JPS6025492B2 - 真空加工装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は真空箱内で連続して熱処理等の加工を行なう真
空加工装置に関するものである。

従来の真空加工装置は、熱処理等の加工を行なう真空加
工室と、この真空加工室にワークを供給する供給室と、
真空加工室よりワークを収納する収納室とを有し、各室
はそれぞれ開閉可能なゲート装置により仕切られている
。

このように複雑なゲートの開閉装置が必要であると共に
、ワークを真空加工室に供給及び真空加工室から収納す
る毎にゲートの開閉操作を行なうシーケンスが必要とな
り、操作時間が増大する欠点があった。また、真空加工
室の真空度を保持するために、排気系が各室に設けられ
ており、この点からも構造を複雑化させている。

さらにまた、真空加工室にワークを供給する供給装置及
び真空加工室よりワークを収納する収納装置には、ワー
クを多数鏡層したマガジンが用いられている。

かかる従来の真空加工装置に用いられているマガジンは
、ワークを供給する場合はマガジンに積層された上層の
ワークから行なわれる。一方、ワークを収納する場合は
マガジンの下層部よりｍ項次積上げられる。しかるにワ
ークの供給、収納路はその高さ方向の位置が固定されて
いるので、マガジンはワークの供強舎、収納にあたって
１個のワークを供給、収納する毎にマガジン自体を１ピ
ッチ分だけ昇降させて対象となるワークを供給、収納路
の高さに合せ込む必要がある。従ってマガジンを収納枚
数分だけ上下動させる必要があり、上下のスペースが大
きくなり、装置が大型化する欠点があった。本発明は上
記従来技術の欠点に鑑みなされたものである。

即ち、本発明の第１の目的は、内部に開閉ゲートを有し
ない１つの真空箱内でワークの移送及び加工を行ない、
装置の簡素化及びロスタイムの除去をはかり得る真空加
工装置を提供するにある。

本発明の第２の目的は、ワーク供給及び収納装置に用い
るマガジンを移動させない構造となし、装置の小型化を
はかり得る真空加工装置を提供するにある。以下本発明
を図示の実施例に基づき説明する。

ここで、本実施例においては、ワークとして部品を入れ
た容器と蓋とを真空中で加熱、加圧、冷却して封止する
熱処理加工作業を連続して行なう場合をあげて説明する
。第１図は本実施例において対象とするワークを示す。

ワーク１は部品２を入れたセラミック製の容器３と、こ
の容器３を密封するためのガラス製の蓋４とよりなる。
そして、これら容器３と蓋４との接合面にはそれぞれ所
定温度で熔融するはんだ等の接合剤が予め付けられてい
る。第２図は前記ワーク１を保持する保持臭を示す。

保持貝５には容器３に蓋４を重ねたワーク１を挿入する
ための有底の角溝部６が長手方向に沿って複数個設けら
れており、この角溝部６の中央部にそれぞれ角溝部６の
短辺より大きな直径の貴通孔７が穿設されている。また
外周両端には後記するマガジンの爪部が係合するつば部
８Ａ，８Ｂが、両側部には搬送用の切欠き９Ａ，９Ｂ，
９Ｃ，９０がそれぞれ設けられている。第３図は本発明
になる真空加工装置の概略構成説明図である。

即ち、本装置を大別すると、真空発生装置１０により内
部を真空に保持される真空箱１１と、この真空箱１１内
部の右側上部に配設されワーク１がセットされた保持貝
５を積上げ収納してなる供給マガジン２０と、同様に真
空箱内部の左側上部に配設され加工済のワークがセット
された保持具５を収納する収納マガジン４０と、前記供
孫舎マガジン２０の下方、後記する内部加工装置７０の
位置及び収納マガジン４０の下方にそれぞれ同一高さで
連続した案内面を配設してなる３つの第１、第２、第３
搬送路１２，１３，１４と、供給マガジン２０の最下段
より保持具５を順次第１搬送路１２上の案内面に戦遣さ
せる供給装置５０と、前記両マガジン２０，４０間に配
設これ保持臭５にセットされたワークに加工を施す内部
加工装置７０及び真空箱１１の外部に設けられた外部加
工装置８０等より構成された加工装置と、第３搬送路１
４上の保持具５を押上げて収納マガジン４０内に下方よ
りｎ頂次積重ねて収納する収納装置９０と、保持具５を
搬送路１２，１ ３，１４の案内面に沿って内部加工装
置７０の加工位置及び収納マガジン４０下方の収納位置
に間欠移送する移送装置１００と、真空箱１ １の外部
に配設され前記各装置を駆動させるための駆動装置１２
０（図示せず）とよりなる。また前記供給マガジン２０
の側面には準備加熱用ヒータ１５が設けられている。

