JPH01126236A - 光ファイバープリフォームの製造方法 - Google Patents
光ファイバープリフォームの製造方法Info
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- JPH01126236A JPH01126236A JP28252687A JP28252687A JPH01126236A JP H01126236 A JPH01126236 A JP H01126236A JP 28252687 A JP28252687 A JP 28252687A JP 28252687 A JP28252687 A JP 28252687A JP H01126236 A JPH01126236 A JP H01126236A
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2201/00—Type of glass produced
- C03B2201/06—Doped silica-based glasses
- C03B2201/30—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi
- C03B2201/31—Doped silica-based glasses doped with metals, e.g. Ga, Sn, Sb, Pb or Bi doped with germanium
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- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は光ファイバープリフォームの製造方法、特には
半径方法に任意の屈折率をもつコア部と一定の屈折率を
もつクラッド1とからなる、グレーデットインデクス型
の光ファイバープリフォームの製造方法に関するもので
ある。
半径方法に任意の屈折率をもつコア部と一定の屈折率を
もつクラッド1とからなる、グレーデットインデクス型
の光ファイバープリフォームの製造方法に関するもので
ある。
(従来の技術)
光ファイバープリフォームについては屈折率が中心部か
ら周辺部にいくにしたがって漸次小さくなるような放物
線分布をもたせたグレーテッドインデクス型のものが汎
用されており、このものは2本以上の同心多重管バーナ
ーを使用し、その1本にはドーパントを含まない原料ガ
スと燃焼ガスを他の1本以上のバーナーには一定の濃度
のドーパントを含む原料ガスと燃焼ガスを供給してその
火炎加水分解によってコア用ガラス微粒子体とクラッド
用ガラス微粒子体の2重構造の円柱状多孔質母材を作り
、ついでこれを脱水、透明化してグレーデッドインデク
ス型の光ファイバープリフォームを得るという方法が提
案されている(特公昭5G−31291号公報参照)が
、この方法で得られた光ファイバープリフォームはその
脱水、透明化の際にコア部のドーパントがクラッド部に
拡散するため、第4図に示したようにクラット部の屈折
率が破線のように一定値となるべきところ、実際には実
線のように一定でないものになり、したがってこのよう
なプリフォームから作られた光ファイバーは光がクラッ
ド部に漏れて伝送特性がわるくなり、コア部とクラッド
部の境が定まらないために高品質のものが得られにくい
という欠点がある。
ら周辺部にいくにしたがって漸次小さくなるような放物
線分布をもたせたグレーテッドインデクス型のものが汎
用されており、このものは2本以上の同心多重管バーナ
ーを使用し、その1本にはドーパントを含まない原料ガ
スと燃焼ガスを他の1本以上のバーナーには一定の濃度
のドーパントを含む原料ガスと燃焼ガスを供給してその
火炎加水分解によってコア用ガラス微粒子体とクラッド
用ガラス微粒子体の2重構造の円柱状多孔質母材を作り
、ついでこれを脱水、透明化してグレーデッドインデク
ス型の光ファイバープリフォームを得るという方法が提
案されている(特公昭5G−31291号公報参照)が
、この方法で得られた光ファイバープリフォームはその
脱水、透明化の際にコア部のドーパントがクラッド部に
拡散するため、第4図に示したようにクラット部の屈折
率が破線のように一定値となるべきところ、実際には実
線のように一定でないものになり、したがってこのよう
なプリフォームから作られた光ファイバーは光がクラッ
ド部に漏れて伝送特性がわるくなり、コア部とクラッド
部の境が定まらないために高品質のものが得られにくい
という欠点がある。
(発明の構成)
本発明はこのような不利を解決したクラッド部の屈折率
