JPS60234188A - 高気密性流体継手 - Google Patents
高気密性流体継手Info
- Publication number
- JPS60234188A JPS60234188A JP8950284A JP8950284A JPS60234188A JP S60234188 A JPS60234188 A JP S60234188A JP 8950284 A JP8950284 A JP 8950284A JP 8950284 A JP8950284 A JP 8950284A JP S60234188 A JPS60234188 A JP S60234188A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gasket
- sleeve
- fitted
- fluid coupling
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Joints With Pressure Members (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は 気密性に優れ、数句けも容易な袋ナツＩ−諦
め流体継手に関するものである。
め流体継手に関するものである。
近’−ｐ ｔｚ術革新のハ１２ピード化にイ’Ｈい、超
しＳＩとか超々ＬＳＩにみられるように、飛躍的１こ大
規模な集積回路を製造する必要性が生０てさている。こ
のような大規模集積回路を製造するには、半導体化合物
のガリウム砒素のような超重性ガス流体の使用や、超高
真空化に於ける高純；匹の被膜形成の必要性があること
から、その半導体製造装置には必然的に高度の気密性が
要求されてさている。
しＳＩとか超々ＬＳＩにみられるように、飛躍的１こ大
規模な集積回路を製造する必要性が生０てさている。こ
のような大規模集積回路を製造するには、半導体化合物
のガリウム砒素のような超重性ガス流体の使用や、超高
真空化に於ける高純；匹の被膜形成の必要性があること
から、その半導体製造装置には必然的に高度の気密性が
要求されてさている。
しかして、このような装置の流路形成要素を連結するに
は、全てを爆接によるのは不可能であり、メカニカルに
結合し、しかも優れた気密性を有する流体継手がなけれ
ば装置を完成させることは出来ない。このような目的に
使用する継手としては、信頼性が高いという理由で主と
して外国製のものが使用されており、各種のものがある
が、その代表的なものとしては第４図に示すような、２
つのスリーブｌ、２をガスケット３を介して連結してな
り、この連結締付けをスリーブ１に嵌着させた外周にね
じ部を形成したヴランド４に、他方のスリーブ２に嵌装
させたナツト５を螺合させることによって打なう、＋を
体継手が挙げられる。Ｌ、かじながら、このような袋ナ
ツト締めは、１）ｉ’ｉ ｇ！でスペースをとらない等
の利点かあることから特に小「１径の管の場合に多く採
用されているか、袋ナンドを締伺ける時に１袋ナツト５
とスリーブ２との斤擦により、スリーブ２に回転トルク
が加わり、その為スリーブ２に慴接した配管パイプがね
しれるとか、スリーブの回転によってガスケット表面に
傷がつさ、これが流体リークの原因になる等の欠、炉が
あった。これを防止する為、：２リーブ２を２面取りし
、この面取りした位置６にスパナを当ててスリーブ２の
回転を抑５えなから袋ナツトを締付けるフコ法が一煎に
行われている。しかしながらこの方法は、グランド４と
スリーブ２との２筒所の凹Φぺを抑さえ汁つ袋ナラＩ・
５の締イゴけをやらねばならないので １人で作業を行
なうのは不ｉ■能であり、しかも注意？’４“〈作業を
１−「わなければならないので、作業性が著しく悪い欠
点があった。
は、全てを爆接によるのは不可能であり、メカニカルに
結合し、しかも優れた気密性を有する流体継手がなけれ
ば装置を完成させることは出来ない。このような目的に
使用する継手としては、信頼性が高いという理由で主と
して外国製のものが使用されており、各種のものがある
が、その代表的なものとしては第４図に示すような、２
つのスリーブｌ、２をガスケット３を介して連結してな
り、この連結締付けをスリーブ１に嵌着させた外周にね
