JPS60212832A - 円盤状記録担体現像モニタ−方法 - Google Patents
円盤状記録担体現像モニタ−方法Info
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- JPS60212832A JPS60212832A JP7021184A JP7021184A JPS60212832A JP S60212832 A JPS60212832 A JP S60212832A JP 7021184 A JP7021184 A JP 7021184A JP 7021184 A JP7021184 A JP 7021184A JP S60212832 A JPS60212832 A JP S60212832A
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- Japan
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- development
- disc
- shaped recording
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/2407—Tracks or pits; Shape, structure or physical properties thereof
- G11B7/24085—Pits
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光学的に情報を記録する円盤状記録坦体の現像
モニタ一方法に関するもので、この現像モニタ一方法は
、光学式ビデオディスク、コ／バクトディジタルオーデ
ィオディスク（（代表される各種光ディスクの現像工程
に使用されるものである。
モニタ一方法に関するもので、この現像モニタ一方法は
、光学式ビデオディスク、コ／バクトディジタルオーデ
ィオディスク（（代表される各種光ディスクの現像工程
に使用されるものである。
従来例の構成とその問題点
光学的に情報を記録する円盤状記録坦体の現像モニタ一
方法は、従来から以下に説明する方法が広く用いられて
いる。
方法は、従来から以下に説明する方法が広く用いられて
いる。
第１図は従来例を示したもので、１は、たとえばガラス
円盤のような基板の上にレジストが塗布され、光学的記
録のなされた円盤状記録坦体（以下ディスクと呼ぶ）、
２はディスクの情報信号記録領域、３は現像モニター用
の信号記録領域、４は信号記録領域３に入射するレーザ
光、５と６はそれぞれ、信号記録領域３でディスク１の
半径方向に回折されたレーザ光４の０次光、１次光を検
出する光検出器、７は現像液である。
円盤のような基板の上にレジストが塗布され、光学的記
録のなされた円盤状記録坦体（以下ディスクと呼ぶ）、
２はディスクの情報信号記録領域、３は現像モニター用
の信号記録領域、４は信号記録領域３に入射するレーザ
光、５と６はそれぞれ、信号記録領域３でディスク１の
半径方向に回折されたレーザ光４の０次光、１次光を検
出する光検出器、７は現像液である。
ディスク１を回転させながら現像液７をディスク１上に
流し、同時に光検出器５，６の出力を検出することによ
って現像のモニターを行う。
流し、同時に光検出器５，６の出力を検出することによ
って現像のモニターを行う。
第２図に現像モニターの原理を示す。
８は現像不足でわずかに形成された凹凸、９は適正な現
像状態になっている凹凸で、たとえば凹部と凸部の幅が
等しくなっている場合を例にとる。
像状態になっている凹凸で、たとえば凹部と凸部の幅が
等しくなっている場合を例にとる。
１０は現像超過で、凸部が非常に少くなった凹凸を示し
ている。現像状態によって第２図のように凹部の長さと
凸部の長さの比が変化する凹凸は、レーザ光４に対し回
折格子として働き、凹部と凸部の長さの比（以下デー−
ティと呼ぶ）によってレーザ光４の回折効率を変化させ
る。第３図にデー−ティと回折効率の関係を示す。第３
図の１１は第２図の凹凸８による回折効率を、１２は凹
凸９による回折効率を、１３は凹凸１ｏによる回折効率
を示している。たとえばデー−ティ５０％で現像を停止
させたい時には、光検出器５と６の出力の比が、第３図
の回折率１２になった時に現像を停止してやればよい。
ている。現像状態によって第２図のように凹部の長さと
凸部の長さの比が変化する凹凸は、レーザ光４に対し回
折格子として働き、凹部と凸部の長さの比（以下デー−
ティと呼ぶ）によってレーザ光４の回折効率を変化させ
る。第３図にデー−ティと回折効率の関係を示す。第３
図の１１は第２図の凹凸８による回折効率を、１２は凹
凸９による回折効率を、１３は凹凸１ｏによる回折効率
を示している。たとえばデー−ティ５０％で現像を停止
させたい時には、光検出器５と６の出力の比が、第３図
の回折率１２になった時に現像を停止してやればよい。
しかしながら、上記のような現像モニタ一方法では、凹