を一定にした光ファイバープリフォームへ の製造方法に関するものであり、これは1本の同心多重
管バーナーからドーパントを含む原料ガスと燃焼ガスを
供給して火炎加水分解によってガラス微粒子を合成し、
これを出発基材に堆積させて軸方法に成長するコア用多
孔質母材を作ると共に、へ 同時に他の1本の同心多重管バーナーからドーパントを
含まない原料ガスと燃焼ガスを供給してガラス微粒子を
合成し、これを前記コア用多孔質母材の側面に一定の厚
さに積層させてコアとクラッドの二重構造の多孔質母材
を作り、ついでこれを脱水、透明化してコアとクラッド
を有する光ファイバープリフォームを製造する方法にお
いて、この脱水処理工程後の透明ガラス化を一酸化炭素
を含むヘリウムガス雰囲気で行ない、クラッド層に拡散
しているドーパントを還元除去することを特徴とするも
のである。
を一定にした光ファイバープリフォームへ の製造方法に関するものであり、これは1本の同心多重
管バーナーからドーパントを含む原料ガスと燃焼ガスを
供給して火炎加水分解によってガラス微粒子を合成し、
これを出発基材に堆積させて軸方法に成長するコア用多
孔質母材を作ると共に、へ 同時に他の1本の同心多重管バーナーからドーパントを
含まない原料ガスと燃焼ガスを供給してガラス微粒子を
合成し、これを前記コア用多孔質母材の側面に一定の厚
さに積層させてコアとクラッドの二重構造の多孔質母材
を作り、ついでこれを脱水、透明化してコアとクラッド
を有する光ファイバープリフォームを製造する方法にお
いて、この脱水処理工程後の透明ガラス化を一酸化炭素
を含むヘリウムガス雰囲気で行ない、クラッド層に拡散
しているドーパントを還元除去することを特徴とするも
のである。
すなわち1本発明者らは光ファイバープリフォーム製造
の公知の方法における不利を解決してコア部の屈折率分
布に影響を与えないでクラッド部の屈折率を一定とする
方法について種々検討した結果、この従来法で作られた
コア用ガラス微粒子体とクラッド用ガラス微粒子体の二
重構造の円柱状多孔質母材の脱水、透明化を還元性の一
酸化炭素を含むヘリウムガス雰囲気で行なうとクラッド
部に拡散しているドーパントとしての例えば酸化ゲルマ
ニウムが還元除去されてクラッド部の屈折率が一定な値
になり、しかもコア部の屈折率分布に影響を全く与えな
いということを見出し、ここに添加される一酸化炭素の
含量、この工程における処理条件などについての研究を
進めて本発明を完成させた。
の公知の方法における不利を解決してコア部の屈折率分
布に影響を与えないでクラッド部の屈折率を一定とする
方法について種々検討した結果、この従来法で作られた
コア用ガラス微粒子体とクラッド用ガラス微粒子体の二
重構造の円柱状多孔質母材の脱水、透明化を還元性の一
酸化炭素を含むヘリウムガス雰囲気で行なうとクラッド
部に拡散しているドーパントとしての例えば酸化ゲルマ
ニウムが還元除去されてクラッド部の屈折率が一定な値
になり、しかもコア部の屈折率分布に影響を全く与えな
いということを見出し、ここに添加される一酸化炭素の
含量、この工程における処理条件などについての研究を
進めて本発明を完成させた。
本発明の方法におけるコア用ガラス微粒子体とクラッド
用ガラス微粒子体の二重構造からなる円柱状多孔質母材
の製造は公知の方法で行なわれる。
用ガラス微粒子体の二重構造からなる円柱状多孔質母材
の製造は公知の方法で行なわれる。
したがって、これは第1図に示したように反応容器1の
中に回転保持されている出発基材に同心多重管バーナー
3からドーパントとしての例えば四塩化ゲルマニウム(
GeCu、)を含んだ原料ガス、例えば四塩化けい素(
SiCQ4)と燃焼ガスとしての酸素と水素とを放射し
、この燃焼ガスの燃焼による酸水素火炎中で原料ガスを
熱分解、加水分解させてドーパントを含むシリカ微粒子
を出発基材の上に堆積させてコア部2を形成させると共
に、二\に生成したコア部に同心多重管バーナー4から
ドーパントを含まない原料ガス、例えば四塩化けい素と
燃焼ガスとからなる混合ガスを放射し、その火炎中での
原料ガスの熱分解、加水分解で作られたドーパントを含
まないシリカ微粒子をクラッド部として堆積させ、この
際燃焼排ガスを排ガスノズル5から排出させてコア部と
クラッド部とからなる円筒状多孔質母材6を作ればより
1゜ このようにして得られたコア部とクラッド部とからなる
円筒状多孔質母材はついで脱水、透明化されて光ファイ
バープリフォームとされるのであるが、これは例えば第
2図に示したように炉芯管11の中に円筒状多孔質母材
12を回転しつつ保持し、これを引下げる機構をもっ把
持装置13に患吊し、加熱器14でこれを1,200℃
以下に加熱して脱水処理したのち、ついでガス送入口1
