JPH01286148A - 現像モニタ装置 - Google Patents
現像モニタ装置Info
- Publication number
- JPH01286148A JPH01286148A JP11614688A JP11614688A JPH01286148A JP H01286148 A JPH01286148 A JP H01286148A JP 11614688 A JP11614688 A JP 11614688A JP 11614688 A JP11614688 A JP 11614688A JP H01286148 A JPH01286148 A JP H01286148A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffracted light
- laser beam
- order
- order diffracted
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- Granted
Links
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 title description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 101001029799 Homo sapiens Protein Flattop Proteins 0.000 description 1
- 102100039031 Protein Flattop Human genes 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、現像モニタ装置、特に、光ディスク原盤の現
像の進行をモニタする現像モニタ装置に関する。
像の進行をモニタする現像モニタ装置に関する。
従来の現像モニタ装置は、第４図に示すようにチャック
テーブル２に固着されスピンドル３により回転さｈ現像
されている光ディスク原盤１のパターン面にレーザ光ａ
を垂直に照射することにより得られる０次回折光すと１
次回針元Ｃとを検出する一対の検出器４，５と一対の検
出器４，５の電圧信号ｄ、ｅを増幅して０次回折光強度
信号ｆと１次回折光強度信号ｇとする一対の増幅器８゜
９と、回折光比演算部１１とを含んで構成されている。
テーブル２に固着されスピンドル３により回転さｈ現像
されている光ディスク原盤１のパターン面にレーザ光ａ
を垂直に照射することにより得られる０次回折光すと１
次回針元Ｃとを検出する一対の検出器４，５と一対の検
出器４，５の電圧信号ｄ、ｅを増幅して０次回折光強度
信号ｆと１次回折光強度信号ｇとする一対の増幅器８゜
９と、回折光比演算部１１とを含んで構成されている。
回折光比演算部１１は０次回折光強度信号ｆと、１次回
折光強度信号ｇとから回折光比ｇ／ｆを演算し回折光比
信号りとして端子２００に出方する。
折光強度信号ｇとから回折光比ｇ／ｆを演算し回折光比
信号りとして端子２００に出方する。
端子２００に出力さｈる回折光比信号りが所望の回折光
比となったとき現像液の滴下を停止し、現像を終了する
。また、回折光比とグループ幅とは比例関係にあること
が公知でありモニタ位置でのグループ幅を一定とするこ
とができる。
比となったとき現像液の滴下を停止し、現像を終了する
。また、回折光比とグループ幅とは比例関係にあること
が公知でありモニタ位置でのグループ幅を一定とするこ
とができる。
しかしながら実際の露光においてはパターンの半径方向
で単位面積あたりの露光量に差が生じるために前記モニ
タ半径以外でグループ幅に差が生じることになる。
で単位面積あたりの露光量に差が生じるために前記モニ
タ半径以外でグループ幅に差が生じることになる。
しかしながら、このような上述した従来の現像モニタ装
置は、光ディスク原盤上の半径方向の−、点にレーザ光
を照射することにより、現像の進行に伴って得られる０
次回折光と１次回折光とを一対の検出器と増幅器とを用
いて光強度検出する構成となっているため、光ディスク
原盤上のパターン半径方向において単位面積あたりの露
光量が変化し回折光比信号が変化しても前記パターンの
半径方向の回折光比信号のモニタができないという欠点
があった。
置は、光ディスク原盤上の半径方向の−、点にレーザ光
を照射することにより、現像の進行に伴って得られる０
次回折光と１次回折光とを一対の検出器と増幅器とを用
いて光強度検出する構成となっているため、光ディスク
原盤上のパターン半径方向において単位面積あたりの露
光量が変化し回折光比信号が変化しても前記パターンの
半径方向の回折光比信号のモニタができないという欠点
があった。
本発明や現像モニタ装置は、回転する光ディスク原盤の
パターン面上の半径方向に順次レーザビームを走査する
走査手段と、現像の進行に伴って前記パターン面から得
られる前記レーザビームの０次回折光と１次回折光とを
サンプリングする１対の検出器と、前記検出器を前記レ
ーザビームの走査と一致させて移動する移動ステージと
、前記検出器から得られる電圧信号を増幅する一対の増
幅器と、前記増幅器から得られる０次回折光強度信号と
一次回折光強度信号とから回折光比を演算する回折光比
演算部とを含んで構成される。
パターン面上の半径方向に順次レーザビームを走査する
走査手段と、現像の進行に伴って前記パターン面から得
られる前記レーザビームの０次回折光と１次回折光とを
サンプリングする１対の検出器と、前記検出器を前記レ
ーザビームの走査と一致させて移動する移動ステージと
、前記検出器から得られる電圧信号を増幅する一対の増
幅器と、前記増幅器から得られる０次回折光強度信号と
一次回折光強度信号とから回折光比を演算する回折光比
