JPS6033064A - パターン検査装置の自己診断方法 - Google Patents
パターン検査装置の自己診断方法Info
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|---|---|---|---|
| JP58141326A JPS6033064A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | パターン検査装置の自己診断方法 |
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| JP58141326A JPS6033064A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | パターン検査装置の自己診断方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033064A true JPS6033064A (ja) | 1985-02-20 |
| JPH0354312B2 JPH0354312B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-08-19 |
Family
ID=15289327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58141326A Granted JPS6033064A (ja) | 1983-08-01 | 1983-08-01 | パターン検査装置の自己診断方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033064A (enrdf_load_stackoverflow) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6279997A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-13 | 沖電気工業株式会社 | センサの機能自己診断方法 |
| KR100544343B1 (ko) * | 2003-07-16 | 2006-01-23 | 주식회사 영테크 | 인쇄회로기판 검사장치 |
| JP2021163593A (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-11 | 矢崎総業株式会社 | シールド電線の端末処理部の検査装置およびその検査装置の機能診断方法 |
-
1983
- 1983-08-01 JP JP58141326A patent/JPS6033064A/ja active Granted
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6279997A (ja) * | 1985-10-04 | 1987-04-13 | 沖電気工業株式会社 | センサの機能自己診断方法 |
| KR100544343B1 (ko) * | 2003-07-16 | 2006-01-23 | 주식회사 영테크 | 인쇄회로기판 검사장치 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0354312B2 (enrdf_load_stackoverflow) | 1991-08-19 |
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