JPS6028288A - 直交型ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
直交型ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS6028288A JPS6028288A JP58137157A JP13715783A JPS6028288A JP S6028288 A JPS6028288 A JP S6028288A JP 58137157 A JP58137157 A JP 58137157A JP 13715783 A JP13715783 A JP 13715783A JP S6028288 A JPS6028288 A JP S6028288A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- gas
- optical axis
- gas flow
- excitation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ媒質ガスを共振光軸に直交して流す
ことによシレーザ発振を行わせる直交壓ガスレーザ発振
器において、レーザビームの安定性の改良に関するもの
である。
ことによシレーザ発振を行わせる直交壓ガスレーザ発振
器において、レーザビームの安定性の改良に関するもの
である。
従来のこの種の直交型ガスレーザ発振器とじては、例え
ばＣＯ□気体分子をレーザ媒質ガスとして用い、レーザ
の励起を放電励起によシ行い、放電方向とレーザ媒質ガ
スのガス流方向とに直交してレーザ光を取シ出す三軸直
交放電励起方式の炭′配ガス（ＣＯ２ガス）レーザ発振
器等が知られている。
ばＣＯ□気体分子をレーザ媒質ガスとして用い、レーザ
の励起を放電励起によシ行い、放電方向とレーザ媒質ガ
スのガス流方向とに直交してレーザ光を取シ出す三軸直
交放電励起方式の炭′配ガス（ＣＯ２ガス）レーザ発振
器等が知られている。
第１図は従来の直交型ガスレーザ発振器の概略構成を示
す斜視図、第２図は、第１図の直交呈ガスレーザ発振器
のＡ−Ａ線の断面図である。上記各図において、１はＣ
０２気体分子等のレーザ媒質ガスを放電によシレーザを
励起する励起範囲、２ａ。
す斜視図、第２図は、第１図の直交呈ガスレーザ発振器
のＡ−Ａ線の断面図である。上記各図において、１はＣ
０２気体分子等のレーザ媒質ガスを放電によシレーザを
励起する励起範囲、２ａ。
２ｂは励起範囲１の両側に対抗的に設けられた電極、３
は各電□□□２ａ、２ｂ間に電圧を加えて放電を形成す
るための電源、４，５は励起範囲１の各′ＦＩ！、極２
ａ、２ｂの長手方向両端に設けられた全反射鏡及び部分
反射鏡である。１だ、Ｇは矢印で示すレーザ媒質ガスの
レーザガス流、Ｌは各全反射鏡４及び部分反射鏡５間の
共振光軸である。
は各電□□□２ａ、２ｂ間に電圧を加えて放電を形成す
るための電源、４，５は励起範囲１の各′ＦＩ！、極２
ａ、２ｂの長手方向両端に設けられた全反射鏡及び部分
反射鏡である。１だ、Ｇは矢印で示すレーザ媒質ガスの
レーザガス流、Ｌは各全反射鏡４及び部分反射鏡５間の
共振光軸である。
次に、上記第１図及び第２図の動作について説明する。
今、Ｃ０２気体分子を含むレーザ媒質ガスを励起範囲１
へ連続的に供給する。そして、レ−ザ媒質ガスのレーザ
ガス流Ｇの方向は、共振光軸りに対して直角方向に設定
される。各電極２ａ。
へ連続的に供給する。そして、レ−ザ媒質ガスのレーザ
ガス流Ｇの方向は、共振光軸りに対して直角方向に設定
される。各電極２ａ。
２ｂ間に電源３から加えられる電圧によって、各電極２
ａ、２ｂ間に形成された放電にょシｃｏ２気体分子を含
むレーザ媒質ガスは励起され、これによシ、ＣＯ之気体
分子特有のレーザ光（波長１０．６μｍ）を放出する。
ａ、２ｂ間に形成された放電にょシｃｏ２気体分子を含
むレーザ媒質ガスは励起され、これによシ、ＣＯ之気体
分子特有のレーザ光（波長１０．６μｍ）を放出する。
とのレーザ光を共振光軸り上に設けられた全反射鏡４と
部分反射鏡５との間で共振増幅し、部分反射鏡５よ）レ
ーザ光の出力を取シ出す様になっている。この場合、レ
ーザ光の共振光軸りは、第２図に示される様に、光軸断
面で見て各電極２ａ、２ｂの中心よりｘの値だけレーザ
ガス流Ｇの下流側にずれることになる。これは、各電極
２ａ、２ｂ間の放電による電子が、Ｃｏ２気体分子に直
接励起作用をする場合の励起時間以外にも、通常のＣ０
２レーザの場合、レーザ媒質ガス中に混入されるＮ２気
体分子のＣｏ２気体分子へのエネルギー供与時間と、Ｃ