5から一酸化炭素ガスを含有するヘリウムガスを送入し
、このガス雰囲気下で1,450〜1.600℃に加熱
してこれを溶解し透明化すればよく、この排ガスはガス
排出口16から系外に排出させるようにすればよい。
中に回転保持されている出発基材に同心多重管バーナー
3からドーパントとしての例えば四塩化ゲルマニウム(
GeCu、)を含んだ原料ガス、例えば四塩化けい素(
SiCQ4)と燃焼ガスとしての酸素と水素とを放射し
、この燃焼ガスの燃焼による酸水素火炎中で原料ガスを
熱分解、加水分解させてドーパントを含むシリカ微粒子
を出発基材の上に堆積させてコア部2を形成させると共
に、二\に生成したコア部に同心多重管バーナー4から
ドーパントを含まない原料ガス、例えば四塩化けい素と
燃焼ガスとからなる混合ガスを放射し、その火炎中での
原料ガスの熱分解、加水分解で作られたドーパントを含
まないシリカ微粒子をクラッド部として堆積させ、この
際燃焼排ガスを排ガスノズル5から排出させてコア部と
クラッド部とからなる円筒状多孔質母材6を作ればより
1゜ このようにして得られたコア部とクラッド部とからなる
円筒状多孔質母材はついで脱水、透明化されて光ファイ
バープリフォームとされるのであるが、これは例えば第
2図に示したように炉芯管11の中に円筒状多孔質母材
12を回転しつつ保持し、これを引下げる機構をもっ把
持装置13に患吊し、加熱器14でこれを1,200℃
以下に加熱して脱水処理したのち、ついでガス送入口1
5から一酸化炭素ガスを含有するヘリウムガスを送入し
、このガス雰囲気下で1,450〜1.600℃に加熱
してこれを溶解し透明化すればよく、この排ガスはガス
排出口16から系外に排出させるようにすればよい。
本発明の方法はこの透明化を一酸化炭素ガスを含有する
ヘリウムガス雰囲気下で行なうことを特徴とするもので
あるが、これによればコア部からの拡散によってクラッ
ド部に含まれている酸化ゲルマニウムなどのドーパント
がこの一酸化炭素によって次式 %式% によって還元されてこのG e Oが加熱下に揮散し、
クラッド部はドーパントを含まない屈折率の一定したも
のとなるので、ここに得られた光ファイバープリフォー
ムは第3図に示したようにクラッド部が一定の屈折率を
示したものになり゛、したがってこれから作られた光フ
ァイバーは伝送特性のすぐれたものになるという有利性
が与えられる。
ヘリウムガス雰囲気下で行なうことを特徴とするもので
あるが、これによればコア部からの拡散によってクラッ
ド部に含まれている酸化ゲルマニウムなどのドーパント
がこの一酸化炭素によって次式 %式% によって還元されてこのG e Oが加熱下に揮散し、
クラッド部はドーパントを含まない屈折率の一定したも
のとなるので、ここに得られた光ファイバープリフォー
ムは第3図に示したようにクラッド部が一定の屈折率を
示したものになり゛、したがってこれから作られた光フ
ァイバーは伝送特性のすぐれたものになるという有利性
が与えられる。
なお、この脱水、透明化について、この脱水工程はヘリ
ウムなどの不活性ガスに脱水用の塩素ガスと酸素ガスを
添加した混合ガスの流通型に1.200℃以下の温度1
例えば1,100〜.1,150℃に加熱すればよく、
この透明化はこの脱水された円筒形母材を加熱溶解すれ
ばよいが。
ウムなどの不活性ガスに脱水用の塩素ガスと酸素ガスを
添加した混合ガスの流通型に1.200℃以下の温度1
例えば1,100〜.1,150℃に加熱すればよく、
この透明化はこの脱水された円筒形母材を加熱溶解すれ
ばよいが。
1.450℃以下では透明化せず、1,450℃以上に
すると透明となるが、2,000では高すぎるので1,
450〜2,000℃に加熱することがよい、また、こ
の雰囲気についてはこぎに添加する一酸化炭素量がヘリ
ウムガス量に対して0.1体積%以下では効果がなく、
2.0体積%以上にするとコア部の屈折率分布に影響が
与えられるので、0.1〜2.0体積%とすることがよ
い。
すると透明となるが、2,000では高すぎるので1,
450〜2,000℃に加熱することがよい、また、こ
の雰囲気についてはこぎに添加する一酸化炭素量がヘリ
ウムガス量に対して0.1体積%以下では効果がなく、
2.0体積%以上にするとコア部の屈折率分布に影響が
与えられるので、0.1〜2.0体積%とすることがよ
い。
つぎに本発明の実施例をあげる。
実施例
第1図に示した装置を用いてコア部を形成させるだめの
同心多重管バーナー3から四塩化けい素(S iCQ4
)とドーパントとしての四塩化ゲルマニウム(GeCQ
、)および水素、酸素ガスを第1表に示したなで、また
クラッド部を形成させるための同心多重管バーナー4か
