JP2001108877A - 光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置 - Google Patents
光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置Info
- Publication number
- JP2001108877A JP2001108877A JP28786599A JP28786599A JP2001108877A JP 2001108877 A JP2001108877 A JP 2001108877A JP 28786599 A JP28786599 A JP 28786599A JP 28786599 A JP28786599 A JP 28786599A JP 2001108877 A JP2001108877 A JP 2001108877A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- diffraction grating
- optical unit
- adjusting
- optical axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学ユニットの収差調整と、受光素子調整や
強度分布調整を、同時に調整できる光学ユニット調整装
置を提供する。 【解決手段】 光学ユニット調整装置は、異なる次数の
２つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る反
射・透過型の回折格子１２０と、（ｂ）回折格子を光軸
とほぼ直交する方向に移動する第１の機構１２２と、
（ｃ）シェアリング干渉像から光学ユニットの特性を検
出する検出器１１２と、（ｄ）検出器の検出結果に基づ
いて光学ユニットを調整する機構１２６と、（ｅ）光軸
方向に回折格子を移動させる機構１２４と、（ｆ）回折
格子で反射した光を受ける受光素子３０，３２と、
（ｇ）受光素子で受光された光の強度をもとに、受光素
子の位置を調整する機構１３０を有する。
強度分布調整を、同時に調整できる光学ユニット調整装
置を提供する。 【解決手段】 光学ユニット調整装置は、異なる次数の
２つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る反
射・透過型の回折格子１２０と、（ｂ）回折格子を光軸
とほぼ直交する方向に移動する第１の機構１２２と、
（ｃ）シェアリング干渉像から光学ユニットの特性を検
出する検出器１１２と、（ｄ）検出器の検出結果に基づ
いて光学ユニットを調整する機構１２６と、（ｅ）光軸
方向に回折格子を移動させる機構１２４と、（ｆ）回折
格子で反射した光を受ける受光素子３０，３２と、
（ｇ）受光素子で受光された光の強度をもとに、受光素
子の位置を調整する機構１３０を有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学ユニットの調
整方法及びその方法に関し、例えば光ディスク方式の情
報記憶媒体（例えばＤＶＤ：Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓ
ａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）に情報を読み書きする光学ユニ
ットの調整する方法及び装置に関する。
整方法及びその方法に関し、例えば光ディスク方式の情
報記憶媒体（例えばＤＶＤ：Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｅｒｓ
ａｔｉｌｅ Ｄｉｓｋ）に情報を読み書きする光学ユニ
ットの調整する方法及び装置に関する。
【０００２】
【発明の背景】光ディスク方式の高密度情報記憶媒体か
ら情報を読み取り、またこの高密度情報記憶媒体に情報
を記憶する光学ユニットは、対物レンズを透過した光が
情報記録媒体上の目的の場所に正確に結像される必要が
ある。また、情報記録媒体で反射した光が対物レンズを
逆方向に透過した後、目的の受像素子に正確に結像され
なければならない。そのために、光学ユニットはその製
造過程で様々なパラメータ（例えば、レンズ系の収差、
受像素子の位置、対物レンズの中心とこの対物レンズを
透過して結像される像の中心との位置ずれ）が検査（評
価）され、必要に応じて補正される。
ら情報を読み取り、またこの高密度情報記憶媒体に情報
を記憶する光学ユニットは、対物レンズを透過した光が
情報記録媒体上の目的の場所に正確に結像される必要が
ある。また、情報記録媒体で反射した光が対物レンズを
逆方向に透過した後、目的の受像素子に正確に結像され
なければならない。そのために、光学ユニットはその製
造過程で様々なパラメータ（例えば、レンズ系の収差、
受像素子の位置、対物レンズの中心とこの対物レンズを
透過して結像される像の中心との位置ずれ）が検査（評
価）され、必要に応じて補正される。
【０００３】（Ａ）レンズ系の収差調整 レンズ系の収差評価及び補正には、例えば、シェアリン
グ干渉法に基づいて対物レンズの収差を検出し、その結
果を利用して対物レンズを調整する回折干渉法（本出願
人が特願平１１−１３８５８４号で提案した方法）が好
適に用いられる。
グ干渉法に基づいて対物レンズの収差を検出し、その結
果を利用して対物レンズを調整する回折干渉法（本出願
人が特願平１１−１３８５８４号で提案した方法）が好
適に用いられる。
【０００４】回折干渉法を利用して光学ユニット（光ヘ
ッド）の対物レンズを調整する装置を図４に示す。この
調整装置において、光学ユニット１０の光源（例えば半
導体レーザ）１２で生成されたされた光は対物レンズ１
４を介して出射される。対物レンズ１４の結像位置には
透過型回折格子１２０’が配置されており、透過型回折
格子１２０’に入射された光は、例えば０次、±１次、
±２次・・・のオーダの回折光に分解される。図示する
調整装置では、図５に示すように、コリメータレンズ１
０６の開口領域で、０次の回折光が＋１次の回折光、ま
た０次回折光と−１次の回折光が部分的に重なり合って
干渉縞を生じるように、透過型回折格子及び他の光学要
素が設計されている。
ッド）の対物レンズを調整する装置を図４に示す。この
調整装置において、光学ユニット１０の光源（例えば半
導体レーザ）１２で生成されたされた光は対物レンズ１
４を介して出射される。対物レンズ１４の結像位置には
透過型回折格子１２０’が配置されており、透過型回折
格子１２０’に入射された光は、例えば０次、±１次、
±２次・・・のオーダの回折光に分解される。図示する
調整装置では、図５に示すように、コリメータレンズ１
０６の開口領域で、０次の回折光が＋１次の回折光、ま
た０次回折光と−１次の回折光が部分的に重なり合って
干渉縞を生じるように、透過型回折格子及び他の光学要
素が設計されている。
【０００５】次に、コリメータレンズ１０６を透過した
光は結像レンズ１０８で撮像素子１１０に結像される。
撮像素子１１０に結像された像において、０次回折光と
±１次回折光の干渉領域１６０（図６参照）は、図７に
示す干渉縞を含む。この図７において、（Ａ）はデフォ
ーカスによる干渉縞、（Ｂ）と（Ｃ）はコマ収差による
干渉縞、（Ｄ）は非点収差による干渉縞、（Ｅ）は球面
収差による干渉縞をそれぞれ示す。一般に、これらの収
差は複合的に発生し、実際に得られる干渉縞は（Ａ）か