じ部を形成したヴランド４に、他方のスリーブ２に嵌装
させたナツト５を螺合させることによって打なう、＋を
体継手が挙げられる。Ｌ、かじながら、このような袋ナ
ツト締めは、１）ｉ’ｉ ｇ！でスペースをとらない等
の利点かあることから特に小「１径の管の場合に多く採
用されているか、袋ナンドを締伺ける時に１袋ナツト５
とスリーブ２との斤擦により、スリーブ２に回転トルク
が加わり、その為スリーブ２に慴接した配管パイプがね
しれるとか、スリーブの回転によってガスケット表面に
傷がつさ、これが流体リークの原因になる等の欠、炉が
あった。これを防止する為、：２リーブ２を２面取りし
、この面取りした位置６にスパナを当ててスリーブ２の
回転を抑５えなから袋ナツトを締付けるフコ法が一煎に
行われている。しかしながらこの方法は、グランド４と
スリーブ２との２筒所の凹Φぺを抑さえ汁つ袋ナラＩ・
５の締イゴけをやらねばならないので １人で作業を行
なうのは不ｉ■能であり、しかも注意？’４“〈作業を
１−「わなければならないので、作業性が著しく悪い欠
点があった。
本発明者は、この点に着目１−５．鋭意研究の結果、１
−記欠点が解消でき、しかも抜群の気密性を示す袋ナラ
Ｉ・締め流体継手の開発に成功し、本発明に到達した◇ ｌ！βち、一本発明は、管体の一端外周にねし部を設け
たホゾ−と、ガスケットを介して該ボデーのねしΔ１（
側の透孔と当接連通する先端外周に短ｉｉｉ状部を、没
けた償・体からなるスリーブと、該スリーブに嵌装され
前記ボデーのオシ部と螺合して前記ボデーと前記スリー
ブとを強固に締付ける袋ナツトとからなる流体継手に於
いて、前記ガスケットは、リング状コイルスプリングを
断ｒＦ＋ｉ Ｃ７汰の金属性チューブで抱持してなり、
そ１−で前記知環状部の管側の面には多数の小球を嵌合
させたリング状の溝を設けたことを特徴とする。
−記欠点が解消でき、しかも抜群の気密性を示す袋ナラ
Ｉ・締め流体継手の開発に成功し、本発明に到達した◇ ｌ！βち、一本発明は、管体の一端外周にねし部を設け
たホゾ−と、ガスケットを介して該ボデーのねしΔ１（
側の透孔と当接連通する先端外周に短ｉｉｉ状部を、没
けた償・体からなるスリーブと、該スリーブに嵌装され
前記ボデーのオシ部と螺合して前記ボデーと前記スリー
ブとを強固に締付ける袋ナツトとからなる流体継手に於
いて、前記ガスケットは、リング状コイルスプリングを
断ｒＦ＋ｉ Ｃ７汰の金属性チューブで抱持してなり、
そ１−で前記知環状部の管側の面には多数の小球を嵌合
させたリング状の溝を設けたことを特徴とする。
次に、本発明の実施例を図面に基すいて説明する。
７４１図に於いて、１１はボデーであり、１２はスリー
ブであり、１３は袋ナツトであり、袋ナラｉ・１３はス
リーブ１２に嵌装されている。
ブであり、１３は袋ナツトであり、袋ナラｉ・１３はス
リーブ１２に嵌装されている。
＋ｉｉｉ記ボデー１１はその中心に透孔をイ９し、一端
外周には、ねじ部１４か設けられており、更にねし部と
連設して、外周には外形多角形の突起２５をもっている
。＋ｉ１７記ねし部１４に袋す・ソト１３を螺合させる
ことによって スリーブ１２をガスケツ！・１５を介し
てボデー１１に締付けている。
外周には、ねじ部１４か設けられており、更にねし部と
連設して、外周には外形多角形の突起２５をもっている
。＋ｉ１７記ねし部１４に袋す・ソト１３を螺合させる
ことによって スリーブ１２をガスケツ！・１５を介し
てボデー１１に締付けている。
スリーブ１２はその中心に透孔を有し、その先端外周に
は、帰環状部１６が設けられており、該帰環状部の袋ナ
ツトに圧接される面には、第２図に示すようにベアリン
グの作用をする多数の小球１７を嵌合させたリング状溝
１８が設けられている。
は、帰環状部１６が設けられており、該帰環状部の袋ナ
ツトに圧接される面には、第２図に示すようにベアリン
グの作用をする多数の小球１７を嵌合させたリング状溝
１８が設けられている。
このように、本発明に於いては、多数の小球を嵌合させ
たリング状溝１８が設けられているので、袋ナツト１３
をボデーのねじ部１４と螺合させる際、スリーブ１２に
回転Ｉ・ルクがかかつても、袋ナツト１３とスリーブ１
２とは空転し、スリーブ１２には成る程度以」二の力が
かかウナいようになっている。
たリング状溝１８が設けられているので、袋ナツト１３
をボデーのねじ部１４と螺合させる際、スリーブ１２に
回転Ｉ・ルクがかかつても、袋ナツト１３とスリーブ１
２とは空転し、スリーブ１２には成る程度以」二の力が
かかウナいようになっている。
前記スリーブの管端とボデーの管端とは、慴接によって
パイプに連結されるものであり、それによって２６．２
７間の流体通路は連通ずるものである。
パイプに連結されるものであり、それによって２６．２
７間の流体通路は連通ずるものである。
］−記笑施例で使用したガスケツ）１５は、第３図に示
すように、比較的細い螺旋状コイルバネの両端をつない
で円形にしたコイルスプリング１９を、金属製被覆材２
０で、外側の中心が空くように被覆することにより構成
されている。コイルスプリングの材質としては、例えば
、ヌテンレス若しくはインコネル材等が、被覆材の材質
としては、アルミニウム、ニッケル、調子ネル等が好適
に使用される。
すように、比較的細い螺旋状コイルバネの両端をつない
で円形にしたコイルスプリング１９を、金属製被覆材２
０で、外側の中心が空くように被覆することにより構成
されている。コイルスプリングの材質としては、例えば
、ヌテンレス若しくはインコネル材等が、被覆材の材質
としては、アルミニウム、ニッケル、調子ネル等が好適
に使用される。
このように、本発明のガスケットは、コイルスプリング
を内装しているので、従来のメタル０す／グやメタルＣ
リングと比較してはるかにりｉ性が強く、その為このガ
スケット１５に圧力がかかるとその圧力に抗する強い反
発力がはたりぐことから、高度の気密性が得られると考
えられる。
を内装しているので、従来のメタル０す／グやメタルＣ
リングと比較してはるかにりｉ性が強く、その為このガ
スケット１５に圧力がかかるとその圧力に抗する強い反
発力がはたりぐことから、高度の気密性が得られると考
えられる。
上記構成を有する流体継Ｊ−に、その機能を更に］−分
発押させるため、上記実施例に於いてはボディ１１のね
じ１４側の端面には環状の凹み部２１を設け、ス１）−
ブ１２のガスケット１５に当接する面には該凹み部２１
に嵌合する凸起部２２を設けている。
発押させるため、上記実施例に於いてはボディ１１のね
じ１４側の端面には環状の凹み部２１を設け、ス１）−
ブ１２のガスケット１５に当接する面には該凹み部２１
に嵌合する凸起部２２を設けている。
ガスケット１５は、この凹み部２１に嵌入され、凸起部
２２で圧接される。この凹み部２１の深さと、凸起部２
２の高さとは、ガスケットを有効弾性圧縮酸まで圧接し
た時、凸起部２２の段部２３がボディの端面２４に止る
ように設ｖしておく。
２２で圧接される。この凹み部２１の深さと、凸起部２
２の高さとは、ガスケットを有効弾性圧縮酸まで圧接し
た時、凸起部２２の段部２３がボディの端面２４に止る
ように設ｖしておく。
従来の外国製の流体継手は、ガスケットの有効圧縮量を
ナラ］・の給料は回転数で表示しているが、この回転数
はガスケットの設定位置とか材質等によって、実際の作
業−にに於いては一定とならないケースが生しる。その
為、リークタイトを気にする余り、過給をすることにな
るがその結果ガスケットが損傷したり破断したりする問
題があった。このようにガスケットが損傷すると１例え
それが僅かのものであっても、［ｄ触部の平面性が損わ
れることになって、気密性が悪化する。しかして、上記
実施例に於いては、凸起部の段部によって、ガスケット
は有効比縮量以−ヒは圧縮されないようにしているので
ガスケットが損傷し易いという従来のガスケットの欠点
は除去される。
ナラ］・の給料は回転数で表示しているが、この回転数
はガスケットの設定位置とか材質等によって、実際の作
業−にに於いては一定とならないケースが生しる。その
為、リークタイトを気にする余り、過給をすることにな
るがその結果ガスケットが損傷したり破断したりする問
題があった。このようにガスケットが損傷すると１例え
それが僅かのものであっても、［ｄ触部の平面性が損わ
れることになって、気密性が悪化する。しかして、上記
実施例に於いては、凸起部の段部によって、ガスケット
は有効比縮量以−ヒは圧縮されないようにしているので
ガスケットが損傷し易いという従来のガスケットの欠点
は除去される。
このように本発明の流体継手は、特殊のガスケツトヲ使
用しているので気密性に極めて優れているか、更にシー
ル面をロールバニシング処理することによって、その気
密性は、飛躍的に…１ヒする。
用しているので気密性に極めて優れているか、更にシー
ル面をロールバニシング処理することによって、その気
密性は、飛躍的に…１ヒする。
例えば−に記実施例の流体継手のシール面を３．２５相
度の旋削とし、これにロールバニシング処理を施せば、
１〜２秒間の加工時間で容易に１．０５〜０．７５粗度
の鏡面が得られる。
度の旋削とし、これにロールバニシング処理を施せば、
１〜２秒間の加工時間で容易に１．０５〜０．７５粗度
の鏡面が得られる。
このように処理した継手は、気密性が抜群によ＜ 、
＋Ｊｉ練者でなくても、ヘリウムリークレートで１０
ａｔｍａｃｃ／ｓｅｅの高気密性の流体継手を容易に得
ることか出来る。またこのバニシング処理によって、表
面硬度が向干しくヌテンレスの場合ＲＩ材硬度１８０
ＨＢ ｌｉ＋１１度のものか ３００ＨＢ以１＝の硬度
となる）、その為ガスケットに気密性劣化の原因となる
微細線状傷が形成され難くなり、取扱いに過大な注意も
要さない等の利へか得られる。
＋Ｊｉ練者でなくても、ヘリウムリークレートで１０
ａｔｍａｃｃ／ｓｅｅの高気密性の流体継手を容易に得
ることか出来る。またこのバニシング処理によって、表
面硬度が向干しくヌテンレスの場合ＲＩ材硬度１８０
ＨＢ ｌｉ＋１１度のものか ３００ＨＢ以１＝の硬度
となる）、その為ガスケットに気密性劣化の原因となる
微細線状傷が形成され難くなり、取扱いに過大な注意も
要さない等の利へか得られる。
以」二述べた如く、本発明では袋ナツトとスリーブとの
当接面に多数の小球を嵌合させたリング吠溝を形成して
いるので１袋ナンドを給料ける時その回転力がそのまま
スリーブに伝わることがなく、その為スリーブの回転に
伴いガスケットが傷つくとか、スリーブに連結した管が
ねじれる等の欠へか解消出来、また作業性にも優れてい
るほか、更にガスケットは内部にコイルスプリングを内
装しているので、弾性に優れその為高度の気密性が得ら
れる等多くの利点を併有する。また本発明のガスケット
は金属製の為高湿に対する耐性に優れると共に、材質を
ｊ家？すれば耐食性に優れたものとすることも出来、し
かも樹脂やゴムのガスケットのように気体透過性を示さ
ない・
当接面に多数の小球を嵌合させたリング吠溝を形成して
いるので１袋ナンドを給料ける時その回転力がそのまま
スリーブに伝わることがなく、その為スリーブの回転に
伴いガスケットが傷つくとか、スリーブに連結した管が
ねじれる等の欠へか解消出来、また作業性にも優れてい
るほか、更にガスケットは内部にコイルスプリングを内
装しているので、弾性に優れその為高度の気密性が得ら
れる等多くの利点を併有する。また本発明のガスケット
は金属製の為高湿に対する耐性に優れると共に、材質を
ｊ家？すれば耐食性に優れたものとすることも出来、し
かも樹脂やゴムのガスケットのように気体透過性を示さ
ない・
第１図は、本発明の実施例を示す半断面図、第２図は、
本発明のスリーブの斜視図。 第３図は、本発明のガスケットの一部切欠斜視図、 第４図は従来の流体継手を示す断面図である図中。 １１−・・ポデー 、１２・・・スリーブ１３１ＩＩＩ
１１袋ナツト、１４・・・ねじ部１５串・ガスケット、
１６φ・・帰環状部１７・φφ小球 、１８・・Φリン
グ状溝１９・・・コイルスプリング ２０・Ｑ９金属製チューブ（金属製被覆材）特許出願人
有限会社 ニス デー シ−第２ｒ！ｌＪ 第８因
本発明のスリーブの斜視図。 第３図は、本発明のガスケットの一部切欠斜視図、 第４図は従来の流体継手を示す断面図である図中。 １１−・・ポデー 、１２・・・スリーブ１３１ＩＩＩ
１１袋ナツト、１４・・・ねじ部１５串・ガスケット、
１６φ・・帰環状部１７・φφ小球 、１８・・Φリン
グ状溝１９・・・コイルスプリング ２０・Ｑ９金属製チューブ（金属製被覆材）特許出願人
有限会社 ニス デー シ−第２ｒ！ｌＪ 第８因
Claims (1)
- （′１）管体の一端外周にねじｆイＢを設けたボデーと
、ガスケットを介して該ボデーのねじ部側の透孔と尚接