さらにまた本装置には供Ｖ給マガジン２０及び収納マガ
ジン４０を真空箱１１内にセットする時に、外気と共に
ゴミ等が真空箱１１内に入るのを防止するために真空箱
１１内に清浄な空気を供給するクリーンエヤー用コンブ
レツサ１６が配設されている。次に上記各装置の詳細な
構成について説明する。供給マガジン２０（第４図参照
） 第４図は供給マガジンを示し、■は一部切欠き正面図、
‘ｂーはそのＷｂ−Ｗｂ線断面平面図である。

供給マガジン２０はワーク保持具５の両端部が舷合し案
内される案内溝２１ａを形成した断面コ字状の２つの直
立柱２１，２１を相対向配設し、これらの直立柱２１，
２１の下端の両側面を連結材２２で、上端の両側面を連
結材２３でそれぞれ結合して枠体を構成してなる。前記
直立柱２１，２１の下部端部には１対のフックレバー保
持板２４が固定され、このフックレバー保持板２４にフ
ックレバー２５の下端部が軸２６を中心に孫勤可能に支
持されている。フックレバー２５のほぼ中央部の内側に
形成された爪部２５ａは、案内溝２１ａに突出するよう
に設けられており、フックレバー２５の上端部に設けら
れた作動係合ピン２８に掛けられたばね２７で内側に向
って付勢されている。即ち、フックレバー２５の爪部２
５ａはばね２７で付勢されて、案内溝２１ａに沿って積
重ねられた最下段の保持具５のつば部８Ａ，８Ｂを両側
より保持している。前記フックレバー２５の作動係合ピ
ン２８は後記する供給装置５０のレバ→こよって作動し
、爪部２５ａが開き保持臭５のつば部８Ａ，８Ｂを解放
するようになっている。このような構成よりなる供給マ
ガジン２０１ま真空箱１ １内に固定された支持台３０
に着脱可能に取付けられるようになっている。

即ち、マガジン２０のフックレバー保持板２４は支持台
３０の案内溝３０ａに接合可能に形成されており、固定
ねじ３１で締付け固定される。収納マガジン４０（第４
図参照） 収納マガジン４０は前記供給マガジン２０の作動係合ピ
ン２８がないのみで、供聯合マガジン２０と全く同じ様
に構成されている。

勿論作動係合ピン２８が設けられたものを用いても何等
差支えない。供給装置５０（第５図、第６図の右方部及
び第８図参照）第５図は本発明になる真空加工装置の全
体構成を示す平面図、第６図は第５図のＷ一の線に沿う
断面図である。

即ち、第５図及び第６図をほぼ３等分した右方部に供給
装置５０、中間部に内部加工装置７０、左方部に収納装
置９０をそれぞれ示す。供給装置５川ま次のような構成
よりなる。

