JPS6112500Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、半導体製品や精密材料などの乾燥、
熱処理などに使用されるクリーンオーブン（無塵
恒温器）であつて、前面に扉にて開閉できるよう
にした開口を有する外槽内に前面に開口を有する
内槽を設け、該内外槽間に、空調室と、該内槽の
一側にフイルターを介して連通すると共に該空調
室の吐出口に連通する送気室と、該内槽の他側に
孔あき板を介して連通すると共に該空調室の吸込
口に連通する排気室とを設けたタイプのクリーン
オーブンに関する。

従来の技術及びその問題点 従来、この種のクリーンオーブンにおいては、
送気室から内槽へ至る間に配置されたフイルター
の前後において気圧差が大きくてフイルター通過
後の内槽内気圧が外気圧に対し陽圧となり得ず、
そのためオーブン扉を開くと外気がそのまま内槽
内に侵入し、外気と共に塵あいも内槽内へ侵入
し、所定のオーブン内清浄度が得られず、内部の
半導体製品や精密材料などの汚染を招くことがあ
つた。

本考案の目的は、前記タイプのクリーンオーブ
ンにして、開扉時においても、オーブン内へ外気
侵入が実質上無いか、あつても従来に比べてはる
かに少なく、外気に混じつた塵あいによる内槽内
物品の汚染を実質上防止できるクリーンオーブン
を提供することにある。

問題点を解決するための手段 本考案の上記目的は、前記タイプのクリーンオ
ーブンであつて、記空調室及び排気室の少なくと
も一方の前壁を前記外槽開口に臨ませると共に該
前壁に外気吸込開口を設け、前記外槽扉にて前記
内槽前面開口と前記外気吸込開口と同時に開閉で
きるようにし、前記外気吸込開口の面積を、開扉
時に前記内槽内が外気圧に対し陽圧となるように
該外気吸込開口を介して前記空調室内送風機にて
外気を吸引できる大きさとしたことを特徴とする
クリーンオーブンにより達成される。

作 用 本考案クリーンオーブンにおいては、扉を開け
ると、内槽前面開口付近の外気は空調室及び排気
室の少なくとも一方の前壁に設けた外気吸込開口
へ速かに引かれ、そこから空調室内へ吸込まれ、
既に外槽内を循環している空気と共にフイルター
を通つて内槽へ至り、内槽内静圧を上昇させて外
気圧に対し陽圧とする。このため塵あいを含んだ
外気が直接内槽へ流入することが無いかあつたと
しても実用上問題にしなければならないほどには
流入しない。

実施例 以下に本考案の実施例を図面に基き説明する。

クリーンオーブンは、断熱材を含み、前面開口
を扉８にて開閉できるようにした外槽１を備え、
この外槽１内には、材料を収納する内槽２、空調
室３、送気室４及び排気室５が設けられている。
内槽２と空調室３は仕切壁６によつて分離されて
いる。

送風室４は、内槽２の一側に配設したフイルタ
ー２１を介して内槽２に連通すると共に空調室３
の吐出口３１に連通している。

排気室５は、内槽２の他側に配設した孔あき板
２２を介して内槽２に連通すると共に空調室３の
吸込口３２に連通している。

空調室３は、従来オーブンにおける空調室と同
様にモータ３０駆動の送風機３３と加熱器３４を
含んでいる。送風機３３は本実施例ではシロツコ
フアンである。

内槽２は前面に開口２３を備えており、空調室
３の前壁３５は外槽開口に臨んでいてそこには外
気吸込開口７が設けられている。この開口７は網
板７０の多数の孔から成つている。この開口は、
送風機３３の吸込口に近い位置に設けられること
が望ましい。

外槽扉８は、内槽２の前面開口２３と、上記開
口７を同時に開閉できる。

開口７は、扉８が開かれたとき、該開口を通し
て十分な外気が送風機３３に吸引され、それによ
つて内槽２内静圧が外気圧に対し陽圧となるよう
に、その面積が決定されている。