Ｏｔ気体分子の移動速度との関係にょシ、放電中心と励
起中心とがレーザガス流Ｇの方向にずれるという直交型
ガスレーザ発振器の特質に起因するものである。上記し
たＸの値は、■レーザガス流ＧＯ流速、各電極２ａ。
部分反射鏡５との間で共振増幅し、部分反射鏡５よ）レ
ーザ光の出力を取シ出す様になっている。この場合、レ
ーザ光の共振光軸りは、第２図に示される様に、光軸断
面で見て各電極２ａ、２ｂの中心よりｘの値だけレーザ
ガス流Ｇの下流側にずれることになる。これは、各電極
２ａ、２ｂ間の放電による電子が、Ｃｏ２気体分子に直
接励起作用をする場合の励起時間以外にも、通常のＣ０
２レーザの場合、レーザ媒質ガス中に混入されるＮ２気
体分子のＣｏ２気体分子へのエネルギー供与時間と、Ｃ
Ｏｔ気体分子の移動速度との関係にょシ、放電中心と励
起中心とがレーザガス流Ｇの方向にずれるという直交型
ガスレーザ発振器の特質に起因するものである。上記し
たＸの値は、■レーザガス流ＧＯ流速、各電極２ａ。
２ｂの形状、■励起入力、励起輻（ｔ）、励起ギャップ
（ｄ）、■レーザ媒質ガスの組成及びその密度等の各因
子によシ決定される。
（ｄ）、■レーザ媒質ガスの組成及びその密度等の各因
子によシ決定される。
従来の直交型ガスレーザ発振器は以上の様に構成されて
いるので、放電中心と励起中心とがずれるＸの値が、励
起入力である放電入力に対して変化し、このため、上記
したＸの値の決定因子の内、励起入力の変化以外のすべ
ての各因子を固定したとしても、レーザビーム出力を制
御する場合、励起入力を変化させるのに対応して、共振
光軸りを変化させる必要がある。また、逆に共振光軸り
を固定したとすると、励起入力の変化に対してレーザビ
ーム出力が直線的に変化しないという不具合がおった。
いるので、放電中心と励起中心とがずれるＸの値が、励
起入力である放電入力に対して変化し、このため、上記
したＸの値の決定因子の内、励起入力の変化以外のすべ
ての各因子を固定したとしても、レーザビーム出力を制
御する場合、励起入力を変化させるのに対応して、共振
光軸りを変化させる必要がある。また、逆に共振光軸り
を固定したとすると、励起入力の変化に対してレーザビ
ーム出力が直線的に変化しないという不具合がおった。
また、励起範囲ｌへ流入するレーザ媒質ガスと励起範囲
１を流出するレーザ媒質ガスとは、共振光軸りのすべて
の断面において温度差が生ずるため、レーザ媒質ガスの
温度変化による屈折率の相違によシ、共振光軸りが曲げ
られたシ、光学的にゆがみを生じやすいという不都合が
あった。したがって、直交型ガスレーザ発振器の性能と
して、重要９である発生されるレーザ光の光軸の安定性
、レーザ出力の安定性、レーザビーム品質の安定性など
に欠けるという欠点があった。
１を流出するレーザ媒質ガスとは、共振光軸りのすべて
の断面において温度差が生ずるため、レーザ媒質ガスの
温度変化による屈折率の相違によシ、共振光軸りが曲げ
られたシ、光学的にゆがみを生じやすいという不都合が
あった。したがって、直交型ガスレーザ発振器の性能と
して、重要９である発生されるレーザ光の光軸の安定性
、レーザ出力の安定性、レーザビーム品質の安定性など
に欠けるという欠点があった。
この発明は、上記の様な従来のものの欠点を改善する目
的でなされたもので、直交型ガスレーザ発振器において
、励起範囲を独立して偶数箇所設け、光軸方向から見て
、前記各励起範囲の半数箇所と、残シの半数箇所におけ
るそれぞれのレーザ媒質ガスのガス流方向が、互いに対
抗的になる様にして成る構成を有し、レーザ光の光軸、
レーザ出力及びレーザビーム品質などをそれぞれ安定化
した直交型ガスレーザ発振器を提供するものである。
的でなされたもので、直交型ガスレーザ発振器において
、励起範囲を独立して偶数箇所設け、光軸方向から見て
、前記各励起範囲の半数箇所と、残シの半数箇所におけ
るそれぞれのレーザ媒質ガスのガス流方向が、互いに対
抗的になる様にして成る構成を有し、レーザ光の光軸、
レーザ出力及びレーザビーム品質などをそれぞれ安定化
した直交型ガスレーザ発振器を提供するものである。
以下、この発明の実施例を図について説明する。
第３図はこの発明の一実施例である直交型ガスレーザ発
振器の概略構成を示す斜視図でるる。図において、１ａ
及び１ｂは、２個所に独立して設けられた各電極２ａ
、２ｂにより構成され、この各電極２ａ、２ｂ間の放電
によ多レーザを励起する励起範囲、この２箇所に設けら
れた各励起範囲１ａ。
振器の概略構成を示す斜視図でるる。図において、１ａ
及び１ｂは、２個所に独立して設けられた各電極２ａ
