JPS60118261U - ガスレ−ザ発生装置 - Google Patents

ガスレ−ザ発生装置

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JPS60118261U
JPS60118261U JP424784U JP424784U JPS60118261U JP S60118261 U JPS60118261 U JP S60118261U JP 424784 U JP424784 U JP 424784U JP 424784 U JP424784 U JP 424784U JP S60118261 U JPS60118261 U JP S60118261U
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JP
Japan
Prior art keywords
airtight container
laser generator
electrodes
gas laser
gas
Prior art date
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Pending
Application number
JP424784U
Other languages
English (en)
Inventor
白木　達二
Original Assignee
株式会社日立製作所
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Publication date
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Priority to JP424784U priority Critical patent/JPS60118261U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のガス循環形３軸直交ガスレーザ発生装置
の平面図、第２図は第１図のＩ−Ｉ断面図、第３図は本
考案の一実施例のガスレーザ発生装置の平面図、第４図
は第３図の■−■断面図である。 １・・・・・・気密容器、２・・・・・・ミラー支持ユ
ニット、３・・・・・・ミラーユニット支持棒、４・・
・・・・グロー放電部、５・・・・・・共振光路、６・
・・・・・ガス流路、７・・・・・・半透過鏡、８・・
・・・・全反射鏡、９・・・・・・ベローズ、１０・・
・・・・送風機、１１・・・・・・熱交換器。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 内部にレーザ媒体を封入した気密容器内に、二組の電極
    から成るグロー放電部を気密容器中心線に対して対称に
    配設し、前記電極の長手方向および放電方向とに直交す
    る方向に各々気密容器の中心線に向かって電極間を通過
    するガス循環流路と、前記気密容器の両端に配設したミ
    ラーにより形成された、放電方向およびガス流路に直交
    する共振光路とにより構成されることを特徴とするガス
    レーザ発生装置。
JP424784U 1984-01-18 1984-01-18 ガスレ−ザ発生装置 Pending JPS60118261U (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08125253A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Nec Corp エキシマレーザ装置
CN102969645A (zh) * 2012-11-21 2013-03-13 中国科学院光电研究院 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器
CN103151679A (zh) * 2012-03-02 2013-06-12 中国科学院光电研究院 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08125253A (ja) * 1994-10-20 1996-05-17 Nec Corp エキシマレーザ装置
CN103151679A (zh) * 2012-03-02 2013-06-12 中国科学院光电研究院 基于改进的贯流风机叶轮的单腔双电极放电腔
WO2013127111A1 (zh) * 2012-03-02 2013-09-06 中国科学院光电研究院 单腔双电极放电腔及准分子激光器
JP2014511036A (ja) * 2012-03-02 2014-05-01 中國科學院光電研究院 単一チャンバの二重電極放電チャンバ及びエキシマレーザー
KR101493807B1 (ko) * 2012-03-02 2015-02-16 아카데미 오브 옵토-일렉트로닉스, 차이니즈 아카데미 오브 사이언시스 단일 챔버 이중 전극 형태의 방전 챔버 및 엑시머 레이저 기기
US9252557B2 (en) 2012-03-02 2016-02-02 Academy Of Opto-Electronics, Chinese Academy Of Sciences Single cavity dual-electrode discharge cavity and excimer laser
CN102969645A (zh) * 2012-11-21 2013-03-13 中国科学院光电研究院 双电极放电腔的导流装置及应用其的放电腔、准分子激光器
JP2015537386A (ja) * 2012-11-21 2015-12-24 中国科学院光▲電▼研究院 ダブル電極放電チャンバの導流装置及びこれを適用した放電チャンバ、エキシマレーザ
EP2924818A4 (en) * 2012-11-21 2016-07-20 Academy Opto Electronics Cas FLOW GUIDE FOR A DOUBLE ELECTRODE DISCHARGE RESONATOR, DISCHARGE RESONATOR FOR THE APPLICATION THEREOF, AND EXCIMER LASER
RU2618792C2 (ru) * 2012-11-21 2017-05-11 Рейнбоу соурс Лейзер (ЭрЭсЛейзер) Направляющее поток устройство для двухэлектродной разрядной камеры, двухэлектродная разрядная камера с его использованием и эксимерный лазер

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