ら四塩化けい素と水素、酸素ガスを第1表に示した量で
供給し、このバーナーに着火して四塩化けい素、四塩化
ゲルマニウムを熱分解、加水分解させて、ドーパントを
含有するシリカ微粒テ、ドーパントを含まないシリカ微
粒子を約1.5g/時の速度で生成させてこれらを担体
としての石英ガラス棒上に析出させてドーパントを含む
シリカ微粒子をコア部とし、ドーパントを含まないシリ
カ微粒子をクラッド部とする外径が約100mmの円筒
状多孔質母材を作った。
同心多重管バーナー3から四塩化けい素(S iCQ4
)とドーパントとしての四塩化ゲルマニウム(GeCQ
、)および水素、酸素ガスを第1表に示したなで、また
クラッド部を形成させるための同心多重管バーナー4か
ら四塩化けい素と水素、酸素ガスを第1表に示した量で
供給し、このバーナーに着火して四塩化けい素、四塩化
ゲルマニウムを熱分解、加水分解させて、ドーパントを
含有するシリカ微粒テ、ドーパントを含まないシリカ微
粒子を約1.5g/時の速度で生成させてこれらを担体
としての石英ガラス棒上に析出させてドーパントを含む
シリカ微粒子をコア部とし、ドーパントを含まないシリ
カ微粒子をクラッド部とする外径が約100mmの円筒
状多孔質母材を作った。
ついでこの円筒状多孔質母体を第2図に示した加熱炉内
に懸吊し、第2表に示した条件下のヘリウムガス、塩素
ガス、酸素ガスの流通下に1.150’Cに加熱して脱
水したのち、これを第2表に示したヘリウムガス、一酸
化炭素ガスの雰囲気で1450℃に加熱したところ、透
明な光ファイバープリフォームが得られたので、このも
のの屈折率分布をしらべたところ、第3図に示したよう
にクラッド部の屈折率が一定であることが確認された。
に懸吊し、第2表に示した条件下のヘリウムガス、塩素
ガス、酸素ガスの流通下に1.150’Cに加熱して脱
水したのち、これを第2表に示したヘリウムガス、一酸
化炭素ガスの雰囲気で1450℃に加熱したところ、透
明な光ファイバープリフォームが得られたので、このも
のの屈折率分布をしらべたところ、第3図に示したよう
にクラッド部の屈折率が一定であることが確認された。
しかし、比較例として上記における透明化工程を第2表
の一酸化炭素を除いた条件で行なったところ、この場合
も透明な光ファイバープリフォームは得られたけれども
、このものの屈折率分布は第4図に示したようにクラッ
ド部がコア部から拡散されたドーパントを含むものであ
るために屈折率が均一のものにはならなかった。
の一酸化炭素を除いた条件で行なったところ、この場合
も透明な光ファイバープリフォームは得られたけれども
、このものの屈折率分布は第4図に示したようにクラッ
ド部がコア部から拡散されたドーパントを含むものであ
るために屈折率が均一のものにはならなかった。
つぎに上記のようにして得た本発明の光ファイハーフリ
フォームを線引きして光ファイバーとし、このものの伝
送損失、伝送帯域およびコア比を測定したことろ、第3
表に示したとおりの結果が得られ、実施例ではこれらは
コア径も設計値とほぼ一致し、良好な結果が得られたが
、比較例では満足すべき結果が得られなかった。
フォームを線引きして光ファイバーとし、このものの伝
送損失、伝送帯域およびコア比を測定したことろ、第3
表に示したとおりの結果が得られ、実施例ではこれらは
コア径も設計値とほぼ一致し、良好な結果が得られたが
、比較例では満足すべき結果が得られなかった。
第 1 表
第 2 表
第 3 表
第1図は円筒形多孔質母材を作るための反応装置の縦断
面図、第2図は円筒形多孔質母材を脱水。 透明化するための加熱炉の縦横断面要因、第3図は本発
明の方法で得られた光ファイバープリフォームの屈折率
分布図、第4図は従来法で得られた光ファイバープリフ
ォームの屈折率分布図を示したものである。 1・・反応装置、 2・・・コア部多孔質母材3・・
・コア形成用同心多重管バーナー、4・・クラッド形成
用同心多重管バーナー、5・・・排気ノズル。 6.12・・・円筒形多孔質母材、 ]1・・炉芯管 】3・・把持装置、 14・・・加熱器、15・・
・ガス送入口、 16・・・ガス排出口: 1
l ;手続補正書 1、事件の表示 昭和62年特許願第282526号 2、発明の名称 光ファイバープリフォームの製造方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 (206)信越化学工業株式会社4、代理人 住所〒103東京都中央区日本橋本町4丁目4番11号
明細書における「■特許請求の範囲の欄、■発明の詳細
な説明の欄および0図面の簡単な説明の欄」 6、補正の内容 7.。 1)明細書第1頁4行〜第2頁9行の「特許請求の範囲
