JPS60235734A - 石英系多孔質ガラス層の処理方法 - Google Patents

石英系多孔質ガラス層の処理方法

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JPS60235734A
JPS60235734A JP8883884A JP8883884A JPS60235734A JP S60235734 A JPS60235734 A JP S60235734A JP 8883884 A JP8883884 A JP 8883884A JP 8883884 A JP8883884 A JP 8883884A JP S60235734 A JPS60235734 A JP S60235734A
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JP
Japan
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fluorine
layer
glass
porous glass
glass layer
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Pending
Application number
JP8883884A
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Kazuaki Yoshida
和昭 吉田
Masao Nishimura
西村 真雄
Toshiaki Kuroba
黒羽 敏明
Tamotsu Kamiya
保 神谷
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
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    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業1−の利用分野) 本発明は石英系多孔質ガラス層にフッ素をドープするた
めの処理方法に関する。
(従来技術) 石英系光ファイバにおけるコア・クラット相互の相対的
屈折率差、すなわち開「】数を大きくすへく、そのクラ
ンド中にフッ素をドープすることがMCVD法、VAD
法、OVD法、PCVD法などにおいてすでに実施され
ている。
例えばMCVD法、VAD7J1、OVD法ナトノ場合
、そのガラス合成時のフッ素分圧を高くすることにより
大r銖のフッ素をドープする二「大がなされ、PCVD
法では特殊なフッ素化合物をドーパントとして用いるこ
とにより大量のフッ素をトープする1大かなされている
しかしPCVD法の場合、純石英に対して約2zも屈折
率を低下させるほど、かなり大量のフッ素がドープでき
るといわれているが、この方法には量産性がなく、一方
、量産性に優れるVAD法、OVD法、さらに製品の品
質が高いMCVD法などの場合、上記屈折率の低下が0
.4以下にとどまっている。
(発明の目的) 本発明は上記の問題点に鑑み、VAD法、0■D法のこ
とき方法により作製された石英系の多孔質カラス層中に
、必要かつ十分な借のフッ素がドープできる処理方法を
1記供しようとするものである。
(発明の構成) 未発IJI Jj法は、 −醇化ケイ素とともにガラス
形成しやすく、かつ、フン化物状態での低九発性をイi
する金属酸化物がドープされた石英系の多孔質カラス層
をつくり、該多孔質カラス層をフッ素含イ5雰囲気中に
て加熱処理することを特徴としている。
(実 施 例) つきに図面を参照して本発明方法の実施例を説明する。
図はVAD法により所定の石英系多孔質カラス層を作製
する例を略示したものであり、同図において、1は石英
系の多孔質ガラス棒、2はその外周に堆積形成された石
英系の多孔質ガラス層、3はL―記多孔質ガガラ林lを
形成するための多重管構造(三重管)のバーナ、4は上
記多孔質ガラス層2を形成するための多m管構造(四重
管)のバーナである。
多孔質ガラス棒1、多孔質ガラス層2を堆積形成すると
き、八−す3の各ガス流通には気相のカラス原料、酸素
、水素がそれぞれ供給されるとともにバーナ4の各カス
流通には気相のガラス原料、気相のトープ原料、酸素、
水素がそれぞれ供給され、これらの火炎加水分解反応に
より生成された各ガラス微粒子(スート状)が図示しの
ごとく堆積されて多孔質ガラス棒1、多孔質ガラス層2
となる。
[−記シこおける気相のカラス原料としては既知の5i
C1,5i(QC)!3)などが用いられ、−・力、ド
ープ原#1としては二酸化ケイ素の光吸収損失を実質的
にきたさず、二酸化ケイ素ととも1こカラス形成しやす
く、しかもフッ化物状態での低蒸発性を有するハロゲン
