JPS6028143Y2 - 磁気抵抗効果素子 - Google Patents
磁気抵抗効果素子Info
- Publication number
- JPS6028143Y2 JPS6028143Y2 JP17887379U JP17887379U JPS6028143Y2 JP S6028143 Y2 JPS6028143 Y2 JP S6028143Y2 JP 17887379 U JP17887379 U JP 17887379U JP 17887379 U JP17887379 U JP 17887379U JP S6028143 Y2 JPS6028143 Y2 JP S6028143Y2
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- JP
- Japan
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- magnetic
- stripe
- width
- length
- permeability magnetic
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、磁気信号を強磁性体薄膜の磁気抵抗効果を利
用して検出する磁気抵抗効果素子(以下MR素子を称す
る)に関するものである。
用して検出する磁気抵抗効果素子(以下MR素子を称す
る)に関するものである。
MR素子は、信号磁界に対する再生感度が高い磁場検出
素子として注目されているが、近年、より一層の高感度
化が望まれている。
素子として注目されているが、近年、より一層の高感度
化が望まれている。
MR素子の感度を高める方法として、第1図a、b、C
0dに示す様に、磁気抵抗効果を有する強磁性薄膜スト
ライプ(以下MRストライプと称する)1の幅方向(X
方向)、即ち、検出磁場方向の片側又は両側で、しかも
、MRストライプ1と同−面上又は薄い非磁性層5を介
した面上に短冊状高話磁率磁性体2を隣接並置する構成
が知られている。
0dに示す様に、磁気抵抗効果を有する強磁性薄膜スト
ライプ(以下MRストライプと称する)1の幅方向(X
方向)、即ち、検出磁場方向の片側又は両側で、しかも
、MRストライプ1と同−面上又は薄い非磁性層5を介
した面上に短冊状高話磁率磁性体2を隣接並置する構成
が知られている。
隣接並置した高誘磁率磁性体2は、■しドライブ1内の
反磁場を小さくシ、その結果、MRストライプ1の幅方
向(X方向)に入射する磁気信号Hxに対する再生感度
を高めるものである。
反磁場を小さくシ、その結果、MRストライプ1の幅方
向(X方向)に入射する磁気信号Hxに対する再生感度
を高めるものである。
この再生感度は、MRストライプ1と高誘磁率磁性体2
との距離が小さい程、また高誘磁率磁性体2の幅W1が
大きい程、高くなる。
との距離が小さい程、また高誘磁率磁性体2の幅W1が
大きい程、高くなる。
しかし、信号磁界が無い時の高誘磁率磁性体2内の磁化
は、幅W1が長さLに比べて十分中さい場合は形状異方
性によって長さ方向(y方向)に配向しているが、幅W
1が大きくなるにつれて、長さ方向とは別方向に向く可
能性が大きくなって行く。
は、幅W1が長さLに比べて十分中さい場合は形状異方
性によって長さ方向(y方向)に配向しているが、幅W
1が大きくなるにつれて、長さ方向とは別方向に向く可
能性が大きくなって行く。
そして、この磁化の向きは、高誘磁率磁性体2の特性や
、外来ノズル磁界などによって微妙にに変化シ、サラに
この磁化の向きに応じてMRストライプ1には不安定な
バイアス磁界が印加される。
、外来ノズル磁界などによって微妙にに変化シ、サラに
この磁化の向きに応じてMRストライプ1には不安定な
バイアス磁界が印加される。
その結果、従来の構成では幅W1を大きくするにつれて
、再生出力波形に、不安定な歪を生じ易くなるという欠
点を有していた。
、再生出力波形に、不安定な歪を生じ易くなるという欠
点を有していた。
本考案の目的は、高透磁率磁性体め構成を工夫すること
によって、上記の欠点をなくシ、高感度で安定な特性を
有するMR素子を提供することにある。
によって、上記の欠点をなくシ、高感度で安定な特性を
有するMR素子を提供することにある。
すなわち、本考案は、強磁性薄膜より威る罐素子におい
て、幅が長さに比べて小さい短冊状の高透磁率磁性体が
MRストライプの検出磁場の方向に対して、少くとも、
片側に2個以上、有限のギャップを隔てて平行に隣接並
置されていることを特徴とする。
て、幅が長さに比べて小さい短冊状の高透磁率磁性体が
MRストライプの検出磁場の方向に対して、少くとも、
片側に2個以上、有限のギャップを隔てて平行に隣接並
置されていることを特徴とする。
次に本考案を、図面を用いて詳細に説明する。
第2図は、本考案の第一の実施例を示す図であり、導電
体端子3が取り出されている■はドライブ1の検出磁場
の方向(X方向)の片側に、ギャップGl、G2.及び