」を別紙のとおりに補正する。 2)明細書第2頁13行の「半径方法に任意の屈折率」
を「半径方向に任意の屈折率分布」と補正する。 3)明細書第4頁4行の「光ファイバープリフォーム」
を「グレーデットインデクス型の光ファイバープリフォ
ーム」と補正し、同頁9行のr軸方法」を「軸方向」と
補正する。 4)明細書第5頁1行〜2行の「光ファイバープリフォ
ーム」を「グレーデットインデクス型の光ファイバープ
リフォーム」と補正し、同頁7行の「脱水、」を「脱水
後の」と補正する。 5)明細書第6頁4行および11行の「放射」を「供給
」と補正し、同頁5行〜6行および11行〜12行の「
熱分解、加水分解」を「火炎加水分解」と補正する。 6)明細書第7頁19〜20行の「光ファイバープリフ
ォーム」を「グレーデットインデクス型光ファイバープ
リフォーム」と補正する。 7)明細書第8頁11行〜12行の「透明となるが、・
・・加熱すること」を「透明となるので1,450〜2
,000℃で行えばよいが、2,000’Cでは高すぎ
て不経済となるので1,450〜1,600℃に加熱す
ること」と補正する。 8)明細書第11頁第1表中の2行〜3行のと補正する
。 9)明細書第11頁第2表中の末社の「o2」の「透明
化時」の欄の「1゛」を「−」と補正する。 10) 明細書第12頁第3表における「屈折率」を
[コアークラッドの最大屈折率差」と補正する。 11)明細書第12頁10行の「縦横断面要因」を「縦
断面要因」と補正する。 (別紙) 2、特許請求の範囲 1.1本の同心多重管バーナーからドーパントを含む原
料ガスと燃焼ガスを供給して火炎加水分解によってガラ
ス微粒子を合成し、これを出発基材に堆積させて軸方良
に成長するコア用多孔質母材を作ると共に、同時に他の
一本の同心多重管バーナーからドーパントを含まない原
料ガスと燃焼ガスを供給してガラス微粒子を合成し、こ
れを前記コア用多孔質母材の側面に一定の厚さに積層さ
せてコアとクラッドの2重構造の多孔質母材を作り、つ
いでこれを脱水、透明化してコアとクラッドを有する光
ファイバープリフォームを製造する方法において、この
脱水処理工程後の透明ガラス化を一酸化炭素を含むヘリ
ウムガス雰囲気で行ない、コアの屈折率分布に影響を与
えないでクラッド層に拡散しているドーパントを還元除
去することを特徴とする光ファイバープリフォームの製
造方法。 2、一酸化炭素がヘリウムガスに対して0.1〜2.0
体積%とされる特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ
ープリフォームの製造方法。 3、 光ファイバープリフォームが半径方向に任意の屈
折率分布をもったコアと一定の屈折率をもったクラッド
からなるものである特許請求の範囲第1項記載の光ファ
イバープリフォームの製造方法。
面図、第2図は円筒形多孔質母材を脱水。 透明化するための加熱炉の縦横断面要因、第3図は本発
明の方法で得られた光ファイバープリフォームの屈折率
分布図、第4図は従来法で得られた光ファイバープリフ
ォームの屈折率分布図を示したものである。 1・・反応装置、 2・・・コア部多孔質母材3・・
・コア形成用同心多重管バーナー、4・・クラッド形成
用同心多重管バーナー、5・・・排気ノズル。 6.12・・・円筒形多孔質母材、 ]1・・炉芯管 】3・・把持装置、 14・・・加熱器、15・・
・ガス送入口、 16・・・ガス排出口: 1
l ;手続補正書 1、事件の表示 昭和62年特許願第282526号 2、発明の名称 光ファイバープリフォームの製造方法 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 (206)信越化学工業株式会社4、代理人 住所〒103東京都中央区日本橋本町4丁目4番11号
明細書における「■特許請求の範囲の欄、■発明の詳細
な説明の欄および0図面の簡単な説明の欄」 6、補正の内容 7.。 1)明細書第1頁4行〜第2頁9行の「特許請求の範囲
」を別紙のとおりに補正する。 2)明細書第2頁13行の「半径方法に任意の屈折率」
を「半径方向に任意の屈折率分布」と補正する。 3)明細書第4頁4行の「光ファイバープリフォーム」
を「グレーデットインデクス型の光ファイバープリフォ
ーム」と補正し、同頁9行のr軸方法」を「軸方向」と
補正する。 4)明細書第5頁1行〜2行の「光ファイバープリフォ
ーム」を「グレーデットインデクス型の光ファイバープ
リフォーム」と補正し、同頁7行の「脱水、」を「脱水
後の」と補正する。 5)明細書第6頁4行および11行の「放射」を「供給
」と補正し、同頁5行〜6行および11行〜12行の「