凸の半径方向の回折効率、すなわち凹凸の幅方向の回折
効率しか検出していないので、凹凸の幅方向のデユーテ
ィしか制御できない。しかし実際のディスクの再生信号
の特性は、凹凸の円周方向のデー−ティ、すなわち凹凸
の長さ方向のデー−ティによって大きく影響される。
凸の半径方向の回折効率、すなわち凹凸の幅方向の回折
効率しか検出していないので、凹凸の幅方向のデユーテ
ィしか制御できない。しかし実際のディスクの再生信号
の特性は、凹凸の円周方向のデー−ティ、すなわち凹凸
の長さ方向のデー−ティによって大きく影響される。
たとえばビデオディスクのようなものの場合は、凹凸の
デー−ティが情報電気信号のデー−ティと異なると、映
像信号と音声信号の間の相互干渉が増加し再生画面上に
ノイズが現れたりする。またコンパクトティスフの場合
は、再生波形のアイが開かないために、正確な復調が行
えない等の問題が生じる。以上のような理由からディス
ク上に形成される凹凸の長さ方向のデー−ティを正確に
制御する必要があるが、ディスク上に形成される凹凸の
デユーティは、光ディスクの現像条件によって大きく変
化するため、凹凸の長さ方向のデ−ティをモニターしな
がら現像を行うことが必要となる。
デー−ティが情報電気信号のデー−ティと異なると、映
像信号と音声信号の間の相互干渉が増加し再生画面上に
ノイズが現れたりする。またコンパクトティスフの場合
は、再生波形のアイが開かないために、正確な復調が行
えない等の問題が生じる。以上のような理由からディス
ク上に形成される凹凸の長さ方向のデー−ティを正確に
制御する必要があるが、ディスク上に形成される凹凸の
デユーティは、光ディスクの現像条件によって大きく変
化するため、凹凸の長さ方向のデ−ティをモニターしな
がら現像を行うことが必要となる。
しかし従来の信号記録領域３の凹凸１４は第４図のよう
に隣接するトラックの空間的位相がランダムになってい
るため、第５図に示すように信号記録領域３からのレー
ザ光４の円周方向の回折光１５は散乱してし甘い、検出
することができないという問題点を有していた。
に隣接するトラックの空間的位相がランダムになってい
るため、第５図に示すように信号記録領域３からのレー
ザ光４の円周方向の回折光１５は散乱してし甘い、検出
することができないという問題点を有していた。
また従来の方法でも、凹凸の凹部と凸部に入射するレー
ザ光に利する位相差が既知であれば、凹凸の幅方向のデ
ー−ティより長さ方向のデー−ティをめることは可能で
ある。しかしこれは原理的には可能であるが、実際上は
以下に示すような多くの問題点を有している。まず位相
差を知るためてはレジストの膜厚、屈折率を正確に測定
しなければならない。しかし膜厚の測定は非常に難しく
、また実際の膜厚はディスク上で厚みムラを生じ、けっ
して均一なものではない。もし膜厚や屈折率の測定がで
きたとしても、凹凸の幅方向のデー−ティより長さ方向
のデー−ティをめるためには、凹凸をディスク上に配録
する時の光ビームのビーム径や光強度を正確に調整しな
けれ（）ならない。すなわち、凹凸を記録する時のビー
ムのディスクの径方向の長さと円周方向の長さが異った
りすると凹凸の幅が一定になるように現像をコノトロー
ルしても凹凸の長さは異ってしまう。このように凹凸の
幅方向のデー−ティより長さ方向のデユーティをコント
ロールするためには、多くのパラメータを正確に制御、
気宇しなければならないという問題点を有していた。
ザ光に利する位相差が既知であれば、凹凸の幅方向のデ
ー−ティより長さ方向のデー−ティをめることは可能で
ある。しかしこれは原理的には可能であるが、実際上は
以下に示すような多くの問題点を有している。まず位相
差を知るためてはレジストの膜厚、屈折率を正確に測定
しなければならない。しかし膜厚の測定は非常に難しく
、また実際の膜厚はディスク上で厚みムラを生じ、けっ
して均一なものではない。もし膜厚や屈折率の測定がで
きたとしても、凹凸の幅方向のデー−ティより長さ方向
のデー−ティをめるためには、凹凸をディスク上に配録
する時の光ビームのビーム径や光強度を正確に調整しな
けれ（）ならない。すなわち、凹凸を記録する時のビー
ムのディスクの径方向の長さと円周方向の長さが異った
りすると凹凸の幅が一定になるように現像をコノトロー
ルしても凹凸の長さは異ってしまう。このように凹凸の
幅方向のデー−ティより長さ方向のデユーティをコント
ロールするためには、多くのパラメータを正確に制御、
気宇しなければならないという問題点を有していた。
発明の目的
本発明の目的は、凹凸の長さ方向の回折光を検出し、凹
凸の長さ方向のデユーティを直接制御することを可能と
する現像モニタ一方法を提供することである。
凸の長さ方向のデユーティを直接制御することを可能と
する現像モニタ一方法を提供することである。
発明の構成
本発明の現像モニタ一方法は、ディスクの現像モニター
用の信号記録領域の隣接するトラック間の凹凸の空間的
位相が、ディスクの少くとも１ケ所以上で同位相となり
、その領域の面積が、入射するレーザ光の面積と少くと
も同程度であるように構成されているので凹凸が同位相
になっている領域へ入射したレーザ光の、ディスクの円
周方向への回折光は散乱せず、この円周方向の回折光の
回折効率を検出することにより、凹凸の長さ方向のデユ
ーティを直接制御することが可能となるものである。
用の信号記録領域の隣接するトラック間の凹凸の空間的
位相が、ディスクの少くとも１ケ所以上で同位相となり
、その領域の面積が、入射するレーザ光の面積と少くと
も同程度であるように構成されているので凹凸が同位相
になっている領域へ入射したレーザ光の、ディスクの円
周方向への回折光は散乱せず、この円周方向の回折光の
回折効率を検出することにより、凹凸の長さ方向のデユ
ーティを直接制御することが可能となるものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を診照しながら説
明する。
明する。
第６図は本発明の一実施例における現像モニター用信号
記録の方法を示す図で、１６は信号を記録するだめの光
源であるレーザ、１７はレーザ光１６を強度変調する変
調装置、１８はレーザ光をディスク１の記録面上に集束
させる集光レンズ、１９Ｖｉ集光レンズ１８が常にディ
スク１の盤上に光を集束するようにディスク１０面振れ
にしたがって集光レンズ１８を上下させるレンズ遅動装
置、２０は変調装置１７に変調を与える信号発生装置、
２１は信号発生装置２０に同期をかけるための同期パル
スとして、少くともディスク１回転あたり１個以上のデ
ィスク回転位置検出信号を発生するディスク回転装置で
ある。
記録の方法を示す図で、１６は信号を記録するだめの光
源であるレーザ、１７はレーザ光１６を強度変調する変
調装置、１８はレーザ光をディスク１の記録面上に集束
させる集光レンズ、１９Ｖｉ集光レンズ１８が常にディ
スク１の盤上に光を集束するようにディスク１０面振れ
にしたがって集光レンズ１８を上下させるレンズ遅動装
置、２０は変調装置１７に変調を与える信号発生装置、
２１は信号発生装置２０に同期をかけるための同期パル
スとして、少くともディスク１回転あたり１個以上のデ
ィスク回転位置検出信号を発生するディスク回転装置で
ある。
第６図のように構成された信号記録系によって複数のト
ラックにわたり記録された現像モニター用信号領域の凹
凸の図を第７図に示す。２２は回転装置２１の同期パル
スによって隣接するトランク間の空間的位相がそろった
凹凸、２３は位相のそろっていない凹凸、２４は同期パ
ルスとして用いている。ディスクの回転位置検出信号の
発生する位置である。第８図に、第７図の凹凸２２の領
域に入射したレーザ光４が回折される様子を示す。
ラックにわたり記録された現像モニター用信号領域の凹
凸の図を第７図に示す。２２は回転装置２１の同期パル
スによって隣接するトランク間の空間的位相がそろった
凹凸、２３は位相のそろっていない凹凸、２４は同期パ
ルスとして用いている。ディスクの回転位置検出信号の
発生する位置である。第８図に、第７図の凹凸２２の領
域に入射したレーザ光４が回折される様子を示す。
第８図において２６はディスクの円周方向、すなわち凹
凸の長さ方向に回折される１次回折光、２６は１次元２
５の光強度を検出するための光検出器である。第８図に
示したように空間的に位相のそろっている凹凸２２から
のディスクの円周方向の回折光２５は散乱しないので、
光検出器２６によってその強度を検出することができ、
光検出器５による０次光の強度との比をとることによっ
て、円周方向の回折効率を検出することが可能となる。
凸の長さ方向に回折される１次回折光、２６は１次元２
５の光強度を検出するための光検出器である。第８図に
示したように空間的に位相のそろっている凹凸２２から
のディスクの円周方向の回折光２５は散乱しないので、
光検出器２６によってその強度を検出することができ、
光検出器５による０次光の強度との比をとることによっ
て、円周方向の回折効率を検出することが可能となる。
実際の現像においては、ディスク全体を均一に現像する
ためにディスクを回転させながら現像する手法が広く用
いられている。この時もし凹凸の位相がそろっている領
域がディスク上で１ケ所であるとすると、凹凸の長さ方
向の回折光が得られるのは、ディスクが１回転する間１
回たけとなる。
ためにディスクを回転させながら現像する手法が広く用
いられている。この時もし凹凸の位相がそろっている領
域がディスク上で１ケ所であるとすると、凹凸の長さ方
向の回折光が得られるのは、ディスクが１回転する間１
回たけとなる。
１ケ所で位相をそろえた場合、凹凸の長さ方向の回折光
が安定に得られる範囲は約３〜４度であり、それ以外の
領域では回折光は得られない。この場合は、光検出器２
６からの出力をサンプルホールドしてやり、凹凸の長さ
方向の回折光が得られだ時の出力のみを検出してやれば
よい。１だこの時にはサンプルホールドでディスク１回
転につき１回しか現像状態をモニターしていないのでデ
