JPS62206892A

JPS62206892A - ガスレ−ザ発振装置

Info

Publication number: JPS62206892A
Application number: JP4865986A
Authority: JP
Inventors: Naoto Nishida; 直人西田
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1986-03-07
Filing date: 1986-03-07
Publication date: 1987-09-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（腫業上の利用分野）本発明はガスレーザ発振装置に係り、主として二以上の
放電励起部を有する軸流形の装置に関する。

（従来の技術）第２図はこの種の従来装置の一例で、放電励起部を２箇
所設けた装置になっている。すなわち。

接続管（１）にて接続された放電管（２ａ）、　（２ｂ
）を有し。

これら放電管（２り、　（２ｂ）にはそれぞれ一対の放
電電極（３す、　（３ｂ）および（４ａ）、　（４ｂ）
−ｉｙｔそれぞれ接続管（１）側を高電位にして取り付
けられている。放電管（２Ｊｌ）、　（２ｂ）の一端部
にはミラーホルダ（５ａ）、（５ｂ）が取り付けられ、
これらの内部には光共振器を構成する全反、射鏡（６）
およびレーザ光（Ｌ）が出射する出力鏡（７）がそれぞ
れ設けられている。接続管（１）およびミラーホルダ（
５ａ）、　（５ｂ）に対しＥ形の循環管体（８）が接続
され、放電管（２ａ）、　（２ｂ）とともに循環路を構
成している。循環管体（８）には上記循環路に封入され
ているガスレーザ媒質を循環する送風装置（９）が設け
られるとともに、この送風装置（９）の流入側および送
出側に熱交換器等の冷却手段（１０ｍ）。

（１０ｂ）が設けられている。上記ガスレーザ媒質は送
風＊　ｅ（９）によって放電励慝部にぢいて低電位側か
ら高電位側へ流される。ところで、従来では循環管体（
８）は全体的には金属管になっているが、電気的な関係
で゛高電位側に位置し、接続管（１）に接続している部
分は絶縁体１通常はガラス管になっている。また、上記
のように循環管体（８）は金属管やガラス管となってい
るため、７レキシビリテイに欠け１組立時の調整を可能
にする必要があることから循環管体（８）の中途部の３
箇所ｌこは金属製ベローズ（１１ａ）、　（ｌｌｂ）、
　（ＩＩＣ）が取り付けられている。

また、ガスレーザ媒質は低電位側から高電位側へ流され
、循環管体（８）の中央部を共通にして二つの循環流が
形成されるようになっている。なお、　（Ｉａは電源部
、崗は放電安定化抵抗である。

上記従来の構成では循環管体（８）を接合して装置とし
て組立る際、ベローズ（ｌｌａ）、　（ｌｌｂ）、　（
ＩＩＣ）における調整に手間取ったり、また、溶接やロ
ー付は等面倒な作業が要求される不具合があった。さら
に循環管体（８）の中央においては所定の絶縁距離が必
要であり、ベローズ（ｌｌｂ）が取り付けられているこ
とから、この部分の全体の長さを痛手することが困難な
ため、小形化が極めて困難であった。

（発明が解決しようとする問題点）そこで１本発明は上記の問題点に鑑み、軽量化かつ小形
化が計れるガスレーザ発振装置を提供することを目的と
したものである。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段と作用）二以上の放電励
起部を有するガスレーザ発振装置において、ガスレーザ
媒質を放電°ｒル極の画電位側から放電管に流入する流
れとしかつ少なくとも冷却手段を経たガスレーザ媒質の
循環路の一部を電気絶縁性を有する管体にし、高電位側
の管路長を短かくするとともに組立時の煩雑さを解消し
たものである。。

（実施例）以下、実施例を示すｊｇ１図に基いて本発明を説明する
。なあ、第２図と共通する部分には同一符号を付し説明
を省略する。

すなわち１本実施例は第２図に示した従来例と同様に放
電励起部を２箇所にした構成となっていて、ミラーホル
ダ（５ａ）、　（５ｂ）の近傍および接続管（１）と送
風装置（９）の間との３箇所にそれぞれ冷却手段（１５
１１）、　（１５ｂ）、　（１５Ｃ）が設けられている
。また。