熱分解、加水分解」を「火炎加水分解」と補正する。 6)明細書第7頁19〜20行の「光ファイバープリフ
ォーム」を「グレーデットインデクス型光ファイバープ
リフォーム」と補正する。 7)明細書第8頁11行〜12行の「透明となるが、・
・・加熱すること」を「透明となるので1,450〜2
,000℃で行えばよいが、2,000’Cでは高すぎ
て不経済となるので1,450〜1,600℃に加熱す
ること」と補正する。 8)明細書第11頁第1表中の2行〜3行のと補正する
。 9)明細書第11頁第2表中の末社の「o2」の「透明
化時」の欄の「1゛」を「−」と補正する。 10) 明細書第12頁第3表における「屈折率」を
[コアークラッドの最大屈折率差」と補正する。 11)明細書第12頁10行の「縦横断面要因」を「縦
断面要因」と補正する。 (別紙) 2、特許請求の範囲 1.1本の同心多重管バーナーからドーパントを含む原
料ガスと燃焼ガスを供給して火炎加水分解によってガラ
ス微粒子を合成し、これを出発基材に堆積させて軸方良
に成長するコア用多孔質母材を作ると共に、同時に他の
一本の同心多重管バーナーからドーパントを含まない原
料ガスと燃焼ガスを供給してガラス微粒子を合成し、こ
れを前記コア用多孔質母材の側面に一定の厚さに積層さ
せてコアとクラッドの2重構造の多孔質母材を作り、つ
いでこれを脱水、透明化してコアとクラッドを有する光
ファイバープリフォームを製造する方法において、この
脱水処理工程後の透明ガラス化を一酸化炭素を含むヘリ
ウムガス雰囲気で行ない、コアの屈折率分布に影響を与
えないでクラッド層に拡散しているドーパントを還元除
去することを特徴とする光ファイバープリフォームの製
造方法。 2、一酸化炭素がヘリウムガスに対して0.1〜2.0
体積%とされる特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ
ープリフォームの製造方法。 3、 光ファイバープリフォームが半径方向に任意の屈
折率分布をもったコアと一定の屈折率をもったクラッド
からなるものである特許請求の範囲第1項記載の光ファ
イバープリフォームの製造方法。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、1本の同心多重管バーナーからドーパントを含む原
料ガスと燃焼ガスを供給して火炎加水分解によってガラ
ス微粒子を合成し、これを出発基材に堆積させて軸方法
に成長するコア用多孔質母材を作ると共に、同時に他の
一本の同心多重管バーナーからドーパントを含まない原
料ガスと燃焼ガスを供給してガラス微粒子を合成し、こ
れを前記コア用多孔質母材の側面に一定の厚さに積層さ
せてコアとクラッドの2重構造の多孔質母材を作り、つ
いでこれを脱水、透明化してコアとクラッドを有する光
ファイバープリフォームを製造する方法において、この
脱水処理工程後の透明ガラス化を一酸化炭素を含むヘリ
ウムガス雰囲気で行ない、コアの屈折率分布に影響を与
えないでクラッド層に拡散しているドーパントを還元除
去することを特徴とする光ファイバープリフォームの製
造方法。 2、一酸化炭素がヘリウムガスに対して0.1〜2.0
体積%とされる特許請求の範囲第1項記載の光ファイバ
ープリフオームの製造方法。 3、光ファイバープリフオームが半径方向に任意の屈折
率をもったコアと一定の屈折率をもったクラッドからな
るものである特許請求の範囲第1項記載の光ファイバー
プリフォームの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62282526A JP2612871B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | グレーデットインデスク型光ファイバープリフォームの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62282526A JP2612871B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | グレーデットインデスク型光ファイバープリフォームの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01126236A true JPH01126236A (ja) | 1989-05-18 |
JP2612871B2 JP2612871B2 (ja) | 1997-05-21 |
Family
ID=17653604