ィスクの回転周期を、現像の進行時間よりも十分短くし
てやればよい。寸た回転装置２１からの同期パルスが１
００個程度以上あれば、はとんどディスクの全周にわた
って凹凸の位相が同位相となるので、ディスクを回転さ
せながら現像を行った時、連続に回折光を検出し、現像
モニターを行うことが可能となる。円周方向の回折効率
、すなわち凹凸の長さ方向の回折効率を検出すれば、従
来例の第２図、第３図に示したものと全く同じ原理によ
って、凹凸の長さ方向のデー−ティをモニターすること
ができ、現像中に凹凸の長さ方向の回折効率をモニター
しながら現像をコントロールすることにより、ピットの
長さ方向のデー−ティを任意に制御することが可能とな
る。
が安定に得られる範囲は約３〜４度であり、それ以外の
領域では回折光は得られない。この場合は、光検出器２
６からの出力をサンプルホールドしてやり、凹凸の長さ
方向の回折光が得られだ時の出力のみを検出してやれば
よい。１だこの時にはサンプルホールドでディスク１回
転につき１回しか現像状態をモニターしていないのでデ
ィスクの回転周期を、現像の進行時間よりも十分短くし
てやればよい。寸た回転装置２１からの同期パルスが１
００個程度以上あれば、はとんどディスクの全周にわた
って凹凸の位相が同位相となるので、ディスクを回転さ
せながら現像を行った時、連続に回折光を検出し、現像
モニターを行うことが可能となる。円周方向の回折効率
、すなわち凹凸の長さ方向の回折効率を検出すれば、従
来例の第２図、第３図に示したものと全く同じ原理によ
って、凹凸の長さ方向のデー−ティをモニターすること
ができ、現像中に凹凸の長さ方向の回折効率をモニター
しながら現像をコントロールすることにより、ピットの
長さ方向のデー−ティを任意に制御することが可能とな
る。
また本実施例の第８図に示したように、不実施例では凹
凸の長さ方向の回折光の検出と同時に、光検出器６によ
り、従来例と同じ凹凸の幅方向の回折光も検出できるの
で、凹凸の長さ方向と幅方向の回折光を、すなわち凹凸
の長さ方向と幅方向のデス−ティを独立にモニターしな
がら現像を制御することも可能である。
凸の長さ方向の回折光の検出と同時に、光検出器６によ
り、従来例と同じ凹凸の幅方向の回折光も検出できるの
で、凹凸の長さ方向と幅方向の回折光を、すなわち凹凸
の長さ方向と幅方向のデス−ティを独立にモニターしな
がら現像を制御することも可能である。
以上のように本実施例によれば、現像モニター用の信号
記録領域の、凹凸の円周方向の空間的位相を同位相にす
ることにより、凹凸の円周方向の回折効率のモニター、
すなわち凹凸の長さ方向のデス−ティを直接モニターし
、制御することが可能となった。
記録領域の、凹凸の円周方向の空間的位相を同位相にす
ることにより、凹凸の円周方向の回折効率のモニター、
すなわち凹凸の長さ方向のデス−ティを直接モニターし
、制御することが可能となった。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明は、ディスクの
現像モニター用信号記録領域の凹凸の円周方向の空間的
位相がそろっているので、凹凸の長さ方向の回折光率の
検出が可能となり、ビットの長さ方向のデユーティを直
接モニターできるという優れた効果が得られる。その効
果により、現像しながらピットの長さを任意に制御でき
るという効果が得られる。
現像モニター用信号記録領域の凹凸の円周方向の空間的
位相がそろっているので、凹凸の長さ方向の回折光率の
検出が可能となり、ビットの長さ方向のデユーティを直
接モニターできるという優れた効果が得られる。その効
果により、現像しながらピットの長さを任意に制御でき
るという効果が得られる。
第１図は従来の現像モニターの原理図、第２図は現像状
態による凹凸の変化を示す図、第３図は凹凸のデー−テ
ィと回折効率の関係を示す図、第４図は従来の空間的に
位相のそろっていない凹凸の図、第５図は従来の凹凸か
らの回折光の図、第６図は本発明の一実施例の凹凸記録
系の図、第７図は空間的に位相のそろっている凹凸の図
、第８図は本発明の一実施例の凹凸からの回折光の図で
ある。 ２１・・・回転装置、２２．２３・ 凹凸、２６・・光
検出器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 一一口 ■４ 第２図 第３図 ｏ ｓｏ Ｉｏｏ ６−テイ 第４図 第６図
態による凹凸の変化を示す図、第３図は凹凸のデー−テ
ィと回折効率の関係を示す図、第４図は従来の空間的に
位相のそろっていない凹凸の図、第５図は従来の凹凸か
らの回折光の図、第６図は本発明の一実施例の凹凸記録
系の図、第７図は空間的に位相のそろっている凹凸の図
、第８図は本発明の一実施例の凹凸からの回折光の図で
ある。 ２１・・・回転装置、２２．２３・ 凹凸、２６・・光
検出器。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 一一口 ■４ 第２図 第３図 ｏ ｓｏ Ｉｏｏ ６−テイ 第４図 第６図