真空箱１１を構成する真空側壁１１ａに支持体５１が固
定されており、この支持体５１上に第１搬送路１２が設
けられている。この第１搬送路１２は保特臭５を長手方
向に沿って搬送するように刻設された浅い溝であり、そ
の上方に供Ｖ給マガジン２０（図示せず）が支持台３０
１こよって支持、セットされる。下方の保持具５が供給
マガジン２０から下降させられる位置の第１搬送路１２
には保持臭５より小さな貫通長溝１２ｂを有する。また
第１搬送路１２の下方には第１搬送路１２に直角に真空
側壁１１ａ及び支持体５１を貫通して２本の回動駆動軸
５２，５３が配談されている。一方の回敷駆動軸５２に
固定されたレバー５４の先端は、ばね５５により下方に
付勢されかつ案内棒５６Ａ，５６Ｂに沿って上下動可能
な上下可動部材５７に固定した調節ねじ５８に当接して
いる。この上下可動部村５７の上端は前記第１搬送路１
２の貫通長溝１２ｂ内に遊舷しており、上昇時に搬送路
１２上に突出する。他方の回動駆動軸５３には第８図に
示すようにレバー５９が固定されており、このレバー５
９の一端は回動駆動軸５２に遊鼓するレバー６川こピン
６１で係合し、他端は軸６２に回動自在に支持されたレ
バー６３と係合している。

また前記レバー６０の池端は同様に軸６４に回動自在に
支持されたレバー６５と係合している。これらレバー６
３，６５の上方端にはそれぞれねじ６６，６７が設けら
れ、これらのねじ６６，６７は前記供給マガジン２０の
作動係合ピン２８に作用するように配設されている。内
部加工装置７０（第５図及び第６図の中間部参照）真空
側壁１１ａに固定した支持体７１上には前記第１搬送路
１２の案内面とに連続して設けられ、保持臭５のほぼ全
長にわたって穿設された貫通長溝１３ｂと案内面１３ａ
を有する第２搬送路１３と、加工位置に搬送された保持
具５上のワーク上面とわずかな間隙を有しかつ上昇させ
られた各ワークと当援する受板７２が設けられている。

この受板７２は例えば耐熱石英ガラスのように熱透過性
の材料を用いる。また真空側壁１１ａ及び支持体７１を
貫通して回動軸７３が設けられている。

回動駆動軸７３が設けられている。この回動駆動軸７３
に固定された作動レバー７４の先端のローラは案内榛７
５Ａ，７５Ｂに沿って上下駆動される昇降部材７６に係
合している。この昇降部材７６には上方に付勢された上
下可動の押圧ピン７７が第２搬送路１３の貫通長溝１３
ｂ内に突出する如く保持具５上のワークと同間隔位置に
配設されている。またこの昇降部材７６には発熱体を埋
設したアルミ体よりなる予備加熱装置７８が固定されて
おり、この予備加熱装置７８の温度は温度センサー（図
示せず）によって制御されるようになっている。また前
記第２搬送路１３内には冷却水を循環させるための配管
７９が配設されており、外部ポンプ（図示せず）にパイ
プ等で蓮通されている。そしてその冷却温度は温度セン
サー（図示せず）によって制御されるようになっている
。外部加工装置８０（第９図参照） 第９図は保持臭５の搬送方向に垂直な断面図で、真空箱
内部の図示は省略してなる。

外部加工装置８川ま前記内部加工装置７０｝こ対応する
真空箱１１の上方外部に配設してなり、保持具５上に多
数並べられたワーク１の方向に集熱する反射板８１を有
するライン型赤外線ヒータ８２を備えてなる。この赤外
線ヒータ８２は図示しないタイマーによって制御され、
真空箱１１の上部に設けた熱透過性ガラス板８３及び前
記受板７２（第６図参照）を通してワーク１を所定温度
に加熱し、ワークーの容器３と蓋４間に付着された接合
剤を溶解させる働きをなす。収納装置９０（第５図及び
第６図の左方部参照）真空側壁１ １ａに固定した支持
体９１上に前記第２搬送路１３の案内面に連続して設け
られた案内面を有する第３搬送路１４が設けられている
。