化物、有機金属化合物などが用いられるのであり、これ
らはドーパントの状態で金属酸化物となる。
ここでドーパントとしての金属醇化物をあげるとAl2
O3,5b203、ZrO2、S n O2、Ta20
5. TlO2、PbO2、Nb2O5などがある。
したがって上記において形成された多孔質ガラス棒1は
純S、+02からなり、かつ、多孔質ガラス層2、はS
 i Q 2と上述した一種以上のドーパントとからな
る。
通畠、上記多孔質ガラスslと多孔質ガラス層2とから
なるものを多孔質母材などと称しているが、この多孔質
母材は石英製炉心管の外周に電気ヒータが備なえられた
既知の加熱炉を介して加熱処理されるのであり、この際
、その炉心管内で所定の雰囲気が形成される。
以下多孔質母材の加熱処理につき説明すると、出語加熱
処理はフッ素含有雰囲気中において行なわれ、その雰囲
気はツー、素ガスまたはフッ素化合物ガスを主体にして
形成される。
具体的にはSF4. CF4. CCl2F、、、 5
iF4、BF3などを介してL記雰囲気が形成されるが
、その雰囲気中には水素化合物が存在しないのが望まし
く、ために該雰囲気中にはヘリウム、アルゴン、チン素
ガスな−と、所望の不活性ガスが混合されることがある
フ、″JIc含有雰囲気中においてL記多孔質母材を加
熱処理するとき、その雰囲気温度は700°C以上に保
持され、この際、多孔質ガラス層2はフッ化物の状態で
蒸発しにくい、しかもニー酸化ケイ素とガラス化しやす
いドーパントを含有しているのでかなりの優のフッ素が
ドープされる。
なお、この際の加熱処理を1300°C以上で行なうと
、多孔質ガラス棒1、多孔質ガラスN2が透明ガラス化
できる。
+ 300 ’C以下の上記加熱処理において多孔質ガ
ラス棒l、多孔質ガラス層2が未透明の状態を呈し7て
いるとき、その後の加熱処理によりこれらを透明ガラス
化すればよく、この際の加熱雰囲気は前記不活性ガスに
より形成される。
上述の実施例では、VAD法により作製された多孔質f
fi材の多孔質ガラスM2にフッ素をトープする例を示
したが、例えば既述の4沃を経て形成5れた石英系の焼
結ガラス棒、あるいは透明ガラス棒の外周にOVD法を
介して多孔質ガラス層2を形成し、これを前記と同様に
処理してもよい。
つぎに本発明方法のより具体的な実施例について説明す
る。
図に示した母材形成手段において、バーナ3には気相の
カラス原料としてS + Cl iを供給し、/ヘ一す
4には気相のカラス原木(としてS 1Cl <を、気
相のドープ原料としてAl2O3をそれぞれ供給し、こ
れらを火炎加水分解反応させることにより、それぞれ5
102微粒子−1SiO,,−At203微粒子を生成
して多孔質ガラス棒l、多孔質ガラス層2を形成した。
つぎにl−記多孔質母材をフッ素含有雰囲気中で加熱処
理するとき、その雰囲気を11e15.9#min、5
OCI40.lu /1Iin、021JRmin、 
5F60.IQ/i+inにより形成し、その雰囲気温
四を1450℃としてこれら多孔質ガラス棒l、多孔質
ガラス層2をを透明カラス化した。
]−記透明ガラス化後のガラス棒lはその屈折率が純イ
1英に対し−0,2zとなり、ガラス層2の屈折=4=
か純イJ英に対し−1,0%となった。
このように両力ラスl、2の屈折率差は0.8%にもな
り、その−力のカラス2にフッ素が充分ドープされてい
ることが確認された。
(発明の効果) 以上説明した通り、本発明方法によるときは一酸化ケイ
素とのガラス合成易度、フッ化物状態での低蒸発性を有
する金属酢化物がトープされた石英系の多孔質カラス層
を、フッ素有雰囲気中にて加熱処理するから、量産性に
優れる方法により作製された多孔質ガラス層であっても
これに必要かつト分な畢のフッ素をドープすることがで
きる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明方法において処理対象となる多孔質カラス層
の作製状況を略示した説明図である。 2・・・多孔質カラス層 代理人 弁理ト 斎 藤 義 雄

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 。酸化ケイ素とともにカラスが形成しやすく、かつ、フ
    ッ化物状態での低蒸発性を41する金属酸化物がトープ
    された石英系の多孔質ガラス層をつくり、該多孔質ガラ
    スをフッ素含有雰囲気中において加熱処理することを特
    徴とする石英系多孔質カラス層の処理力法。
JP8883884A 1984-05-02 1984-05-02 石英系多孔質ガラス層の処理方法 Pending JPS60235734A (ja)

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