ら（Ｅ）の干渉縞が重なり合った模様となる。ただし、
対物レンズ１４が回折格子１２０’に正確に焦点合わせ
されている場合、図７（Ｆ）のように、干渉領域１６０
に何らの模様も現れない。
光は結像レンズ１０８で撮像素子１１０に結像される。
撮像素子１１０に結像された像において、０次回折光と
±１次回折光の干渉領域１６０（図６参照）は、図７に
示す干渉縞を含む。この図７において、（Ａ）はデフォ
ーカスによる干渉縞、（Ｂ）と（Ｃ）はコマ収差による
干渉縞、（Ｄ）は非点収差による干渉縞、（Ｅ）は球面
収差による干渉縞をそれぞれ示す。一般に、これらの収
差は複合的に発生し、実際に得られる干渉縞は（Ａ）か
ら（Ｅ）の干渉縞が重なり合った模様となる。ただし、
対物レンズ１４が回折格子１２０’に正確に焦点合わせ
されている場合、図７（Ｆ）のように、干渉領域１６０
に何らの模様も現れない。
【０００６】干渉縞における各点は固有の位相を有す
る。したがって、上記回折干渉法では、回折格子１２
０’を光軸１１と直交する方向に一定の速度で移動し、
回折光の干渉領域に複数の点をとり、ある点における光
強度の変化と別の点における光強度の変化の位相差を求
め、その位相差を解析して各収差を評価し、結像レンズ
等の光学要素を調整する。
る。したがって、上記回折干渉法では、回折格子１２
０’を光軸１１と直交する方向に一定の速度で移動し、
回折光の干渉領域に複数の点をとり、ある点における光
強度の変化と別の点における光強度の変化の位相差を求
め、その位相差を解析して各収差を評価し、結像レンズ
等の光学要素を調整する。
【０００７】（Ｂ）受像素子の位置調整 次に、受像素子の位置調整について簡単に説明する。図
８に示すように、光学ユニット１０において、光源１２
で生成された光は、コリメータレンズ１６で略平行光に
調整され、ビームスプリッタ１８を透過した後、対物レ
ンズ１４により目的の位置（例えば、光ディスク）に入
射される。光ディスク１０２に入射された光は、この光
ディスク１０２に含まれる情報を含む反射光となって入
射光と逆の方向に進み、対物レンズ１４で再び略平行な
光に調整された後、ビームスプリッタ１８で反射し、受
光レンズ２０で集束される。集束された光は、第２のビ
ームスプリッタ２２に入射し、入射方向とほぼ直交する
方向に進行する第１の光束２４と、第２のビームスプリ
ッタ２２を透過した第２の光束２６に分割される。ま
た、第２の光束２６はミラー２８で反射され、第１の光
束２４とほぼ平行な方向に向けられる。そして、第１と
第２の光束２４，２６はそれぞれ第１と第２の受像素子
３０，３２に入射される。
８に示すように、光学ユニット１０において、光源１２
で生成された光は、コリメータレンズ１６で略平行光に
調整され、ビームスプリッタ１８を透過した後、対物レ
ンズ１４により目的の位置（例えば、光ディスク）に入
射される。光ディスク１０２に入射された光は、この光
ディスク１０２に含まれる情報を含む反射光となって入
射光と逆の方向に進み、対物レンズ１４で再び略平行な
光に調整された後、ビームスプリッタ１８で反射し、受
光レンズ２０で集束される。集束された光は、第２のビ
ームスプリッタ２２に入射し、入射方向とほぼ直交する
方向に進行する第１の光束２４と、第２のビームスプリ
ッタ２２を透過した第２の光束２６に分割される。ま
た、第２の光束２６はミラー２８で反射され、第１の光
束２４とほぼ平行な方向に向けられる。そして、第１と
第２の光束２４，２６はそれぞれ第１と第２の受像素子
３０，３２に入射される。
【０００８】ここで、第２の光束２６は、第２のビーム
スプリッタ２２の下流側で偏向されるので、第１の光束
２４の結像位置３４と第２の光束２６の結像位置３６
は、これら光束に平行な方向にずれている。また、第１
の受像素子３０は第１の光束２４の結像位置３４の手前
側に配置され、第２の受像素子３２は第２の光束２６の
結像位置３６の遠方に配置されている。
スプリッタ２２の下流側で偏向されるので、第１の光束
２４の結像位置３４と第２の光束２６の結像位置３６
は、これら光束に平行な方向にずれている。また、第１
の受像素子３０は第１の光束２４の結像位置３４の手前
側に配置され、第２の受像素子３２は第２の光束２６の
結像位置３６の遠方に配置されている。
【０００９】したがって、光ディスク１０２が結像レン
ズ１４に接近する方向に移動すると、第１の光束２４の
結像位置３４と第１の受像素子３０との距離が拡大し、
第２の光束２６の結像位置３６と第２の受像素子３２と
の距離が縮小する。逆に、光ディスク１０２が対物レン
ズ１４から遠ざかる方向に移動すると、第１の光束２４
の結像位置３４と第１の受像素子３０との距離が縮小
し、第２の光束２６の結像位置３６と第２の受像素子３
２との距離が拡大する。また、結像位置と受像素子との
距離が拡大すると受像素子で受像される光の強度が低下
し、逆に、結像位置と受像素子との距離が縮小すると受
像される光の強度が増加する。また、受像素子の出力電
圧は、受像した光の強度に応じて変化する。そのため、
第１と第２の受像素子３０，３の出力電圧差Ｖは、対物
レンズ１４と光ディスク１０２との距離に応じて、図９
に示すように変化する。
ズ１４に接近する方向に移動すると、第１の光束２４の
結像位置３４と第１の受像素子３０との距離が拡大し、
第２の光束２６の結像位置３６と第２の受像素子３２と
の距離が縮小する。逆に、光ディスク１０２が対物レン
ズ１４から遠ざかる方向に移動すると、第１の光束２４
の結像位置３４と第１の受像素子３０との距離が縮小
し、第２の光束２６の結像位置３６と第２の受像素子３
２との距離が拡大する。また、結像位置と受像素子との
距離が拡大すると受像素子で受像される光の強度が低下
し、逆に、結像位置と受像素子との距離が縮小すると受
像される光の強度が増加する。また、受像素子の出力電
圧は、受像した光の強度に応じて変化する。そのため、
第１と第２の受像素子３０，３の出力電圧差Ｖは、対物
レンズ１４と光ディスク１０２との距離に応じて、図９
に示すように変化する。
【００１０】そして、光学ユニット１０では、第１と第
２の受像素子３０，３２の出力電位差Ｖを出来るだけ大
きく設定し、光ヘッドの回転中に生じる光ヘッドの光軸
方向の変移に拘わらず光ヘッドに記録されている情報を
正確に再現できるように又光ヘッドに正確に情報を記録
できるように、第１と第２の受像素子３０，３２の位置
が調整される。具体的に、実際の調整では、光ヘッド又
はこれに相当する部材を光軸方向に振動し、このとき第
１と第２の受像素子から出力される信号の電圧を測定
し、それら２つの電圧の差が最も大きくなるように第１
と第２の受像素子３０，３２の位置が調整される。
２の受像素子３０，３２の出力電位差Ｖを出来るだけ大
きく設定し、光ヘッドの回転中に生じる光ヘッドの光軸
方向の変移に拘わらず光ヘッドに記録されている情報を
正確に再現できるように又光ヘッドに正確に情報を記録
できるように、第１と第２の受像素子３０，３２の位置
が調整される。具体的に、実際の調整では、光ヘッド又
はこれに相当する部材を光軸方向に振動し、このとき第
１と第２の受像素子から出力される信号の電圧を測定
し、それら２つの電圧の差が最も大きくなるように第１
と第２の受像素子３０，３２の位置が調整される。
【００１１】（Ｃ）対物レンズの位置ずれ調整 続いて、対物レンズの中心とこの対物レンズを透過して
結像される像における光強度分布の中心との位置ずれの
調整を説明する。この調整では、光学ユニット１０から