この開口７の面積の決定においては、内槽２の
他側に配設した孔あき板２２の空気流通に対する
抵抗が考慮される。例えば孔あき板２２の開孔率
を50％として、開口７を提供する網板７０の開孔
率を90％以上とし、孔あき板２２の面積、内槽２
の容量等を考慮して網板７０の面積を適宜選択す
れば所望の開口７を得ることができる。

従つて、扉８によつて内槽２の前面開放２３と
開口７を閉塞すれば、外槽１内空気は、空調室３
の送風機３３により、空調室３から送気室４、内
槽２、排気室５そして再び空調室３へ循環され、
内槽２へ送られてくる空気はフイルター２１を通
過しているので内槽２内は清浄に保たれる。

扉８を開くと、外気が開口７から吸引され、既
に外槽内を循環していた空気と共にフイルター２
１を通過して内槽２内へり込まれる。その結果、
内槽２内は清浄化された空気で充満されて内槽内
静圧は外気圧に対し陽圧となり、内槽２への外気
の直接侵入は防止される。内槽２内の孔あき板２
２に近い場所２４及び該孔あき板２２を介して外
気が吸い込まれる虞れがある場合には、排気室５
の外槽開口に臨んだ前壁５１にも第１図及び第２
図に仮想線で示すように外気吸込開口９を設け、
これによつて、孔あき板２２に近い場所２４に侵
入する虞れのある外気がこの開口９へ吸引される
ようにすることができる。

上記開口９は、網板９０の多数の孔から成つて
おり、この開口９が設けられる場合には、開口９
と前述の開口７の面積は相互に勘案して決定され
ることが望ましい。

考案の効果 本考案によれば、前面に扉にて開閉できるよう
にした開口を有する外槽内に前面に開口を有する
内槽を設け、該内外槽間に、空調室と、該内槽の
一側にフイルターを介して連通すると共に該空調
室の吐出口に連通する送気室と、該内槽の他側に
孔あき板を介して連通すると共に該空調室の吸込
口に連通する排気室とを設けたタイプのクリーン
オーブンにして、開扉時においても、オーブン内
への外気侵入が実質上無いか、あつても従来の同
タイプオーブンに比べてはるかに少なく、外気に
混じつた塵あいによる内槽内物品の汚染を実質上
防止できる構造簡単なクリーンオーブンを提供で
きる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
扉をはずした状態の正面図、第２図は第１図のＸ
−Ｘ線断面図、第３図は第１図のＹ−Ｙ線断面図
である。 １……外槽、２……内槽、３……空調室、４…
…送気室、５……排気室、２１……フイルター、
２２……孔あき板、２３……内槽の前面開放、３
１……空調室の吐出口、３２……空調室の吸込
口、３３……送風機、３５……空調室の前壁、５
１……排気室の前壁、７，９……外気吸込開口、
８……扉。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 前面に扉にて開閉できるようにした開口を有
   する外槽内に前面に開口を有する内槽を設け、
   該内外槽間に、空調室と、該内槽の一側にフイ
   ルターを介して連通すると共に該空調室の吐出
   口に連通する送気室と、該内槽の他側に孔あき
   板を介して連通すると共に該空調室の吸込口に
   連通する排気室とを設けたクリーンオーブンに
   おいて、前記空調室及び排気室の少なくとも一
   方の前壁を前記外槽の前面開口に臨ませると共
   に該前壁に外気吸込開口を設け、前記外槽扉に
   て前記内槽前面開口と前記外気吸込開口とを同
   時に開閉できるようにし、前記外気吸込開口の
   面積を、開扉時に前記内槽内が外気圧に対し陽
   圧となるように該外気吸込開口を介して前記空
   調室内送風機にて外気を吸引できる大きさとし
   たことを特徴とするクリーンオーブン。 前記空調室の前壁を前記外槽の前面開口に臨
   ませ、該空調室前壁に前記外気吸込開口を設け
   た実用新案登録請求の範囲第１項記載のクリー
   ンオーブン。 前記空調室及び排気室双方の前壁を前記外槽
   の前面開口に臨ませ、それら前壁にそれぞれ前
   記外気吸込み開口を設けた実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のクリーンオーブン。