演算部とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す現像モニタ装置において、光ディスク原盤
１はチャックテーブル２に固着されスピンドル３により
回転されている。レーザビームａ、〜ａｎを光ディスク
原盤１０半径方向に走査手段４により順次に走査しレー
ザビームａとしてレーザビームａｌ、ａｍ、 ａ３．〜
．ａｎを光ディスク原盤１のパターン面上に照射すｈば
、これに応じた０次回折光すと１次回針元Ｃが得られる
ことになる。
１はチャックテーブル２に固着されスピンドル３により
回転されている。レーザビームａ、〜ａｎを光ディスク
原盤１０半径方向に走査手段４により順次に走査しレー
ザビームａとしてレーザビームａｌ、ａｍ、 ａ３．〜
．ａｎを光ディスク原盤１のパターン面上に照射すｈば
、これに応じた０次回折光すと１次回針元Ｃが得られる
ことになる。
また、０次回折光すは検出器５により、１次回針元Ｃは
検出器６によりそれぞれ検出される。検出器５，６は移
動ステージ８に固定され、レーザビームのａ１〜ａ、の
走査手段４に一致して光ディスク原盤ｌの半径方向にモ
ータ７により順次移動される。
検出器６によりそれぞれ検出される。検出器５，６は移
動ステージ８に固定され、レーザビームのａ１〜ａ、の
走査手段４に一致して光ディスク原盤ｌの半径方向にモ
ータ７により順次移動される。
したがって、０次回折光すは検出器５によりサンプリン
グ検出され電圧信号ｄとして出力さｈ１１次回折光０は
検出器６によりサンプリング検出され電圧信号ｅとして
出力される。
グ検出され電圧信号ｄとして出力さｈ１１次回折光０は
検出器６によりサンプリング検出され電圧信号ｅとして
出力される。
増幅器９は電圧信号ｄを増幅して０次回折光強度信号ｆ
七して出力し、増幅器１０は電圧信号ｅを増幅して１次
回折光強度信号ｇとして出力する。
七して出力し、増幅器１０は電圧信号ｅを増幅して１次
回折光強度信号ｇとして出力する。
回折光比演算部１１は前記０次回折光強度信号ｆと、１
次回折光強度信号ｇとから回折光比を演算して回折光比
信号りとして端子２００に出力される。
次回折光強度信号ｇとから回折光比を演算して回折光比
信号りとして端子２００に出力される。
第２図は第１図に示す走査手段の一例を示す斜視図であ
る。
る。
第２図に示す走査手段は、モータ２１により回転される
ポリゴンミラー２０にレーザビームａを照射しｆθレン
ズ２２と長尺ミラー２３を介することによりレーザビー
ムａは順次走査されレーザビームａｌ＋ ＦＬｔｐ ＆
！＋〜ａ、として光ディスク原盤１に照射される。
ポリゴンミラー２０にレーザビームａを照射しｆθレン
ズ２２と長尺ミラー２３を介することによりレーザビー
ムａは順次走査されレーザビームａｌ＋ ＦＬｔｐ ＆
！＋〜ａ、として光ディスク原盤１に照射される。
第３図は第１図に示す回折光比演算部から出力される回
折光比信号と光ディスク原盤のパターン半径との関係を
示すグラフであり、半径方向の内周γ２から外周γ、に
かけて単位面積あたりの露光量が一定の場合は、内周γ
２．中周γ１．外周γ３の回折光比信号りは一定値ｈ１
となり直線３０となるが、内周γ１の露光量が外周γ、
の露光量よりも小さいときは直線３１となり、内周γ１
の露光量が外周γ、の露光量よりも大きいときは直線３
２となる。
折光比信号と光ディスク原盤のパターン半径との関係を
示すグラフであり、半径方向の内周γ２から外周γ、に
かけて単位面積あたりの露光量が一定の場合は、内周γ
２．中周γ１．外周γ３の回折光比信号りは一定値ｈ１
となり直線３０となるが、内周γ１の露光量が外周γ、
の露光量よりも小さいときは直線３１となり、内周γ１
の露光量が外周γ、の露光量よりも大きいときは直線３
２となる。
したがって、本発明の現像モニタ装置を使用してパター
ン半径方向の回折光比信号を検出し、パターンの内周の
回折光比信号が外周の回折光比信号より大きいときは、
例えば現像液の滴下を外周に移動させてパターン内周の
現像進行をおされることにより、また、パターンの内周
の回折光比信号が外周の回折光比信号より小さいときは
、例えば純水の滴下を外周において行ない、パターン外
周の現像進行をおさえることによりパターン内外周にお
いて均一なグループ幅を作ることが可能となる。
ン半径方向の回折光比信号を検出し、パターンの内周の
回折光比信号が外周の回折光比信号より大きいときは、
例えば現像液の滴下を外周に移動させてパターン内周の
現像進行をおされることにより、また、パターンの内周
の回折光比信号が外周の回折光比信号より小さいときは
、例えば純水の滴下を外周において行ない、パターン外
周の現像進行をおさえることによりパターン内外周にお
いて均一なグループ幅を作ることが可能となる。
本発明の現像モニタ装置は、光ディスク原盤のパターン
面上の同一半径方向にレーザビームを順次走査し、得ら
れる０次回折光と一次回折光とから回折光比を順次検出
することにより、光ディスク原盤上のパターン半径方向
において単位面積あたりの露光量が変化した場合にパタ
ーンの半径方向の回折光比信号の変化をモニタできると
いう効果がある。
面上の同一半径方向にレーザビームを順次走査し、得ら
れる０次回折光と一次回折光とから回折光比を順次検出
することにより、光ディスク原盤上のパターン半径方向
において単位面積あたりの露光量が変化した場合にパタ
ーンの半径方向の回折光比信号の変化をモニタできると
いう効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図に示す走査手段の一例を示す斜視図、第３図は第
１図に示す実施例における回折光比信号とパターン半径
との関係を示すグラフ、第４図は従来の一例を示すブロ