、２ｂにより構成され、この各電極２ａ、２ｂ間の放電
によ多レーザを励起する励起範囲、この２箇所に設けら
れた各励起範囲１ａ。
１ｂの中心を通る共振光軸り上の両端側には、全反射鏡
４と部分反射鏡５が設けられている。そｉｚそれの励起
範囲１ａ及び１ｂＫは、Ｃ□、ガスの様なレーザ媒質ガ
スのレーザガス流Ｇが共振光軸りに直交して、しかも共
振光軸りの方向から見て対抗的に流れる様に構成されて
いる。
４と部分反射鏡５が設けられている。そｉｚそれの励起
範囲１ａ及び１ｂＫは、Ｃ□、ガスの様なレーザ媒質ガ
スのレーザガス流Ｇが共振光軸りに直交して、しかも共
振光軸りの方向から見て対抗的に流れる様に構成されて
いる。
第５図及び第６図は、従来の直交型ガスレーザ発振器及
びこの発明による直交型ガスレーザ発振器におけるそれ
ぞれの動作を説明するための図である。第５図に示す従
来の直交型ガスレーザ発振器では、前述した様に、設定
された共振光軸りに対して、励起入力の変化による共振
光軸りの平行移動による光学的なゆがみＬ□や、レーザ
媒質ガスの温度差による共振光軸りの曲ルによる光学的
なゆがみが共振光軸りに生じることになる。これに対し
、第６図に示すこの発明の直交型ガスレーザ発振器では
、１箇所の励起範囲１ａでの上記した光学的なゆがみり
、、Ｌ、と、他方箇所の励起範囲１ｂでの上記した光学
的なゆがみＬｌ、 １１２とは、レーザ媒質ガスのレー
ザガス流Ｇの方向性に起因する本質的な現象であるので
、各励起範囲１ａ、ｌｂにおけるそれぞれのレーザガス
流Ｇの流れを対抗的にすることによシ、上記した２箇所
における光学的なゆがみり、 、 Ｌ、をほぼ完全に相
殺することができる。
びこの発明による直交型ガスレーザ発振器におけるそれ
ぞれの動作を説明するための図である。第５図に示す従
来の直交型ガスレーザ発振器では、前述した様に、設定
された共振光軸りに対して、励起入力の変化による共振
光軸りの平行移動による光学的なゆがみＬ□や、レーザ
媒質ガスの温度差による共振光軸りの曲ルによる光学的
なゆがみが共振光軸りに生じることになる。これに対し
、第６図に示すこの発明の直交型ガスレーザ発振器では
、１箇所の励起範囲１ａでの上記した光学的なゆがみり
、、Ｌ、と、他方箇所の励起範囲１ｂでの上記した光学
的なゆがみＬｌ、 １１２とは、レーザ媒質ガスのレー
ザガス流Ｇの方向性に起因する本質的な現象であるので
、各励起範囲１ａ、ｌｂにおけるそれぞれのレーザガス
流Ｇの流れを対抗的にすることによシ、上記した２箇所
における光学的なゆがみり、 、 Ｌ、をほぼ完全に相
殺することができる。
第４図はこの発明の他の実施例である直交屋ガスレーザ
発振器の概略構成を示す斜視図である。
発振器の概略構成を示す斜視図である。
第４図に示すものは、上記第３図に示す様に、独立した
２箇所の励起範囲１ａ、ｌｂを用いるものにおいて、各
励起範囲１ａ、ｉｂを並列状に配置し、各全反射鏡４ａ
、４ｂ、４ｃと部分反射鏡５を図示する様な位置に配置
にして成る光共振器を構成したものである。上記した様
な構成の光共振器で、共振光軸りの方向から見てレーザ
ガス流Ｇの方向が、各励起範囲１ａ、Ｉｂで対抗的に流
れる様に動作させれば、上記第３図に示す実施例の場合
と同様の効果を奏する。
２箇所の励起範囲１ａ、ｌｂを用いるものにおいて、各
励起範囲１ａ、ｉｂを並列状に配置し、各全反射鏡４ａ
、４ｂ、４ｃと部分反射鏡５を図示する様な位置に配置
にして成る光共振器を構成したものである。上記した様
な構成の光共振器で、共振光軸りの方向から見てレーザ
ガス流Ｇの方向が、各励起範囲１ａ、Ｉｂで対抗的に流
れる様に動作させれば、上記第３図に示す実施例の場合
と同様の効果を奏する。
第７図及び第８図は、それぞれこの発明のさらに他の実
施例である直交型ガスレーザ発振器における動作を説明
するための図である。第７図に示すものは、上記第４図
に示す実用例のもので設けられる独立した２箇所の励起
範囲ｘａ、１ｂの配置位置と、各レーザガス流Ｇの方向
関係は同一でおるが、各全反射鏡４ａ、４ｂ、４ｃ、４
ｄと部分反射鏡５′ｆ：図示する様な位置に配置にして
成る光共振器を構成したものであり、その共振光軸りを
変化させることにより、上記実施例と同様の効果を奏す
る様にしたものである。また、第８図に示すものは、独
立した４箇所の励起範囲１ ａ 、 ｌ ｂ。
施例である直交型ガスレーザ発振器における動作を説明
するための図である。第７図に示すものは、上記第４図
に示す実用例のもので設けられる独立した２箇所の励起
範囲ｘａ、１ｂの配置位置と、各レーザガス流Ｇの方向
