JPS6030183A - 薄膜太陽電池 - Google Patents
薄膜太陽電池Info
- Publication number
- JPS6030183A JPS6030183A JP58138569A JP13856983A JPS6030183A JP S6030183 A JPS6030183 A JP S6030183A JP 58138569 A JP58138569 A JP 58138569A JP 13856983 A JP13856983 A JP 13856983A JP S6030183 A JPS6030183 A JP S6030183A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- solar cell
- thin film
- back electrode
- film solar
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims 1
- -1 silver-aluminum Chemical compound 0.000 claims 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 32
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 10
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 229910000714 At alloy Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
- 238000000985 reflectance spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
- H10F77/20—Electrodes
- H10F77/206—Electrodes for devices having potential barriers
- H10F77/211—Electrodes for devices having potential barriers for photovoltaic cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/52—PV systems with concentrators
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
この発明は、光の入射側の透明な表面電極と反対側の金
属からなる裏面電極とを有する薄膜太陽電池に関する。
属からなる裏面電極とを有する薄膜太陽電池に関する。
この種の薄膜太陽電池として非晶質シリコン(以下a−
8iと略記)を用いた、例えばガラス/透明導電膜/
a−8i /金属 構造のものが知られている。従来、
この構造の太陽電池の裏面金属として、a −S iに
対して電気的にオーム性接触が可能であり、かつa −
S i及び透明導電膜との接着性に優れ、リード接続の
容易な金属が用いられている。
8iと略記)を用いた、例えばガラス/透明導電膜/
a−8i /金属 構造のものが知られている。従来、
この構造の太陽電池の裏面金属として、a −S iに
対して電気的にオーム性接触が可能であり、かつa −
S i及び透明導電膜との接着性に優れ、リード接続の
容易な金属が用いられている。
薄膜太陽電池の裏面電極として、このような諸条件ヲ満
たすために、例えばアルミ/チタン/銀はアルミ(At
)であシ、Atは又a−8i、透明導電膜と良好な接着
性を持つ。リード接続に優れた銀(Ag)を最上層に用
い、AtとAgとの”なじみ”を良くするためにその中
間にチタン(Ti)を挿入している。
たすために、例えばアルミ/チタン/銀はアルミ(At
)であシ、Atは又a−8i、透明導電膜と良好な接着
性を持つ。リード接続に優れた銀(Ag)を最上層に用
い、AtとAgとの”なじみ”を良くするためにその中
間にチタン(Ti)を挿入している。
このような表面電極を用いた例えばガラス/透明導電膜
/IJ−i−n/金属 構造簿膜太陽電池の断面構造を
第1図に示す。この図において光10はガラス基板1側
から入射し、透明導電膜2、p層a−8i膜3を経て光
電流発生領域であるi層a−8i膜4に達する。a−8
i膜で吸収されずに透過した長波長光はn層a −S
i膜5を経て裏面金属(この例ではAt ) 6で反射
され、再び1層a −S i膜種中で光電流発生に寄与
する。
/IJ−i−n/金属 構造簿膜太陽電池の断面構造を
第1図に示す。この図において光10はガラス基板1側
から入射し、透明導電膜2、p層a−8i膜3を経て光
電流発生領域であるi層a−8i膜4に達する。a−8
i膜で吸収されずに透過した長波長光はn層a −S
i膜5を経て裏面金属(この例ではAt ) 6で反射
され、再び1層a −S i膜種中で光電流発生に寄与
する。
ところが従来用いられて来たAtは光の反射率が長波長
領域であまル高くない(600nmで約&5%。
領域であまル高くない(600nmで約&5%。
800nmで約80%)ため、この長波長光を充分に有
効に利用し得す、光発生電流損失要因の一つになってい
る。
効に利用し得す、光発生電流損失要因の一つになってい
る。
この解決策として光の反射率の高いAgを裏面電極とし
て用いる検討が行われている。例えばカタラノ(A、C
atalano )らによれば、Ag ’x裏面電極と
して用いた面積1dのガラス/透明導電膜/ p−i
−n / Ag構造の太陽電池において、AM−1(1
00rnw101)照射下の短絡光電流は、裏面電極で
の反射率効果を含めて17.8 ”A/ryrtを得た
と報告している。ところがこのAg膜はa−8iとの接
着性が弱く、Atの場合の皆0以下であシ、実験的に小
面積の太陽電池に適用する場合は良いが、実用的な大面
績a −S i太陽電池VCJa用するにはAg膜のは
がれなどが生じ太陽N池特性の低下する欠点があっブこ
。
て用いる検討が行われている。例えばカタラノ(A、C
atalano )らによれば、Ag ’x裏面電極と
