JPS604308A - Ｍｉｃサーキュレータ - Google Patents
ＭｉｃサーキュレータInfo
- Publication number
- JPS604308A JPS604308A JP11321783A JP11321783A JPS604308A JP S604308 A JPS604308 A JP S604308A JP 11321783 A JP11321783 A JP 11321783A JP 11321783 A JP11321783 A JP 11321783A JP S604308 A JPS604308 A JP S604308A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferrite
- substrate
- substrates
- base material
- composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P1/00—Auxiliary devices
- H01P1/32—Non-reciprocal transmission devices
- H01P1/38—Circulators
- H01P1/383—Junction circulators, e.g. Y-circulators
- H01P1/387—Strip line circulators
Landscapes
- Non-Reversible Transmitting Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）発明の技術分野
本発明はＭＩＣ（マイクｌコ波築積回蕗）サーキュレー
タの製造方法に関する。
タの製造方法に関する。
（ｂ）技術の背景
近年はマイクロ波集積回路技術の進歩に伴い、サーキュ
レータも誘電体基板上に形成されてようになワている。
レータも誘電体基板上に形成されてようになワている。
フェライト基板の表面にジャンクションパターンと整合
パターンを有する入出カバターンを形成ゼしめ、外部マ
グネットによりフェライト基板に垂直方向の磁界をジャ
ンクション部に付与して、非可逆性回路を構成せしめた
ＭＩＧナーキュレータがある。
パターンを有する入出カバターンを形成ゼしめ、外部マ
グネットによりフェライト基板に垂直方向の磁界をジャ
ンクション部に付与して、非可逆性回路を構成せしめた
ＭＩＧナーキュレータがある。
しかしフェライト基板は他の非磁性体の誘電体裁板例え
ばアルミナ基板、サフィア基板に比べて誘電体損失が大
きい。またフェライト基板はポーラス結晶でかつ脆性材
料であるのでメタライズの強度が劣り、ポンディグある
いは半田付けなどによる外部回路との接続の信頼度が劣
る。
ばアルミナ基板、サフィア基板に比べて誘電体損失が大
きい。またフェライト基板はポーラス結晶でかつ脆性材
料であるのでメタライズの強度が劣り、ポンディグある
いは半田付けなどによる外部回路との接続の信頼度が劣
る。
このためジャンクション部にフェライト基板を使用し、
他の入出カバターン部にはアルミナ基板を使用した上記
の欠点が除去されたＭＩＣサーキュレータが提供されて
いる。
他の入出カバターン部にはアルミナ基板を使用した上記
の欠点が除去されたＭＩＣサーキュレータが提供されて
いる。
（Ｃ）従来技術と問題点
第１図の（イ）（ロ）は従来のＭ［Ｃサーキュレータの
製造過程を示す斜視図であり、第２図の（イ） （ロ）
はそれぞれ第１図のフェライト円板の挿着方法を示す断
面図である。
製造過程を示す斜視図であり、第２図の（イ） （ロ）
はそれぞれ第１図のフェライト円板の挿着方法を示す断
面図である。
第１図（イ）において、薄い角板状の非磁性体の誘電体
基板（例えばアルミナ基板）のほぼ中心部には丸孔１ａ
が設けられている。厚さが誘電体基板１に等しいフェラ
イト円板２は外径が誘電体基板１の丸孔１ａに嵌挿され
る寸法に形成されている。このようなフェライト・円板
２を（ロ）の如くに誘電体基板１の丸孔１ａに嵌着して
複合基板を構成−μしめ、この複合基板の表面でフェラ
イ１−円板２に対応する部分にジャンクションパターン
４を、ジャンクションパターン４に接続され等角度をな
して放射状に３つの入出カバターン５を形成せしめであ
る。また複合基板の裏面の全面には接１１１！勇体パタ
ーン層（第２図の接地導体パターンＩ−Ｇ）が形成され
てＭｌｌＣサーキュレータ３が構成されている。
