JPS6025014A - 磁気記録再生装置 - Google Patents
磁気記録再生装置Info
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- JPS6025014A JPS6025014A JP13186083A JP13186083A JPS6025014A JP S6025014 A JPS6025014 A JP S6025014A JP 13186083 A JP13186083 A JP 13186083A JP 13186083 A JP13186083 A JP 13186083A JP S6025014 A JPS6025014 A JP S6025014A
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- magnetic
- layer
- film
- magnetic layer
- magnetic recording
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3116—Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は垂直磁気記録方式を用いた磁気記録再生装置特
にフロッピーディスク装置に関するものであり、さらに
特に下地膜雑音を低減することの出来る装置に関するも
のである。
にフロッピーディスク装置に関するものであり、さらに
特に下地膜雑音を低減することの出来る装置に関するも
のである。
垂直磁気記録方式は、磁気テープ、磁気ディスク等の磁
気記録媒体の走行方向と垂直方向、すなわち、磁気記録
媒体の厚さ方向に磁化容易軸をもった磁気記録用磁性媒
体層（垂直磁化膜）が表面に設けられた磁気記録媒体を
使用し、この磁気記録媒体の厚さ方向に強い磁化分布を
生じる垂直磁気記録用磁気へノドを用い、磁気記録媒体
を厚さ方向に磁化し、この方向に磁性媒体層の磁化を残
留させるようにしたものである。このように、磁気記録
媒体の厚さ方向に残留磁化分布があると、自己減磁界の
発生が少々＜、損失の歩みい高密度記録が可能になる（
例えば、特開昭５２−１３４７０６号参照）。
気記録媒体の走行方向と垂直方向、すなわち、磁気記録
媒体の厚さ方向に磁化容易軸をもった磁気記録用磁性媒
体層（垂直磁化膜）が表面に設けられた磁気記録媒体を
使用し、この磁気記録媒体の厚さ方向に強い磁化分布を
生じる垂直磁気記録用磁気へノドを用い、磁気記録媒体
を厚さ方向に磁化し、この方向に磁性媒体層の磁化を残
留させるようにしたものである。このように、磁気記録
媒体の厚さ方向に残留磁化分布があると、自己減磁界の
発生が少々＜、損失の歩みい高密度記録が可能になる（
例えば、特開昭５２−１３４７０６号参照）。
以上のよ５７に垂直磁気記録方式に使用される垂直磁気
記録媒体としては、非磁性媒体」二に高透磁率磁性体層
（高透磁率膜）を介して該媒体面垂直方向に磁化容易軸
を有する磁性体層（垂直磁化膜）を設けた二層構造の垂
直磁気記録媒体が、高透磁率膜がなく垂直磁化膜のみか
らなる一層構造の記録媒体より高特性を有することが知
られている（例えば、特開昭５２−７８４０３号参照）
。
記録媒体としては、非磁性媒体」二に高透磁率磁性体層
（高透磁率膜）を介して該媒体面垂直方向に磁化容易軸
を有する磁性体層（垂直磁化膜）を設けた二層構造の垂
直磁気記録媒体が、高透磁率膜がなく垂直磁化膜のみか
らなる一層構造の記録媒体より高特性を有することが知
られている（例えば、特開昭５２−７８４０３号参照）
。
しかしながら、上述した垂直磁化膜下に高透磁率膜が存
在する磁気記録媒体を用いて記録再生実験を行なうと、
スパイク状雑音が観測される。
在する磁気記録媒体を用いて記録再生実験を行なうと、
スパイク状雑音が観測される。
このスパイク状雑音は、垂直磁化膜のみからなる単層構
造の磁気記録媒体を用いて記録再生実験を行なう際には
観測されないものである。
造の磁気記録媒体を用いて記録再生実験を行なう際には
観測されないものである。
また、このスパイク状雑音は、垂直磁化膜のない、高透
磁率膜のみからなる媒体においても、上記のよう々垂直
磁化膜と高透磁率膜との二層構造からなる゛媒体と全く
同様のスパイク状雑音が観測される。すなわち、スパイ
ク状雑音は、高透磁率膜とその上に設けられた垂直磁化