出射された光を結像レンズで撮像素子１１０に入射し、
この撮像素子に受像された像を画像表示部１１４に表示
し、この像の中心とこの像における光強度分布の中心
（最大光強度位置）との位置ずれを検出し、その検出結
果に基づいて、光軸１１に直交する平面上で対物レンズ
１４を移動し、その位置ずれを消去する。
結像される像における光強度分布の中心との位置ずれの
調整を説明する。この調整では、光学ユニット１０から
出射された光を結像レンズで撮像素子１１０に入射し、
この撮像素子に受像された像を画像表示部１１４に表示
し、この像の中心とこの像における光強度分布の中心
（最大光強度位置）との位置ずれを検出し、その検出結
果に基づいて、光軸１１に直交する平面上で対物レンズ
１４を移動し、その位置ずれを消去する。
【００１２】このように、上述した３つの調整は異なる
構成を必要とする。すなわち、レンズ系の収差調整（補
正）は回折格子を必要とし、受像素子の位置調整は反射
部材を必要とし、対物レンズの位置ずれ調整はこれらの
部材を必要としない。
構成を必要とする。すなわち、レンズ系の収差調整（補
正）は回折格子を必要とし、受像素子の位置調整は反射
部材を必要とし、対物レンズの位置ずれ調整はこれらの
部材を必要としない。
【００１３】そのため、上述した各調整装置を利用する
限り、光学ユニットは、まず第１の調整位置でレンズ径
の収差を補正し、次に第２の調整位置で受像素子を位置
調整し、続いて第３の調整位置で対物レンズの位置ずれ
を調整しなければならない。その結果、第１から第３の
位置に光学ユニットを移動する必要から、その搬送時間
の分だけ調整に要する時間が大きくなるという問題があ
った。
限り、光学ユニットは、まず第１の調整位置でレンズ径
の収差を補正し、次に第２の調整位置で受像素子を位置
調整し、続いて第３の調整位置で対物レンズの位置ずれ
を調整しなければならない。その結果、第１から第３の
位置に光学ユニットを移動する必要から、その搬送時間
の分だけ調整に要する時間が大きくなるという問題があ
った。
【００１４】そこで、本発明は、上記３つの調整のうち
少なくとも２つを一つの場所で行うことができ、そのた
めに光学ユニットの調整を短時間で行い得る光学ユニッ
トの調整方法及び装置を提供することを目的とする。
少なくとも２つを一つの場所で行うことができ、そのた
めに光学ユニットの調整を短時間で行い得る光学ユニッ
トの調整方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１５】
【発明の概要】この目的を達成するために、本発明に係
る光ヘッドの調整方法は、（ａ）反射性の材料からなる
層を有し、所定の間隔をあけて複数の平行な透光窓が形
成されており、上記光学ユニットから出射される光の光
軸を横切って配置され、入射された上記光を反射すると
共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、異なる
次数の２つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を
得る反射・透過型回折格子を用意する工程と、（ｂ）上
記回折格子を上記光軸とほぼ直交する方向に移動する工
程と、（ｃ）上記シェアリング干渉像から上記光学ユニ
ットの特性を検出する工程と、（ｄ）上記検出器の検出
結果に基づいて上記光学ユニットを調整する工程と、
（ｅ）上記光軸方向に上記反射・透過型回折格子を移動
させる工程と、（ｆ）上記回折格子で反射した光を受光
素子で受像する工程と、（ｇ）上記受光素子で受光され
た光の強度をもとに、上記受光素子の位置を調整する工
程と、を有する。上記反射・透過型回折格子は、透光性
の材料からなる板の表面に所定の間隔をあけて複数の平
行な溝を設けると共に該表面を半透光性の材料で被覆し
た回折格子であって、上記光学ユニットから出射される
光の光軸を横切って配置され、入射された上記光を反射
すると共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、
異なる次数の２つの回折光を干渉させてシェアリング干
渉像を得る反射・透過型回折格子に代えることもでき
る。
る光ヘッドの調整方法は、（ａ）反射性の材料からなる
層を有し、所定の間隔をあけて複数の平行な透光窓が形
成されており、上記光学ユニットから出射される光の光
軸を横切って配置され、入射された上記光を反射すると
共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、異なる
次数の２つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を
得る反射・透過型回折格子を用意する工程と、（ｂ）上
記回折格子を上記光軸とほぼ直交する方向に移動する工
程と、（ｃ）上記シェアリング干渉像から上記光学ユニ
ットの特性を検出する工程と、（ｄ）上記検出器の検出
結果に基づいて上記光学ユニットを調整する工程と、
（ｅ）上記光軸方向に上記反射・透過型回折格子を移動
させる工程と、（ｆ）上記回折格子で反射した光を受光
素子で受像する工程と、（ｇ）上記受光素子で受光され
た光の強度をもとに、上記受光素子の位置を調整する工
程と、を有する。上記反射・透過型回折格子は、透光性
の材料からなる板の表面に所定の間隔をあけて複数の平
行な溝を設けると共に該表面を半透光性の材料で被覆し
た回折格子であって、上記光学ユニットから出射される
光の光軸を横切って配置され、入射された上記光を反射
すると共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、
異なる次数の２つの回折光を干渉させてシェアリング干
渉像を得る反射・透過型回折格子に代えることもでき
る。
【００１６】また、本発明に係る他の光学ユニット調整
方法は、（ａ）透明板と、上記光学ユニットから出射さ
れた光を回折すると共に異なる次数の回折光のシェアリ
ング干渉像を作る透過型の回折格子とを有するホルダを
用意する工程と、（ｂ）上記回折格子を、上記レンズを
透過した光の光軸を横切る動作位置に移動させる工程
と、（ｃ）上記動作位置に配置された回折格子を透過し
た上記シェアリング干渉像から上記光学ユニットの特性
を検出する工程と、（ｄ） 上記検出された光学ユニッ
トの特性をもとに上記光学ユニットを調整する工程と、
（ｅ）上記透明板を、上記レンズを透過した光の光軸を
横切る動作位置に移動させる工程と、（ｆ）上記動作位
置に配置された透明板を透過した光の像から、光強度分
布の中心と上記レンズの中心との位置ずれを検出する工
程と、（ｇ）上記検出された位置ずれをもとに上記レン
ズを調整する工程とを備えた光学ユニットの調整方法。
方法は、（ａ）透明板と、上記光学ユニットから出射さ
れた光を回折すると共に異なる次数の回折光のシェアリ
ング干渉像を作る透過型の回折格子とを有するホルダを
用意する工程と、（ｂ）上記回折格子を、上記レンズを
透過した光の光軸を横切る動作位置に移動させる工程
と、（ｃ）上記動作位置に配置された回折格子を透過し
た上記シェアリング干渉像から上記光学ユニットの特性
を検出する工程と、（ｄ） 上記検出された光学ユニッ
トの特性をもとに上記光学ユニットを調整する工程と、
（ｅ）上記透明板を、上記レンズを透過した光の光軸を
横切る動作位置に移動させる工程と、（ｆ）上記動作位
置に配置された透明板を透過した光の像から、光強度分
布の中心と上記レンズの中心との位置ずれを検出する工
程と、（ｇ）上記検出された位置ずれをもとに上記レン
ズを調整する工程とを備えた光学ユニットの調整方法。
【００１７】上記調整方法を実施する光学ユニット調整
装置は、（ａ）反射性の材料からなる層を有し、所定の
間隔をあけて複数の平行な透光窓が形成されており、上
記光学ユニットから出射される光の光軸を横切って配置
され、入射された上記光を反射すると共に、上記複数の
透光窓を透過する光を回折し、異なる次数の２つの回折
光を干渉させてシェアリング干渉像を得る反射・透過型
回折格子と、（ｂ）上記回折格子を上記光軸とほぼ直交
する方向に移動する第１の機構と、（ｃ）上記シェアリ
ング干渉像から上記光学ユニットの特性を検出する検出
器と、（ｄ）上記検出器の検出結果に基づいて上記光学
ユニットを調整する第１の機構と、（ｅ）上記光軸方向
に上記反射・透過型回折格子を移動させる第２の機構
と、（ｆ）上記回折格子で反射した光を受ける受光素子
と、（ｇ）上記受光素子で受光された光の強度をもと
に、上記受光素子の位置を調整する第２の調整機構とを
有する。なお、上記反射・透過型回折格子は、透光性の
材料からなる板の表面に所定の間隔をあけて複数の平行
な溝を設けると共に該表面を半透光性の材料で被覆した
回折格子であって、上記光学ユニットから出射される光
の光軸を横切って配置され、入射された上記光を反射す
ると共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、異
なる次数の２つの回折光を干渉させてシェアリング干渉
像を得る反射・透過型回折格子に代えることもできる。
装置は、（ａ）反射性の材料からなる層を有し、所定の
間隔をあけて複数の平行な透光窓が形成されており、上
記光学ユニットから出射される光の光軸を横切って配置
され、入射された上記光を反射すると共に、上記複数の
透光窓を透過する光を回折し、異なる次数の２つの回折
光を干渉させてシェアリング干渉像を得る反射・透過型
回折格子と、（ｂ）上記回折格子を上記光軸とほぼ直交
する方向に移動する第１の機構と、（ｃ）上記シェアリ
ング干渉像から上記光学ユニットの特性を検出する検出
器と、（ｄ）上記検出器の検出結果に基づいて上記光学
ユニットを調整する第１の機構と、（ｅ）上記光軸方向
に上記反射・透過型回折格子を移動させる第２の機構
と、（ｆ）上記回折格子で反射した光を受ける受光素子
と、（ｇ）上記受光素子で受光された光の強度をもと
に、上記受光素子の位置を調整する第２の調整機構とを
有する。なお、上記反射・透過型回折格子は、透光性の
材料からなる板の表面に所定の間隔をあけて複数の平行
な溝を設けると共に該表面を半透光性の材料で被覆した
回折格子であって、上記光学ユニットから出射される光
の光軸を横切って配置され、入射された上記光を反射す
ると共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折し、異
なる次数の２つの回折光を干渉させてシェアリング干渉
像を得る反射・透過型回折格子に代えることもできる。
【００１８】また、別の光学ユニット調整装置は、
（ａ）上記光学ユニットから出射された光を回折すると
共に異なる次数の回折光のシェアリング干渉像を作る透
過型の回折格子と、（ｂ）透明板と、（ｃ）上記回折格
子と透明板を一体的に保持するホルダと、（ｄ）上記ホ
ルダを移動し、上記回折格子又は透明板のいずれか一方
を、上記レンズを透過した光の光軸を横切る動作位置に
選択的に移動させる第１の移動機構と、（ｅ）上記動作
位置に配置された回折格子を透過した上記シェアリング
干渉像から上記光学ユニットを調整する第１の調整機構
と、（ｆ）上記動作位置に配置された透明板を透過した
光の像から、光強度分布の中心と上記レンズの中心との
位置ずれを検出する検出器と、（ｇ）上記検出器の検出
結果をもとに、上記レンズの位置を調整する第２の調整
機構とを有する。
（ａ）上記光学ユニットから出射された光を回折すると
共に異なる次数の回折光のシェアリング干渉像を作る透
過型の回折格子と、（ｂ）透明板と、（ｃ）上記回折格
子と透明板を一体的に保持するホルダと、（ｄ）上記ホ
ルダを移動し、上記回折格子又は透明板のいずれか一方
を、上記レンズを透過した光の光軸を横切る動作位置に
選択的に移動させる第１の移動機構と、（ｅ）上記動作
位置に配置された回折格子を透過した上記シェアリング
干渉像から上記光学ユニットを調整する第１の調整機構
と、（ｆ）上記動作位置に配置された透明板を透過した
光の像から、光強度分布の中心と上記レンズの中心との
位置ずれを検出する検出器と、（ｇ）上記検出器の検出
結果をもとに、上記レンズの位置を調整する第２の調整
機構とを有する。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明の具体的実施の形態を説明
する。 （１）第１実施形態 図１において、上述した光学ユニット１０（図８参照）
の光学的特性を評価する装置１００は、光学ユニット１
０の光軸１１上に、この光学ユニット１０の対物レンズ
１４側から順次、回折格子ユニット１０４、コリメータ
レンズ１０６、結像レンズ１０８、撮像素子（公電変換
素子：ＣＣＤ）１１０が配置されている。撮像素子１１
０は画像処理部１１２に接続され、また画像処理部１１
２は表示部１１４（例えば、ＣＲＴ）に接続されてお
り、撮像素子１１０から出力された信号が画像処理部１
１２で処理され、その処理結果が表示部１１４に表示で
きるようにしてある。
する。 （１）第１実施形態 図１において、上述した光学ユニット１０（図８参照）
の光学的特性を評価する装置１００は、光学ユニット１
０の光軸１１上に、この光学ユニット１０の対物レンズ
１４側から順次、回折格子ユニット１０４、コリメータ
レンズ１０６、結像レンズ１０８、撮像素子（公電変換
素子：ＣＣＤ）１１０が配置されている。撮像素子１１
０は画像処理部１１２に接続され、また画像処理部１１
２は表示部１１４（例えば、ＣＲＴ）に接続されてお
り、撮像素子１１０から出力された信号が画像処理部１
１２で処理され、その処理結果が表示部１１４に表示で
きるようにしてある。
【００２０】回折格子ユニット１０４は、光軸１１を横
切るように配置された回折格子１２０を有する。また、
回折格子ユニット１０４は、光軸１１と直交する方向
（図面の水平方向）に回折格子１２０を一定の速度で移
動させる水平移動機構１２２と、光軸１１と平行な方向
（図面の上下方向）に回折格子１２０を振動させる垂直
移動機構１２４を有する。なお、これらの水平移動機構
１２２、垂直移動機構１２４には、ピエゾ素子を利用し
た微動機構を利用するのが好ましい。
切るように配置された回折格子１２０を有する。また、
回折格子ユニット１０４は、光軸１１と直交する方向
（図面の水平方向）に回折格子１２０を一定の速度で移
動させる水平移動機構１２２と、光軸１１と平行な方向
（図面の上下方向）に回折格子１２０を振動させる垂直
移動機構１２４を有する。なお、これらの水平移動機構
１２２、垂直移動機構１２４には、ピエゾ素子を利用し
た微動機構を利用するのが好ましい。
【００２１】回折格子１２０は、透過・反射型の回折格
子で、透光性の材料からなる表面を反射性・不透光性の
材料からなる層（図示せず）で被覆すると共に、この層
に一定の間隔をあけて並列に複数の光学スリット（光の
透過できる窓）１２１を形成した振幅型回折格子であ
る。この透過・反射型回折格子は、透光性の材料からな