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62282526A Expired - Lifetime JP2612871B2 (ja) | 1987-11-09 | 1987-11-09 | グレーデットインデスク型光ファイバープリフォームの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2612871B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004523454A (ja) * | 2000-12-22 | 2004-08-05 | コーニング インコーポレイテッド | 還元剤を用いたスート・プリフォームの処理 |
JP2008050204A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 石英ガラス体製造方法 |
JP2008094633A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材製造方法 |
JP2017526600A (ja) * | 2014-07-09 | 2017-09-14 | コーニング インコーポレイテッド | 還元雰囲気中で光ファイバを作製する方法 |
JP2018016533A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57183331A (en) * | 1981-05-06 | 1982-11-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacturing of transparent glass preform |
JPS59232928A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ用多孔質母材の処理方法 |
-
1987
- 1987-11-09 JP JP62282526A patent/JP2612871B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS57183331A (en) * | 1981-05-06 | 1982-11-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Manufacturing of transparent glass preform |
JPS59232928A (ja) * | 1983-06-13 | 1984-12-27 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光フアイバ用多孔質母材の処理方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004523454A (ja) * | 2000-12-22 | 2004-08-05 | コーニング インコーポレイテッド | 還元剤を用いたスート・プリフォームの処理 |
EP1351897A4 (en) * | 2000-12-22 | 2005-06-15 | Corning Inc | TREATMENT OF SUET PREFORMS USING A REDUCING AGENT |
KR100819581B1 (ko) * | 2000-12-22 | 2008-04-04 | 코닝 인코포레이티드 | 환원제를 이용한 수트 예형의 처리방법 |
JP2008050204A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 石英ガラス体製造方法 |
JP4640293B2 (ja) * | 2006-08-24 | 2011-03-02 | 住友電気工業株式会社 | 石英ガラス体製造方法 |
JP2008094633A (ja) * | 2006-10-05 | 2008-04-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ母材製造方法 |
JP2017526600A (ja) * | 2014-07-09 | 2017-09-14 | コーニング インコーポレイテッド | 還元雰囲気中で光ファイバを作製する方法 |
JP2018016533A (ja) * | 2016-07-29 | 2018-02-01 | 信越化学工業株式会社 | 光ファイバ用ガラス母材の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2612871B2 (ja) | 1997-05-21 |
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