基板（例えばアルミナ基板）のほぼ中心部には丸孔１ａ
が設けられている。厚さが誘電体基板１に等しいフェラ
イト円板２は外径が誘電体基板１の丸孔１ａに嵌挿され
る寸法に形成されている。このようなフェライト・円板
２を（ロ）の如くに誘電体基板１の丸孔１ａに嵌着して
複合基板を構成−μしめ、この複合基板の表面でフェラ
イ１−円板２に対応する部分にジャンクションパターン
４を、ジャンクションパターン４に接続され等角度をな
して放射状に３つの入出カバターン５を形成せしめであ
る。また複合基板の裏面の全面には接１１１！勇体パタ
ーン層（第２図の接地導体パターンＩ−Ｇ）が形成され
てＭｌｌＣサーキュレータ３が構成されている。
そしてこのフェライト円板を誘電体基板の丸孔に嵌着す
る方法として第２図に示す２つの手段がある。
る方法として第２図に示す２つの手段がある。
第２図の（イ）の手段は、フェライト円板２の外周端面
に接着剤７を塗布して誘電体基板１の丸孔１ａに嵌挿し
固着する方法である。（ロ）の手段は誘電体基板１の丸
孔１ｂをテーパ一孔となしフェライ１−円板２ａは外周
端面を丸孔１ｂに嵌合うするテーパー状に加工して、丸
孔１ｂに押入し嵌着さしめる方法である。
に接着剤７を塗布して誘電体基板１の丸孔１ａに嵌挿し
固着する方法である。（ロ）の手段は誘電体基板１の丸
孔１ｂをテーパ一孔となしフェライ１−円板２ａは外周
端面を丸孔１ｂに嵌合うするテーパー状に加工して、丸
孔１ｂに押入し嵌着さしめる方法である。
しかしくイ）の手段はフェライト円板２の接着面を加圧
する方法が困難であるので接着剤層の厚さが最適の接着
性を発揮するような丸孔１ａとフェライト円板２との間
隙に精度高（加工しなければならないという問題点があ
る。また（口）の手段はフェライト円板２ａと丸孔１ｂ
とをテーパー加工し、なおかつフェライト円板２ａを嵌
着した状態でフェライト円板２ａの表面が誘電体基板１
の表面に一致するように、高専り度に加工しなければな
らないという問題点がある。
する方法が困難であるので接着剤層の厚さが最適の接着
性を発揮するような丸孔１ａとフェライト円板２との間
隙に精度高（加工しなければならないという問題点があ
る。また（口）の手段はフェライト円板２ａと丸孔１ｂ
とをテーパー加工し、なおかつフェライト円板２ａを嵌
着した状態でフェライト円板２ａの表面が誘電体基板１
の表面に一致するように、高専り度に加工しなければな
らないという問題点がある。
このように両者ともに薄板に高精度の円形加工するもの
で生産性がわるく かつ高コストなＭＩＯサーキュレー
タの製造方法である。
で生産性がわるく かつ高コストなＭＩＯサーキュレー
タの製造方法である。
（ｄ）発明の目的
本発明の目的は上記従来の問題点が除去されたＭＩ Ｃ
サーキュレータの製造方法を提供することにある。
サーキュレータの製造方法を提供することにある。
（ｅ）発明の構成
この目的を達成するために本発明は、ＭＩＣサーキュレ
ータのジャンクシシン部を構成する断面角形のフェライ
トパーを、板状の誘電体基材の平面に並行して設けられ
た角形の凹溝の嵌着せしめて複合基材を構成せしめ、該
複合基材を前記フェライトパーに直交する平面でスライ
スして複数の複合基板に分離し、該複合基板の表面のフ
ェライト基板部にジャンクションパターンと誘電体基板
上に該ジャンクションパターンに接続された入出カバタ
ーンとを形成し、裏面には接地導体パターンを形成し、
その後咳複合基板を個々のＭＩＣサーキュレータに切断
分離するようにしたものである。
ータのジャンクシシン部を構成する断面角形のフェライ
トパーを、板状の誘電体基材の平面に並行して設けられ
た角形の凹溝の嵌着せしめて複合基材を構成せしめ、該
複合基材を前記フェライトパーに直交する平面でスライ
スして複数の複合基板に分離し、該複合基板の表面のフ
ェライト基板部にジャンクションパターンと誘電体基板
上に該ジャンクションパターンに接続された入出カバタ
ーンとを形成し、裏面には接地導体パターンを形成し、
その後咳複合基板を個々のＭＩＣサーキュレータに切断
分離するようにしたものである。
（ｆ）発明の実施例
以下図示実施例を参照して本発明について詳細に説明す
る。なお企図をつうじて同一符号は同一対象物を示す。
る。なお企図をつうじて同一符号は同一対象物を示す。
第３図は本発明の一実施例の（イ）、（ロ）。
（ハ）、（ニ）はそれぞれ製造過程を示す斜視図である
。
。
同図（イ）において複数（図では３つ）のフェライトパ