る板の表面に所定の間隔をあけて複数の平行な溝を設け
た位相型回折格子の上記表面を半透光性材料の被膜で被
覆した位相型回折格子に代えることができる。したがっ
て、回折格子１２０に入射された光は、その一部が入射
方向と逆の方向に反射され、残る一部が光学スリット１
２１を介して透過する。そして、光学スリット１２１
は、入射された光から０次、±１次、±２次・・・のオ
ーダの回折光を形成し、コリメータレンズ１６の開口領
域において、０次の回折光が＋１次の回折光、また０次
回折光と−１次の回折光が部分的に重なり合って干渉縞
を生じるように設計されている。
子で、透光性の材料からなる表面を反射性・不透光性の
材料からなる層（図示せず）で被覆すると共に、この層
に一定の間隔をあけて並列に複数の光学スリット（光の
透過できる窓）１２１を形成した振幅型回折格子であ
る。この透過・反射型回折格子は、透光性の材料からな
る板の表面に所定の間隔をあけて複数の平行な溝を設け
た位相型回折格子の上記表面を半透光性材料の被膜で被
覆した位相型回折格子に代えることができる。したがっ
て、回折格子１２０に入射された光は、その一部が入射
方向と逆の方向に反射され、残る一部が光学スリット１
２１を介して透過する。そして、光学スリット１２１
は、入射された光から０次、±１次、±２次・・・のオ
ーダの回折光を形成し、コリメータレンズ１６の開口領
域において、０次の回折光が＋１次の回折光、また０次
回折光と−１次の回折光が部分的に重なり合って干渉縞
を生じるように設計されている。
【００２２】以上の構成を用いた光学ユニット１０の評
価手順等を説明する。この評価手順において、光学ユニ
ット１０の光源（例えば、半導体レーザ）１２から出射
された光（レーザ）は、対物レンズ１４から出射し、回
折格子１２０に入射する。回折格子１２０に入射した光
の一部は、光学スリット１２１において回折し、０次、
±１次、±２次・・・のオーダの回折光を形成する。こ
れら回折光のうち０次回折光と±１次回折光が、コリメ
ータレンズ１０６の開口領域において互いに重なり合い
（干渉し）、それらの干渉領域（シェアリング領域）に
干渉縞（シェアリング干渉像）を生じる。次に、コリメ
ータレンズ１０６によりコリメートされた光は結像レン
ズ１０８により結像され、撮像素子１１０に受像され
る。撮像素子１１０は受像した光に対応した一連の電気
信号を作成し、この電気信号を画像処理部１１２に出力
する。画像処理部１１２は、受信した信号を処理し、撮
像素子１１０で受像した像を表示部１１４に表示する。
価手順等を説明する。この評価手順において、光学ユニ
ット１０の光源（例えば、半導体レーザ）１２から出射
された光（レーザ）は、対物レンズ１４から出射し、回
折格子１２０に入射する。回折格子１２０に入射した光
の一部は、光学スリット１２１において回折し、０次、
±１次、±２次・・・のオーダの回折光を形成する。こ
れら回折光のうち０次回折光と±１次回折光が、コリメ
ータレンズ１０６の開口領域において互いに重なり合い
（干渉し）、それらの干渉領域（シェアリング領域）に
干渉縞（シェアリング干渉像）を生じる。次に、コリメ
ータレンズ１０６によりコリメートされた光は結像レン
ズ１０８により結像され、撮像素子１１０に受像され
る。撮像素子１１０は受像した光に対応した一連の電気
信号を作成し、この電気信号を画像処理部１１２に出力
する。画像処理部１１２は、受信した信号を処理し、撮
像素子１１０で受像した像を表示部１１４に表示する。
【００２３】レンズ系の収差を評価する場合、水平移動
機構１２２を駆動し、回折格子１２０を水平方向に移動
する。これにより、表示部１１４に表示されたシェアリ
ング干渉像における各点の光強度の位相が変化する。し
たがって、上述した回折干渉法を用い、シェリング干渉
像上に複数の点を設定し、これらの点における光強度の
位相差を求め、各種の収差（デフォーカス、球面収差、
コマ収差、非点収差等）を評価する。また、収差評価結
果をもとに、光学ユニット１０のレンズ系を調整する。
例えば収差評価結果をもとに対物レンズ１４を調整する
場合、この対物レンズ１４を支持している第１の調整機
構１２６を操作し、光軸１１に対する対物レンズ１４の
設定角度等を調整する。
機構１２２を駆動し、回折格子１２０を水平方向に移動
する。これにより、表示部１１４に表示されたシェアリ
ング干渉像における各点の光強度の位相が変化する。し
たがって、上述した回折干渉法を用い、シェリング干渉
像上に複数の点を設定し、これらの点における光強度の
位相差を求め、各種の収差（デフォーカス、球面収差、
コマ収差、非点収差等）を評価する。また、収差評価結
果をもとに、光学ユニット１０のレンズ系を調整する。
例えば収差評価結果をもとに対物レンズ１４を調整する
場合、この対物レンズ１４を支持している第１の調整機
構１２６を操作し、光軸１１に対する対物レンズ１４の
設定角度等を調整する。
【００２４】受像素子３０，３２の位置を調整する場
合、垂直移動機構１２４を駆動し、回折格子１２０を光
軸方向に往復移動する。これにより、既に説明したよう
に、２つの受像素子３０，３２で受像される光の強度及
びその光強度に応じて出力される電圧が変化する。そし
て、２つの受像素子３０，３２に接続された信号処理部
１２８は、これら受像素子３０，３２から出力された電
圧の差をもとに、駆動部１３０を作動し、図８に示すよ
うに、受像素子３０，３２を支持している支持部１３２
を移動し、受像素子３０，３２の出力電圧差の変動幅が
最大になるように受像素子３０，３２の位置を調整す
る。
合、垂直移動機構１２４を駆動し、回折格子１２０を光
軸方向に往復移動する。これにより、既に説明したよう
に、２つの受像素子３０，３２で受像される光の強度及
びその光強度に応じて出力される電圧が変化する。そし
て、２つの受像素子３０，３２に接続された信号処理部
１２８は、これら受像素子３０，３２から出力された電
圧の差をもとに、駆動部１３０を作動し、図８に示すよ
うに、受像素子３０，３２を支持している支持部１３２
を移動し、受像素子３０，３２の出力電圧差の変動幅が
最大になるように受像素子３０，３２の位置を調整す
る。
【００２５】（２）第２実施形態 図２は本発明の第２実施形態を示す。本実施形態におい
て、回折格子ユニット１４０は、対物レンズ１４とコリ
メータレンズ１０６の間に配置されたフレーム１４２を
有する。フレーム１４２には、上述した透過・反射型の
回折格子１２０と、所定の厚みを有する透明板１４４が
保持されている。透過・反射型の回折格子１２０として
は、上述した２種類の透過・反射型回折格子のいずれを
用いてもよい。また、回折格子１２０は、水平移動機構
１４６を介してフレーム１４２に連結されており、回折
格子１２０がフレーム１４２に対して水平方向に一定速
度で移動できるようにしてある。一方、フレーム１４２
は、手動又は電気機械的駆動機構１４８により、透明板
１４４が光軸１１を横切る位置（図２参照）と、回折格
子１２０が光軸１１を横切る位置（図示せず）との間を
移動できるようにしてある。
て、回折格子ユニット１４０は、対物レンズ１４とコリ
メータレンズ１０６の間に配置されたフレーム１４２を
有する。フレーム１４２には、上述した透過・反射型の
回折格子１２０と、所定の厚みを有する透明板１４４が
保持されている。透過・反射型の回折格子１２０として
は、上述した２種類の透過・反射型回折格子のいずれを
用いてもよい。また、回折格子１２０は、水平移動機構
１４６を介してフレーム１４２に連結されており、回折