G3を隔てて、3個の高透磁率磁性体2が、平行に隣接
並置されている。
体端子3が取り出されている■はドライブ1の検出磁場
の方向(X方向)の片側に、ギャップGl、G2.及び
G3を隔てて、3個の高透磁率磁性体2が、平行に隣接
並置されている。
ここで、高透磁率磁性体2の各々の形状は、その幅Wl
、W2.W3がそれぞれ長さLに比べて十分小さいため
、その磁化は、形状異方向によって、長手方向に容易軸
を有する。
、W2.W3がそれぞれ長さLに比べて十分小さいため
、その磁化は、形状異方向によって、長手方向に容易軸
を有する。
そのため、信号磁界が無い時の前記高透磁率磁性体2内
の磁化は、長手方向に配向しているので、MR素子の波
形歪の原因となる不安定なバイアス磁界は発生しない。
の磁化は、長手方向に配向しているので、MR素子の波
形歪の原因となる不安定なバイアス磁界は発生しない。
また、この構成の■はドライブ1の再生感度は、ギャッ
プGl、G2.G3を小さくすることによって、第1図
aに示した従来の構成のものと同じ位に高くできる。
プGl、G2.G3を小さくすることによって、第1図
aに示した従来の構成のものと同じ位に高くできる。
第3図は、MRストライプ1の検出磁場の方向(X方向
)の両側に高透磁率磁性体2が設けられた第二の実施例
である。
)の両側に高透磁率磁性体2が設けられた第二の実施例
である。
この場合も第一の実施例と同様に、高透磁率磁性体2の
幅が長さLに比べて十分小さいため、その磁化は長手方
向に容易軸を有し、その結果、■はドライブ1への不安
定なバイアス磁界は発生しない。
幅が長さLに比べて十分小さいため、その磁化は長手方
向に容易軸を有し、その結果、■はドライブ1への不安
定なバイアス磁界は発生しない。
第4図aは本考案の第三の実施例であり、同図すはaの
んV断面図である。
んV断面図である。
これは第1図Cに対応するものであり、3個の短冊状高
透磁率磁性体2が、MRストライプ1の検出磁場の方向
(X方向)の片側でしかも薄い非磁性層5を介した平面
上に設けられている点が第一の実施例と異る。
透磁率磁性体2が、MRストライプ1の検出磁場の方向
(X方向)の片側でしかも薄い非磁性層5を介した平面
上に設けられている点が第一の実施例と異る。
この場合も、各高透磁率磁性体2の軸が長さLに比べて
十分小さく形成されているので、第一。
十分小さく形成されているので、第一。
第二の実施例と同様の効果を有する。
また、この構成では、非磁性層5の厚さHを、第一の実
施例におけるギャップG1に比べて、小さくてきるので
、第一の実施例より高感度にすることができる。
施例におけるギャップG1に比べて、小さくてきるので
、第一の実施例より高感度にすることができる。
第5図は本考案の第四の実施例であり、第三の実施例で
述べた高透磁率磁性体2が、■はドライブ1の検出磁場
の両側に形成されている。
述べた高透磁率磁性体2が、■はドライブ1の検出磁場
の両側に形成されている。
この構成は第三の実施例と同様の特性を有する。
第6図aは本考案の第五の実施例であり、同図すは、a
のBB’断面図である。
のBB’断面図である。
幅が長さに比べて十分小さい短冊状の高透磁率磁性体2
,2′が、■はドライブ1の検出磁場の方向(X方向)
の片側で、しかもMRストライプ1が形成される基板4
上と、薄い非磁性層5を介した平面上に、交互に形成さ
れている。
,2′が、■はドライブ1の検出磁場の方向(X方向)
の片側で、しかもMRストライプ1が形成される基板4
上と、薄い非磁性層5を介した平面上に、交互に形成さ
れている。
この構成では、高透磁率磁性体2内の磁化の方向に対し
て、第一〜第四の実施例と同様の効果を発揮する。
て、第一〜第四の実施例と同様の効果を発揮する。
また、非磁性層5の厚さをうずくし、基板4上に形成さ
れる高透磁率磁性体2′と、非磁性層5を介した面上に
形成される高透磁率磁性体2との幅方向の端部が一部型
なる様に構成することにより、前述の実施例よりさらに
高感度にできる。
れる高透磁率磁性体2′と、非磁性層5を介した面上に
形成される高透磁率磁性体2との幅方向の端部が一部型
なる様に構成することにより、前述の実施例よりさらに
高感度にできる。
第7図は、本考案の第六の実施例であり、第五の実施例
で述べた高透磁率磁性体2,2′が■ストライプ1の検
出磁場方向(X方向)の両側に形成されている。
で述べた高透磁率磁性体2,2′が■ストライプ1の検
出磁場方向(X方向)の両側に形成されている。
この構成は、第六の実施例と同様の特性を有する。
尚、MRストライプの片側又は両側に設ける短冊状高透
磁率磁性体の数は、上記実施例のように、片側について
2.又は3に限定されるものではなく、勿論それ以上で
もよい。
磁率磁性体の数は、上記実施例のように、片側について
2.又は3に限定されるものではなく、勿論それ以上で
もよい。
次に、本考案の構成に用いられる材料及び形状の例を述
べる。
べる。
MRストライプ1としては、鉄、ニッケル、コバルトな