この第３搬送路１４上には供給装置５０と同様に収納マ
ガジン４０（図示せず）がセットされる支持台３０が取
付けられる。また第３搬送路１４には保持臭５を第３搬
送路１４より収納マガジン４０に収納する位置に保持具
６より小さな貫通最澄１４ａが設けられている。また第
３搬送路１４の下方には第３搬送路１４に直角に真空側
壁１１ａ及び支持体９１を貫通して回動駆動軸９２が配
設されている。そしてこの回動駆動軸９２に固定された
レバー９３の先端は、ばね９４により下方に付勢されか
つ案内棒９５Ａ，９５Ｂに沿って上下動可能な上下可動
部材９６に固定した調節ねじ９７に当接している。移送
装層１００（第５図、第７図参照） 第７図は移送装置部の正面図である。

回動駆動軸１０１は前記収納装置９０の左端における第
３搬送略１４の下方に真空側壁１１ａ及び支持体９１を
貫通して配設されている。そしてこの回敷駆動軸１０１
に固定されたチェーン車１０２と供給装置５０側の回動
駆動軸５２に遊鼓されたチェ−ン車１０３との間にチェ
ーン１０４がかけ渡されている。このチェーン１０４に
沿って平行に水平軸１０５，１０６が設けられており、
この水平軸１０５，１０６には保持臭５の切欠部９（９
Ａ，９８又は９Ｃ，９Ｄ）と係合する爪部１０７，１０
８を有する爪保持部材１０９，ＹＩＯがそれぞれ鉄装さ
れている。そして爪部１０７，１０８が保持臭５の切欠
部９Ａ，９Ｂと係脱可能となるように、一方の水平軸１
０６を中心として揺動する揺動レバー１１１Ａ，１１１
Ｂ，１１１Ｃに他方の水平軸１０５が設けられており、
真空箱１１の側壁１ １ｂを貫通して設けられた回動駆
動軸１ １５に固定された揺動レバー１１６の長手方向
に沿って設けられた溝と、水平軸１０５の鞠端に設けら
れた係合駒１１７とが孫合して揺動可能となっている。
一方の爪部１０７は供給マガジン２０より供給され、供
給装置５０の第１搬送路１２上に載遣された保持具５の
切欠部９Ａ（又は９Ｄ）に、他方の爪部１０８は内部加
工装置７０の加工位置に載直された保持具５の切欠部９
Ｂ（又は９Ｃ）にそれぞれ係合する位置に配談されてい
る。また前記爪保持部材１０９，１１０‘まチェーン１
０４により駆動される駆動部材１１２に固定されている
。前記爪部１０７，１０８の水平軸１０５，１０６に沿
った移動量は水平軸１０６の両端に固定された当綾座金
１１３，１１４により決められ、これらの当接座金１
１３，１ １４に爪保持部材１０９，１１０の側面１０
９ａ，１１０ａが当俵すると、図示しない検出器により
後記するモータが停止し、所定のタイミングで往復駆動
することにより行われる。

駆動装置１２０（第５図参照） 前記供給装置５０の回動駆動軸５２，５３、内部加工装
置７０の回動駆動軸７３及び収納装置９０の回動駆動軸
９２及び供給装置５０右側の回敷駆動軸１１５はそれぞ
れ一端がシールされた軸受を介して真空箱１１の側壁１
１ａ，１１ｂに鉛支され、この一端は外部に突出し、そ
れぞれ外部に設けたカム機構により駆動されるようにな
っている。

即ち、モータ１２１の回転はタイミングベルト１２２を
介してカム軸１２３に伝達される。カム軸１２３には回
動駆動軸５３にレバー１２４を介して作用し収納マガジ
ンのフックレバー２５の爪部２５ａ（第４図参照）を開
閉させるマガジン爪開閉カム１２５、回動駆動軸５２及
び回動駆動軸９２にそれぞれレバー１２６Ａ及びリンク
１２７、レバー１２６Ｂ介して作用し上下可動部材５７
，９６を上下動させるキャリア上下用カム１２８、回動
駆動軸７３にレバー１２９Ａ、リンク１２９Ｂを介して
作用し昇降部材７６を上下動させる昇降部材上下用カム
１３０、移送装置１００の揺動レバー１１１Ａをレバー
１３１，１１８、回動駆動軸１１５及びレバー１１６を
介して揺動させる移送爪はずし用カム１３２がそれぞれ
固定されている。またカム軸１２３には各部の作動シー
ケンスのタイミングをとるためのタイミングカム１３３
が設けられ、これらのカム１３３に対応して検出器１３
４が設けられている。また移送装置１００の回動駆動軸
１０１は同様に一端がシールされた軸受を介して真空箱
１１の側壁を貫通して軸支され、回動駆動軸１０１に固
定された歯車１３５に外部に設けたモータ１３６の出力
軸に固定された歯車１３７が噛合し、回動させられる。