格子１２０がフレーム１４２に対して水平方向に一定速
度で移動できるようにしてある。一方、フレーム１４２
は、手動又は電気機械的駆動機構１４８により、透明板
１４４が光軸１１を横切る位置（図２参照）と、回折格
子１２０が光軸１１を横切る位置（図示せず）との間を
移動できるようにしてある。
【００２６】本実施形態においてレンズ系の収差を求め
る場合、回折格子１２０が光軸１１を横切る位置にフレ
ーム１４２を設定し、上述した第１実施形態と同様に、
水平移動機構１４６で回折格子１２０を移動しながら、
表示部１１４に表示されたシェアリング干渉像を利用し
てレンズ系の収差を求め、例えば対物レンズ１４の光軸
１１に対する角度を調整する。
る場合、回折格子１２０が光軸１１を横切る位置にフレ
ーム１４２を設定し、上述した第１実施形態と同様に、
水平移動機構１４６で回折格子１２０を移動しながら、
表示部１１４に表示されたシェアリング干渉像を利用し
てレンズ系の収差を求め、例えば対物レンズ１４の光軸
１１に対する角度を調整する。
【００２７】対物レンズ１４の位置ずれ調整では、まず
撮像素子１１０に受像された像の中心と、この像におけ
る光強度分布の中心とが一致しているか一致していない
かは、表示部１１４に表示された像を用いて判断され
る。そして、両中心が不一致の場合、対物レンズ１４を
支持している調整機構１５０を操作し、対物レンズ１４
を水平方向に移動し、両中心を一致させる。
撮像素子１１０に受像された像の中心と、この像におけ
る光強度分布の中心とが一致しているか一致していない
かは、表示部１１４に表示された像を用いて判断され
る。そして、両中心が不一致の場合、対物レンズ１４を
支持している調整機構１５０を操作し、対物レンズ１４
を水平方向に移動し、両中心を一致させる。
【００２８】具体的に、図３に示すように、表示部１１
４に表示された円形の像の輪郭から対物レンズ１４の中
心座標Ｏ（０，０）を求める。次に、像中の各画素〔座
標（Ｘｓ，Ｙｓ）〕の光強度Ｉｓを求めた後、各画素に
ついてＸｓ×Ｉｓ、Ｙｓ×Ｉｓを計算する。続いて、各
画素について求めたＸｓ×Ｉｓ、Ｙｓ×Ｉｓをそれぞれ
累計し、Σ（Ｘｓ×Ｉｓ）、Σ（Ｙｓ×Ｉｓ）を計算す
る。そして、Σ（Ｘｓ×Ｉｓ）、Σ（Ｙｓ×Ｉｓ）がゼ
ロか否かを判断し、その累計値がゼロでない又はゼロに
近い一定の範囲に入っていなければ、その累計値に応じ
て対物レンズ１４を水平面に平行に移動して同様の処
理、計算を行い、累計値がゼロになるか又はゼロに近い
一定範囲に入るまで対物レンズ１４の位置を調整する。
４に表示された円形の像の輪郭から対物レンズ１４の中
心座標Ｏ（０，０）を求める。次に、像中の各画素〔座
標（Ｘｓ，Ｙｓ）〕の光強度Ｉｓを求めた後、各画素に
ついてＸｓ×Ｉｓ、Ｙｓ×Ｉｓを計算する。続いて、各
画素について求めたＸｓ×Ｉｓ、Ｙｓ×Ｉｓをそれぞれ
累計し、Σ（Ｘｓ×Ｉｓ）、Σ（Ｙｓ×Ｉｓ）を計算す
る。そして、Σ（Ｘｓ×Ｉｓ）、Σ（Ｙｓ×Ｉｓ）がゼ
ロか否かを判断し、その累計値がゼロでない又はゼロに
近い一定の範囲に入っていなければ、その累計値に応じ
て対物レンズ１４を水平面に平行に移動して同様の処
理、計算を行い、累計値がゼロになるか又はゼロに近い
一定範囲に入るまで対物レンズ１４の位置を調整する。
【００２９】なお、第２実施形態では、光学ユニット１
０の収差調整と対物レンズ１４の位置ずれ調整を同一の
場所で行うものとしたが、フレーム１４２に回折格子１
２０を光軸方向に移動する垂直移動機構（図１参照）を
設けることで、受像素子３０，３２の位置調整を含めた
３つの調整を同一の場所で行うことができる。
０の収差調整と対物レンズ１４の位置ずれ調整を同一の
場所で行うものとしたが、フレーム１４２に回折格子１
２０を光軸方向に移動する垂直移動機構（図１参照）を
設けることで、受像素子３０，３２の位置調整を含めた
３つの調整を同一の場所で行うことができる。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明のように、本発明に係る光学
ユニット調整装置によれば、従来、別々の装置及び場所
で行っていた複数の調整作業（光学ユニットの収差調
整、結像レンズの位置ずれ調整、受光素子の位置調整）
のうち少なくとも２つの調整を同一の場所で行うことが
できるので、光学ユニットの全調整時間を短縮できる。
ユニット調整装置によれば、従来、別々の装置及び場所
で行っていた複数の調整作業（光学ユニットの収差調
整、結像レンズの位置ずれ調整、受光素子の位置調整）
のうち少なくとも２つの調整を同一の場所で行うことが
できるので、光学ユニットの全調整時間を短縮できる。
【図１】 本発明に係る光学ユニット調整装置の第１実
施形態の構成を示す図。
施形態の構成を示す図。
【図２】 本発明に係る光学ユニット調整装置の第２実
施形態の構成を示す図。
施形態の構成を示す図。
【図３】 対物レンズの位置ずれを示す図（ａ）と、対
物レンズの位置ずれを調整するプロセスを示すフローチ
ャート（ｂ）。
物レンズの位置ずれを調整するプロセスを示すフローチ
ャート（ｂ）。
【図４】 光学ユニットのレンズ系（対物レンズ）の収
差を評価し補正する装置の構成を示す図。
差を評価し補正する装置の構成を示す図。
【図５】 回折格子を透過した回折光が干渉する状態を
示す図。
示す図。
【図６】 表示部に表示されるシェアリング干渉像を示
す図。
す図。
【図７】 シェアリング干渉像の干渉模様を示す図。
【図８】 光学ユニットに含まれる光学系の断面図。
【図９】 受像素子から出力される信号電圧差が光ディ
スクの光軸方向変移に基づいて変化する様子を示す図。
スクの光軸方向変移に基づいて変化する様子を示す図。
１０…光学ユニット、１２…光源、１４…対物レンズ、
３０，３２…受像素子、１２０…透過・反射型回折格
子、１２２…水平移動機構、１２４…垂直移動機構、１
２６、１５０…対物レンズ調整機構。
３０，３２…受像素子、１２０…透過・反射型回折格
子、１２２…水平移動機構、１２４…垂直移動機構、１
２６、１５０…対物レンズ調整機構。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西井 完治 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H043 AA03 AA24 AD03 AD12 AD23 2H049 AA03 AA50 AA57 AA68 5D119 AA38 BA01 JA43 JC07 KA42 NA02
Claims (6)
- 【請求項１】 光学ユニットの調整方法であって、
（ａ）反射性の材料からなる層を有し、所定の間隔をあ
けて複数の平行な透光窓が形成されており、上記光学ユ
ニットから出射される光の光軸を横切って配置され、入
射された上記光を反射すると共に、上記複数の透光窓を
透過する光を回折し、異なる次数の２つの回折光を干渉
させてシェアリング干渉像を得る反射・透過型回折格子
を用意する工程と、（ｂ）上記回折格子を上記光軸とほ
ぼ直交する方向に移動する工程と、（ｃ）上記シェアリ
ング干渉像から上記光学ユニットの特性を検出する工程
と、（ｄ）上記検出器の検出結果に基づいて上記光学ユ
ニットを調整する工程と、（ｅ）上記光軸方向に上記反
射・透過型回折格子を移動させる工程と、（ｆ）上記回
折格子で反射した光を受光素子で受像する工程と、
（ｇ）上記受光素子で受光された光の強度をもとに、上