関係は同一でおるが、各全反射鏡４ａ、４ｂ、４ｃ、４
ｄと部分反射鏡５′ｆ：図示する様な位置に配置にして
成る光共振器を構成したものであり、その共振光軸りを
変化させることにより、上記実施例と同様の効果を奏す
る様にしたものである。また、第８図に示すものは、独
立した４箇所の励起範囲１ ａ 、 ｌ ｂ。
ｌｅ、ｌｄが共振光軸りの方向に直列状に配置された光
共振器を構成しており、この様な構成の光共振器では、
共振光軸りの方向から見て２箇所の励起範囲１ａ、ｌｃ
におけるレーザガス流Ｇの方向と、残りの２箇所の励起
範囲１ｂ、ｌｄにおけるレーザガス流Ｇの方向が互いに
対抗的になっている構成を有しており、この場合にも、
上記実施例と同様の効果を奏する。
共振器を構成しており、この様な構成の光共振器では、
共振光軸りの方向から見て２箇所の励起範囲１ａ、ｌｃ
におけるレーザガス流Ｇの方向と、残りの２箇所の励起
範囲１ｂ、ｌｄにおけるレーザガス流Ｇの方向が互いに
対抗的になっている構成を有しており、この場合にも、
上記実施例と同様の効果を奏する。
また、上記各実施例では、三軸直交型Ｃ０２ガスレーザ
発振器を例に取シ上げて説明したが、例えばレーザの励
起手段として、レーザガス流Ｇの方向と放電方向が同一
な二軸直交型ＣＯ２ガスレーザ発振器であっても良く、
上記各実施例と同様の効果を奏する。さらに、レーザ媒
質ガスとしては、ＣＯ２ガス分子に限らず、例えばＣｏ
、Ｎ、、Ｎ等のガス分子であっても良く、上記各実施例
と同様の効果を奏することは云うまでもない。
発振器を例に取シ上げて説明したが、例えばレーザの励
起手段として、レーザガス流Ｇの方向と放電方向が同一
な二軸直交型ＣＯ２ガスレーザ発振器であっても良く、
上記各実施例と同様の効果を奏する。さらに、レーザ媒
質ガスとしては、ＣＯ２ガス分子に限らず、例えばＣｏ
、Ｎ、、Ｎ等のガス分子であっても良く、上記各実施例
と同様の効果を奏することは云うまでもない。
し発明の効果〕
この発明は以上説明した様に、直交型ガスレーザ発振器
において、偶数箇所の独立した励起範囲を設け、光軸方
向から見て、前記励起範囲の半数箇所と、残ルの半数箇
所のそれぞれにおけるレーザガス流の方向を互いに対抗
的になる様な構成と゛したので、従来のこの種の直交型
ガスレーザ発振器と比べて、レーザ光の光軸、レーザ出
力及びレーザビーム品質などのそれぞれを著しく安定化
してなる直交型ガスレーザ発振器が得られるという優れ
た効果を奏するものである。
において、偶数箇所の独立した励起範囲を設け、光軸方
向から見て、前記励起範囲の半数箇所と、残ルの半数箇
所のそれぞれにおけるレーザガス流の方向を互いに対抗
的になる様な構成と゛したので、従来のこの種の直交型
ガスレーザ発振器と比べて、レーザ光の光軸、レーザ出
力及びレーザビーム品質などのそれぞれを著しく安定化
してなる直交型ガスレーザ発振器が得られるという優れ
た効果を奏するものである。
第１図は従来の直交型ガスレーザ発振器の概略構成を示
す斜視図、第２図は、第１図の直交型ガスレーザ発振器
のＡ−Ａ線の断面図、第３図はこの発明の一実施例であ
る直交型ガスレーザ発振器の概略構成を示す斜視図、第
４図はこの発明の他の実施例である直交温ガスレーザ発
振器の概略構成を示す斜視図、第５図及び第６図は、従
来の直交型ガスレーザ発振器及びこの発明による直交型
ガスレーザ発振器におけるそれぞれの動作を説明するた
めの図、第７図及び第８図は、それぞれこの発明のさら
に他の実施例である直交型ガスレーザ発振器における動
作を説明するだめの図である。 図において、１．Ｉａ〜１ｄ・・−励起範囲、２ ａ。 ２ｂ・・・電極、３・・−電源、４，４ａ〜４ｄ・・・
全反射鏡、５・・・部分反射鏡、Ｌ・・−共振光軸、Ｌ
ｌ、 Ｌ２・・・光学的なゆがみ、Ｇ・・・レーザガス
流である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第１図 第 ２ 百 第３図 第５図 第７図 手続補正書 ２１発明の名称 直交型ガスレーザ発振器 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
の欄。 ６、補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」を別紙の通シに補正
する。 （２）同書第２頁第１１行目、第５頁第１２行目。 第６頁第９〜１０行目、第７頁第６行目及び第１９行目
、第８頁第１９行目、第９頁第１６行目の「対抗的」ヲ
、「対向的」と補正する。 別 紙 ２、特許請求の範囲 レーザの励起範囲にレーザ媒質ガスを流通し、そのガス
流方向と直角方向の光軸上にレーザ発振を行わせる直交
型ガスレーザ発振器において、前記励起範囲を独立して
偶数箇所設け、前記光軸方向から見て、前記各励起範囲
の半数箇所と、残シの半数箇所におけるそれぞれの前記
レーザ媒質ガスのガス流方向が、互いに対向的になる様
にして成ることを特徴とする直交型ガスレーザ発振器。
す斜視図、第２図は、第１図の直交型ガスレーザ発振器
のＡ−Ａ線の断面図、第３図はこの発明の一実施例であ
る直交型ガスレーザ発振器の概略構成を示す斜視図、第
４図はこの発明の他の実施例である直交温ガスレーザ発
振器の概略構成を示す斜視図、第５図及び第６図は、従
来の直交型ガスレーザ発振器及びこの発明による直交型
ガスレーザ発振器におけるそれぞれの動作を説明するた
めの図、第７図及び第８図は、それぞれこの発明のさら
に他の実施例である直交型ガスレーザ発振器における動
作を説明するだめの図である。 図において、１．Ｉａ〜１ｄ・・−励起範囲、２ ａ。 ２ｂ・・・電極、３・・−電源、４，４ａ〜４ｄ・・・
全反射鏡、５・・・部分反射鏡、Ｌ・・−共振光軸、Ｌ
ｌ、 Ｌ２・・・光学的なゆがみ、Ｇ・・・レーザガス
流である。 なお、各図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。 第１図 第 ２ 百 第３図 第５図 第７図 手続補正書 ２１発明の名称 直交型ガスレーザ発振器 ３、補正をする者 代表者片山仁へ部 ５、補正の対象 明細書の「特許請求の範囲」及び「発明の詳細な説明」
の欄。 ６、補正の内容 （１）明細書の「特許請求の範囲」を別紙の通シに補正
する。 （２）同書第２頁第１１行目、第５頁第１２行目。 第６頁第９〜１０行目、第７頁第６行目及び第１９行目
、第８頁第１９行目、第９頁第１６行目の「対抗的」ヲ
、「対向的」と補正する。 別 紙 ２、特許請求の範囲 レーザの励起範囲にレーザ媒質ガスを流通し、そのガス
流方向と直角方向の光軸上にレーザ発振を行わせる直交
型ガスレーザ発振器において、前記励起範囲を独立して
偶数箇所設け、前記光軸方向から見て、前記各励起範囲
の半数箇所と、残シの半数箇所におけるそれぞれの前記
レーザ媒質ガスのガス流方向が、互いに対向的になる様
にして成ることを特徴とする直交型ガスレーザ発振器。
Claims (1)
- レーザの励起範囲にレーザ媒質ガスを流通し、そのガス
流方向と直角方向の光軸上にレーザ発振を行わせる直交
型ガスレーザ発振器において、前記励起範囲を独立して
偶数箇所設け、前記光軸方向から見て、前記各励起範囲
の半数箇所と、残シの半数箇所におけるそれぞれの前記
レーザ媒質ガスのガス流方向が、互いに対抗的になる様
にして成ることを特徴とする直交型ガスレーザ発振器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58137157A JPS6028288A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 直交型ガスレ−ザ発振器 |
| US06/632,463 US4598407A (en) | 1983-07-27 | 1984-07-19 | Orthogonal type gas laser oscillator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58137157A JPS6028288A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 直交型ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6028288A true JPS6028288A (ja) | 1985-02-13 |
| JPS6364070B2 JPS6364070B2 (ja) | 1988-12-09 |
Family
ID=15192148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58137157A Granted JPS6028288A (ja) | 1983-07-27 | 1983-07-27 | 直交型ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4598407A (ja) |
