JPS6026318B2 - ガスレ−ザ装置 - Google Patents
ガスレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS6026318B2 JPS6026318B2 JP809078A JP809078A JPS6026318B2 JP S6026318 B2 JPS6026318 B2 JP S6026318B2 JP 809078 A JP809078 A JP 809078A JP 809078 A JP809078 A JP 809078A JP S6026318 B2 JPS6026318 B2 JP S6026318B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode group
- gas flow
- electrodes
- laser
- resistor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は放電状態を最適に保ちながらレーザ出力を変
化させることができるガスレーザ装置に関する。
化させることができるガスレーザ装置に関する。
高速ガス流形Ｃ０２レーザ装置として知られている従来
技術について説明すると、第１図Ａ，Ｂ，Ｃで示す構成
のものがある。
技術について説明すると、第１図Ａ，Ｂ，Ｃで示す構成
のものがある。
これは、ガス流ａと直交する方向に並設した複数の第１
の電極ｂ・・…・・・・と板状に形成された第２の電極
ｃとを対向して設け、これら第１、第２の電極ｂ，ｃ間
に光軸ｄを形成するように共振器ミラ・−ｅ，ｅを配設
したものである。したがって、ガス流ａと直交する方向
での電流分布は第１の電極ｂ・・・・・…・に接続され
た抵抗器ｆ・・・・・・・・・によって調節することが
できるが、ガス流ａに沿う方向の電流分布は固定的であ
る。しかも、ある電流、ガス圧およびガス流速状態で最
大出力を得る位置に共振器ミラーｅ，ｅが固定されてい
るとき、電流、ガス圧およびガス流速等を変えて出力の
調節を行うと、上記共振器ミフーｅ，ｅの位置では最大
出力を得ることができない。また、第２図Ａ，Ｂ，Ｃで
示すように、ガス流ａと直交する方向および沿う方向に
第１の電極ｂ・・・・・・・・・を配設し、これら第１
の電極ｂ・・・・・・・・・に対向して板状に形成され
た第２の電極ｃを設けたものもある。
の電極ｂ・・…・・・・と板状に形成された第２の電極
ｃとを対向して設け、これら第１、第２の電極ｂ，ｃ間
に光軸ｄを形成するように共振器ミラ・−ｅ，ｅを配設
したものである。したがって、ガス流ａと直交する方向
での電流分布は第１の電極ｂ・・・・・…・に接続され
た抵抗器ｆ・・・・・・・・・によって調節することが
できるが、ガス流ａに沿う方向の電流分布は固定的であ
る。しかも、ある電流、ガス圧およびガス流速状態で最
大出力を得る位置に共振器ミラーｅ，ｅが固定されてい
るとき、電流、ガス圧およびガス流速等を変えて出力の
調節を行うと、上記共振器ミフーｅ，ｅの位置では最大
出力を得ることができない。また、第２図Ａ，Ｂ，Ｃで
示すように、ガス流ａと直交する方向および沿う方向に
第１の電極ｂ・・・・・・・・・を配設し、これら第１
の電極ｂ・・・・・・・・・に対向して板状に形成され
た第２の電極ｃを設けたものもある。
これはガス流ａ方向の電流分布も抵抗器ｆ・・…・・・
・によって調節できるので、ある電流、ガス圧およびガ
ス流速に対して最大出力を得る位置に共振器ミラーｅ，
ｅが固定されているとき、電流、ガス圧およびガス流速
などを変化させて出力調節を行う場合でも共振器ミラー
ｅ，ｅの位置を変えずに出力が大きい状態で効率よくし
ーザ出力を取出すことが可能である。しかし、第１の電
極ａは１本／１の程度であるから出力数ＫＷのレーザで
は数百本の電極、抵抗体を必要とする。したがって、構
成が複雑化し、組立作業が面轍であり、コストアップの
原因になるいう事情がある。この発明は上記事情にもと
ずきなされたもので、その目的とするところは、抵抗器
を有した複数の電極からなる第１の電極群と同じく抵抗
器を有した複数の電極からなる第２の電極群とを対向し
て設け、ガス流方向およびガス流と直交する方向の電流
分布であっても両抵抗器によって調節することができ、
構造的にも簡単で効率よくしーザ出力を取出すことがで
きるガスレーザ装置を提供しようとするものである。
・によって調節できるので、ある電流、ガス圧およびガ
ス流速に対して最大出力を得る位置に共振器ミラーｅ，
ｅが固定されているとき、電流、ガス圧およびガス流速
などを変化させて出力調節を行う場合でも共振器ミラー
ｅ，ｅの位置を変えずに出力が大きい状態で効率よくし
ーザ出力を取出すことが可能である。しかし、第１の電
極ａは１本／１の程度であるから出力数ＫＷのレーザで
は数百本の電極、抵抗体を必要とする。したがって、構
成が複雑化し、組立作業が面轍であり、コストアップの
