液を膜分離装置に供給して使用個所７に超純水
を供給する。この場合、使用個所での超純水の使用量が
少くなるか、使用しなくなると加圧タンク中には次第に
原液が貯シ、タンク内部の圧力は高まるので、圧力スイ
ッチは圧力の高まシを検出してそれが上限になると給液
ポンプの運転全土め、使用個所で綴純水を使用し、或い
は使用量が多くなると加圧タンクは内部の圧縮されたガ
スで原液を膜分離装置に−押出し、超純水を製造させる
。そして、内部の圧力が下がシ下限になるとそノを全検
出して給液ボンプコの運転を再開させる。
従って、使用個所で超純水を使用していガいときでもタ
ンク内部の圧縮さ才した気体は原液な膜分離装置に向か
って押子ので基管７′、配管７中は膜分離装置を経て伝
わる加圧タンク内部の気体圧力により加圧状態に保た庇
るので、同様に、ｉｌｊ菌が配管中に通入するのに完茶
に防止できる。
ンク内部の圧縮さ才した気体は原液な膜分離装置に向か
って押子ので基管７′、配管７中は膜分離装置を経て伝
わる加圧タンク内部の気体圧力により加圧状態に保た庇
るので、同様に、ｉｌｊ菌が配管中に通入するのに完茶
に防止できる。
又、この力ｌｊ王タンクは、生産した超純水を使用（１
ｕＩす「に勿配Ｔるために大量に貯えて置〈従来装置の
貯槽とｆ′、ｒ、Ｒシ、極く小容量のものでよいので、
貯槽に較べ才しばコストもスペースも遥かに少（−Ｃ済
゛む。
ｕＩす「に勿配Ｔるために大量に貯えて置〈従来装置の
貯槽とｆ′、ｒ、Ｒシ、極く小容量のものでよいので、
貯槽に較べ才しばコストもスペースも遥かに少（−Ｃ済
゛む。
そして、この実ｌｔ＆＋例は第２図、第６図の様に使用
個所で超ｉ＋１水を全く使用してい力いときでも給液ボ
ンダを′吊降運転するとｔうことがないのでランニング
コストヲ低減できる。
個所で超ｉ＋１水を全く使用してい力いときでも給液ボ
ンダを′吊降運転するとｔうことがないのでランニング
コストヲ低減できる。
第４図の実施例は加圧タンク７７を給液管−′の途−中
に設けたが、第５図の様に加圧タンクを膜分古１を装置
の処理室に接続した基管７′の途中に設けてもよい。
に設けたが、第５図の様に加圧タンクを膜分古１を装置
の処理室に接続した基管７′の途中に設けてもよい。
この場合は膜分離装置が製造した超純水を加圧タンク７
７會経て使用個所に供給し、加圧タンク中の超純水が少
くなったら圧力スイッチが給液ポンプに運転全再開させ
、多くなったら運転を停める。そして、使用個所で超純
水を使用し々いときでも加圧タンク内の内部田カで基管
、配管中は加圧さ１２ているために却１菌の通入は完全
に防止できる。
７會経て使用個所に供給し、加圧タンク中の超純水が少
くなったら圧力スイッチが給液ポンプに運転全再開させ
、多くなったら運転を停める。そして、使用個所で超純
水を使用し々いときでも加圧タンク内の内部田カで基管
、配管中は加圧さ１２ているために却１菌の通入は完全
に防止できる。
４・さ６明によれば系内の圧力會常時一定圧に維持でき
るので細菌による汚染から装置を完全に獲ることがｎ」
能でろり、従来は１ケ月毎位に完全洗浄をしていたが、
１年間以上、無洗浄で装置ｋｉ稙転１−ることかできる
。
るので細菌による汚染から装置を完全に獲ることがｎ」
能でろり、従来は１ケ月毎位に完全洗浄をしていたが、
１年間以上、無洗浄で装置ｋｉ稙転１−ることかできる
。
第１図は従来の超純水製造装置の概略図、第２図は本発
明の第１実施例の概略図、第３図は同じく第２実施例の
は略図、第４図は同じく第３実施例の概略図、第５図は
同じく他の一実施例の概略図で、図中１．２は給液ポン
プ、３は膜分離装置、７は使用個所へ超純水を供給する
配管、７′にその基管、／ｌｌは循環管ｌＳ中に設けた
流量調整弁、／７ｆま加圧タンクを示す。 特許出願人 栗田工業株式会社 、、ｊ：□、’＜”。 同 代用１人 弁ｙ１！士 福 １） 武 通１）′〕
５５、 同 （（Ｊ’１人 弁理士 福 １） 賢 三 、、／
゛−”−＝・し １．・
明の第１実施例の概略図、第３図は同じく第２実施例の
は略図、第４図は同じく第３実施例の概略図、第５図は
同じく他の一実施例の概略図で、図中１．２は給液ポン
プ、３は膜分離装置、７は使用個所へ超純水を供給する
配管、７′にその基管、／ｌｌは循環管ｌＳ中に設けた
流量調整弁、／７ｆま加圧タンクを示す。 特許出願人 栗田工業株式会社 、、ｊ：□、’＜”。 同 代用１人 弁ｙ１！士 福 １） 武 通１）′〕
５５、 同 （（Ｊ’１人 弁理士 福 １） 賢 三 、、／
゛−”−＝・し １．・
Claims (5)
- （１）膜分離装置を用いた超純水の製造装置において、 膜分離装置への原水供給手段と、膜分離装置から超純水
を使用個所へ供給する手段との間を常に１易圧に保持す
る陽圧保持＋段を設けたことｔ％徴とする超純水の製造
装置。 - （２） 特許請求の範囲（１）の装置において、陽圧保
持手段は原水の供給圧力を常時一定圧力になるよづにＷ
・！ｌ鋪ｊ７るための弁手段である超純水の製造装置。 - （３） 特許請求の範囲（１）の装置において、陽圧保
持手段は超純水全使用個所に供給する圧力を常時一定圧
力になるように調節するための弁手段である超純水の製
造装置。 - （４） 特許請求の範囲（ＩＪの装置において、陽圧保
持手段は原水供給圧力を常時一定圧力に在るようにａｌ
ｉａ節するための加圧タジ゛り手段である超純水の製造