ー１０はそれぞれ同形状で、幅がジャンクションパター
ンの直径よりも小さい断面角形である。非磁性体よりな
る板状の誘電体基材（例えばアルミナ基板）８の上平面
には所望の間隔で並行して、深さがフェライトパー１０
の厚さにほぼ等しいフェライトパー１０が嵌挿する角形
の凹溝９がもうけられている。
ー１０はそれぞれ同形状で、幅がジャンクションパター
ンの直径よりも小さい断面角形である。非磁性体よりな
る板状の誘電体基材（例えばアルミナ基板）８の上平面
には所望の間隔で並行して、深さがフェライトパー１０
の厚さにほぼ等しいフェライトパー１０が嵌挿する角形
の凹溝９がもうけられている。
そして（ロ）のごとくにフェライトパー１０をそれぞれ
の誘電体基材８の凹溝９に嵌挿し接着剤にて固着して複
合基材１１を構成せしめる。
の誘電体基材８の凹溝９に嵌挿し接着剤にて固着して複
合基材１１を構成せしめる。
つぎに複合基材１１をフェライトパー１０に直交した平
面（鎖線Ｚ−Ｚで示す）で切断し所望の厚さにスライス
して複数の複合基板に分離する。
面（鎖線Ｚ−Ｚで示す）で切断し所望の厚さにスライス
して複数の複合基板に分離する。
そして（ハ）のようにそれぞれの複合基板の両面を例え
ば研磨加工して平湯にし、所望の厚さに仕上げる。この
ようにして平面視が短冊状の誘電体基板１３の一方の側
縁部にコ形のフェライ］・基板１４が嵌め込まれて並列
した複合基板１２とする。
ば研磨加工して平湯にし、所望の厚さに仕上げる。この
ようにして平面視が短冊状の誘電体基板１３の一方の側
縁部にコ形のフェライ］・基板１４が嵌め込まれて並列
した複合基板１２とする。
つぎに（ニ）のように、複合基板１２０表面にはそれぞ
れのフェライト基板１４部分にジャンクションパターン
４と誘電体基板１３上にそれぞれのジャンクションパタ
ーン４に接続された入出カバターン５とを形成し、裏面
には接地導体パターンを形成する。
れのフェライト基板１４部分にジャンクションパターン
４と誘電体基板１３上にそれぞれのジャンクションパタ
ーン４に接続された入出カバターン５とを形成し、裏面
には接地導体パターンを形成する。
そしてそれぞれのジャンクションパターン４が角形のほ
ぼ中心となるように、誘電体基板１３上でフェライト基
板１４に並行する鎖線Ｘ−Ｘ部分にて切断して、複合基
板１２を個々のＭＩＣサーキュレータ３に分離する。
ぼ中心となるように、誘電体基板１３上でフェライト基
板１４に並行する鎖線Ｘ−Ｘ部分にて切断して、複合基
板１２を個々のＭＩＣサーキュレータ３に分離する。
このようにすべての加工面が平面であるので高精度でか
つ容易に加工することができる。
つ容易に加工することができる。
（ｇ）発明の効果
以Ｊ−説明したように本発明は加工が容易で量産的であ
り、かつ低コストで誘電体損失が少なく接続上の信頼度
が高いＭＩＣサーキュレータを得ることができるという
実用上で優れた効果がある。
り、かつ低コストで誘電体損失が少なく接続上の信頼度
が高いＭＩＣサーキュレータを得ることができるという
実用上で優れた効果がある。
第１図の（イ）（ロ）は従来のＭＩＣサーキュレータの
製造過程を示す斜視図であり、第２図の（イ） （ロ）
はそれぞれ第１図のフェライト円板の挿着方法を示す断
面図、第３図は本発明の一実施例の（イ）、（ロ）、（
ハ）、（ニ）はそれぞれ製造過程を示す斜視図である。 図中１．１３は誘電体基板、１ａは丸孔、２゜２ｄはフ
ェライト円板、３はＭＩＣサーキュレータ、４はジャン
クションパターン、５は入出カバターン、６は接地導体
パターン、７は接着剤、８は誘電体乱打、９は凹溝、１
０はフェライトパー１１は複合基材、１２は複合基板、
１４はフェラ第 １ 図 （イ） （イジ 第３図 （イ９
製造過程を示す斜視図であり、第２図の（イ） （ロ）
はそれぞれ第１図のフェライト円板の挿着方法を示す断
面図、第３図は本発明の一実施例の（イ）、（ロ）、（
ハ）、（ニ）はそれぞれ製造過程を示す斜視図である。 図中１．１３は誘電体基板、１ａは丸孔、２゜２ｄはフ
ェライト円板、３はＭＩＣサーキュレータ、４はジャン
クションパターン、５は入出カバターン、６は接地導体
パターン、７は接着剤、８は誘電体乱打、９は凹溝、１
０はフェライトパー１１は複合基材、１２は複合基板、
１４はフェラ第 １ 図 （イ） （イジ 第３図 （イ９
Claims (1)
- ＭＩＣザーキュレータのジャンクション部を構成する断
面角形のフェライトバーを、板状の誘電体裁材の平面に
並行して設けられた角形の凹溝の嵌着せしめて複合基材
を構成せしめ、該複合基材を前記フェライ］・パーに直
交する平面でスライスして複数の複合基板に分離し、該
複合基板の表面のフェライト基板部にジャンクションパ
ターンと誘電体基板上に該ジャンクションパターンに接
続された入出カバターンとを形成し、裏面には接地導体
パターンを形成し、その後該複合基板を個々のＭＩＣサ
ーキュレータに切断分離することを特徴とするＭＩＣＩ
Ｃジルュレータの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11321783A JPS604308A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | Ｍｉｃサーキュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11321783A JPS604308A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | Ｍｉｃサーキュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS604308A true JPS604308A (ja) | 1985-01-10 |
| JPH0568122B2 JPH0568122B2 (ja) | 1993-09-28 |
Family
ID=14606538
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11321783A Granted JPS604308A (ja) | 1983-06-23 | 1983-06-23 | Ｍｉｃサーキュレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604308A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6504444B1 (en) | 1997-11-07 | 2003-01-07 | Nec Corporation | High frequency integrated circuit including an isolator and dielectric filter |
| WO2003090307A1 (en) * | 2002-04-16 | 2003-10-30 | Raytheon Company | Embedded planar circulator and a method for fabricating the same |
| JP2011515998A (ja) * | 2008-03-26 | 2011-05-19 | スカイワークス ソリューションズ インコーポレイテッド | サーキュレータおよびアイソレータ用複合アッセンブリーを製造するための磁気と誘電体材料の混焼 |
-
1983
- 1983-06-23 JP JP11321783A patent/JPS604308A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6504444B1 (en) | 1997-11-07 | 2003-01-07 | Nec Corporation | High frequency integrated circuit including an isolator and dielectric filter |
| WO2003090307A1 (en) * | 2002-04-16 | 2003-10-30 | Raytheon Company | Embedded planar circulator and a method for fabricating the same |
| JP2011515998A (ja) * | 2008-03-26 | 2011-05-19 | スカイワークス ソリューションズ インコーポレイテッド | サーキュレータおよびアイソレータ用複合アッセンブリーを製造するための磁気と誘電体材料の混焼 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0568122B2 (ja) | 1993-09-28 |
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