| JP (1) | JPS6028288A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144365U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-05 | ||
| JPH0415972A (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | よう素レーザー装置及びよう素レーザー共振器 |
| WO2012035953A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置およびレーザ加工装置 |
| US8885684B2 (en) | 2011-06-20 | 2014-11-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser device |
| JP2015103762A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-04 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ増幅システム |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3923625A1 (de) * | 1989-07-17 | 1991-01-31 | Siemens Ag | Verfahren zum betrieb eines gaslasers, insbesondere eines co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-lasers, mit gasstroemung quer zu seiner optischen achse und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens |
| DE3923624A1 (de) * | 1989-07-17 | 1991-01-31 | Siemens Ag | Verfahren zum betrieb eines gaslasers, insbesondere eines co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-lasers, mit gasstroemung quer zu seiner optischen achse und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens |
| US5153892A (en) * | 1990-01-24 | 1992-10-06 | Hitachi, Ltd. | High-pressure gas laser apparatus and method of laser processing |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3895313A (en) * | 1973-09-17 | 1975-07-15 | Entropy Conversion | Laser systems with diamond optical elements |
-
1983
- 1983-07-27 JP JP58137157A patent/JPS6028288A/ja active Granted
-
1984
- 1984-07-19 US US06/632,463 patent/US4598407A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61144365U (ja) * | 1985-02-28 | 1986-09-05 | ||
| JPH0249493Y2 (ja) * | 1985-02-28 | 1990-12-26 | ||
| JPH0415972A (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | よう素レーザー装置及びよう素レーザー共振器 |
| WO2012035953A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置およびレーザ加工装置 |
| DE112011103110T5 (de) | 2010-09-17 | 2013-06-27 | Mitsubishi Electric Corporation | Gaslaservorrichtung |