記受光素子の位置を調整する工程と、を備えた光学ユニ
ットの調整方法。 - 【請求項２】 光学ユニットの調整方法であって、
（ａ）透光性の材料からなる板の表面に所定の間隔をあ
けて複数の平行な溝を設けると共に該表面を半透光性の
材料で被覆した回折格子であって、上記光学ユニットか
ら出射される光の光軸を横切って配置され、入射された
上記光を反射すると共に、上記複数の透光窓を透過する
光を回折し、異なる次数の２つの回折光を干渉させてシ
ェアリング干渉像を得る反射・透過型回折格子を用意す
る工程と、（ｂ）上記回折格子を上記光軸とほぼ直交す
る方向に移動する工程と、（ｃ）上記シェアリング干渉
像から上記光学ユニットの特性を検出する工程と、
（ｄ）上記検出器の検出結果に基づいて上記光学ユニッ
トを調整する工程と、（ｅ）上記光軸方向に上記反射・
透過型回折格子を移動させる工程と、（ｆ）上記回折格
子で反射した光を受光素子で受像する工程と、（ｇ）上
記受光素子で受光された光の強度をもとに、上記受光素
子の位置を調整する工程と、を備えた光学ユニットの調
整方法。 - 【請求項３】 レンズを有する光学ユニットの調整方法
であって、（ａ）透明板と、上記光学ユニットから出射
された光を回折すると共に異なる次数の回折光のシェア
リング干渉像を作る透過型の回折格子とを有するホルダ
を用意する工程と、（ｂ）上記回折格子を、上記レンズ
を透過した光の光軸を横切る動作位置に移動させる工程
と、（ｃ）上記動作位置に配置された回折格子を透過し
た上記シェアリング干渉像から上記光学ユニットの特性
を検出する工程と、（ｄ） 上記検出された光学ユニッ
トの特性をもとに上記光学ユニットを調整する工程と、
（ｅ）上記透明板を、上記レンズを透過した光の光軸を
横切る動作位置に移動させる工程と、（ｆ）上記動作位
置に配置された透明板を透過した光の像から、光強度分
布の中心と上記レンズの中心との位置ずれを検出する工
程と、（ｇ）上記検出された位置ずれをもとに上記レン
ズを調整する工程とを備えた光学ユニットの調整方法。 - 【請求項４】 光学ユニットの調整装置に、（ａ）反射
性の材料からなる層を有し、所定の間隔をあけて複数の
平行な透光窓が形成されており、上記光学ユニットから
出射される光の光軸を横切って配置され、入射された上
記光を反射すると共に、上記複数の透光窓を透過する光
を回折し、異なる次数の２つの回折光を干渉させてシェ
アリング干渉像を得る反射・透過型回折格子と、（ｂ）
上記回折格子を上記光軸とほぼ直交する方向に移動する
第１の機構と、（ｃ）上記シェアリング干渉像から上記
光学ユニットの特性を検出する検出器と、（ｄ）上記検
出器の検出結果に基づいて上記光学ユニットを調整する
第１の機構と、（ｅ）上記光軸方向に上記反射・透過型
回折格子を移動させる第２の機構と、（ｆ）上記回折格
子で反射した光を受ける受光素子と、（ｇ）上記受光素
子で受光された光の強度をもとに、上記受光素子の位置
を調整する第２の調整機構と、を備えた光学ユニットの
調整装置。 - 【請求項５】 光学ユニットの調整装置に、（ａ）透光
性の材料からなる板の表面に所定の間隔をあけて複数の
平行な溝を設けると共に該表面を半透光性の材料で被覆
した回折格子であって、上記光学ユニットから出射され
る光の光軸を横切って配置され、入射された上記光を反
射すると共に、上記複数の透光窓を透過する光を回折
し、異なる次数の２つの回折光を干渉させてシェアリン
グ干渉像を得る反射・透過型回折格子と、（ｂ）上記回
折格子を上記光軸とほぼ直交する方向に移動する第１の
機構と、（ｃ）上記シェアリング干渉像から上記光学ユ
ニットの特性を検出する検出器と、（ｄ）上記検出器の
検出結果に基づいて上記光学ユニットを調整する第１の
機構と、（ｅ）上記光軸方向に上記反射・透過型回折格
子を移動させる第２の機構と、（ｆ）上記回折格子で反
射した光を受ける受光素子と、（ｇ）上記受光素子で受
光された光の強度をもとに、上記受光素子の位置を調整
する第２の調整機構と、を備えた光学ユニットの調整装
置。 - 【請求項６】 レンズを有する光学ユニットの調整装置
に、（ａ）上記光学ユニットから出射された光を回折す
ると共に異なる次数の回折光のシェアリング干渉像を作
る透過型の回折格子と、（ｂ）透明板と、（ｃ）上記回
折格子と透明板を一体的に保持するホルダと、（ｄ）上
記ホルダを移動し、上記回折格子又は透明板のいずれか
一方を、上記レンズを透過した光の光軸を横切る動作位
置に選択的に移動させる第１の移動機構と、（ｅ）上記
動作位置に配置された回折格子を透過した上記シェアリ
ング干渉像から上記光学ユニットを調整する第１の調整
機構と、（ｆ）上記動作位置に配置された透明板を透過
した光の像から、光強度分布の中心と上記レンズの中心
との位置ずれを検出する検出器と、（ｇ）上記検出器の
検出結果をもとに、上記レンズの位置を調整する第２の
調整機構とを備えた光学ユニットの調整装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28786599A JP3989656B2 (ja) | 1999-10-08 | 1999-10-08 | 光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置 |
| US09/573,257 US6809829B1 (en) | 1999-05-19 | 2000-05-18 | Method and apparatus for evaluating aberrations of optical element and method and apparatus for adjusting optical unit and lens |
| TW089109717A TW459150B (en) | 1999-05-19 | 2000-05-19 | Method and apparatus for evaluating aberrations of optical element and method and apparatus for adjusting optical unit and lens |
| CNB001062557A CN100390519C (zh) | 1999-05-19 | 2000-05-19 | 透镜的评价方法及其装置、光学单元和透镜的调整方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28786599A JP3989656B2 (ja) | 1999-10-08 | 1999-10-08 | 光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001108877A true JP2001108877A (ja) | 2001-04-20 |
| JP3989656B2 JP3989656B2 (ja) | 2007-10-10 |
Family
ID=17722764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28786599A Expired - Fee Related JP3989656B2 (ja) | 1999-05-19 | 1999-10-08 | 光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3989656B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006338811A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ピックアップ及びその調整装置 |