して用いた面積1dのガラス/透明導電膜/ p−i
−n / Ag構造の太陽電池において、AM−1(1
00rnw101)照射下の短絡光電流は、裏面電極で
の反射率効果を含めて17.8 ”A/ryrtを得た
と報告している。ところがこのAg膜はa−8iとの接
着性が弱く、Atの場合の皆0以下であシ、実験的に小
面積の太陽電池に適用する場合は良いが、実用的な大面
績a −S i太陽電池VCJa用するにはAg膜のは
がれなどが生じ太陽N池特性の低下する欠点があっブこ
。
この発明は、Agの高い反射率を損うことなく。
a −S iとの接着強度を増大し得る金属′!i−裏
面電極として用いた薄膜太@電池を提供することを目的
とする。
面電極として用いた薄膜太@電池を提供することを目的
とする。
この発明は、透明表面電極/a−8i/金属裏面電極
構造太陽電池において、裏面電極の少なくとも表面にA
tを0.1〜10重量%含んだAg−八を合金層を有す
ることによって上記の目的を達成する。
構造太陽電池において、裏面電極の少なくとも表面にA
tを0.1〜10重量%含んだAg−八を合金層を有す
ることによって上記の目的を達成する。
第2図はこの発明の実施例を示すもので、ガラス基板1
の上に作られた第1図と同様な構造のa−8i太陽電池
の裏面電極7の金属にAz−Ag合金が用いられている
。第3図は別の実施例を示すもので、第2図のものと相
違する点は基板としてステンレス鋼板8t−用いた点で
この場合Ag−At合金膜9はステンレス鋼板8とa−
8i膜30間に挿入され、透明導成膜2から入射した元
のうちの長波長光成分を有効に反射する効果がある。こ
の場合透明導電膜2の上には集電電極11が設けられて
いる。
の上に作られた第1図と同様な構造のa−8i太陽電池
の裏面電極7の金属にAz−Ag合金が用いられている
。第3図は別の実施例を示すもので、第2図のものと相
違する点は基板としてステンレス鋼板8t−用いた点で
この場合Ag−At合金膜9はステンレス鋼板8とa−
8i膜30間に挿入され、透明導成膜2から入射した元
のうちの長波長光成分を有効に反射する効果がある。こ
の場合透明導電膜2の上には集電電極11が設けられて
いる。
Ag−At合金層7あるいは9の形成は、蒸発源である
Agハースの上に1〜51のAtベレットヲ載置し、電
子ビームにより真空蒸4を行うことによって行われ、h
i −0,1−101Lfj&%を含んだAg−At合
金層が得られる。
Agハースの上に1〜51のAtベレットヲ載置し、電
子ビームにより真空蒸4を行うことによって行われ、h
i −0,1−101Lfj&%を含んだAg−At合
金層が得られる。
なお第2図、第3図の1層及びp層a−8i膜の代υに
、光の透過性1c優れたυん又はボロンをドープした微
結晶化膜あるいはa−8iC膜を用いることは、本発明
に何ら悪影響を及ぼすものではなく、むしろ本発明の主
旨によシ一層合致したものと言える。
、光の透過性1c優れたυん又はボロンをドープした微
結晶化膜あるいはa−8iC膜を用いることは、本発明
に何ら悪影響を及ぼすものではなく、むしろ本発明の主
旨によシ一層合致したものと言える。
この発明によれば、光の入射側から透明表面電極/a−
8i/金属裏面電極の構造を持つ太陽電池において、裏
面電極として特に長波長領域で高い反射iv示すiu
?I: 0.1〜10 wt%含んだAg−At合金膜
を用いているので、長波長光を有効に利用し得るため、
太陽電池の短絡電流が増大する。第4図に、At/ガラ
ス、Ag/ガラス及び本発明にょるAt−Ag合金/ガ
ラス ザンプルにおいてガラス側から光を入射した場合
の反射率特性を示す。本発明によるAt−Ag合金膜は
lhに6Q011111以上の長波長領域においてAg
に近い高い反射率が得られている。
8i/金属裏面電極の構造を持つ太陽電池において、裏
面電極として特に長波長領域で高い反射iv示すiu
?I: 0.1〜10 wt%含んだAg−At合金膜
を用いているので、長波長光を有効に利用し得るため、
太陽電池の短絡電流が増大する。第4図に、At/ガラ
ス、Ag/ガラス及び本発明にょるAt−Ag合金/ガ
ラス ザンプルにおいてガラス側から光を入射した場合
の反射率特性を示す。本発明によるAt−Ag合金膜は
lhに6Q011111以上の長波長領域においてAg
に近い高い反射率が得られている。
試作された上記構造のa−8i太陽電池における裏面電
極として、At / T i / Ag 、Ag及び本
発明によルAt−Ag合金膜を用イタ場合ノAM−1(
100”W//d)照射下での短絡′4流測測定果21
1−第1表に示す。
極として、At / T i / Ag 、Ag及び本
発明によルAt−Ag合金膜を用イタ場合ノAM−1(
100”W//d)照射下での短絡′4流測測定果21
1−第1表に示す。
第4図に示した結果から予想される通り、本発明による
A、a −Ag合金膜を用いた場合、Agの場合と同程
度の値が得られている。
A、a −Ag合金膜を用いた場合、Agの場合と同程
度の値が得られている。
第 1 表
また、上記3釉類のa −S i太陽電池の裏面電極と
a −S i膜の接着強度を接触面直径5誠のリード線
付後の引張強度として評価した結果、本発明によるAg
−At合金は、Ag膜較べて2倍以上の強度が得られる
。
a −S i膜の接着強度を接触面直径5誠のリード線
付後の引張強度として評価した結果、本発明によるAg
−At合金は、Ag膜較べて2倍以上の強度が得られる
。
第1図は従来のガラス基板a −S i太陽電池の断面
構造模型図、舘2図は本発明の実施例を示すa−S i
太@電池の断面構造模型図、第3図は本発明の異なる実
施例の断面構造模型図、第4図は本発明のAg −Aj
a合金膜を含めた金属/ガラス構造試料のガラス基板側
から光を入射した時の光の反射率スペクトル図、である
。 1・・・ガラス基板、2・・・透明導電膜、3・・・p
層a−S i膜、4 ・・i Jfli a−8i膜、
5− n Na−8i膜、7・・・Ag−At合金裏面
電極、8・・・ステンレス鋼基板、9・・・Ag−At
合金膜。 箋 11図 第2回 第3図 嘗 ト 成長 (引π) 第今回
構造模型図、舘2図は本発明の実施例を示すa−S i