| US8873599B2 (en) | 2010-09-17 | 2014-10-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser device |
| JP5653444B2 (ja) * | 2010-09-17 | 2015-01-14 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ装置 |
| DE112011103110B4 (de) * | 2010-09-17 | 2016-12-01 | Mitsubishi Electric Corporation | Gaslaservorrichtung |
| US8885684B2 (en) | 2011-06-20 | 2014-11-11 | Mitsubishi Electric Corporation | Gas laser device |
| DE112011105360B4 (de) | 2011-06-20 | 2023-05-04 | Mitsubishi Electric Corp. | Gaslaser-vorrichtung |
| JP2015103762A (ja) * | 2013-11-28 | 2015-06-04 | 三菱電機株式会社 | ガスレーザ増幅システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4598407A (en) | 1986-07-01 |
| JPS6364070B2 (ja) | 1988-12-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3772611A (en) | Waveguide gas laser devices | |
| JPS6028288A (ja) | 直交型ガスレ−ザ発振器 | |
| JPWO2020075246A1 (ja) | レーザ装置 | |
| JP5653444B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JPS6016479A (ja) | 単一周波数発振レ−ザ装置 | |
| JP3621623B2 (ja) | レーザ共振器 | |
| JP2001332785A (ja) | 円筒ストレートスラブ型ガス・レーザー | |
| US6285705B1 (en) | Solid-state laser oscillator and machining apparatus using the same | |
| AU595277B2 (en) | Laser apparatus | |
| US4140978A (en) | Method and apparatus for producing laser radiation following two-photon excitation of a gaseous medium | |
| JPH09283822A (ja) | スラブ型固体レーザ発振装置 | |
| US4255718A (en) | Transversely pumped dye laser having improved conversion efficiency | |
| JPH0376793B2 (ja) | ||
| JPH07106669A (ja) | レーザー共振器 | |
| JPH02199883A (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP2539223B2 (ja) | レ−ザ装置 | |
| JPH0278283A (ja) | レーザ装置 | |
| JP2002016304A (ja) | 不安定型共振器 | |
| RU2092947C1 (ru) | Проточный газовый лазер с устойчиво-неустойчивым резонатором | |
| JPS6249683A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS616888A (ja) | 外部共振器型半導体レ−ザ装置 | |
| JPS6342428B2 (ja) | ||
| JPH0464194B2 (ja) | ||
| Biswas | Cavity and Its Bearing on the Operation of Lasers | |
| JPH02281675A (ja) | ガスレーザ発振装置 |