膜との相互作用によシ生じるものではなく、高透磁率膜
のみから生じるものである。
磁率膜のみからなる媒体においても、上記のよう々垂直
磁化膜と高透磁率膜との二層構造からなる゛媒体と全く
同様のスパイク状雑音が観測される。すなわち、スパイ
ク状雑音は、高透磁率膜とその上に設けられた垂直磁化
膜との相互作用によシ生じるものではなく、高透磁率膜
のみから生じるものである。
そこで本発明者等は、上記のスパイク状雑音を下地膜雑
音と名利けた。
音と名利けた。
本発明は、上記の下地膜雑音を低減することの出来る磁
気記録再生装置、特にフロッピーディヌク装置を提供す
ることを目的とする。
気記録再生装置、特にフロッピーディヌク装置を提供す
ることを目的とする。
本発明者等の研究によれば、下地膜雑音は単に下地膜の
磁気的な不均質性をヘッドによって検出したものではな
く、その発生原因の一つは下地膜とヘッドとの相互作用
にあり、ヘッドの磁性体部を小さくするほど下地膜雑音
が減少することが中明した。
磁気的な不均質性をヘッドによって検出したものではな
く、その発生原因の一つは下地膜とヘッドとの相互作用
にあり、ヘッドの磁性体部を小さくするほど下地膜雑音
が減少することが中明した。
本発明は上記の研究結果に基づいてなされたものであり
、バルク磁性材を全く使用したい薄膜ヘッドを用いるこ
とによって下地膜雑音を大幅に減少させたものである。
、バルク磁性材を全く使用したい薄膜ヘッドを用いるこ
とによって下地膜雑音を大幅に減少させたものである。
なお、リジッドディスクの回転数は通常６６００ｒｐｎ
ｌであるのに対し、フロッピーディスクの回転数ｕ ３
００〜３６０ ｒｐｍであり、リジッドディスクの回転
速度の方が一桁以上速い。そのため薄膜ヘッドをリジッ
ドディスクに用いると、フロンピーディスクに用いる場
合に比べて、はるかにこわれやスイ。この点から、薄膜
ヘッドは、フロッピーディスク装置に用いる方がより望
ましく、実用的である。
ｌであるのに対し、フロッピーディスクの回転数ｕ ３
００〜３６０ ｒｐｍであり、リジッドディスクの回転
速度の方が一桁以上速い。そのため薄膜ヘッドをリジッ
ドディスクに用いると、フロンピーディスクに用いる場
合に比べて、はるかにこわれやスイ。この点から、薄膜
ヘッドは、フロッピーディスク装置に用いる方がより望
ましく、実用的である。
以下実施例に基づいて本発明の詳細な説明する。
磁気記録媒体として、外径１３０ｍｍφ、内径４０Ｉｎ
＋１１φ、厚さ５ｍ口１のガラス円板上に、スパッタ
法によって厚さ０．５μｍのＣ０８０Ｚ’−９，５Ｍｏ
１０．’５膜を生成したものを用いた。
＋１１φ、厚さ５ｍ口１のガラス円板上に、スパッタ
法によって厚さ０．５μｍのＣ０８０Ｚ’−９，５Ｍｏ
１０．’５膜を生成したものを用いた。
上記のＣｏ Ｚ ｒ Ｍｏ膜は、前記の高透磁率膜すな
わち下地膜に相当する。
わち下地膜に相当する。
なお前記のごとく、下地膜雑音は下地膜のみによって発
生するから、上記の下地膜の上に垂直磁化膜を設けた場
合でも下地膜雑音に関しては差異がないので、垂直磁化
膜は省略している。
生するから、上記の下地膜の上に垂直磁化膜を設けた場
合でも下地膜雑音に関しては差異がないので、垂直磁化
膜は省略している。
次に、ギャップ長０．６μ【ｎ、巻数１２ターンのＭｎ
Ｚｎフェライトヘッド（通常のリング型ヘッド）を用い
て上記の磁気記録媒体を直流消磁（直流磁界を加えて磁
気記録媒体を一様に７飽和磁化する周知の方法）し、続
いて上記のリング型ヘッドをそのまま用いて再生した場
合の再生信号波形を第１図（Ａ）に示す。
Ｚｎフェライトヘッド（通常のリング型ヘッド）を用い
て上記の磁気記録媒体を直流消磁（直流磁界を加えて磁
気記録媒体を一様に７飽和磁化する周知の方法）し、続
いて上記のリング型ヘッドをそのまま用いて再生した場
合の再生信号波形を第１図（Ａ）に示す。
次に、上記の磁気記録媒体を上記のリング型ヘッドを用
いて上記と同様に直流消磁したのち、巻数１６ターンの
薄膜ヘッド（詳細後述）を用いて再生した場合の再生信
号波形を第１図（Ｊ３）に示す。
いて上記と同様に直流消磁したのち、巻数１６ターンの
薄膜ヘッド（詳細後述）を用いて再生した場合の再生信
号波形を第１図（Ｊ３）に示す。
第１図の再生信号波形のレベルが下地膜雑音の大きさを
示すが、第１図（Ａ）と（Ｂ）とを比較することによっ
て判るように、薄膜ヘッドな用いた方が従来のリング型
ヘッドを用いた場合より、下地膜雑音を大幅に減少させ
ることが出来る。
示すが、第１図（Ａ）と（Ｂ）とを比較することによっ
て判るように、薄膜ヘッドな用いた方が従来のリング型
ヘッドを用いた場合より、下地膜雑音を大幅に減少させ
ることが出来る。
力お第１図（Ｂ）の雑音の大きさは、下地膜なしで垂直
磁化膜としてＣｏ−Ｃｒ膜を用いた場合の雑音の大きさ
とほぼ同じであった。すなわち本発明の場合には、下地
膜雑音のレベルは再生用ヘッドアンプの雑音レベル以下
であり、殆んど観測されなかった。
磁化膜としてＣｏ−Ｃｒ膜を用いた場合の雑音の大きさ
とほぼ同じであった。すなわち本発明の場合には、下地
膜雑音のレベルは再生用ヘッドアンプの雑音レベル以下
であり、殆んど観測されなかった。
また保磁力４５００ｅのγ−ＦＣ２０３を垂直磁化膜と
して塗布した磁気記録媒体に、上記のリング型ヘッドと
薄膜ヘッドとを用いて、それぞれ１１（ＢＰＩの信号を
記録して再生したところ、再生出力はほぼ同一であった
。
して塗布した磁気記録媒体に、上記のリング型ヘッドと
薄膜ヘッドとを用いて、それぞれ１１（ＢＰＩの信号を
記録して再生したところ、再生出力はほぼ同一であった
。
したがって薄膜ヘッドを用いれば、記録再生の感度を低
下させることなしに、下地膜雑音のみを大幅に低下させ
ることが出来る。
下させることなしに、下地膜雑音のみを大幅に低下させ
ることが出来る。
次に第２図は、本発明に用いた薄膜ヘッドの一例の主要
部断面図である。
部断面図である。
第２図において、記号１０は基板であり寸法４０１１１
ｍφ、１ｍｍｔ のホトセラム（コーニング社の商品名
）を用いた。７０５９ガラス（コーニング社の商品名）
やＡｌ２Ｏ３やＡ １２０３ Ｔ Ｉ Ｃのセラミック
のような非磁性基板を用いることもできる。記号１１は
７７．５ ｗｔ ％ Ｎｉ −２２，５ｗｔ％Ｉｉ’ｅ
組成のターゲットを用いスパッタ法によシ形成された下
部磁性層で記録媒体対抗面Ｂ部近傍の膜厚を０．５μｍ
η、後部コア部の膜厚を６μｍとしだ。通常対向面近傍
の厚みは０．２〜１μｍ後部コアの厚みは１〜６μｍ１
程度にするのが望ましい。多少効率が悪くなるが後部コ
アを厚くせず同じ厚みにして作製プロセスを簡単化する
ことも可能である。対向面近傍の薄い部分の長さＤは２
〜５μｍ程度がよく、ここで０２μｍとした。記号１２
は下部磁性層と記号１６の導体コイル間の電気的絶縁の
役割をする絶縁物層で、Ｓ ｒ ０２をスパッタ法によ
り形成し膜厚を６μｎｌ。
ｍφ、１ｍｍｔ のホトセラム（コーニング社の商品名
）を用いた。７０５９ガラス（コーニング社の商品名）
やＡｌ２Ｏ３やＡ １２０３ Ｔ Ｉ Ｃのセラミック
のような非磁性基板を用いることもできる。記号１１は
７７．５ ｗｔ ％ Ｎｉ −２２，５ｗｔ％Ｉｉ’ｅ
組成のターゲットを用いスパッタ法によシ形成された下
部磁性層で記録媒体対抗面Ｂ部近傍の膜厚を０．５μｍ
η、後部コア部の膜厚を６μｍとしだ。通常対向面近傍
の厚みは０．２〜１μｍ後部コアの厚みは１〜６μｍ１
程度にするのが望ましい。多少効率が悪くなるが後部コ
アを厚くせず同じ厚みにして作製プロセスを簡単化する
ことも可能である。対向面近傍の薄い部分の長さＤは２
〜５μｍ程度がよく、ここで０２μｍとした。記号１２
は下部磁性層と記号１６の導体コイル間の電気的絶縁の
役割をする絶縁物層で、Ｓ ｒ ０２をスパッタ法によ
り形成し膜厚を６μｎｌ。
とした。記号１６の導体コイルはｋｌを蒸着法により形
成し、ここでは導体断面が幅６μｍｎ高さ４．０μｍの
スパイラル型多巻きコイルとしだ。なお上記コイルの他
端は、下部磁性層１１ と上部磁性層１５とで形成され
る閉磁路の外側（図面右方）に形成されているが、図示
を省略している。
成し、ここでは導体断面が幅６μｍｎ高さ４．０μｍの
スパイラル型多巻きコイルとしだ。なお上記コイルの他
端は、下部磁性層１１ と上部磁性層１５とで形成され
る閉磁路の外側（図面右方）に形成されているが、図示
を省略している。
寸だ記号１４は導体コイルと記号１５の上部磁性層間の
電気的絶縁および上記多巻きコイル上面の平坦化のため
に用いたポリイミド系樹脂などの有機絶縁物層であり、
ここではポリイミドイソインドロキナゾリンジオン樹脂
であるＰＩＱ（日立化成株式会社の商品名）を用いた。
電気的絶縁および上記多巻きコイル上面の平坦化のため
に用いたポリイミド系樹脂などの有機絶縁物層であり、
ここではポリイミドイソインドロキナゾリンジオン樹脂
であるＰＩＱ（日立化成株式会社の商品名）を用いた。
絶縁物層１２の上面からの厚さは６μｍとした。ｌ）
Ｉ Ｑの粘性を利用したコイル上面の平坦化の工程は既
に公知である。記号１５の上部磁性層は７６ａｔチＣｏ
−１２ａｔ係Ｃｒ −１２ａｔ％Ｚｒなる非晶質合金を
約２０ μｍ （７）厚みでスパック法によって形成し
た。スパッタ時に所望の形状に磁性層を形成するだめ、
マスクをおいて所望の部分にのみ磁性体がつくようにし
た。
Ｉ Ｑの粘性を利用したコイル上面の平坦化の工程は既
に公知である。記号１５の上部磁性層は７６ａｔチＣｏ
−１２ａｔ係Ｃｒ −１２ａｔ％Ｚｒなる非晶質合金を
約２０ μｍ （７）厚みでスパック法によって形成し
た。スパッタ時に所望の形状に磁性層を形成するだめ、
マスクをおいて所望の部分にのみ磁性体がつくようにし
た。
これは通常マスクスパッタ法として知られている技術で
ある。一般にマスクスパッタでマスクド試料とのすき捷
から磁性体が捷わりこんで試料に付着したり、パターン
を他の形成パターンと合わせることがむずかしく精度は
よくないが、このヘッドにおいては上部磁性層は単に閉
磁路を形成するだめの補助磁極となるので十分に目的を
達することができる。パターン形成のためエツチングし
たシすることが々いので十分に厚い膜を使うことができ
る。一般にこの上部磁性層の厚みは５〜４０μｍとする
ことが磁気ヘッドの特性上望ましい。
ある。一般にマスクスパッタでマスクド試料とのすき捷
から磁性体が捷わりこんで試料に付着したり、パターン
を他の形成パターンと合わせることがむずかしく精度は
よくないが、このヘッドにおいては上部磁性層は単に閉
磁路を形成するだめの補助磁極となるので十分に目的を
達することができる。パターン形成のためエツチングし
たシすることが々いので十分に厚い膜を使うことができ
る。一般にこの上部磁性層の厚みは５〜４０μｍとする
ことが磁気ヘッドの特性上望ましい。
また同様の目的でマスク蒸着やメッキ法等の作製手段を
使うこともできる。
使うこともできる。
第２図の薄膜へノドにおいては、下部磁性層１１が主磁
極、上部磁性層１５が補助磁極となる。
極、上部磁性層１５が補助磁極となる。
また上記のごとく、基板上に形成された下部磁性層が主
磁極となるので、動作中に磁気記録媒体と主磁極の間に
特性を劣化せしめる間隙が生じないようにするため、上
記基板の記録媒体対向面は下部磁性層が形成されている
基板上面となす角０が９０°ではなく６０°〜８７°に
するのがより好ましくさらに好捷しくけ８０°〜８５°
とするが、従来通り９０°としてもよい。
磁極となるので、動作中に磁気記録媒体と主磁極の間に
特性を劣化せしめる間隙が生じないようにするため、上
記基板の記録媒体対向面は下部磁性層が形成されている
基板上面となす角０が９０°ではなく６０°〜８７°に
するのがより好ましくさらに好捷しくけ８０°〜８５°
とするが、従来通り９０°としてもよい。
なお本発明に用いる薄膜ヘッドは、上記第２図のものに
限られるものではなく、バルク磁性材を使用しない厚さ
１μｍ〜百μｍ程度以下の薄膜磁性材料を用いたベッド
であれば有効である。例えば特願昭５７−１２１１１７
号や特願昭５７−１７９８５４号で本出願人が既に出願
している薄膜ヘッドな用いることが出来る。
限られるものではなく、バルク磁性材を使用しない厚さ
１μｍ〜百μｍ程度以下の薄膜磁性材料を用いたベッド
であれば有効である。例えば特願昭５７−１２１１１７
号や特願昭５７−１７９８５４号で本出願人が既に出願
している薄膜ヘッドな用いることが出来る。
以」−説明したごとく本発明によれば、記録再生の感度
を低下させることなしに下地膜雑音を大幅に減少させる
ことが出来るので、雑音の少ない高精度の磁気記録再生
装置特にフロッピーディスク装置を実現することが出来
るという効果がある。
を低下させることなしに下地膜雑音を大幅に減少させる
ことが出来るので、雑音の少ない高精度の磁気記録再生
装置特にフロッピーディスク装置を実現することが出来
るという効果がある。
第１図は従来装置及び本発明の再生波形側図、第２図は
本発明に用いる薄膜ヘッドの一例の主扱部断面図である
。 符号の説明 １０・・基板 １１・・・下部磁性層 １２・・絶縁物層 １６・・・導体コイル１４・・・有
機絶縁物層 １５・・・上部磁性層代理人弁理士 中村
純之助 矛１ 図 （Ａ） （Ｂ） Ｈヒ ｌＱｍ５ｅ（ １Ｐ２図 形 −ｔ％ 第１頁の続き ■出 願 人 日立マクセル株式会社 茨木市丑寅−丁目１番８８号 ＝８１−
本発明に用いる薄膜ヘッドの一例の主扱部断面図である
。 符号の説明 １０・・基板 １１・・・下部磁性層 １２・・絶縁物層 １６・・・導体コイル１４・・・有
機絶縁物層 １５・・・上部磁性層代理人弁理士 中村
純之助 矛１ 図 （Ａ） （Ｂ） Ｈヒ ｌＱｍ５ｅ（ １Ｐ２図 形 −ｔ％ 第１頁の続き ■出 願 人 日立マクセル株式会社 茨木市丑寅−丁目１番８８号 ＝８１−
Claims (3)
- （１）−非磁性基板上に少なくとも高透磁率膜を設け、
該高透磁率膜上に垂直磁化膜を設けた磁気記録媒体に、
薄膜ヘッドを用いて磁気記録再生を行なうように構成し
た磁気記録再生装置。 - （２）上記薄膜ヘッドは、非磁性基板上に下部磁性層を
有し、該下部磁性層上に第１の絶縁層を介してコイル用
導電体層があり、該導電体層は該第１の絶縁層および該
導体層上にある第２の絶縁層中に埋まり、該第２の絶縁
層上に、一端が該第１、の絶縁層を介して該下部磁性層
と接し、他端が直接に該下部磁性層と接する上部磁性層
を有し、該下部磁性層を主磁極、該上部磁性層を補助磁
極として用いるものであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の磁気記録再生装置。 - （３）上記磁気記録媒体がフロッピーディスクであるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項もしくは第２項記
載の磁気記録再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13186083A JPS6025014A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 磁気記録再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13186083A JPS6025014A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 磁気記録再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6025014A true JPS6025014A (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=15067811
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13186083A Pending JPS6025014A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 磁気記録再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6025014A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5091266A (en) * | 1988-09-02 | 1992-02-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Soft-magnetic film having saturation magnetic-flux density and magnetic head utilizing the same |
-
1983
- 1983-07-21 JP JP13186083A patent/JPS6025014A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5091266A (en) * | 1988-09-02 | 1992-02-25 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Soft-magnetic film having saturation magnetic-flux density and magnetic head utilizing the same |
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