JPS6023674Y2 - クリ−ンオ−ブン - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、半導体製品や精密材料などの乾燥、熱処理な
どに使用されるクリーンオーブン（無塵恒温器）に関し
、更に評言すると、開閉可能の扉を有する外槽内に空調
室と該扉側に向は開口した内槽とを備え、閉扉時前記空
調室から吐出されて前記扉側開口に対向する内槽後部へ
入った気体が前記扉側開口から出て再び前記空調室へ吸
入される、いわゆる前吹出し型クリーンオーブンに関す
る。

従来、この種クリーンオーブンにおいては、閉扉時の通
常運転において、オーブンの内槽内容部の気体圧力差及
び気体の慣性力により、オーブン内槽内の気体速度分布
が不均一となり、また内槽の扉側開口のある隅部に気体
が滞るいわゆるデッドゾーンが発生しがちであった。

例えば第１図に示す従来クリーンオーブンについて説明
すると、このクリーンオーブンは、断熱材を含む外槽１
を備え、この外槽１内には、試料を収納する内槽２、及
び空調室３が設けられている。

外槽１は開閉可能の扉１１を有している。空調室３と内
槽２は仕切壁４によって上下に分離されている。

空調室３はモータ３１駆動の送風機（シロッコファン）
３２と加熱器３３を含んでいる。

空調室３の吸込み側には吹込みフィルター３４が設けら
れている。

空調室３の吐出側は、メインフィルター５を介して内槽
２の後部に連通している。

内槽２前部の開口２１は扉１１側に向いている。

モして閉扉時の通常運転においては、加熱器３３により
熱せられた気体が、送風機３２により送出され、メイン
フィルター５を通っテ内槽２に流入し、内槽２の扉側開
口２１から出て再びフィルター３４から空調室３内へ吸
入される。

この場合オーブン内槽２内の気体速度は、内槽上部から
下部へかけて次第に減少し、開口２１を含む隅部に気体
の滞るデッドゾーン７が発生スる。

斯かるオーブン内槽内の気体速度分布の不均一やデッド
ゾーンの発生は、内槽内に不均一な温度分布を招き、適
切な乾燥、熱処理の妨げとなり、また無塵環境を連続維
持する上でも障害となり、特にデッドゾーンは無塵環境
維持に対する大きな障害となっていた。

本考案の目的は、閉扉時通常運転においてオーブン内槽
内に実質上均一な気体速度分布を得て、デッドゾーンの
発生を無くし、安定した無塵環境と実質上均一な温度分
布を達成できる前吹出し型のクリーンオーブンを提供す
ることにある。

本考案の上記目的は、開閉可能の扉を有する外槽内に空
調室と該扉側に向は開口した内槽とを備え、閉扉時前記
空調室から吐出されて前記扉側開口に対向する内槽後部
へ流入した気体が前記扉側開口から出て再び前記空調室
へ吸入されるクリーンオーブンにして、通気抵抗板が、
前記扉に対し間隔をおいて、且つ閉扉時前記内槽開口に
配置されるように前記扉に取り付けられており、該通気
抵抗板は、閉扉時前記内槽内に実質上均一な気体速度分
布を得るように通気抵抗差のある部分を含んでいること
を特徴とするクリーンオーブンにより遠戚される。

以下に本考案の一実施例を第２図に基き説明する。

第２図に示すオーブンは、第１図に示すオーブンを改良
して本考案オーブンとしたものであり、第１図に示す各
部と実質上同一部分には第１図におけると同一符号を付
しである。

この第２図のオーブンは本考案に従って扉１１に通気抵
抗板６を有している。

通気抵抗板６は、扉１１に対し間隔をあけて気体ダクト
部１２を形成するように、モして閉扉時内槽開口２１に
配置されるように扉１１に取り付けられている。

気体ダクト部１２は閉扉時空洞室２に連通ずる。

通気抵抗板６は、図示の例では一体に連設された３つの
部分６１．６２及び６３を含み、これら部分間には、内
槽２内に実質上均一な気体速度分布得るための通気抵抗
差が存する。

すなわち、部分６１，６２及び６３の順序で開孔率は順
次小さくなり、通気抵抗は同順序で順次大きくなる。

なお、８は通気抵抗板６と一体に形成された孔あき板体
で、閉扉時吸込みフィルター３４に臨めるように扉１１
に支持されている。

気体ダクト部１２には、必要に応じ、適宜位置（例えば
仕切壁と同高さ位置）に水平（横）方向の適宜の別個孔
あき板を設けることもできる。

斯くの如く通気抵抗板６は閉扉時開口２１に位置し、内
槽向上部に対して部分６３が、内槽内中部に対して部分
６２が、下部に対して部分６１が配置されることとなり
、これによって内槽２内の気体速度分布は実質上均一と
なり、無塵環境雰囲気、均一温度分布が得られる。

なお扉１１を開成した場合には、空調室３が吸込みフィ
ルター３４を介して外気を吸い込むことにより、内槽２
内は外気圧に対し陽圧に維持され、開扉時においても内
槽２内は、所望無塵状態に維持される。

通気抵抗板は上述の実施例のものに限定されることはな
く、必要に応じ適宜の形態のものを採用でき、また、各
部の開孔面積乃至開孔率は内槽内の特に上下方向に対す
る圧力差を考慮し、また送風機能力、内槽の大きさ、空
調室の吸込みフィルター抵抗等を考慮して適宜決定され
る。

斯くの如く本考案によれば、閉扉時通常運転においてオ
ーブン内槽内に実質上均一な気体速度分布を得て、デッ
ドゾーンの発生を無くし、安定した無塵環境と実質上均
一な温度分布を得られる前吹出し型のクリーンオーブン
を提供できる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来オーブン例の縦断側面図、第２図は本考案
の一実施例の縦断面図である。 １・・・・・・外槽、１１・・・・・・扉、１２・・・
・・・気体ダクト部、２・・・・・・内槽、２１・・・
・・・内槽の扉側の開口、３・・・・・・空調室、６・
・・・・・通気抵抗板、６１．６２．６３・・・・・・
板６の各部分。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 開閉可能の扉を有する外槽内に空調室と該扉側に向は開
   口した内槽とを備え、閉扉時前記空調室から吐出されて
   前記扉側開口に対向する内槽後部へ流入した気体が前記
   扉側開口から出て再び前記空調室へ吸入されるクリーン
   オーブンにして、通気抵抗板が、前記扉に対し間隔をお
   いて、且つ閉扉時前記内槽開口に配置されるように前記
   扉に取り付けられており、該通気抵抗板は、閉扉時前記
   内槽内に実質上均一な気体速度分布を得るように通気抵
   抗差のある部分を含んでいることを特徴とするクリーン
   オーブン。