どの強磁性金属単体又はこれ等を主成分とするパーマロ
イなどの金属強磁性合金を、シリコン単結晶、セラミッ
ク又はガラスなどの表面の滑らかな基板4上に、厚さ数
百オングストローム、ストライプ幅数〜数十ミクロン、
長さ数十ミクロン−数ミリメートルの形状に、両端の電
気端子3と共に薄膜作製技術で作製されたものが用にら
れる。
どの強磁性金属単体又はこれ等を主成分とするパーマロ
イなどの金属強磁性合金を、シリコン単結晶、セラミッ
ク又はガラスなどの表面の滑らかな基板4上に、厚さ数
百オングストローム、ストライプ幅数〜数十ミクロン、
長さ数十ミクロン−数ミリメートルの形状に、両端の電
気端子3と共に薄膜作製技術で作製されたものが用にら
れる。
高透磁率磁性体2,2′としてはパーマロイなどを、厚
さ数百オングストローム−数ミクロン、幅数ミクロン−
数百ミクロン、長さ数十ミクロン−数ミリメートルの形
状に、また非磁性層4としては5in2やAI。
さ数百オングストローム−数ミクロン、幅数ミクロン−
数百ミクロン、長さ数十ミクロン−数ミリメートルの形
状に、また非磁性層4としては5in2やAI。
03などを数千オングストロームの厚さに、薄膜作製技
術で作製されたものが用いられる。
術で作製されたものが用いられる。
ここで、高透磁率磁性体2,2′の長さLと幅との比は
、少なくとも1以上であることが必要であり、10以上
であることが望ましい。
、少なくとも1以上であることが必要であり、10以上
であることが望ましい。
また、前記高透磁率磁性体2間のギャップGl、G2゜
G3の大きさは数ミクロンである。
G3の大きさは数ミクロンである。
以上述べた様に、本考案によれば高感度で安定な特性を
有するMR素子を容易に遠戚することができる。
有するMR素子を容易に遠戚することができる。
第1図a、 b、 C,dはそれぞれMR素子の従来例
を示す斜視図、第2図、第3図、第4図a。 第5図、第6図a、第7図はそれぞれ本考案の実施例を
示す斜視図で、第4図すは第4図aのんV線断面図、第
6図すは第6図aのBB’線断面図である。 1・・・・・・MRストライプ、2,2′・・・・・・
高透磁率磁性体、3・・・・・・導電体端子、 非磁性層。 4・・・・・・基板、 5・・・・・・
を示す斜視図、第2図、第3図、第4図a。 第5図、第6図a、第7図はそれぞれ本考案の実施例を
示す斜視図で、第4図すは第4図aのんV線断面図、第
6図すは第6図aのBB’線断面図である。 1・・・・・・MRストライプ、2,2′・・・・・・
高透磁率磁性体、3・・・・・・導電体端子、 非磁性層。 4・・・・・・基板、 5・・・・・・
Claims (1)
- 磁気抵抗効果を有する強磁性薄膜ストライプの少くとも
片側に幅が長さに比べて小さい短冊状高話磁率磁性体を
2個以上有限のキャップを隔てて該ストライプに平行に
隣接並置したことを特徴とする磁気抵抗効果素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17887379U JPS6028143Y2 (ja) | 1979-12-24 | 1979-12-24 | 磁気抵抗効果素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17887379U JPS6028143Y2 (ja) | 1979-12-24 | 1979-12-24 | 磁気抵抗効果素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5696663U JPS5696663U (ja) | 1981-07-31 |
JPS6028143Y2 true JPS6028143Y2 (ja) | 1985-08-26 |
Family
ID=29689390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17887379U Expired JPS6028143Y2 (ja) | 1979-12-24 | 1979-12-24 | 磁気抵抗効果素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6028143Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH712525A1 (de) | 2016-06-06 | 2017-12-15 | Melexis Tech Sa | Magnetfeldsensor mit integrierten Magnetfeldkonzentratoren. |
-
1979
- 1979-12-24 JP JP17887379U patent/JPS6028143Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5696663U (ja) | 1981-07-31 |
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