JP4860915B2 - 送液手段および送液方法 - Google Patents
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Description
2 貯留タンク
3 送液手段
4 超純水製造ユニット(純水使用装置)
10 二次純水システム
11 第1送液管
12 第2送液管
13 第1送液ポンプ
14 第2送液ポンプ
31 第1圧力センサ(検出手段)
32 第2圧力センサ(検出手段)
40 制御装置(流量調整手段を兼ねた制御手段)
50 ブロー管
Claims (6)
- 純水を純水使用装置に送液する純水の送液手段であって、
第1送液ポンプを備えた流量調整可能な第1送液管と、
第2送液ポンプを備えた流量調整可能な第2送液管と、
前記第1送液ポンプ及び前記第2送液ポンプの出口側に設けられた、前記第1送液管および前記第2送液管と前記純水使用装置とを接続する接続管と、
前記第1送液ポンプの稼動状態、および前記第2送液ポンプの稼動状態を検出する検出手段と、
前記第1送液管の流量、および前記第2送液管の流量の少なくとも一方を制御する制御手段と、を備え、
前記第1送液管と、前記第2送液管と、は並列に接続され、
前記制御手段は、
前記検出手段により検出された前記第1送液ポンプの稼動状態、および前記第2送液ポンプの稼動状態の両方が通常運転時である場合、前記第1送液ポンプおよび前記第2送液ポンプの両方を稼動させ、前記第1送液ポンプの送液量、および前記第2送液ポンプの送液量の両方を最大吐出量の40%〜80%に調整し、
前記検出手段により検出された前記第1送液ポンプの稼動状態、および前記第2送液ポンプの稼動状態の一方が異常状態である場合、前記第1送液ポンプおよび前記第2送液ポンプのうち、異常の発生した送液ポンプの稼動を停止し、他方の送液ポンプの送液量を増量することを特徴とする送液手段。 - 前記制御手段は、前記第1送液ポンプの送液量、および前記第2送液ポンプの送液量を調整することにより、前記第1送液管の流量、および前記第2送液管の流量を調整するものであることを特徴とする請求項1記載の送液手段。
- 前記第1送液管に接続されるブロー管、および前記第2送液管に接続されるブロー管をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2記載の送液手段。
- 前記ブロー管は、
前記第1送液管の前記第1送液ポンプの出口側に接続される第1分岐ブロー管と、
前記第2送液管の前記第2送液ポンプの出口側に接続される第2分岐ブロー管と、
前記第1送液管の前記第1送液ポンプの入り口側に接続される第3分岐ブロー管と、
前記第2送液管の前記第2送液ポンプの入り口側に接続される第4分岐ブロー管と、を含み、
前記第1分岐ブロー管、前記第2分岐ブロー管、前記第3分岐ブロー管、前記第4分岐ブロー管のそれぞれに、開閉可能なブロー弁が設けられていることを特徴とする請求項3記載の送液手段。 - 前記制御手段は、インバータ制御を行なうものであることを特徴とする請求項1から4いずれか記載の送液手段。
- 純水を純水使用装置に送液する純水の送液方法であって、
第1送液ポンプを備えた第1送液管と、第2送液ポンプを備え、前記第1送液管と並列に接続されている第2送液管と、前記第1送液ポンプ及び前記第2送液ポンプの出口側に設けられた、前記第1送液管および前記第2送液管と前記純水使用装置とを接続する接続管と、前記第1送液ポンプの稼動状態、および前記第2送液ポンプの稼動状態を検出する検出手段とを備えた送液手段を用い、
前記検出手段により検出された前記第1送液ポンプの稼動状態、および前記第2送液ポンプの稼動状態の両方の稼動状態が通常運転時である場合、前記第1送液ポンプ、および前記第2送液ポンプの両方を最大出力の40〜80%の出力で稼動させ、前記第1送液管、および前記第2送液管の両方に純水を通液して、貯留タンクから前記純水使用装置に純水を供給し、
前記検出手段により検出された前記第1送液ポンプの稼動状態、および前記第2送液ポンプの稼動状態の少なくとも一方が異常状態である場合、前記第1送液ポンプおよび前記第2送液ポンプのうち、異常の発生した送液ポンプの稼動を停止し、他方の送液ポンプを前記通常運転時の出力よりも高い出力で稼動させて、当該他方の送液ポンプを備える送液管に純水を通液して、前記貯留タンクから前記純水使用装置に純水を供給する送液方法。
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