ック図である。 １・・・・・・光ディスク原盤、２・・・・・・チャッ
クテーブル、３・・・・・・スピンドル、４・・・・・
・走査手段、５，６・・・・・・検出器、７・・・・・
・モータ、８・・・・・・移動ステージ、９．１０・・
・・・・増幅器、１１・・・・・・回折光比演算部、２
０・・・・・・ポリゴンミラー、２１・・・・・・モー
タ、２２・・・・・・ｆθレンズ、２３・・・・・・長
尺ミラー、３０゜３１．３２・・・・・・直線、 Ｌｒ ＆ｌ＋ ６２ｅ ａ３＋〜、ａ、”””レーザビ
ーム、ｂ・・・・・・０次回折光、Ｃ・・・・・・１次
回折光、ｄ。 ｅ・・・・・・電圧信号、ｆ・・・・・・０次回折光強
度信号、ｇ・・・・・・１次回折光強度信号、ｈ、ｈ、
・・・・・・回折光比信号、γ、γ１．γ２．γ、・・
・・・・半径。 代理人 弁理士 内 原 音 てジ１町シ ブ １（？］ こ−一フ 革任才 −
第１図に示す走査手段の一例を示す斜視図、第３図は第
１図に示す実施例における回折光比信号とパターン半径
との関係を示すグラフ、第４図は従来の一例を示すブロ
ック図である。 １・・・・・・光ディスク原盤、２・・・・・・チャッ
クテーブル、３・・・・・・スピンドル、４・・・・・
・走査手段、５，６・・・・・・検出器、７・・・・・
・モータ、８・・・・・・移動ステージ、９．１０・・
・・・・増幅器、１１・・・・・・回折光比演算部、２
０・・・・・・ポリゴンミラー、２１・・・・・・モー
タ、２２・・・・・・ｆθレンズ、２３・・・・・・長
尺ミラー、３０゜３１．３２・・・・・・直線、 Ｌｒ ＆ｌ＋ ６２ｅ ａ３＋〜、ａ、”””レーザビ
ーム、ｂ・・・・・・０次回折光、Ｃ・・・・・・１次
回折光、ｄ。 ｅ・・・・・・電圧信号、ｆ・・・・・・０次回折光強
度信号、ｇ・・・・・・１次回折光強度信号、ｈ、ｈ、
・・・・・・回折光比信号、γ、γ１．γ２．γ、・・
・・・・半径。 代理人 弁理士 内 原 音 てジ１町シ ブ １（？］ こ−一フ 革任才 −
Claims (1)
- 回転する光ディスク原盤のパターン面上の半径方向に
順次レーザビームを走査する走査手段と、現像の進行に
伴って前記パターン面から得られる前記レーザビームの
０次回折光と１次回折光とをサンプリングする１対の検
出器と、前記検出器を前記レーザビームの走査と一致さ
せて移動する移動ステージと、前記検出器から得られる
電圧信号を増幅する一対の増幅器と、前記増幅器から得
られる０次回折光強度信号と１次回折光強度信号とから
回折光比を演算する回折光比演算部とを含むことを特徴
とする現像モニタ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63116146A JP2536056B2 (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | 現像モニタ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63116146A JP2536056B2 (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | 現像モニタ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01286148A true JPH01286148A (ja) | 1989-11-17 |
| JP2536056B2 JP2536056B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=14679884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63116146A Expired - Fee Related JP2536056B2 (ja) | 1988-05-12 | 1988-05-12 | 現像モニタ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2536056B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60212832A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 円盤状記録担体現像モニタ−方法 |
| JPS6198231U (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-24 | ||
| JPS61130032U (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-14 |
-
1988
- 1988-05-12 JP JP63116146A patent/JP2536056B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60212832A (ja) * | 1984-04-09 | 1985-10-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 円盤状記録担体現像モニタ−方法 |
| JPS6198231U (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-24 | ||
| JPS61130032U (ja) * | 1985-01-25 | 1986-08-14 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2536056B2 (ja) | 1996-09-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |