JPS60213473A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPS60213473A JPS60213473A JP6725884A JP6725884A JPS60213473A JP S60213473 A JPS60213473 A JP S60213473A JP 6725884 A JP6725884 A JP 6725884A JP 6725884 A JP6725884 A JP 6725884A JP S60213473 A JPS60213473 A JP S60213473A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning liquid
- belt
- polishing
- abrasive belt
- polishing belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ）産業上の利用分野
この発明は被加工材を研削加工する研磨装置、詳しくは
洸７４１ ？＆により研磨ベルトの目詰り或いは研磨ベ
ルトの焼けを防止し、長期に亘って被加工材の研削加工
を安定的に行い得る研ＪＩｉ装置に関する。
洸７４１ ？＆により研磨ベルトの目詰り或いは研磨ベ
ルトの焼けを防止し、長期に亘って被加工材の研削加工
を安定的に行い得る研ＪＩｉ装置に関する。
（ｂ）従来技術
本出願人は例えば特公昭５１−４３２３７号において走
行する研磨ベルトに対し、弾性体が被覆されたロールを
圧接可能に配置し、この研磨ベルトとロールとの間に形
成される略■字状の空間部分に洗浄液を供給する洗浄液
供給装置及びこの空間部分に貯えられた作用後の洗浄液
を回収する集液フードとを倫えた研磨装置を提案した。
行する研磨ベルトに対し、弾性体が被覆されたロールを
圧接可能に配置し、この研磨ベルトとロールとの間に形
成される略■字状の空間部分に洗浄液を供給する洗浄液
供給装置及びこの空間部分に貯えられた作用後の洗浄液
を回収する集液フードとを倫えた研磨装置を提案した。
（ｃ）発明が解決しようとする問題点
この装置は研磨ベルトの走行及びロールの回転に伴って
空間部分に貯えられた洗浄液を攪拌させることにより研
磨ベルト面に付着した研削屑を洗浄除去すると共に研削
加工時に発生する研磨ベルトの摩擦熱を冷却していた。
空間部分に貯えられた洗浄液を攪拌させることにより研
磨ベルト面に付着した研削屑を洗浄除去すると共に研削
加工時に発生する研磨ベルトの摩擦熱を冷却していた。
然し乍、その洗浄能力は洗浄液の攪拌状態に大きく依存
していた。このため研磨ベルト及びロールを高速度で走
行並びに回転させることが望ましいが、研磨ベルト及び
ロールを高速度で走行並びに回転駆動した場合には研磨
ベルトに付着した洗浄液の除去回収が不充分となり、ま
た反対にこれらの走行及び回転速度を低速とした場合に
は研磨ベルトの洗浄能力が低下する問題を有していた。
していた。このため研磨ベルト及びロールを高速度で走
行並びに回転させることが望ましいが、研磨ベルト及び
ロールを高速度で走行並びに回転駆動した場合には研磨
ベルトに付着した洗浄液の除去回収が不充分となり、ま
た反対にこれらの走行及び回転速度を低速とした場合に
は研磨ベルトの洗浄能力が低下する問題を有していた。
このため被加工材に洗浄液が付着し、被加工材の品質が
悪くなると共に研磨ベルトの寿命が短期化する問題を有
していた。
悪くなると共に研磨ベルトの寿命が短期化する問題を有
していた。
またこの種の研磨装置にあっては特に研磨ベルトが荒い
場合には洗浄液が砥粒間を伝わるため、ロールの圧接に
より研磨ベルトに付着した洗浄液を充分に除去すること
がより困難であり、被加工材に洗浄液が付着する虞れを
有していた。
場合には洗浄液が砥粒間を伝わるため、ロールの圧接に
より研磨ベルトに付着した洗浄液を充分に除去すること
がより困難であり、被加工材に洗浄液が付着する虞れを
有していた。
（ｄ）問題点を解決するための手段
この発明の目的は上記した従来の欠点に鑑み、簡易な構
成により研磨ベルトに付着した研削屑を除去すると共に
作用後の洗浄液を効率的に回収し、被加工材に対する洗
浄液の付着をより少なくし得る研磨装置を提供すること
にある。
成により研磨ベルトに付着した研削屑を除去すると共に
作用後の洗浄液を効率的に回収し、被加工材に対する洗
浄液の付着をより少なくし得る研磨装置を提供すること
にある。
このため本発明は、研削加工位置に搬入された被加工材
に走行する研磨ベルトを接触させて被加工材を研削加工
する研磨装置において、走行する研磨ベルトに対し洗浄
液を噴射し、研磨ベルトに対する洗浄液の噴射圧により
該研磨ベルトに付着した研削屑を除去する洗浄液噴射装
置…１記洗浄液噴射装置と対向的に配置され、研磨ベル
ト面に噴射された作用後の洗浄液を吸引回収する洗浄液
吸引装置とにより研磨装置を構成して−いる。
に走行する研磨ベルトを接触させて被加工材を研削加工
する研磨装置において、走行する研磨ベルトに対し洗浄
液を噴射し、研磨ベルトに対する洗浄液の噴射圧により
該研磨ベルトに付着した研削屑を除去する洗浄液噴射装
置…１記洗浄液噴射装置と対向的に配置され、研磨ベル
ト面に噴射された作用後の洗浄液を吸引回収する洗浄液
吸引装置とにより研磨装置を構成して−いる。
（ｃ）発明の作用
本発明によれば、洗浄液噴射装置により走行する研磨ベ
ルトに対しその走行直交方向の略全体に亘って洗浄液を
噴射し、研磨ベルトに対する洗浄液の噴射圧により研磨
ベルトにおける砥粒間の研削屑を吹き飛ばすと共に洗浄
液吸引装置によりこの作用後の洗浄液を回収している。
ルトに対しその走行直交方向の略全体に亘って洗浄液を
噴射し、研磨ベルトに対する洗浄液の噴射圧により研磨
ベルトにおける砥粒間の研削屑を吹き飛ばすと共に洗浄
液吸引装置によりこの作用後の洗浄液を回収している。
（ｆ）発明の効果
このため、本発明は研磨ベルト面
ｍＥさに影響されることなく該研磨ベルトに付着した研
削屑を洗浄液により除去すると共に作用後の洗浄液を効
果的に回収し、被加工材に対する洗浄Ｍの付着をより少
なくすることが出来る。
削屑を洗浄液により除去すると共に作用後の洗浄液を効
果的に回収し、被加工材に対する洗浄Ｍの付着をより少
なくすることが出来る。
（ｇ）実施例
以下、本発明を研磨ベルトが走行可能に支持されだワイ
ドベルト形式からなる研磨装置に実施した一実施例を図
面に従って説明する。
ドベルト形式からなる研磨装置に実施した一実施例を図
面に従って説明する。
研磨装置の概略を示す第１図及び研磨ベルトに対する洗
浄液の噴射状態を示す第２図において、研磨装置１の本
体フレーム（図示せず）には駆動ロール３と従転ロール
２・４が夫々回転可能に支持されている。前記駆動ロー
ル３は駆動モータ〔図示せず〕に駆動連結されている。
浄液の噴射状態を示す第２図において、研磨装置１の本
体フレーム（図示せず）には駆動ロール３と従転ロール
２・４が夫々回転可能に支持されている。前記駆動ロー
ル３は駆動モータ〔図示せず〕に駆動連結されている。
そしてこれら駆動ロール３と従転ロール２・４には走行
直交方向幅が幅広状の研磨ベルト６が図中実線矢印方向
へ走行可能に弓長股されている。この研磨ベルト６は走
行駆動時には従転ロール２をシリンダー（図示せず）に
より上動させることにより緊張した状態で、反対に走行
停止時には従転ロール２の下動により地縁した状態に張
設される。０１１記従転ロール３・４との間には加圧ロ
ール７が取付けられている。この加圧ロール７は支持ロ
ール８・９・１０により支持された被加工材Ｗの上面に
対し研削加工位置ａにおいて研磨ベルト６を接触させる
。
直交方向幅が幅広状の研磨ベルト６が図中実線矢印方向
へ走行可能に弓長股されている。この研磨ベルト６は走
行駆動時には従転ロール２をシリンダー（図示せず）に
より上動させることにより緊張した状態で、反対に走行
停止時には従転ロール２の下動により地縁した状態に張
設される。０１１記従転ロール３・４との間には加圧ロ
ール７が取付けられている。この加圧ロール７は支持ロ
ール８・９・１０により支持された被加工材Ｗの上面に
対し研削加工位置ａにおいて研磨ベルト６を接触させる
。
ｎ１１記研削加工位置ａより走行方向上手側に位置する
従転ロール４側には圧接ロール１１が従転可能に支持さ
れている。この圧接ロール１１はその外周面にカム或い
は合成樹脂相等の弾性部材１１ａが被覆形成され、走行
する研磨ベルト６に圧接する。またｎ１１記圧接ロール
１１の上方には洗浄１ｆｋ噴射装置１２が配置されてい
る。この洗浄液噴射装置α１２は第２図に示すように前
記研磨ベルト６に対しその走行方向と逆方向でその走行
直交方向の略全体に亘って洗浄７夜をカーテン状に噴射
する。
従転ロール４側には圧接ロール１１が従転可能に支持さ
れている。この圧接ロール１１はその外周面にカム或い
は合成樹脂相等の弾性部材１１ａが被覆形成され、走行
する研磨ベルト６に圧接する。またｎ１１記圧接ロール
１１の上方には洗浄１ｆｋ噴射装置１２が配置されてい
る。この洗浄液噴射装置α１２は第２図に示すように前
記研磨ベルト６に対しその走行方向と逆方向でその走行
直交方向の略全体に亘って洗浄７夜をカーテン状に噴射
する。
またｌｉ′ｌＪ記洗浄１夜噴射装置１２の上方には洗浄
液吸引装置１３が対向的に取付けられ、この洗浄液吸引
装置１３は研磨ベルト６上に噴射された洗浄液を吸引す
る。またｍｌ記圧接ロール１１及び従転ロール４の下方
には集液器１４が取付けられ、この集イ夜皿１４は圧接
ロール１１の回転に伴って研磨ベルト６から分離した洗
浄液を回収するものである。
液吸引装置１３が対向的に取付けられ、この洗浄液吸引
装置１３は研磨ベルト６上に噴射された洗浄液を吸引す
る。またｍｌ記圧接ロール１１及び従転ロール４の下方
には集液器１４が取付けられ、この集イ夜皿１４は圧接
ロール１１の回転に伴って研磨ベルト６から分離した洗
浄液を回収するものである。
次に本実施例の作用を説明する。
先ず、従転ロール２を上動させることにより駆動ロール
３と従転ロール２・４との間に亘って研ｌｒｆベルト６
を緊張させた後、駆動ロール３の回転に伴って研磨ベル
ト６を図中実線矢印方向へ走行駆動させる。この状態に
おいて第１図実線矢印方向或いは破線矢印方向から被加
工材Ｗが研削加工位置ａに搬入されると、該被加工材Ｗ
の上面は研磨ベルト６の走行に伴って研削加工される。
３と従転ロール２・４との間に亘って研ｌｒｆベルト６
を緊張させた後、駆動ロール３の回転に伴って研磨ベル
ト６を図中実線矢印方向へ走行駆動させる。この状態に
おいて第１図実線矢印方向或いは破線矢印方向から被加
工材Ｗが研削加工位置ａに搬入されると、該被加工材Ｗ
の上面は研磨ベルト６の走行に伴って研削加工される。
また、上記研削加工に伴って研削屑が付着した研磨ベル
ト６に対し、洗浄液噴射装置１２から研磨ベルト６の走
行方向と逆方向へ洗浄液をカーテン状に噴射させる。こ
の時、研磨ベルト６に対する洗浄液の噴射圧は洸ｌｌＩ
液の作用圧及び研磨ベルト６の走行速度との相対速度に
対応するため、研磨ベルト６の砥粒間に付着した研削屑
を洗浄液の噴射圧により噴射除去する。また研磨ベルト
６に対し洗浄Ｉ＋１はカーテン状に噴射されるため、研
磨ベルト６に噴射された洗浄後の洗浄液の大部分が研磨
ベル１−６に噴射された箇所より圧接ロールｌｌ側へ落
下するのを規制する。そして上記作用後の洗ｅ？夜は主
に洗浄液吸引装置１３により吸引回収される。
ト６に対し、洗浄液噴射装置１２から研磨ベルト６の走
行方向と逆方向へ洗浄液をカーテン状に噴射させる。こ
の時、研磨ベルト６に対する洗浄液の噴射圧は洸ｌｌＩ
液の作用圧及び研磨ベルト６の走行速度との相対速度に
対応するため、研磨ベルト６の砥粒間に付着した研削屑
を洗浄液の噴射圧により噴射除去する。また研磨ベルト
６に対し洗浄Ｉ＋１はカーテン状に噴射されるため、研
磨ベルト６に噴射された洗浄後の洗浄液の大部分が研磨
ベル１−６に噴射された箇所より圧接ロールｌｌ側へ落
下するのを規制する。そして上記作用後の洗ｅ？夜は主
に洗浄液吸引装置１３により吸引回収される。
また研磨ベルト６に付着した一部の洗浄液は圧接ロール
１１の箇所を通過後遠心力で研磨ベルト６から分離され
た後、集液器１４内に回収される。
１１の箇所を通過後遠心力で研磨ベルト６から分離され
た後、集液器１４内に回収される。
これらの作用により研磨ベルト６はそのベルト面に付着
した研削屑が洗浄液により除去されると共に研削加工に
伴って発生する摩擦熱が冷却される。
した研削屑が洗浄液により除去されると共に研削加工に
伴って発生する摩擦熱が冷却される。
従って本実施例は研磨ベルト６の走行方向と逆方向へ洗
浄液を噴射させることにより研磨ベルト６対する洗浄液
の噴射圧を高くすることが可能であり、研磨ベルト６の
砥粒間に詰った研削屑を効果的に除去することが出来る
。また作用後の洗浄液は主に洸／（ｌ液吸引装置１３に
より吸引回収されるため、被加工材Ｗに対する洗浄液の
付着が有効に防止される。
浄液を噴射させることにより研磨ベルト６対する洗浄液
の噴射圧を高くすることが可能であり、研磨ベルト６の
砥粒間に詰った研削屑を効果的に除去することが出来る
。また作用後の洗浄液は主に洸／（ｌ液吸引装置１３に
より吸引回収されるため、被加工材Ｗに対する洗浄液の
付着が有効に防止される。
尚、本実施例は駆動ロール３と従転ロール２・４とに亘
って研１Ｂベルト６を張設する形式の研１ｇ装置とした
が、本発明は第３図に示すように回転ドラム２０の外周
に研磨ベルト２１を装着してなるドラム形式の研磨装置
にあっても実施し得る。
って研１Ｂベルト６を張設する形式の研１ｇ装置とした
が、本発明は第３図に示すように回転ドラム２０の外周
に研磨ベルト２１を装着してなるドラム形式の研磨装置
にあっても実施し得る。
また、本実施例は研削加工位置ａの走行方向下手側
逆方向へ噴射し、研磨ベルト６に対する洗浄液の作用圧
を高める構成としたが、本発明は第４図に向と同方向へ
洗浄液を噴射する洗浄液噴射装置３０及びこれと対向す
る洗浄液吸引装置３１を設ける構成であっても実施し得
る。この場合、洗浄液の噴射圧を研磨ベルト３２の走行
速度より高く設定することが必要である。また第５図及
び第６図に示すように研削加工位置ａより研磨ベルト３
２の走行方向下手側に洗浄液噴射装置３ｏ及び洗浄に対
する洗浄液の作用圧を研磨ベルト３２の走行速度より高
めに設定する必要がある。
を高める構成としたが、本発明は第４図に向と同方向へ
洗浄液を噴射する洗浄液噴射装置３０及びこれと対向す
る洗浄液吸引装置３１を設ける構成であっても実施し得
る。この場合、洗浄液の噴射圧を研磨ベルト３２の走行
速度より高く設定することが必要である。また第５図及
び第６図に示すように研削加工位置ａより研磨ベルト３
２の走行方向下手側に洗浄液噴射装置３ｏ及び洗浄に対
する洗浄液の作用圧を研磨ベルト３２の走行速度より高
めに設定する必要がある。
第１図は研磨装置の概略を示す斜視図、第２図は研磨ベ
ルトに対する洸／ＩＩ液の噴射状態を示す説明図、第３
図から第６図は本発明の変更実施例を示す側面説明図で
ある。 図中１は研磨装置、６は研磨ベルト、１２は洸７争液噴
射装置、１３は洗浄液吸引装置、Ｗは被加工材、ａは研
削加工位置である。 特許出願人 株式会社 名南製作所 代理人 弁理士 伊 藤 研 −
ルトに対する洸／ＩＩ液の噴射状態を示す説明図、第３
図から第６図は本発明の変更実施例を示す側面説明図で
