JPS6030183A - 薄膜太陽電池 - Google Patents

薄膜太陽電池

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JPS6030183A
JPS6030183A JP58138569A JP13856983A JPS6030183A JP S6030183 A JPS6030183 A JP S6030183A JP 58138569 A JP58138569 A JP 58138569A JP 13856983 A JP13856983 A JP 13856983A JP S6030183 A JPS6030183 A JP S6030183A
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JP
Japan
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film
solar cell
alloy
back electrode
thin film
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Pending
Application number
JP58138569A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Sakai
博 酒井
Koki Sato
広喜 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fuji Electric Co Ltd
Original Assignee
Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd filed Critical Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd
Priority to JP58138569A priority Critical patent/JPS6030183A/ja
Publication of JPS6030183A publication Critical patent/JPS6030183A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0224Electrodes
    • H01L31/022408Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/022425Electrodes for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for solar cells
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50Photovoltaic [PV] energy
    • Y02E10/52PV systems with concentrators

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 この発明は、光の入射側の透明な表面電極と反対側の金
属からなる裏面電極とを有する薄膜太陽電池に関する。
〔従来技術とその問題点〕
この種の薄膜太陽電池として非晶質シリコン(以下a−
8iと略記)を用いた、例えばガラス/透明導電膜/ 
a−8i /金属 構造のものが知られている。従来、
この構造の太陽電池の裏面金属として、a −S iに
対して電気的にオーム性接触が可能であり、かつa −
S i及び透明導電膜との接着性に優れ、リード接続の
容易な金属が用いられている。
薄膜太陽電池の裏面電極として、このような諸条件ヲ満
たすために、例えばアルミ/チタン/銀はアルミ(At
)であシ、Atは又a−8i、透明導電膜と良好な接着
性を持つ。リード接続に優れた銀(Ag)を最上層に用
い、AtとAgとの”なじみ”を良くするためにその中
間にチタン(Ti)を挿入している。
このような表面電極を用いた例えばガラス/透明導電膜
/IJ−i−n/金属 構造簿膜太陽電池の断面構造を
第1図に示す。この図において光10はガラス基板1側
から入射し、透明導電膜2、p層a−8i膜3を経て光
電流発生領域であるi層a−8i膜4に達する。a−8
i膜で吸収されずに透過した長波長光はn層a −S 
i膜5を経て裏面金属(この例ではAt ) 6で反射
され、再び1層a −S i膜種中で光電流発生に寄与
する。
ところが従来用いられて来たAtは光の反射率が長波長
領域であまル高くない(600nmで約&5%。
800nmで約80%)ため、この長波長光を充分に有
効に利用し得す、光発生電流損失要因の一つになってい
る。
この解決策として光の反射率の高いAgを裏面電極とし
て用いる検討が行われている。例えばカタラノ(A、C
atalano )らによれば、Ag ’x裏面電極と
して用いた面積1dのガラス/透明導電膜/ p−i 
−n / Ag構造の太陽電池において、AM−1(1
00rnw101)照射下の短絡光電流は、裏面電極で
の反射率効果を含めて17.8 ”A/ryrtを得た
と報告している。ところがこのAg膜はa−8iとの接
着性が弱く、Atの場合の皆0以下であシ、実験的に小
面積の太陽電池に適用する場合は良いが、実用的な大面
績a −S i太陽電池VCJa用するにはAg膜のは
がれなどが生じ太陽N池特性の低下する欠点があっブこ
〔発明の目的〕
この発明は、Agの高い反射率を損うことなく。
a −S iとの接着強度を増大し得る金属′!i−裏
面電極として用いた薄膜太@電池を提供することを目的
とする。
〔発明の要点〕
この発明は、透明表面電極/a−8i/金属裏面電極 
構造太陽電池において、裏面電極の少なくとも表面にA
tを0.1〜10重量%含んだAg−八を合金層を有す
ることによって上記の目的を達成する。
〔発明の実施例〕
第2図はこの発明の実施例を示すもので、ガラス基板1
の上に作られた第1図と同様な構造のa−8i太陽電池
の裏面電極7の金属にAz−Ag合金が用いられている
。第3図は別の実施例を示すもので、第2図のものと相
違する点は基板としてステンレス鋼板8t−用いた点で
この場合Ag−At合金膜9はステンレス鋼板8とa−
8i膜30間に挿入され、透明導成膜2から入射した元
のうちの長波長光成分を有効に反射する効果がある。こ
の場合透明導電膜2の上には集電電極11が設けられて
いる。
Ag−At合金層7あるいは9の形成は、蒸発源である
Agハースの上に1〜51のAtベレットヲ載置し、電
子ビームにより真空蒸4を行うことによって行われ、h
i −0,1−101Lfj&%を含んだAg−At合
金層が得られる。
なお第2図、第3図の1層及びp層a−8i膜の代υに
、光の透過性1c優れたυん又はボロンをドープした微
結晶化膜あるいはa−8iC膜を用いることは、本発明
に何ら悪影響を及ぼすものではなく、むしろ本発明の主
旨によシ一層合致したものと言える。
〔発明の効果〕
この発明によれば、光の入射側から透明表面電極/a−
8i/金属裏面電極の構造を持つ太陽電池において、裏
面電極として特に長波長領域で高い反射iv示すiu 
?I: 0.1〜10 wt%含んだAg−At合金膜
を用いているので、長波長光を有効に利用し得るため、
太陽電池の短絡電流が増大する。第4図に、At/ガラ
ス、Ag/ガラス及び本発明にょるAt−Ag合金/ガ
ラス ザンプルにおいてガラス側から光を入射した場合
の反射率特性を示す。本発明によるAt−Ag合金膜は
lhに6Q011111以上の長波長領域においてAg
に近い高い反射率が得られている。
試作された上記構造のa−8i太陽電池における裏面電
極として、At / T i / Ag 、Ag及び本
発明によルAt−Ag合金膜を用イタ場合ノAM−1(
100”W//d)照射下での短絡′4流測測定果21
1−第1表に示す。
第4図に示した結果から予想される通り、本発明による
A、a −Ag合金膜を用いた場合、Agの場合と同程
度の値が得られている。
第 1 表 また、上記3釉類のa −S i太陽電池の裏面電極と
a −S i膜の接着強度を接触面直径5誠のリード線
付後の引張強度として評価した結果、本発明によるAg
−At合金は、Ag膜較べて2倍以上の強度が得られる
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のガラス基板a −S i太陽電池の断面
構造模型図、舘2図は本発明の実施例を示すa−S i
太@電池の断面構造模型図、第3図は本発明の異なる実
施例の断面構造模型図、第4図は本発明のAg −Aj
a合金膜を含めた金属/ガラス構造試料のガラス基板側
から光を入射した時の光の反射率スペクトル図、である
。 1・・・ガラス基板、2・・・透明導電膜、3・・・p
層a−S i膜、4 ・・i Jfli a−8i膜、
5− n Na−8i膜、7・・・Ag−At合金裏面
電極、8・・・ステンレス鋼基板、9・・・Ag−At
合金膜。 箋 11図 第2回 第3図 嘗 ト 成長 (引π) 第今回

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1)光の入射側の透明表面電極と反対側の金属裏面電極
    を有するものにおいて、裏面電極の少なくとも表面層が
    アルミft0.1〜10重量%含んだ銀−アルミ合金か
    らなるとをを特徴とする薄膜太陽電池。
JP58138569A 1983-07-28 1983-07-28 薄膜太陽電池 Pending JPS6030183A (ja)

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