JPS60229303A - 非線型抵抗素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は非線型抵抗素子に関する、 〔従来技術〕 近年、液晶表示素子の応用が腕時計、電卓等を代表とし
て、広い分野で用いられている。その表示体の液晶の駆
動素子として、非線型抵抗素子が用いられる（参照：特
開昭５７−１１８６０１１にれらの素子は陽極酸化によ
り酔イヒ嘩をνｂＶ、　してぃた。この工程Ｒ５特開昭
５７−１＋８６０１にあるよｌＩＫ、クエン酸水溶液４
＝前後の処ｆＩＩＩ漣液ｆ通すため、ある程度の不純物
の混入は濾けられなか−だ。

そのため、素子性能のバラツキ原１刀となり、歩留り低
下の一因にもなっていた、 〔目的〕 不純物混入を防ぐ最善の方法は、製造−「稈に溶液をで
きるだけ使用しない乾式１８を導入することである。本
発明は、従来技術の陽極酸化忙帰因する欠点を解決する
もので、金属とｓｉの化合物（以下メタルシリサイドと
呼ぶ）を非線型抵抗零子の一方の金属と使用することに
より、乾式による製造工桿を可能にし、不純物混入の曹
因を低減し、歩留り向上を計るものである。

〔発明の要約〕

素子基板の上にメタルシリサイドをスパッタで形成後、
必要なパターニングを施し、９章雰囲気により熱処理を
行う。すると、メタルシリサイドの表面にシリコン（Ｓ
マ°）が析出、５ｈ、その厚みは、熱処理温度と時間に
より制御１ジねろ。必要なＳｉ膜を形５ｖ徒、熱酸化処
理を施す、この時点で、非線型抵抗素子として重要な酸
イヒＩＩＩか形成ばれる。この後で、対向１１ｊとして
の金属をつけて、素子として完成シせる。

、二のよう（で、本発明忙よれば、いわゆる湿式法とい
われる酸化法を使用せずにすむため、品質に優れｆｃ酸
化膜が期待でき、素子性能を安定化ζせることかできる
。

〔実施例：〕

本発明により構ｂｖシた素子の断面図１を用いて実施例
を峻明する。

ガラス基板１をＳ　Ｌ　０２薄膜２で被覆し、ＲＦスバ
・ツタによりｙｏｓ％薄膜ｆ　２０００　Ａ　′８度つ
ける、薄膜全所定の形状にエツチングした後、最初馬ア
ニールを次にＯ，アニールを施す。この時点で素子とし
て重要な酸化罐層が形成をれる。不要部分をエーノ千ン
グしてｙｏｓｉ、膜部３及び酸化幅部４ｆ残す。

その上ＶｃＮｉ　−Ｏｒ／Ａｕを２ｏｏｏｉの厚百に蒸
着し、所定形状に工・Ｉチングして対向電極を兼ねたリ
ード部５とする。液晶ｆ駆動する場合け、シらにＩ？Ｌ
２０３の透明電極６を設ける。

以上説明しｆｔよへに１本発明によれば通常の■Ｃ工穆
が利用でき、品質保証も得られやすい。従って、非線型
抵抗素子として安定な駆動が期待でき、大型表示体への
応用が可卵となる、本発明により作られた素子の駆動例
を＠２図に示す。

〔効果〕

非線型抵抗素子にメタルシリサイド、Ｉｌ！ＬＫＷ８ｉ
２やＭｏＦｊ２のような高融点金楓化合物を使用すれげ
辿常の半導体の製造工程での処理が可能となるため、高
品質の保証ができ、素子を数万個やそれ以上イ４Ｉ用す
る大型パネルへ応用ハしても品質トラブルの低減が期待
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図二本発明実施例の素子の断面構成を示す。 第２図二本発明実施例の素子の電圧−電流特性を示す。 　μＪ　上

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 金属−酸化膵一金属（対向電極）の構造をした非線型抵
   抗孝子において、金属とシリコンＳｉの化合物薄膜を形
   成後、熱処理により該酸イ、膜を形成し、その後、該金
   属（対向電極）ｆつけることを特徴とする非線型抵抗素
   子。