JPS60239076A - 固体レ−ザ発振装置 - Google Patents
固体レ−ザ発振装置Info
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- JPS60239076A JPS60239076A JP9299084A JP9299084A JPS60239076A JP S60239076 A JPS60239076 A JP S60239076A JP 9299084 A JP9299084 A JP 9299084A JP 9299084 A JP9299084 A JP 9299084A JP S60239076 A JPS60239076 A JP S60239076A
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- Japan
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- laser
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2383—Parallel arrangements
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- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/06—Construction or shape of active medium
- H01S3/07—Construction or shape of active medium consisting of a plurality of parts, e.g. segments
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/091—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
- H01S3/0915—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
- H01S3/092—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
- H01S3/093—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
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- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08086—Multiple-wavelength emission
- H01S3/0809—Two-wavelenghth emission
Landscapes
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は高効率で多色レーザ光発振できる固体レーザ発
振装置に関する。
振装置に関する。
一般に、レーザ光の性質として、■コヒーレンスが良い
。■単色性に優れ、スペクトル幅が極めて狭く一定であ
る。■指向性が良く定まった方向に直進する。■エネル
ギ密度が高く、レンズで集光すれば波長程度のビーム径
にしげることができ、穴あけ等の加工が可能となる。な
どがあげられる。
。■単色性に優れ、スペクトル幅が極めて狭く一定であ
る。■指向性が良く定まった方向に直進する。■エネル
ギ密度が高く、レンズで集光すれば波長程度のビーム径
にしげることができ、穴あけ等の加工が可能となる。な
どがあげられる。
このような性質を利用してレーザ光は材料加工、計測、
検査、通信、情報処理、芸術など多岐にわたって応用さ
れている。しかしながら、上述の性質のうち、単色性に
対し多色性、すなわち多岐長のレーザ光を用いた方に利
点がある場合がある。
検査、通信、情報処理、芸術など多岐にわたって応用さ
れている。しかしながら、上述の性質のうち、単色性に
対し多色性、すなわち多岐長のレーザ光を用いた方に利
点がある場合がある。
例えば、半導体の製造過程中においてウェハ表面上の結
晶を回復させるためにレーザ光を照射させるレーザアニ
ール技術がある。この場合、半導体ウェハが表面で吸収
する効率は赤外埴よりも可視域の光の方が良い。このた
め、 ＹＡＧレーザなどの赤外域波長の光よりも、それ
より短波長の光の方が有効に利用できる。そこで、第二
高調波発生技術によってＹＡＧレーザ光を可視光域に部
分的に変換し、赤外域と可視光域の多色レーザ光を作り
出し、このレーザ光を半導体ウェハに照射することによ
って光吸収率の向上とレーザ光のエネルギ利用率向上を
はかることが考えられている。
晶を回復させるためにレーザ光を照射させるレーザアニ
ール技術がある。この場合、半導体ウェハが表面で吸収
する効率は赤外埴よりも可視域の光の方が良い。このた
め、 ＹＡＧレーザなどの赤外域波長の光よりも、それ
より短波長の光の方が有効に利用できる。そこで、第二
高調波発生技術によってＹＡＧレーザ光を可視光域に部
分的に変換し、赤外域と可視光域の多色レーザ光を作り
出し、このレーザ光を半導体ウェハに照射することによ
って光吸収率の向上とレーザ光のエネルギ利用率向上を
はかることが考えられている。
従来、多色レーザ光は単色のレーザ光をＫＤＰなどの非
線形結晶に透過し、結晶により高周波発生を行ない、部
分的に波長変換きせることによって得られていた。例え
ばＫＤＰを用いると、 ＫＤＰを透過したレーザ光は透
過前の波長とその１／２の波長とを有する多色レーザ光
となる。しかしながら、このような方法では、結晶内部
でのレーザ光の出力損失が大きくなりレーザ発振出力効
率が低くなるという欠点があった。
線形結晶に透過し、結晶により高周波発生を行ない、部
分的に波長変換きせることによって得られていた。例え
ばＫＤＰを用いると、 ＫＤＰを透過したレーザ光は透
過前の波長とその１／２の波長とを有する多色レーザ光
となる。しかしながら、このような方法では、結晶内部
でのレーザ光の出力損失が大きくなりレーザ発振出力効
率が低くなるという欠点があった。
本発明は非線形結晶を用いることなく多色レーザ光を得
ることができ、さらに発振効率の優れた複合固体レーザ
ロッドを提供するにある。
ることができ、さらに発振効率の優れた複合固体レーザ
ロッドを提供するにある。
本発明は、クロムイオンをドープした第１の固体レーザ
ロッドと、ネオジウムイオンをドープした第２の固体レ
ーザロッドとがらなり、第２の固体レーザロッドが第１
の固体レーザロッドの周囲に配置されるか、昔たけ、第
１の固体レーザロッドを挟持して設けた複合同体レーザ
を設けた発振装置であって、好１しくは、第２の固体レ
ーザが励起ランプに近い位置に配置され、励起ランプか
らの光を第１および第２の固体レーザロッドに有効に利
用させて、それぞれ異なった波長のレーザ光が高効率で
発振することによって結果的に多色レーザ光を発振させ
るものである。
ロッドと、ネオジウムイオンをドープした第２の固体レ
ーザロッドとがらなり、第２の固体レーザロッドが第１
の固体レーザロッドの周囲に配置されるか、昔たけ、第
１の固体レーザロッドを挟持して設けた複合同体レーザ
を設けた発振装置であって、好１しくは、第２の固体レ
ーザが励起ランプに近い位置に配置され、励起ランプか
らの光を第１および第２の固体レーザロッドに有効に利
用させて、それぞれ異なった波長のレーザ光が高効率で
発振することによって結果的に多色レーザ光を発振させ
るものである。
本発明の一実施例を図面を用いて説明する。第１図は本
実施例の複合固体レーザロッドを用いたレーザ発振器の
要部を示す平面図である。また第２図は第１図中のＡ−
Ａ断面図である。（１）はクロムイオンをドープした第
１の固体レーザロードであり、材質例えばガリウムカー
ネット系結晶Ｇａ５Ｏ１２（ＧＧＧ） 、Ｇｄ ３Ｓｃ
２Ｇａ ３０１２ （ＧＳＧＧ）結晶である。
実施例の複合固体レーザロッドを用いたレーザ発振器の
要部を示す平面図である。また第２図は第１図中のＡ−
Ａ断面図である。（１）はクロムイオンをドープした第
１の固体レーザロードであり、材質例えばガリウムカー
ネット系結晶Ｇａ５Ｏ１２（ＧＧＧ） 、Ｇｄ ３Ｓｃ
２Ｇａ ３０１２ （ＧＳＧＧ）結晶である。
（２）はネジラムイオンをドープした第２の固体レーザ
ロッドであり、材質はＹＡＧ（Ｙｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕ
ｍｉｎｉｕｍＧａｒｎｅｔ）結晶であり、第２図に示す
ように、第２の固体レーザロッド（２）は円筒形状とな
っており、その内部に円柱状の菓１の固体レーザロッド
（１）が密着して挿入されている。この第１の固体レー
ザロッド（１）と第２の固体レーザロット責２）とによ
って複合固体レーザロット責３）が構成されている。
ロッドであり、材質はＹＡＧ（Ｙｔｔｒｉｕｍ Ａｌｕ
ｍｉｎｉｕｍＧａｒｎｅｔ）結晶であり、第２図に示す
ように、第２の固体レーザロッド（２）は円筒形状とな
っており、その内部に円柱状の菓１の固体レーザロッド
（１）が密着して挿入されている。この第１の固体レー
ザロッド（１）と第２の固体レーザロット責２）とによ
って複合固体レーザロット責３）が構成されている。
１だ、複合固体レーザロッド（３）の側方には励起ラン
プ（４） 、 （４）はフラッシュランプ、アークラン
プなどの通常に用いられるものが２カ所に設けられてい
る。さらに、複合固体レーザロッド（３）、励起ランプ
（４） 、 （４）を取り囲むように内面が鏡面となっ
た集光反射鏡（５）が備えられている。一方、複合固体
レーザロット責３）の軸方向両端には同軸上に２枚づつ
で合計４枚の共振器ミラー（７） 、 （７） 、 ｆ
８） 、 （８１が設けられている。内側に設けられた
共振器ミラー（７）。
プ（４） 、 （４）はフラッシュランプ、アークラン
プなどの通常に用いられるものが２カ所に設けられてい
る。さらに、複合固体レーザロッド（３）、励起ランプ
（４） 、 （４）を取り囲むように内面が鏡面となっ
た集光反射鏡（５）が備えられている。一方、複合固体
レーザロット責３）の軸方向両端には同軸上に２枚づつ
で合計４枚の共振器ミラー（７） 、 （７） 、 ｆ
８） 、 （８１が設けられている。内側に設けられた
共振器ミラー（７）。
（７）は１．０６μｍの波長域の光を反射する反射膜（
７ａ）。
７ａ）。
（７ａ）を、また、外側に設けられた共振器ミラー（８
） 、 ｆ８）は０．７５μｍの波長域の光を反射する
反射膜（８ｂ）、（８ｂ）をそれぞれ誘電体多層膜によ
ってガラス基板の表面上に形成したものである。なお、
複合固体レーザロッド（３）、励起ランプ（４）、集光
反射鏡（５）はレーザ光発振における平均出方を増大さ
せるため、冷却水（図示せず）によって冷却または温度
制御される。
） 、 ｆ８）は０．７５μｍの波長域の光を反射する
反射膜（８ｂ）、（８ｂ）をそれぞれ誘電体多層膜によ
ってガラス基板の表面上に形成したものである。なお、
複合固体レーザロッド（３）、励起ランプ（４）、集光
反射鏡（５）はレーザ光発振における平均出方を増大さ
せるため、冷却水（図示せず）によって冷却または温度
制御される。
このような構成となっだレーザ発振器は以下の −よう
な動作を行なう。まず、クロムイオンをドープした結晶
から成る第１の固体レーザロッド（１）は、波長領域が
０．４２μｍ帯と０．５６μｍ帯の光を王に吸収してレ
ーザ発振を行なう。このときの発振波長は４準位発振に
おいては０．７〜０．９μｍ領域にある。
な動作を行なう。まず、クロムイオンをドープした結晶
から成る第１の固体レーザロッド（１）は、波長領域が
０．４２μｍ帯と０．５６μｍ帯の光を王に吸収してレ
ーザ発振を行なう。このときの発振波長は４準位発振に
おいては０．７〜０．９μｍ領域にある。
また、ネジラムイオンをドープしたＹＡＧ結晶から成る
第２の固体レーザロッド（２）は、波長領域が０．７５
μｍ帯と０．８１μｍ帯の光を主に吸収してレーザ発振
を行なう。このときの発振波長は１，０６μｍでおる。
第２の固体レーザロッド（２）は、波長領域が０．７５
μｍ帯と０．８１μｍ帯の光を主に吸収してレーザ発振
を行なう。このときの発振波長は１，０６μｍでおる。
ここで、図示しない電源装置により励起ランプ（４）
、 ｆ４）を点燈させると、励起ランプ＋４１ 、 ｒ
４）から発光した光は捷ず集光反射跣（５）によって効
率よく、第２の固体レーザロッド（２）に照射する。こ
のとき、第２の固体レーザロッド（２）は上記の光のう
ち０．７５μｍ帯および０．８１μｍ帯の波長を有する
光を吸収しレーザ発振を行なう。このだめ、第１の固体
レーザロッド（１）には、０．７５μｍ帯および０８１
μｍ帯の光の照射量は十分に少なくなり、励起ランプ（
４）。
、 ｆ４）を点燈させると、励起ランプ＋４１ 、 ｒ
４）から発光した光は捷ず集光反射跣（５）によって効
率よく、第２の固体レーザロッド（２）に照射する。こ
のとき、第２の固体レーザロッド（２）は上記の光のう
ち０．７５μｍ帯および０．８１μｍ帯の波長を有する
光を吸収しレーザ発振を行なう。このだめ、第１の固体
レーザロッド（１）には、０．７５μｍ帯および０８１
μｍ帯の光の照射量は十分に少なくなり、励起ランプ（
４）。
（４）からの光のうち短い波長、すなわち０．４２μｍ
帯と０．５６μｍ帯の波長を有する光が主に照射される
ことになる。そこで、第１の固体レーザロッド（１）は
この領域の光を吸収しレーザ発振を行なう。
帯と０．５６μｍ帯の波長を有する光が主に照射される
ことになる。そこで、第１の固体レーザロッド（１）は
この領域の光を吸収しレーザ発振を行なう。
この場合、第１の固体レーザロッド（１）のレーザ光の
発振波長は上述のように０．７〜０．９μｍ領域である
。一般に、固体レーザロッドの発振するレーザ光の波長
領域と同程度の波長の光が混在して固体レーザロッドに
照射すると発振効率が悪化するという不場合がある。す
なわち、本実施例において用いた第１の固体レーザロッ
ド（１）に波長が０７〜０．８μｍ領域の光が照射する
と、第１の固体レーザロッド（１）の発振効率が悪くな
ってしまう。しかしながら、本実施例の場合、第１の固
体レーザロッド（１）の周囲に第２の固体レーザを設け
、励起ランプ（４） 、 ｆ４）に近い位置に設置した
ので、上述のように第１の固体レーザロッド（１）に０
．７〜０．８μｍ領域の光が照射されることが非常に少
なくなった。このため、笥１の固体レーザロッド（１）
は非常に効率よ〈レーザ発振を行なうことができるので
ある。