原因になるいう事情がある。この発明は上記事情にもと
ずきなされたもので、その目的とするところは、抵抗器
を有した複数の電極からなる第１の電極群と同じく抵抗
器を有した複数の電極からなる第２の電極群とを対向し
て設け、ガス流方向およびガス流と直交する方向の電流
分布であっても両抵抗器によって調節することができ、
構造的にも簡単で効率よくしーザ出力を取出すことがで
きるガスレーザ装置を提供しようとするものである。
以下、この発明を図面に示す一実施例にもとずし・て説
明する。
明する。
第３図Ａ，Ｂ，Ｃ中１‘まガス流２と直交する方向に並
設した複数の針状の電極３・・・・・・・・・からなる
第１の電極群で、これら電極３・・・・・・・・・は等
間隔を存して絶縁されているとともに抵抗器４・・・・
・・・・・を介して電源（図示しない。）の一方の極に
電気的に接続されている。また、５は上記ガス流２の流
れの方向に設置された複数の棒状電極６・・・・・・・
・・からなる第２の電極群で、これら棒状電極６・・・
・・・・・・は等間隔を存して絶縁されているとともに
抵抗器７…・・・・・・を介して上記電源の他方の極に
電気的に後続されている。さらに、これら第１の電極群
１の第２の電極群５との間に光軸８を形成するように第
１、第２の電極群１，５の両端側には共振器ミラー９，
９が配設され、し−ザ光学系１０を構成している。しか
して、ガス流２と直交する方向の電流分布は第１の電極
群１の抵抗器４・・・・・・・・・によって調節し、ガ
ス流２方向の電流分布は低抗器７・・・・・・・・・に
よって調節する。
設した複数の針状の電極３・・・・・・・・・からなる
第１の電極群で、これら電極３・・・・・・・・・は等
間隔を存して絶縁されているとともに抵抗器４・・・・
・・・・・を介して電源（図示しない。）の一方の極に
電気的に接続されている。また、５は上記ガス流２の流
れの方向に設置された複数の棒状電極６・・・・・・・
・・からなる第２の電極群で、これら棒状電極６・・・
・・・・・・は等間隔を存して絶縁されているとともに
抵抗器７…・・・・・・を介して上記電源の他方の極に
電気的に後続されている。さらに、これら第１の電極群
１の第２の電極群５との間に光軸８を形成するように第
１、第２の電極群１，５の両端側には共振器ミラー９，
９が配設され、し−ザ光学系１０を構成している。しか
して、ガス流２と直交する方向の電流分布は第１の電極
群１の抵抗器４・・・・・・・・・によって調節し、ガ
ス流２方向の電流分布は低抗器７・・・・・・・・・に
よって調節する。
したがって、ガス圧、ガス流速などを変化させてレーザ
出力を調節したときも共振器ミラー９，９の位置で出力
が大きくなるような電流分布を形成することができ、効
率よくしーザ出力を取出すことができる。しかも、第２
の電極群５は複数の棒状電極６………によって構成し、
これらの棒状電極６・・・・・・・・・に低抗器７・・
・・・・・・・を取付けたから、第１の電極群１を構成
する電極３の数を増加させる必要がなく、最小限にする
ことができる。なお、上記−実施例においては、棒状電
極６・・・・・・・・・を帯状板体によって構成したが
、中空の矩形電極あるいはパイプ状電極であってもよい
。
出力を調節したときも共振器ミラー９，９の位置で出力
が大きくなるような電流分布を形成することができ、効
率よくしーザ出力を取出すことができる。しかも、第２
の電極群５は複数の棒状電極６………によって構成し、
これらの棒状電極６・・・・・・・・・に低抗器７・・
・・・・・・・を取付けたから、第１の電極群１を構成
する電極３の数を増加させる必要がなく、最小限にする
ことができる。なお、上記−実施例においては、棒状電
極６・・・・・・・・・を帯状板体によって構成したが
、中空の矩形電極あるいはパイプ状電極であってもよい
。
このように構成することによって電極を冷却することが
できる。また、共振器ミラー９，９を用いて光学系１０
を形成したが、これらミラーを複数個用いて複数の折返
し光路を構成してもよく、さらに、光学系を変えて増幅
器として構成することもできる。この発明は以上説明し
たように、抵抗器を有した複数の電極からなる第１の電
極群と同じく抵抗器を有した複数の電極からなる第２の
電極群とを対向して設け、ガス流と直交する方向の電流
分布は第１の電極群の抵抗器によって調節し、ガス流方
向の電流分布は第２の電極群の抵抗器によって調節する
ことができ、効率よくしーザ出力を取出すことができる
。
できる。また、共振器ミラー９，９を用いて光学系１０
を形成したが、これらミラーを複数個用いて複数の折返
し光路を構成してもよく、さらに、光学系を変えて増幅
器として構成することもできる。この発明は以上説明し
たように、抵抗器を有した複数の電極からなる第１の電
極群と同じく抵抗器を有した複数の電極からなる第２の
電極群とを対向して設け、ガス流と直交する方向の電流
分布は第１の電極群の抵抗器によって調節し、ガス流方