太@電池の断面構造模型図、第3図は本発明の異なる実
施例の断面構造模型図、第4図は本発明のAg −Aj
a合金膜を含めた金属/ガラス構造試料のガラス基板側
から光を入射した時の光の反射率スペクトル図、である
。 1・・・ガラス基板、2・・・透明導電膜、3・・・p
層a−S i膜、4 ・・i Jfli a−8i膜、
5− n Na−8i膜、7・・・Ag−At合金裏面
電極、8・・・ステンレス鋼基板、9・・・Ag−At
合金膜。 箋 11図 第2回 第3図 嘗 ト 成長 (引π) 第今回
Claims (1)
- 1)光の入射側の透明表面電極と反対側の金属裏面電極
を有するものにおいて、裏面電極の少なくとも表面層が
アルミft0.1〜10重量%含んだ銀−アルミ合金か
らなるとをを特徴とする薄膜太陽電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58138569A JPS6030183A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 薄膜太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58138569A JPS6030183A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 薄膜太陽電池 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6030183A true JPS6030183A (ja) | 1985-02-15 |
Family
ID=15225196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58138569A Pending JPS6030183A (ja) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | 薄膜太陽電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6030183A (ja) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6268253U (ja) * | 1985-10-19 | 1987-04-28 | ||
JPS62206500A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-10 | 中部電力株式会社 | 床面清掃装置 |
JPH02105582A (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-18 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜太陽電池 |
US4941032A (en) * | 1986-03-03 | 1990-07-10 | Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
WO2004066354A3 (en) * | 2003-01-16 | 2004-09-10 | Target Technology Co Llc | Photo-voltaic cells including solar cells incorporating silver-alloy reflective and/or transparent conductive surfaces |
US7291374B2 (en) | 1998-06-22 | 2007-11-06 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7314659B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-01 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7314660B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-01 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7314657B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-01 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7316837B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-08 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7374805B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-05-20 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7645500B2 (en) | 2003-04-18 | 2010-01-12 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
WO2017043522A1 (ja) * | 2015-09-09 | 2017-03-16 | シャープ株式会社 | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55108780A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-21 | Sharp Corp | Thin film solar cell |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP58138569A patent/JPS6030183A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS55108780A (en) * | 1979-02-14 | 1980-08-21 | Sharp Corp | Thin film solar cell |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6268253U (ja) * | 1985-10-19 | 1987-04-28 | ||
US4941032A (en) * | 1986-03-03 | 1990-07-10 | Kanegafuchi Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
JPS62206500A (ja) * | 1986-03-07 | 1987-09-10 | 中部電力株式会社 | 床面清掃装置 |
JPH02105582A (ja) * | 1988-10-14 | 1990-04-18 | Fuji Electric Co Ltd | 薄膜太陽電池 |
US7384677B2 (en) | 1998-06-22 | 2008-06-10 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7291374B2 (en) | 1998-06-22 | 2007-11-06 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7314659B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-01 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7314660B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-01 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7314657B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-01 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7316837B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-01-08 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
US7374805B2 (en) | 2000-07-21 | 2008-05-20 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
WO2004066354A3 (en) * | 2003-01-16 | 2004-09-10 | Target Technology Co Llc | Photo-voltaic cells including solar cells incorporating silver-alloy reflective and/or transparent conductive surfaces |
US7645500B2 (en) | 2003-04-18 | 2010-01-12 | Target Technology Company, Llc | Metal alloys for the reflective or the semi-reflective layer of an optical storage medium |
WO2017043522A1 (ja) * | 2015-09-09 | 2017-03-16 | シャープ株式会社 | 太陽電池および太陽電池の製造方法 |
CN107924957A (zh) * | 2015-09-09 | 2018-04-17 | 夏普株式会社 | 太阳能电池及太阳能电池的制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3352252B2 (ja) | 太陽電池素子群並びに太陽電池モジュール及びその製造方法 | |
JPS6030183A (ja) | 薄膜太陽電池 | |
JPS5821324A (ja) | 水素添加した半導体薄膜成長用金属表面基板の前処理方法 | |
JPS59104184A (ja) | 太陽電池 | |
JPH0656883B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH0595127A (ja) | 光電変換素子の製造方法 | |
JPS61141185A (ja) | 光起電力素子の製造方法 | |
TW201131797A (en) | Method for manufacturing a thin-film, silicon based solar cell device | |
JPH09283781A (ja) | 光起電力装置 | |
JP3653379B2 (ja) | 光起電力素子 | |
JPH05129640A (ja) | 太陽電池およびその製造方法 | |
JP3209700B2 (ja) | 光起電力装置及びモジュール | |
JPH09162430A (ja) | 導電性光反射体 | |
JP2968404B2 (ja) | 光起電力装置の製造方法 | |
JP3078937B2 (ja) | 太陽電池とその製造方法 | |
JPH0423364A (ja) | 鏡として利用可能な光起電力装置 | |
JPH065770B2 (ja) | 耐熱性薄膜光電変換素子の製法 | |
JPS5835989A (ja) | 非晶質光半導体装置 | |
JP3346119B2 (ja) | 銀系の薄膜構造 | |
JPH02105582A (ja) | 薄膜太陽電池 | |
JP3268911B2 (ja) | 光起電力装置 | |
CN110085685B (zh) | 陷光增效结构及其制备方法和太阳能电池及其制备方法 | |
JP2003008036A (ja) | 太陽電池及びその製造方法 | |
JPS59195879A (ja) | アモルフアスシリコン太陽電池 | |
JPH04253378A (ja) | 光起電力装置の製造方法 |