次にかかる構成よりなる本装置の作動について説明する
。

真空箱１１の開口部（図示せず）より供給部の支持台３
０に、ワーク１を保持した保持臭５を積重ね収容した供
給マガジン２０を取付ける。また同様に収納部の支持台
３０に空の収納マガジン４０を取付ける。次に関口部を
閉止し、真空箱１１内を真空発生装置１０により所定の
真空圧にしてから始動させる。駆動装置１２川こより回
動駆動軸５２は時計方向に回動させられ、レバー５４を
介して上下可動部材５７が上昇し、供Ｖ給マガジン２０
内の保持臭５を下方より押上げる。

同時に回動駆動鞠５３も時計方向に回敷させられ、レバ
ー５９，６０及びこれと係合するレバー６３，６５が作
動し、ねじ６６，６７により作動係合ピン２８が外側に
向って押されて、供給マガジン２０のフックレバー２５
の爪部２５ａが保持具５との係合位置より離れる。次に
回動駆動軸５２，５３が反時計万向に回転して上下可動
部村５７が下降し、すると共にレバー６３，６５が内側
に向って揺動してフックレバー２５が戻り始め上下可動
部材５７に載遣された最下段の保持臭５がフックレバー
２５との係合位置より下降した時、フックレバー２５は
ねじ６６，６７より離れ、ばね２７の付勢力で元の位置
に戻って２段目の保持臭５が係止される。上下可動部材
５７は更に下降してその上の１個の保持具は第１搬送路
１２上の案内面１２ａに鉄合し戦置される。次に移送装
置１００の揺動レバー１１１が回動して駆動部材１１２
に固定された爪保持部材１０９の爪部１０７が待機位置
から移動して保持臭５の切欠き９Ａに係合する。

次に回動駆動軸１０１の回転によりチェーン１０４が駆
動され、保持具５は爪部１０７と共に第２搬送路１３の
加工位置まで移送される。この状態は爪保持部村１１０
の側面１１０ａが当接座金１１４に当接した状態である
。これにより回動駆動軸１０１は停止し、揺動レバー１
１１が前記と逆方向に回動して爪部１０７は保持臭５の
切欠き９Ａより離れて待機位置に戻る。そして回動駆動
軸１０１が前記の逆方向に回転すると、駆動部材１１２
は保持臭５を第２搬送路１３に残したまま元の位置に復
帰する。次に内部加工装置７０の回動駆動軸７３の回動
により昇降部材７６が上昇し、第２搬送路１３上に戴遣
された保持臭５内のワーク１‘ま押圧ピン７７が貫通穴
７を通って下から当接し、保持具５から押し上げられ、
所定のばね力で受板７２に押圧され、昇降部材７６は第
２搬送路１３に接触した位置で停止する。予備加熱袋檀
７８の加熱がワーク１に伝達され、第２搬送路１３上の
センサが所定温度を感知すると、外部加工装置８０の赤
外線ヒータ８２によりワークに所定時間高温加熱が行な
われる。これにより、ワーク１の容器３と蓋４の接合面
の接合剤が溶解し、両者が所定温で押圧された状態で接
合される。そこで、外部加工装置８０の赤外線ヒータ８
２が消灯され、昇降部村７６が下降してワークが第２搬
送路１３上の保持具５内の所定位置に戦直されると、第
２搬送路１３に配設された配管７９に冷却水が循環され
、ワークは冷却される。