向の電流分布は第２の電極群の抵抗器によって調節する
ことができ、効率よくしーザ出力を取出すことができる
。
しかも、従来のように第１の電極群を構成する電極の個
数を増加する必要がないから、構造的に簡単になるとと
もに組立が簡単で廉価に提供することができるという効
果を奏する。
数を増加する必要がないから、構造的に簡単になるとと
もに組立が簡単で廉価に提供することができるという効
果を奏する。
第１図は従来のガスレーザ装置を示すもので、Ａは斜視
図、Ｂは側面図、Ｃは正面図、第２図は異なる従来のガ
スレーザ装置を示すもので、Ａは斜視図、Ｂは側面図、
Ｃは正面図、第３図はこの発明の一実施例を示すので、
Ａは斜視図、Ｂは側面図、Ｃは正面図である。 １・・・・・・第１の電極群、２・・・・・・ガス流、
３・・・・・・電極、４，７・・・・・・低抗器、８…
・・・光軸、１０・・・・・・レーザ光学系。 沙１図 才２斑 ＊３図
図、Ｂは側面図、Ｃは正面図、第２図は異なる従来のガ
スレーザ装置を示すもので、Ａは斜視図、Ｂは側面図、
Ｃは正面図、第３図はこの発明の一実施例を示すので、
Ａは斜視図、Ｂは側面図、Ｃは正面図である。 １・・・・・・第１の電極群、２・・・・・・ガス流、
３・・・・・・電極、４，７・・・・・・低抗器、８…
・・・光軸、１０・・・・・・レーザ光学系。 沙１図 才２斑 ＊３図
Claims (1)
- １ レーザ媒質ガスの流れと直交する方向に並べて設置
され、各々が低抗器を介して電源の一方の極に接続され
かつ互いに絶縁されている複数の電極からなる第１の電
極群と、この第１の電極群の並設方向を長手方向とし、
上記レーザ媒質ガスの流れの方向に設置され、各々が抵
抗器を介して上記電源の他方の極に接続されかつ互いに
絶縁された複数の棒状電極からなる第２の電極群と、こ
れら第１と第２の電極群の間に光軸を有し、その光軸が
上記第１の電極群の並設方向とほぼ平行なレーザ光学系
とからなるガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP809078A JPS6026318B2 (ja) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | ガスレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP809078A JPS6026318B2 (ja) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | ガスレ−ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54101697A JPS54101697A (en) | 1979-08-10 |
| JPS6026318B2 true JPS6026318B2 (ja) | 1985-06-22 |
Family
ID=11683618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP809078A Expired JPS6026318B2 (ja) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | ガスレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6026318B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61198547U (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-11 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4336506A (en) * | 1979-10-05 | 1982-06-22 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Segmented plasma excitation-recombination laser |
| JPS61170083A (ja) * | 1985-01-24 | 1986-07-31 | Amada Co Ltd | 気体レ−ザ装置 |
-
1978
- 1978-01-27 JP JP809078A patent/JPS6026318B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61198547U (ja) * | 1985-06-03 | 1986-12-11 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54101697A (en) | 1979-08-10 |
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