| US7933189B2 (en) | 2008-04-18 | 2011-04-26 | Panasonic Corporation | Focus optical system and optical disc master exposure apparatus |
| KR20180008316A (ko) * | 2016-07-14 | 2018-01-24 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 광학 장치 조정 방법 |
-
1999
- 1999-10-08 JP JP28786599A patent/JP3989656B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006338811A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ピックアップ及びその調整装置 |
| US7933189B2 (en) | 2008-04-18 | 2011-04-26 | Panasonic Corporation | Focus optical system and optical disc master exposure apparatus |
| KR20180008316A (ko) * | 2016-07-14 | 2018-01-24 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 광학 장치 조정 방법 |
| KR102414479B1 (ko) | 2016-07-14 | 2022-06-30 | 칼 짜이스 에스엠테 게엠베하 | 광학 장치 조정 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3989656B2 (ja) | 2007-10-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3992574A (en) | Opto-electronic system for determining a deviation between the actual position of a radiation-reflecting plane in an optical imaging system and the desired position of said plane | |
| US7274632B2 (en) | Optical head device and method for correcting spherical aberration | |
| JPH11218686A (ja) | 光学像記録装置及びそれを利用する方法 | |
| JP3730831B2 (ja) | 収差測定装置及び調整装置 | |
| JPH02185722A (ja) | 光ヘッド装置及びその組立方法 | |
| US6538749B1 (en) | Method and apparatus for evaluating aberrations of optical element for use with optical device by using phase differences determined by overlapping two diffracted lights to form a sharing image | |
| US5500846A (en) | Radiation source-detection unit employing a grating having two grating structures, and a device including that unit | |
| JP2001108877A (ja) | 光学ユニットの調整方法、光学ユニットの調整装置 | |
| JPS6161178B2 (ja) | ||
| JP2000329648A (ja) | レンズの評価方法、レンズの評価装置、及びレンズの調整装置 | |
| US6208596B1 (en) | Optical pickup and optical disk unit | |
| JPS6343820B2 (ja) | ||
| JPS59231736A (ja) | フォーカスおよびトラッキング誤差検出装置 | |
| JP4167778B2 (ja) | 光学要素の収差評価方法 | |
| JPH03189932A (ja) | 光ピックアップ装置 | |
| JP3503995B2 (ja) | 光ディスク装置 | |
| JP2004271365A (ja) | 収差測定装置、収差測定方法、光ヘッド組立調整装置および光ヘッド組立調整方法 | |
| JP2761180B2 (ja) | 微小変位測定装置及び光ピックアップ装置 | |
| JP3450660B2 (ja) | 対物レンズの傾き調整装置 | |
| JP2009300236A (ja) | 変位検出装置 | |
| US7903524B2 (en) | Optical signal recording medium and information recording/reproducing apparatus | |
| JP2553662B2 (ja) | ホログラム測距装置 | |
| JPH10103917A (ja) | 位置計測装置 | |
| JP4421755B2 (ja) | レンズ調整装置及びレンズ調整方法 | |
| JP2002329338A (ja) | 光ヘッドの調整方法及び装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040331 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061107 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070104 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070320 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070521 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070619 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070718 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100727 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110727 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120727 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130727 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |