JPS6032385A - レ−ザ・ダイオ−ド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は単一モード、高安定発振波長のレージ“・ダイ
オードに関する。

従来例の構成とその問題点 従来、単一モードで、かつ温度変化の微少な発振波長の
レーＩＦ発振を１！７る強力な方法【よ、分イｊｉ増幅
型（ＤＦＢ）レーザを用いることである。このＤＦＢレ
ーザの基本的原理は、共振器に沿って屈折率の周期的変
化をつけることによって、その周期に一致する波長のレ
ーザ動作を１ｑるにある。周期的な屈折率の変化は、共
振器の側面に一定の間隔で設（）られＩこノツチにＪ：
って、実効的に、もえられるのが代表的な方法であるが
、この方法はかなりの高度技術を要求し、このレーザ・
ダイア１−−ドの作製は容易ではないのが現状である。

発明の目的 本発明はＤＦＢレーザよりも簡単に作製できるレーザ・
ダイオードを提供することを目的とする。

発明の構成 本発明のレーザ・ダイオードは、共振器となる活性層の
反射端面に屈折率の責なる二種の絶縁体層を交互に積層
して成る多重層を設置Ｊたことを特徴とする。

実施例の説明 以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

図面１Ｊ本発明ににるダブルヘデ【］・レーザ・グイオ
ードの要部断面図である。ＪＬ振器としての活性層１の
両側には２，３で示すｐとｎのＧａＡρＡｓのクララ１
〜層が続き、ｎ−ＧａＡρＡＳのクラット層３はｎ　−
Ｇａ　Ａρ基板（図示せず）へと続ぎ、ｐ−Ｇａ　Ａｕ
Ａｓのクラｙ　ｔ−層２は　ｐ−ＧａＡｐ層（図示せず
）へ続いている。以上は通常のダブルへテロ・レーザ・
ダイオードの）苦造である。本発明では、活性層６の反
則端面外側からクララ１〜居２．３にわたって多重層４
カ’　ＱＱ　４ノられている。

この多重層４は、５ａ、５１１，５ｃ、５ｄで示される
へρ２０３層と、（３ａ、６ｂ、６ｃで示される３ｉＱ
２ｆｆｌとを交互に積層して形成されている。各層の厚
さは、レーザ光の物質内波長をλとした時に〔ｎ→−（
１／　４）　）λ（但し、ｎは零を含む整数〕のとき、
端面からの反則は最大となる。

この波長の選択度はブラッグ反射のために多ｍ層４の層
の数が多いほど高い。

また、多重層４の層の厚さがλの整数１８か（ｎ＋　（
１／　２）　）λ〔但し、ｎは零を含む整数〕のときに
は、図面のように多重層４の外部表面に更に例えばＡＵ
から成る反射膜やを形成して高い反射率が確保される。

なＪ３、（ｎ　＋（１／　４）　）λの賜金にも同様に
反射膜７は反射率を高めるのに有用である。

次に、更に具体的な実施例を説明りる。

活性層１としてＱａ　、Ａｓを用い、室温動作とする。

多重層４としてΔΩ２０３ど５ｉＯｚから成る１１の層
を形成し、多重層４の外部表面にＡｕから成る反射膜７
を設置ノる。ＡＱ２０３と５ｉＯｚの各層の厚さ【よそ
れぞれ０．１２μｍと０．１４μｍである。これにＪ、
って８１００Ａの発振波長で、温度安定した発振波長の
単一モード発振レーザダイオードが得られた。

上記実施例において、多重Ｆ７４の各（Ｄの厚さを（ｎ
→−＜　１／　４）　）λ、λの整数イ８、（１１−１
−（１／２）Ｊλとして説明し−１こが、これ【３１．
λ／２の整檻 数倍またはλ／４の奇数にすることににって安定な発振
が１ｑられる。

発明の詳細 な説明のように本発明のレーザ・ダイオードによると、
共振器の反射端面に多重層を形成した構成であるためＤ
　Ｉ＝　Ｂレーリ゛ｊ：す・し作製が容易でかつ温度変
化の微少な安定した波長の発振が得られるものである。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明のレーザ・ダイオードの置部拡大断面図で
ある。 １・・・活性層、４・・・多重層、５ａ、５ｂ、５ｃ。 ５ｄ−ＡｌＩ３０３．６ａ　、６ｂ　、６ｂ　・−８ｉ
　０２．７・・・反射膜 代理人　森　本　義　弘

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、共振器どなる活ｔ！１層の反則面に屈折率の異なる
   二種類の絶縁体層を交互に積層して成る多重層を設けた
   レーザ・ダイオード。 ２、絶縁体層の厚さ３、レーザ光の物質内波長をλとし
   た詩にλ／２の！ｌ！！数（８またはλ／４の奇数倍に
   形成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
   レーナ・ダイオード。