送風装ｆ’＃　（９）はガスレーザ媒質を放電励起部に
おいて矢印に示すように？１ｌｉｔｔ位側から低電位側
へ流すように駆動される。また、循環管体（８）におい
て。

冷却手段Ｑｓａ）、　（ｔａｂ）と送風装置（９）間の
管体（８ａ）。

（８ｂ）および冷却手段（ｉｓｃ）と接続管（１）間を
こおいて二つに分けられている管体（８Ｃ）、　（８ｄ
）は塩化ビニール管等の熱可塑性樹脂管となっている。

以上の構成において、送風装置　（９）が作動すると循
環路内に封入されていたガスレーザ媒質は冷却手段（１
５Ｃ）によって送風装置（９）の圧縮作用時に生じた熱
を奪われ３０℃以下に冷却される。冷却後。

管体（８０）、　（ｓｃｔ）を経てそれぞれ放電管（２
ａ）、　（２ｂ）の高電位側に流入する。ミラーホルダ
（５Ｍ）、　（５ｂ）から循環管体（８）に入るガスレ
ーザ媒質は放電励起部の通過中に１５０℃前後に温度上
昇するが、冷却手段（１５ａ）、　（１５ｂ）によりて
再度３０℃前後に冷却され送風装置（９）に戻る。

〔発明の効果〕

循環路の大部分を熱可塑性樹脂のような電気絶縁性、気
密性並びに可撓性を有する管体で構成したので組立の際
には管体自体を加熱することで容易に微詞整でき、従来
のようなベローズ等の要素が不要となった。また、いう
までもなく１重量が軽減し、また組立時の接合も接着作
業となり。

作業の安全化が計れた。さらに、ベローズと不要とした
ことにより、高電位側の循環路を短かくすることができ
、装置の小形化が達成された。

な詔、上記実施例では放電励起部を２箇所にした構成に
ついて説明したが３ケ所以上の場合でも同様の効果が奏
せられる。また、熱可塑性樹脂管は塩化ビニール樹脂以
外ポリアミド系、アクリル系等の樹脂管に置き換えても
よい。また、循環管体は熱可塑性樹脂の他に耐圧ゴム管
等、内部を真空にしても大気圧によってつぶれない耐圧
性、気密性を有した絶縁性および可撓性のある管体を用
いてもよい。なお、可撓性についてはベローズ形状のよ
うにして形状的に可撓性を出すようにすれば熱可塑性樹
脂にせずとも熱硬化性樹脂でも使用可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は従来
例を示す構成図である。（２ａ）、　（２ｂ）・・・放電管（３ｇ）、　（３ｂ）、　（４ａ）、　（４ｂ）　−・
・放電電極（８）・・・循環管体　　　（９）・・・送
風装置（１２）・・・電源部（１５ａ）、　（１５ｂ）、　（１５Ｃ）　・・・冷却
手段代理人　弁理士　　則　近　憲　佑同　　　　　竹　花　喜久男

Claims

【特許請求の範囲】

（１）放電管とこの放電管の両端側に設けられた光共振
器と低電位側を上記光共振器側にして放電管内に設けら
れ少なくとも二以上の放電励起部を形成する二対以上の
放電電極とこれら放電電極を印加する電源部と上記放電
管に接続して循環路を構成する循環管体と、上記循環路
に封入されたガスレーザ媒質と上記循環管体に設けられ
ガスレーザ媒質を循環する送風装置とこの送風装置の流
入側および送出側にそれぞれ設けられ上記循環中のガス
レーザ媒質の温度を冷却する冷却手段とを備えたガスレ
ーザ発振装置において、上記ガスレーザ媒質を放電電極
の高電位側から放電管に流入する流れとしかつ少なくと
も冷却手段を経た循環管体を電気絶縁性を有する管体に
したことを特徴とするガスレーザ発振装置。
（２）循環管体は熱可塑および気密性を有する材質から
なることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス
レーザ発振装置。