装置。 - （５） 特許請求の範囲（１）の装置において、陽圧保
持手段は超純水を使用個所に供給する圧力を常時一定圧
力に々るようにｎ１節するための加圧タンク手段である
超純水の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11441083A JPS607989A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 超純水の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11441083A JPS607989A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 超純水の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS607989A true JPS607989A (ja) | 1985-01-16 |
Family
ID=14636987
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11441083A Pending JPS607989A (ja) | 1983-06-27 | 1983-06-27 | 超純水の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607989A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01130958A (ja) * | 1987-11-18 | 1989-05-23 | Rohm Co Ltd | サーマルヘッドの製造方法 |
| EP2008703A1 (de) * | 2001-03-14 | 2008-12-31 | Ludwig Michelbach | Umkehrosmose-Anlage |
| JP2014198292A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 栗田工業株式会社 | 医薬用水製造向け精製水製造方法及び装置 |
| JP2016147209A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 株式会社ジャスト | 浄水器用原水供給装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5220981A (en) * | 1975-08-11 | 1977-02-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Process for controling pressure of reverse osmotic filtering apparatus |
| JPS5499086A (en) * | 1977-10-21 | 1979-08-04 | Tyler Truman V | Reverse osmosis type water purification apparatus |
| JPS54106079A (en) * | 1978-02-08 | 1979-08-20 | Nomura Micro Science Kk | System for prevention of microbe multiplication in filtration mechamism for water and other liquids using hypolymer membrane filtration |
| JPS555712A (en) * | 1978-06-28 | 1980-01-16 | Iwai Kikai Kogyo Kk | Ultrafilter unit |
-
1983
- 1983-06-27 JP JP11441083A patent/JPS607989A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5220981A (en) * | 1975-08-11 | 1977-02-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Process for controling pressure of reverse osmotic filtering apparatus |
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| EP1240938B1 (de) * | 2001-03-14 | 2009-05-06 | Ludwig Michelbach | Umkehrosmose-Anlage |
| JP2014198292A (ja) * | 2013-03-29 | 2014-10-23 | 栗田工業株式会社 | 医薬用水製造向け精製水製造方法及び装置 |
| JP2016147209A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 株式会社ジャスト | 浄水器用原水供給装置 |
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