JPS6279997A

JPS6279997A - センサの機能自己診断方法

Info

Publication number: JPS6279997A
Application number: JP22024485A
Authority: JP
Inventors: 古屋　裕基
Original assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Current assignee: Oki Electric Industry Co Ltd
Priority date: 1985-10-04
Filing date: 1985-10-04
Publication date: 1987-04-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、センサの機能自己診断方法に係り、特に、自
動搬送機構に付設される被搬送物の識別を行うためのセ
ンサの機能自己診断方法に関する。

（従来の技術）従来、半導体集積回路装置を組み立てる場合には、フレ
ーム上にＩＣペレットを取り付けるグイボンド工程、ダ
イスボンドされたＩＣペレットの電極と半導体フレーム
のリード部を金属細線で接続するワイヤボンド工程など
があり、これらの各工程の始めと終わりにはマガジンに
半製品を収納するようになっている。この場合、マガジ
ン単位で各工程を流してゆくことになるが、通常マガジ
ンの外観からだけでは収納された半製品がどの型名の半
導体集積回路装置か識別出来ないので、これを識別する
必要がある０例えば、第４図に示されるように、半製品
が収納されたマガジン（第５図参照）をＡ点からＢ点ま
で搬送する時には、その自動搬送機構、例えば、ロボッ
トは原点位置Ｃ点から腕を伸ばしてＡ点のマガジン１を
把持し、Ｂ点へ搬送し、マガジンを解放後、原点位置Ｃ
点へ戻る。このような搬送を行う場合には、Ａ点におい
て把持するマガジン１内の半導体装置の半製品の型名、
ロンド番号などを識別する必要がある。

このような識別を行うために、識別手段を有する半導体
リードフレーム収納用マガジンが提案されている、（同
一出願人の出願に係る実贈＠５θ−δＢ４５号などが挙
げられる。）第５図は係る半導体リードフレーム収納用マガジンの斜
視図であり、半導体リードフレーム収納用マガジン１の
上部板１ａには識別用の穴２を設け、所望のバイナリ−
コード化するための所定の箇所を識別部材３でもって塞
ぐようにしている。

即ち、穴２は所定の間隔に設けられ、コードのビット位
置を設定できるようになっている。従って、識別部材３
が装着される穴２の位置と数によってマガジンの番号が
識別される。

次に、その識別の仕方について説明する。

第６ｙ！Ｊはその識別方法の説明図であり、第６図（ａ
）はセンサ付きロボットによるマガジンの把持状態斜視
図、第６図（ｂ）は同センサの動作説明図である。

図に示されるように、ロボット４の把持部４ａには光電
センサ５が設けられており、把持部４ａがマガジン１を
把持するとマガジンの上部板１ａにセットされている識
別部材をこの光電センサ５で読み取ることになる。即ち
、第６図（ｂ）に示されるように、識別部材３及び穴２
に対応するように、発光ダイオードから成る発光部５ａ
とホトトランジスタから成る受光部５ｂとを有する反射
型センサ５が複数個配置される。

そこで、発光部５ａから発生した光は穴２が識別部材３
により塞がれている箇所ではその識別部材３によって反
射し、受光部５ｂに達することにより、受光部５ｂのホ
トトランジスタは導通状態になる。この状態で「１」を
出力したとすると、穴２が塞がれていない箇所では発光
部５ａから発生する光は穴２を通り抜は反射しないので
受光部５ｂのホトトランジスタは非導通状態のままであ
る。この状態で「０」を出力することになる。

このように、この出力信号は二値化されたマガジンの識
別番号として識別するように構成されている。半導体装
置の製造工程を的確に遂行するためには、このようなマ
ガジンの識別センサは正しく機能しているか否かを診断
する必要がある。

そこで、光電式センサ５によりマガジンの識別機能を診
断するには、従来、例えば、以下のような方法が採用さ
れていた。

第７図及び第８図は係るセンサの機能診断方法の説明図
であり、第７図（ａ）はチェック用のスペーサの挿入に
よるセンサの第１動作診断状態斜視図、第７図（ｂ）は
その時のセンサの動作状態説明図、第８　Ｒ（ａ）はチ
ェック用のスペーサを取り外したセンサの第２動作診断
状態斜視図、第８図（ｂ）はその時のセンサの動作状態
説明図である。

図に示されるように、まず、最初にロボットの原点位置
（第１図における０点）において、ロボットの機能を停
止させた状態でスペーサ６を手に持って光電センサ５の
読み取り部に差し込み、光電センサ５の第１の動作状態
、つまり、オン状態を、例えば、「１」が出力されるこ
とにより確認し、第２動作状態、つまり、オフ状態の診
断は第８図に示すように、同スペーサ６を光電センサ５
の読み取り部より抜き出すと光電センサ５がオフとなり
、これを、例えば、「０」が出力されることにより、確
認するようにしていた。

（発明が解決しようとする問題点）しかしながら、この従来のセンサの機能診断方法によれ
ば、センサのオンオフ機能診断は手作業によっており、
定期的な診断に難がある。特に、被搬送物が搬送される
毎のセンサの診断は人手を介しては不可能である。その
ために、被搬送物が誤って搬送されたり、ロボットによ
る搬送設備の破壊につながるといった問題があった。ま
た、センサの機能の診断のためにはロボットを一旦停止
させるため作業効率が低減すると共に作業の安全性から
しても問題があった。

本発明は、上記問題点を除去し、センサの機能診断の自
動化を図り、定期的に、特に、搬送工程毎にその原点に
おいて、しかも、効率的にセンサの機能診断が可能なセ
ンサの機能自己診断方法を提供することを目的とする。