ある。 図中１は研磨装置、６は研磨ベルト、１２は洸７争液噴
射装置、１３は洗浄液吸引装置、Ｗは被加工材、ａは研
削加工位置である。 特許出願人 株式会社 名南製作所 代理人 弁理士 伊 藤 研 −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、研削加工位置に搬入された被加工材に走行する研磨
ベルトを接触させて被加工材を研削加工する研磨装置に
おいて、 走行する研磨ベルトに対し洸ｅ液を噴射し、研磨ベルト
に対する洗浄液の噴射圧により該研磨ベルトに付着した
研削屑を除去する洗浄液噴射装置と、 ＷｉＩ記洗浄洗浄液噴射装置向的に配置され、研磨ベル
ト面に噴射された作用後の洗浄液を吸引回収する洗浄液
吸引装置とを備えてなることを特徴とする研磨装置。 ２ 、６ｉＪ記研磨装置は研磨ベルトが駆動ロール及び
従転ロールとにより張設されたワイドベルトサンター形
式からなる特許請求の範囲第１項記載の研磨装置。 ３ 、 ｎｉｌ記研磨装置は回転ドラムに研磨ベルトが
取付けられたドラムサンダー形式からなる特許請求の範
囲第１項記載の研磨装置。 ４、前記洗浄液噴射装置は研削加工位置より研磨ベルト
の走行方向上手側に配置され、洸７争Ｉ侵を研磨ベルト
の走行方向と同方向或いは逆方向へ噴射する特許請求の
範囲第１項がら第３項記載の研磨装置。 ５、 ｉｉ′ｌｌ記洗浄液噴射装置は研削加工位置より
研磨ベルトの走行方向下手１ｆｌ＋ｉに配置され、洗浄
液を研１ｇベルトの走行方向と同方向或いは逆方向へ噴
射する特許請求の範囲第１項から第３項記載の研磨装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6725884A JPS60213473A (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6725884A JPS60213473A (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60213473A true JPS60213473A (ja) | 1985-10-25 |
| JPH0513784B2 JPH0513784B2 (ja) | 1993-02-23 |
Family
ID=13339742
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6725884A Granted JPS60213473A (ja) | 1984-04-03 | 1984-04-03 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60213473A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57201172A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-09 | Meinan Mach Works Inc | Polishing device |
-
1984
- 1984-04-03 JP JP6725884A patent/JPS60213473A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57201172A (en) * | 1981-06-02 | 1982-12-09 | Meinan Mach Works Inc | Polishing device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0513784B2 (ja) | 1993-02-23 |
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