連通する先端外周に短環状部を設けた管体からなるスリ
ーブと、該７リーブに嵌装され前記ボテ−の２・シ部々
峠合し７て前記ホゾ−と＋ノリ記スリーブとを強固に締
伺ける袋ナツトとからなる流体継手に於いて、前記ガス
ケットは、リング状コイルスプリングを断面Ｃ字状の金
属性チューブで抱持してなり、そして前記３（１環状部
の管側の面には多数の小球を嵌合させたリング状溝を設
けたことを特徴とする高）、に外袋ナツト締め流体継ｆ
−０
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8950284A JPS60234188A (ja) | 1984-05-07 | 1984-05-07 | 高気密性流体継手 |
| US06/804,162 US4660868A (en) | 1984-05-07 | 1985-12-03 | Fluid coupling having high sealability |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8950284A JPS60234188A (ja) | 1984-05-07 | 1984-05-07 | 高気密性流体継手 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60234188A true JPS60234188A (ja) | 1985-11-20 |
Family
ID=13972541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8950284A Pending JPS60234188A (ja) | 1984-05-07 | 1984-05-07 | 高気密性流体継手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60234188A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275188A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | 三興工業株式会社 | 超精密配管継手 |
| JPH08769U (ja) * | 1995-03-29 | 1996-05-07 | 日本タイラン株式会社 | メタルシールの取付構造 |
| JP2011517051A (ja) * | 2008-04-15 | 2011-05-26 | ローデ ウント シュバルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディト ゲゼルシャフト | ボールベアリングを備える同軸プラグコネクタ部 |
-
1984
- 1984-05-07 JP JP8950284A patent/JPS60234188A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6275188A (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-07 | 三興工業株式会社 | 超精密配管継手 |
| DE3612669A1 (de) * | 1985-09-30 | 1987-04-09 | Sanko Kogyo | Hochfein gefertigte rohrverbindung |
| JPH0219356B2 (ja) * | 1985-09-30 | 1990-05-01 | Sanko Kogyo | |
| JPH08769U (ja) * | 1995-03-29 | 1996-05-07 | 日本タイラン株式会社 | メタルシールの取付構造 |
| JP2011517051A (ja) * | 2008-04-15 | 2011-05-26 | ローデ ウント シュバルツ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディト ゲゼルシャフト | ボールベアリングを備える同軸プラグコネクタ部 |
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