発振波長は上述のように０．７〜０．９μｍ領域である
。一般に、固体レーザロッドの発振するレーザ光の波長
領域と同程度の波長の光が混在して固体レーザロッドに
照射すると発振効率が悪化するという不場合がある。す
なわち、本実施例において用いた第１の固体レーザロッ
ド（１）に波長が０７〜０．８μｍ領域の光が照射する
と、第１の固体レーザロッド（１）の発振効率が悪くな
ってしまう。しかしながら、本実施例の場合、第１の固
体レーザロッド（１）の周囲に第２の固体レーザを設け
、励起ランプ（４） 、 ｆ４）に近い位置に設置した
ので、上述のように第１の固体レーザロッド（１）に０
．７〜０．８μｍ領域の光が照射されることが非常に少
なくなった。このため、笥１の固体レーザロッド（１）
は非常に効率よ〈レーザ発振を行なうことができるので
ある。
このようにして、励起ランプ（４） 、 １４１がら発
光しｆｃ光ハ、 ｇｉ＜１および第２の固体レーザロッ
ド（１）。
光しｆｃ光ハ、 ｇｉ＜１および第２の固体レーザロッ
ド（１）。
（２）にそれぞれ好都合な波長領域に分けられて利用さ
れることになる。
れることになる。
なお、このような複合固体レーザロッド（３）では励起
ランプ（４１、＋４１が点燈し、光励起が行なわれると
、冷却水による冷却が行なわれないため第１の固体レー
ザロッド（１）が第２の固体レーザロッド（２）よりも
高温状態となる。しかしながら、ＧＳＧＧ結晶の熱膨張
率は約７ Ｘ １０＝／に、ＹＡＧ結晶では約７×１０
／にでありそれぞれ値が近いため、それぞれの固体レー
ザロッド＋１） 、 （２１を密着させて構成しても破
壊することはない。
ランプ（４１、＋４１が点燈し、光励起が行なわれると
、冷却水による冷却が行なわれないため第１の固体レー
ザロッド（１）が第２の固体レーザロッド（２）よりも
高温状態となる。しかしながら、ＧＳＧＧ結晶の熱膨張
率は約７ Ｘ １０＝／に、ＹＡＧ結晶では約７×１０
／にでありそれぞれ値が近いため、それぞれの固体レー
ザロッド＋１） 、 （２１を密着させて構成しても破
壊することはない。
このようにして、第１および第２の固体レーザロッドｆ
ｉｔ 、 （２）から効率よく発振した０、７〜０．９
μｍ波長のレーザ光と１．０６μｍ波長のレーザ光はそ
れぞれ共振器ミラー（８） 、 （８）と共振器ミラー
Ｃ７） 、 （力とによって増幅され、いずれか一方の
透過率の大きい方の共振器ミラー（７） 、 （８）か
ら放出する。ここで、とのレーザ光は中心部が０．７〜
０．９μｍ波長、外周部が１４０６μｍ波長の多色レー
ザ光となって放出されるのである。
ｉｔ 、 （２）から効率よく発振した０、７〜０．９
μｍ波長のレーザ光と１．０６μｍ波長のレーザ光はそ
れぞれ共振器ミラー（８） 、 （８）と共振器ミラー
Ｃ７） 、 （力とによって増幅され、いずれか一方の
透過率の大きい方の共振器ミラー（７） 、 （８）か
ら放出する。ここで、とのレーザ光は中心部が０．７〜
０．９μｍ波長、外周部が１４０６μｍ波長の多色レー
ザ光となって放出されるのである。
このように放出された多色レーザ光を用いてレーザ加工
を行なう場合、中心部の波長が０．７〜・０．９μｍ＠
域で可視光であるため、肉眼でレーザ光の加工物に対す
る照射位置などが確認でき非常に都合がよい。また、半
導体ウェハの表面処理にも非常に効率の良い加工が可能
となった。
を行なう場合、中心部の波長が０．７〜・０．９μｍ＠
域で可視光であるため、肉眼でレーザ光の加工物に対す
る照射位置などが確認でき非常に都合がよい。また、半
導体ウェハの表面処理にも非常に効率の良い加工が可能
となった。
なお、本実施例では第１の固体レーザロッド（１）を円
筒状の第２の固体レーザロッド（２）に密着挿入したも
のを用いたが、第３図に示すように、第１の固体レーザ
ロッド（１）を２本の第２の固体レーザロッド（２）で
挾持して固定したものでもよい。この場曾でも、第２の
固体レーザロッド（２）の方が励起ランプ＋４） 、
（４）に対して近い位置に設置するのが好ましいという
ことは言う１でもない、また、第１の固体レーザロッド
！１）にはクロムイオンをドーグしたエメラルド結晶な
どを用いてもよい。
筒状の第２の固体レーザロッド（２）に密着挿入したも
のを用いたが、第３図に示すように、第１の固体レーザ
ロッド（１）を２本の第２の固体レーザロッド（２）で
挾持して固定したものでもよい。この場曾でも、第２の
固体レーザロッド（２）の方が励起ランプ＋４） 、
（４）に対して近い位置に設置するのが好ましいという
ことは言う１でもない、また、第１の固体レーザロッド
！１）にはクロムイオンをドーグしたエメラルド結晶な
どを用いてもよい。
以上説明したように１本発明の複合固体レーザロッドに
よれば、励起ランプの発光からの光を波長領域を分けて
有効に利用するので、光吸収特性が向上した。このため
、非常に効率よく多色レーザ光を発振させることが可能
となり、その加工などにおける利用価値が高くなった。
よれば、励起ランプの発光からの光を波長領域を分けて
有効に利用するので、光吸収特性が向上した。このため
、非常に効率よく多色レーザ光を発振させることが可能
となり、その加工などにおける利用価値が高くなった。
第１図は本発明の一実施例を示す平面図、第２図は第１
図中のＡ−Ａ断面図、第３図は本発明の他の実施例を示
す断面図である。 ｌ・・・第１の固体レーザロッド、 ２・・・第２の固体レーザロッド、 ４・・・励起ランプ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）
図中のＡ−Ａ断面図、第３図は本発明の他の実施例を示
す断面図である。 ｌ・・・第１の固体レーザロッド、 ２・・・第２の固体レーザロッド、 ４・・・励起ランプ。 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （ほか１名）
Claims (2)
- （１）集光反射鏡とこの集光反射鏡内に並列に設けられ
るレーザロッドおよびこのレーザロッドを励起する励起
ランプと上記レーザロッドの両側に設けられる共振器ミ
ラーとを備えた固体レーザ発振装置において、上記レー
ザロッドはクロムイオンをドープした第１の固体レーザ
ロッドと、ネオジウムイオンをドープした第２の固体レ
ーザロッドとからなり、第２の固体レーザロッドが第１
の固体レーザロッドの周囲に配置されるか、または、第
１の固体レーザロードを挾持して設けられた複合体にな
ることを特徴とする固体レーザ発振装置。 - （２）第２の固体レーザロッドは上記第１の固体レーザ
ロッドよりも上記励起ランプに近い位置に配置されるこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の固体レーザ
発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9299084A JPS60239076A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 固体レ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9299084A JPS60239076A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 固体レ−ザ発振装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60239076A true JPS60239076A (ja) | 1985-11-27 |
Family
ID=14069804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9299084A Pending JPS60239076A (ja) | 1984-05-11 | 1984-05-11 | 固体レ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60239076A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63148691A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | レ−ザ用ロツド |
| JPH0278286A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Tokin Corp | 固体レーザ装置 |
| JPH05152670A (ja) * | 1991-04-26 | 1993-06-18 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 光増幅デバイス |
-
1984
- 1984-05-11 JP JP9299084A patent/JPS60239076A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63148691A (ja) * | 1986-12-12 | 1988-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | レ−ザ用ロツド |
| JPH0278286A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-19 | Tokin Corp | 固体レーザ装置 |
| JPH05152670A (ja) * | 1991-04-26 | 1993-06-18 | American Teleph & Telegr Co <Att> | 光増幅デバイス |
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