（問題点を解決するための手段）本発明は、上記問題点を解決するために、自動搬送機構
の把持部に付設される被搬送物の識別のためのセンサの
機能自己診断方法において、前記把持部が移動する経路
上に診断用治具を設けて、該冶具にセンサを対向させて
センサがオン状態にあることを確認し、センサが該治具
より離れるとセンサがオフ状態になることを確認してセ
ンサの機能自己診断を行うようにしたものである。

（作用）本発明によれば、自動搬送機構の把持部に設けられる被
搬送物の識別のためのセンサは被搬送物の識別を開始す
る前に自動的に自動搬送機構自身によって、その機能の
診断を行う、従って、センサの適切な診断が行われ、製
造工程の円滑な遂行を行うことができる。

（実施例）以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図及び第２図は本発明に係るセンサの機能自己診断
方法の説明図であり、第１図（ａ）はセンサの第１の動
作確認状態の斜視図、第１図（ｂ）はそのセンサの動作
の説明図である。第２図（ａ）は同じくセンサの第２の
動作確認状態の斜視図、第２図（ｂ）はそのセンサの動
作の説明図である。更に第３図は搬送経路の説明図であ
る。

これらの図に示されるように、例えば、光電センサ５を
備えたロボット４がマガジン１　（第５図参照）をＡ′
点からＢ′点まで自動搬送する場合、まず、原点位置Ｃ
′点からＡ′点に移動し、このＡ′点でマガジン１を把
持してこのマガジン１をＢ′点まで自動搬送し、その後
、ロボット４は原点位置Ｃ′点に戻る。この場合、原点
値２ｃ’点に第１図（ａ）及び第２図（ｂ）に示される
ように、センサ機能診断用治具７を設ける。そしてこの
治具７に１図（ａ）に示されるように、光電センサ５を
対応させろと、第１図（ｂ）に示されるように、光電セ
ンサ５の発光部５ａより発生した光はセンサ機能診断用
治具７の上面から受光部５ｂに至り、オンの状態になり
、例えば、第２図（ａ）に示されるようにロボット４の
光電式センサ５をセンサ機能診断用治具７から離すと、
第２図（ｂ）のように、光電式センサ５の発光部５ａよ
り発生した光はそのまま直進し、受光部５ｂには至らず
、オフ状態になり、例えば、センサば「０」を出力する
。

このように、センサの機能の診断はロボットの把持部の
移動経路中に設置されるセンサ機能診断用治具７を用い
てロボット自身が自己診断を行えるように構成している
。

そして、この自己診断は、ロボットの動作の１サイクル
毎に行うことができる。もちろん、ｌサイクルごとに診
断するまでもない場合にはその診断間隔は適宜選定する
ことができる。

また、上記実施例においては、ロボットの原点位置Ｃ′
点に診断用治具７を設けているが場合によっては、本来
搬送されるべきマガジンに代えて、センサ機能診断用の
ダミーのマガジンを流し、そのマガジンによって診断を
行うようにすることもできる。

更に、自動搬送経路は多種多様に設定することができこ
とは言うまでもない。例えば、第３図に示された搬送工
程をＣ′点を中心にして円周に複数の搬送工程をセット
したり、Ａ′点でマガジンを識別するとその識別に基づ
いて複数のステーションに搬送する。つまり、Ａ′点を
中心にして放射状に配置されるステーションにマガジン
を選別搬送するように構成することができる。そして、
この場合にも原点において確実な自己診断を行うことが
できる。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果）以上詳細に説明したように、本発明によれば、自動搬送
機構の把持部に付設される被搬送物の識別のためのセン
サ機能診断方法において、前記把持部の移動経路上に診
断用ワークを設け、前記セ　−ンサを該診断用ワークに
対応させて該センサの第１の動作を確認するステップと
、前記センサを前記診断用ワークから離脱させて該セン
サの第２の動作を確認するステップとを有するようにし
たので、（１）自動的に、しかも、定期的にセンサ機能の診断を
行うことができる。特に、搬送工程毎にその開始時点に
おいて確実なセンサ機能のチェックを行うことができる
。

（２）人手を介することがなく、しかも、自動搬送機構
を停止することがないため、効率的に、しかも、安全に
センサ機能の診断を行うことができる。

従って、被搬送物は正確に識別されることになり、製造
工程における信顛性の向上並びに経済性、安全性の向上
に資するところ大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るセンサの第１動作確認状態説明図
、第２図は本発明に係るセンサの第２動作確認状態説明
図、第３図は本発明の一実施例としての搬送経路の説明
図、第４図は従来の搬送経路の説明図、第５図は半導体
リードフレーム収納用マガジンの斜視図、第６図は従来
のセンサによるマガジンの識別状態説明図、第７図は従
来のセンサの第１動作確認状態説明図、第８図は従来の
センサの動作確認状態説明図である。１・・・マガジン、１ａ・・・上板部、２・・・穴、３
・・・識別部材、４・・・ロボット、４ａ・・・把持部
、５・・・センサ、７・・・診断用治具。

Claims

【特許請求の範囲】

自動搬送機構の把持部に付設される被搬送物の識別のた
めのセンサの機能自己診断方法において、前記把持部の
移動経路上に診断用治具を設け、前記センサを該診断用
治具に対応させて該センサの第１の動作を確認するステ
ップと、前記センサを前記診断用治具から離脱させて該
センサの第２の動作を確認するステップとを有すること
を特徴とするセンサの機能自己診断方法。