Claims (3)
- （１） レーザ光によって情報を記録される円盤状記録
坦体において、前記情報信号記録領域外に、複数トラッ
クの信号記録領域を有し、前記領域に記録されている隣
接するトラック間の凹凸の空間的位相が、円盤状記録坦
体の少くとも１ケ所以上で同位相となっており、前記同
位相の領域は、前記同位相の領域に入射するレーザ光と
少くとも同程度の面積を有しており、前ｔＣ同位相の領
域に入射したレーザ光の円盤状記録坦体の円周方向の回
折光を検出し、現１象を制御することを特徴とした円盤
状記録坦体現像モニタ一方法。 - （２）円盤状記録坦体上の空間的に同位相である凹凸を
形成する手段として、凹凸を記録するためのレーザ光を
強度変調する信号源と、その信号源に外部から同期をか
けるための同期信号として、円盤状記録坦体の回転位置
検出信号を用いることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載の円盤状記録坦体現像モニタ一方法。 - （３）円盤状記録坦体の回転位置検出信号として、円盤
状記録坦体の回転装置の周波数発電機の出来の範囲第１
項または第２項記載の円盤状記録坦体現像モニタ一方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7021184A JPS60212832A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 円盤状記録担体現像モニタ−方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7021184A JPS60212832A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 円盤状記録担体現像モニタ−方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60212832A true JPS60212832A (ja) | 1985-10-25 |
| JPH0556576B2 JPH0556576B2 (ja) | 1993-08-19 |
Family
ID=13424957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7021184A Granted JPS60212832A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 円盤状記録担体現像モニタ−方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60212832A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286147A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Nec Corp | 現像モニタ方法 |
| JPH01286148A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Nec Corp | 現像モニタ装置 |
| US5508808A (en) * | 1993-11-22 | 1996-04-16 | Nec Corporation | Development sensor apparatus for monitoring the progression of development of an optical disk master |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP7021184A patent/JPS60212832A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01286147A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Nec Corp | 現像モニタ方法 |
| JPH01286148A (ja) * | 1988-05-12 | 1989-11-17 | Nec Corp | 現像モニタ装置 |
| US5508808A (en) * | 1993-11-22 | 1996-04-16 | Nec Corporation | Development sensor apparatus for monitoring the progression of development of an optical disk master |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0556576B2 (ja) | 1993-08-19 |
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