ワークが所定温度にまで冷却されると、冷却水の循環は
停止する。この間に供給位置では前記した要領で第１搬
送路１２に次の保持臭５が供給されている。次に前記し
た動作と同様にして供給位置、加工位置の保持臭５に対
して爪保持部材１０９，１１０の爪１０７，１０８が保
持具５の切吹き９Ａ，９Ｂに係合し、回動駆動軸１０１
の回動によって保持臭５を第１搬送路１２上の供給位置
から第２搬送路１３上の加工位置に、第２搬送路１３上
の加工位置より第３搬送路１４の収納位置に搬送する。

その後爪１０８，１０７は切吹き９Ｂ，９Ａより離れて
待機位置に戻り、回動駆動軸１０１は逆転して駆動部材
１１２は元の位置に復帰する。次に第３搬送路１４上の
収納装置に搬送された保持具５は、収納装置９０の回動
駆動軸９２の時計方向の回動により、レバー９３を介し
て上昇する上下可動部材９６によって第３搬送路上より
持ち上げられ、保持臭５は収納マガジンの案内溝２１ａ
に沿って上昇させられる。この時、保持具５の側面によ
りフックレバー２５はばね２７に抗して反付勢方向に揺
動し、保持具５が上下可動部材９６により再に上昇して
フックレバー２５の爪部２５ａの上方に位置すると、フ
ックレバー２５はばね２７により元の位置に復帰する。
この状態より上下可動部材９６が下降すると、保持臭５
のつば部８Ａ，８Ｂはフックレバー２５の爪部２５ａに
係止され、保持臭５は収納マガジン４０内に収納される
。この時、供給位置では同じタイミングで上下動部材５
７が上昇し、新しい保持臭５を第１搬送路１２上に供給
すると共に、加工位魔では第２搬送路１３上のワークに
前記した接合加工が行なわれる。このような一連の動作
を順次繰返し、供給マガジン２０内の全ての保持臭５の
ワーク１が加工され、全て収納マガジン４０内に収納さ
れると、本装置の駆動は停止する。

そして、クリーンエヤー用コンブレッサー６を作動させ
、真空箱１１内を大気圧若しくはそれより高くする。こ
の状態で真空箱１ １の開□部より空の供給マガジン２
０及び加工済のワークが収納された収納マガジン４０を
取出し、新しくワークの収納された供Ｖ給マガジン２０
及び空の収納マガジン４０と交換する。この場合、真空
箱１１内は大気圧若しくは大気圧より高くなっているの
で、外部よりゴミ等を真空箱内に引込むことはない。な
お、本実施例においては、複数個のワークを保持臭５に
保持されて搬送及び加工する場合について説明したが、
ワークがある一定の大きさを有する場合は、各保持臭に
１個ずつ保持させてもよくワークそのものを直接マガジ
ンに収納してもよい。また加工装置として、予備加熱、
加圧、冷却を行なう内部加熱装置と、加熱を行なう外部
加熱装置を有する封止加工作業の場合について説明した
が、本装置は種々の真空加工作業に適用されるものであ
る。以上の説明から明らかな様に、本発明になる真空加
工袋直によれば、次の様な種々の特徴を有する。

‘１１ 従釆装置の様に内部に仕切用ゲートがないので
、構造が簡素化されると共に、ゲート開閉操作時間が不
必要となり、能率の向上がはかれる。

‘２１ マガジンをワーク保持具の収納分だけ上下移動
させる必要がなく、上下可動部材によってマガジンの下
部より取出し及び収納するので、内部スペース及び装置
設置面積の縮４・及び装置の小型化がはかられる。

