JPS6213894A - 小球を保持させたナツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、ナツト締め付けで生ずる回転トルクが、配管
に伝わらないようにしたナツトに関するものである。

［従来技術及びその問題点］ 近年技術革新のハイスピード化に伴い、超ＬＳＩとか超
々ＬＳＩにみられるように、飛躍的に大規模な集積回路
を製造する必要性が生じてきている。このような大規模
集積回路を製造するには、半導体化合物のガリウム砒素
のような超電性ガス流体の使用や、超高真空化に於ける
高純度の被膜形成の必要性があることから、その半導体
製造装置には必然的に高度の気密性が要求されてきてい
る。

しかして、このような装置の流路形成要素を連結するに
は、全てを爆接によるのは不可能であり、メカニカルに
結合し、しかも優れた気密性を有する流体継手がなけれ
ば装置を完成させることは出来ない、このような目的に
使用する継手としては、各種のものがあるが、その代表
的なものとしては第９図に示すような、２つのスリーブ
１．２をガスケット３を介して連結してなり、この連結
締付けは、スリーブｌに嵌着させた外周にねじ部を形成
したグランド４に、他方のスリーブ２に嵌装させたナツ
ト５を螺合させることによって行なう流体継手が挙げら
れる。しかしながら、このような袋ナツト締めは、簡便
でスペースをとらない等の利点があることから特に小口
径の管の場合に多く採用されているが、袋ナツトを締付
ける時に、袋ナツト（メスナツト）５とスリーブ２との
摩擦により、スリーブ２に回転トルクが加わり、その為
スリーブ２に爆接した配管パイプがねじれるとか、スリ
ーブの回転によってガスケット表面に傷がつき、これが
流体リークの原因になる等の欠点があった。これを防止
する為、スリーブ２を２面取りし、この面取りした位置
６にスパナを当ててスリーブ２の回転を抑さえなから袋
ナツトを締付ける方法が一般に行われている。しかしな
がらこの方法は、グランド４とスリーブ２との２箇所の
回転を抑さえ且つ袋ナツト５の締付けをやらねばならな
いので、１人で作業を行なうのは不可能であり、しかも
注意深く作業を行わなければならないので１作業能率が
著しく悪い欠点があった。

ｒ問題点を解決するための手段」 本発明は、この点に着目してなされたものであり、メス
ナツト若しくはオスナツトを締め付けるとき、該メスナ
ツト若しくはオスナツトがスリーブを押圧する面に相当
する位置に、小球を保持させ、無理な力が掛ったときは
、ナツトとスリーブとが回転して、回転トルクが配管に
伝わらないようにしたことを特徴とする。

「実施例」 次に、本発明の実施例を図面に基すいて説明する。図中
、同一番号は同一名称を示す。

第１図は、本発明の実施例を示すもので、内面にネジ部
２８を設けたメスナツト（袋ナツト）１１のスリーブを
圧接する面には、ベアリングの作用をする多数の小球１
７が、リング状の溝１２中に嵌合されている。

第２図は、上記メスナツトを使用した流体継手を示すも
のであり、ポデー１３とスリーブ１４とが、ガスケット
１５を介して当接し流体通路を形成しており、メスナツ
ト１１は、スリーブ１４の外周に嵌合し、ポデー外周の
ネジ部１９に螺合して、スリーブ１４をガスケット１５
を介してポデー１１に締付けている例を示す。スリーブ
１４の先端外周にはフランジ部１６が設けられており、
メスナツト１１に保持させた小球１７は、このフランジ
部に当接する。このようにすると、袋ナツトを通線して
も、袋ナツトとスリーブとが１回転し、回転トルクがス
リーブに伝わらないようにな上記流体継手に使用したガ
スケツ）１５は、第３図に示すように、コイルスプリン
グ２０を、金属製被覆材１８で、外側の中心が空くよう
に被覆することにより構成されている。これは必ずしも
このようでなくともよいが、このようなガスケットを使
用すると流体継手に高度の気密性が付与される。

第４図は１本考案の他の実施例を示すもので、オスナツ
ト２５の先端に形成した溝２６に多数の小球１７が嵌合
されている。尚、図中２７は外周に形成したネジ部を表
す。

第５図は、上記オスナツト２５を使用した流体継手を示
すものであり、２つのスリーブ１６．１６′をガスケッ
ト１５′を介して連結してなり、この連結締付けは、ス
リーブ１６′の外周に嵌合させたオスナツト２５の外周
ネジ部２７にメスナツトｌｌ′を螺合している。この場
合、メスナツト１１′を通線すると、オスナツト２５と
スリーブ１１”とが、小球１７を介して回動する。

第６図は、第５図のオスナツトを使用した他の例を示す
ものであり、第３図に示すガスケットを使用する以外は
、第５図の流体継手と同様に構成されている。

上記第６図に示す流体継手に於いては、スリーブ３λの
ガスケツ）１５との当接面には、環状の凹部２１を設け
、スリーブ３２′のガスケツ）１５に当接する面には、
該凹部２１に嵌合する凸起部２２を設けている。このよ
うにすると、ガスケツ）１５を有効弾性圧縮量まで圧接
した時、凸起部２２の段部２３がボディの端面２４に止
るので、有効圧縮量以上は圧縮されず、ガスケットの損
傷が効果的に防止される。

本考案のナツトは、上記したような流体継手としてばか
りでなく、ネジによる締付けをする場合に、その回転ト
ルクが伝わっては具合が悪い他の用途に使用することも
できる０例えば、第７図及び第８図に、圧力センサ２９
をポデー３０に気密に締め付けるオスナツト２５若しく
はメスナツト１１として使用する例を示す。

従来は上記したような場合には、一般的なベアリングを
入れていたが、寸法制限があったりすると、少量では特
殊寸法のベアリングは高価テ使イ切れない欠点があった
が、本発明によれば、ナツトに直接ポールベアリング効
果が付与されるの７、自由に設計ができ、且つ安価に製
作できる利点が得られる。

「発明の効果」 以上説明したように、本発明によれば、ナツトのスリー
ブを押圧する面に相当する位置に小球を保持させたので
、成る程度以上締め付けるとナツトとスリーブ等とが回
転し、ナツト締め付けで生ずる回転トルクを配管に伝え
ないようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の実施例を示す断面図、第２図は、本
発明のナツトを使用した流体継手の半断面図、 第３図は、ガスケットの一部切欠斜視図、第４図は、本
発明の他の実施例を示す断面図。 第５図及び第６図は１本発明のナツトを使用した他の流
体継手の半断面図、 第７図及び第８図は、本発明のナツトを使用した他の半
断面図、 第９図は従来の流体継手を示す断面図である。 図中。 １１・・・メスナツト、１７・・・小球、２５・・・オ
スナツト 特許出願人　　有限会社　ニス　デー　シー第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第７図 第８図 第９図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）メスナット若しくはオスナットを締め付けるとき
   、該メスナット若しくはオスナットがスリーブを押圧す
   る面に相当する位置に、小球を保持させたことを特徴と
   するナット。