｛３’作業位置の搬送路の両端をワーク供給部及び収納
部と切離すことにより、加工装置として加熱作業を行な
った場合に、加熱作業部が他の部分に及ぼす熱等の影響
が少なくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明において対象とするワークの−例を示す
斜視図、第２図はワークを保持する保持具の一例を示し
、ａは平面図、ｂは断面図、第３図は本発明になる真空
加工装置の一実施例を示す概略構成説明図、第４図はマ
ガジンを示し、ａは一部切欠き正面図、ｂはそのＷｂ−
Ｗｂ線断面平面図、第５図は真空加工装置の内部全体構
成を示す平面図、第６図は第５図のけ−の線に沿う断面
図、第７図は移送装置部の正面図、第８図はマガジンの
フックレバーはずし機構の正面図、第９図は外部加工装
置部の搬送方向に垂直な断面図である。 １・・・・・・ワーク、５・・・・・・保持臭、１０・
・・・・・真空発生装置、１１・・・・・・真空箱、１
２・・・・・・第１搬送路、１３・・・・・・第２搬送
路、１４・・・・・・第３搬送路、１６……コンブレツ
サ、２０…・・・供給マガジン、２５．．・．．・フッ
クレバー、４０・・・・・・収納マガジン、５０・・・
・・・供給装置、５２，５３・・・・・・回動駆動軸、
５７・・・・・・上下可動部材、５９，６０，６３，６
５・・・・．・レバー、７０・…・・内部加工装置、７
３・・・・・・回動駆動軸、７４……作動レバー、７６
……昇降部材、７７・・・・・・押圧ビン、７８・・・
・・・予備加熱装置、７９・・・・・・配管、８０・・
・・・・外部加工装置、８２・・・・・・赤外線ヒータ
、９０・・・・・・収熊装置、９２・・・・・・回動駆
動軸、９６……上下可動部村、１００・・・・・・移送
装置、１０１・・・・・・回動駆動軸、１０２，１０３
・・・・・・チェーン車、１０４……チェーン、１０７
，１０８・・・・・・爪部、１２０・・・・・・駆動装
置。 第１図第２図 第３図 第４図 図 山 船 図 船 図 ト 船 第８図 第９図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 真空内でワークに加工を施す真空加工装置において
   、ワークを載置する保持具又はワーク自体が積上げ収容
   される供給マガジンと、この供給マガジンの下方に設け
   られた第１搬送路と、この第１搬送路上に供給マガジン
   の下段より順次下降させて保持具又はワークを供給する
   供給装置と、前記第１搬送路と隣接し第１搬送路に連続
   する第２搬送路と、この第２搬送路上の加工位置に載置
   されたワークに加工を施す加工装置と、前記第２搬送路
   と隣接して設けられ第２搬送路に連続する第３搬送路と
   、この第３搬送路の上方に設けられ前記供給マガジンと
   同様に構成された収納マガジンと、前記第３搬送路上の
   保持具又はワークを収納マガジンに下方より収納させる
   収納装置と、前記第１搬送路より第２搬送路の加工位置
   及び第２搬送路より第３搬送路の収納位置にそれぞれの
   案内面に沿つて保持具又はワークを順次間欠的に移送さ
   せる移送装置と、前記加工装置を除き他の全てを収納す
   る１体の真空箱とよりなる真空加工装置。 ２ 供給マガジン及び収納マガジンはマガジンに収納さ
   れた最下段部の保持具又はワークに係止可能でかつ下方
   から保持具又はワークを挿入可能なフツクレバーを有し
   、供給装置は供給マガジン内の最下段の保持具又はワー
   クを押し上げる上下可動部材と、前記フツクレバーを作
   動させるレバー機構とを有し、収納装置は収納マガジン
   に下方より収納する上下可動部材を有する特許請求の範
   囲第１項記載の真空加工装置。 ３ 加工装置は真空箱内に配設された内部加工装置と、
   外部に配設された外部加工装置とよりなる特許請求の範
   囲第１項記載の真空加工装置。 ４ 内部加工装置はワークを予備加熱、加圧、冷却する
   加工装置で、外部加工装置は赤外線ヒータを有する加熱
   装置よりなる特許請求の範囲第３項記載の真空加工装置
   。 ５ 移送装置は保持具又はワークに係脱する爪部と、こ
   の爪を移送させるチエーンの掛け渡されたチエーン駆動
   機構とよりなる特許請求の範囲第１項記載の真空加工装
   置。