JPS60205567A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
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- JPS60205567A JPS60205567A JP6104684A JP6104684A JPS60205567A JP S60205567 A JPS60205567 A JP S60205567A JP 6104684 A JP6104684 A JP 6104684A JP 6104684 A JP6104684 A JP 6104684A JP S60205567 A JPS60205567 A JP S60205567A
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- Japan
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- light
- mirror
- bso
- single mode
- holography
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- Pending
Links
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- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000001093 holography Methods 0.000 abstract description 11
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- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
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- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（技術分野）
本発明は、ホログラフィ技術を利用した各種計測、例え
ばタイヤ、工作機械などの振動計測、ＩＣ基板、ミラー
などの変形計測に適用される光学装置に関するものであ
る。
ばタイヤ、工作機械などの振動計測、ＩＣ基板、ミラー
などの変形計測に適用される光学装置に関するものであ
る。
（従来技術とその問題点）
第１図に従来技術の例を示して説明する。
図中の番号は下記のものを示している。
１０１・・・シングルモードファイバ、１０２・・・コ
リメートレンズ、１０３，１０７・・・ダイクロイック
ミラー、１０４，１０５，１０８，１０９，１１０，１
１６・・・光路変換ミラー、１０６・・・ビームスプリ
ッタ、１１１・・・再生光、１１２・・・イメージファ
イバ、１１３・・・物体光、１１４・・・参照光、１１
５・・・ＢＳＯ、１１７・・・結像レンズ、１１８・・
・記録光、１１９・・・測定物体、１２０・・・基板。
リメートレンズ、１０３，１０７・・・ダイクロイック
ミラー、１０４，１０５，１０８，１０９，１１０，１
１６・・・光路変換ミラー、１０６・・・ビームスプリ
ッタ、１１１・・・再生光、１１２・・・イメージファ
イバ、１１３・・・物体光、１１４・・・参照光、１１
５・・・ＢＳＯ、１１７・・・結像レンズ、１１８・・
・記録光、１１９・・・測定物体、１２０・・・基板。
図においてシングルモードファイバ１０１でＡｒレーザ
光（波長＝４８８μｍ：記録光）およびＨｅ−Ｎｅレー
ザ光（波長＝６３３μｍ：再生光）を多重伝送する。
光（波長＝４８８μｍ：記録光）およびＨｅ−Ｎｅレー
ザ光（波長＝６３３μｍ：再生光）を多重伝送する。
コリメートレンズ（凸レンズ）１０２を、ファイバ出射
端から、その焦点距離の位置に置き、ファイバ出射光を
平行光に変換する。ダイクロイックミラー１０３で再生
光１１１，および記録光１１８に分離し、記録光１１８
はミラー１０４で光路変換した後、ビームスプリッタ１
０６で物体光１１３，参照光１１４に分割する。物体光
１１３は物体１１９で反射し、ダイクロイックミラー１
０７を通過し、ＢＳＯ１１５を照射する。参照光１１４
はミラー１０５で光路変換され、ＢＳＯ１１５上で物体
光１１３と干渉し、ホログラムが記録される。再生光１
１１はミラー１０８，１０９，１１０で光路変換されＢ
Ｓ０１１５を通過する。ホログラフィ再生像は、ダイク
ロイックミラー１０７で反射し、ミラー１１６で光路変
換され、結像レンズ１１７を介してイメージファイバ１
１２で伝送される。
端から、その焦点距離の位置に置き、ファイバ出射光を
平行光に変換する。ダイクロイックミラー１０３で再生
光１１１，および記録光１１８に分離し、記録光１１８
はミラー１０４で光路変換した後、ビームスプリッタ１
０６で物体光１１３，参照光１１４に分割する。物体光
１１３は物体１１９で反射し、ダイクロイックミラー１
０７を通過し、ＢＳＯ１１５を照射する。参照光１１４
はミラー１０５で光路変換され、ＢＳＯ１１５上で物体
光１１３と干渉し、ホログラムが記録される。再生光１
１１はミラー１０８，１０９，１１０で光路変換されＢ
Ｓ０１１５を通過する。ホログラフィ再生像は、ダイク
ロイックミラー１０７で反射し、ミラー１１６で光路変
換され、結像レンズ１１７を介してイメージファイバ１
１２で伝送される。
第２図は全体構成を示す図である。第１図に示す光学系
が第２図のホログラフィ光学系に内蔵されている。
が第２図のホログラフィ光学系に内蔵されている。
ここで、図中の番号は下記のものを示している。
２０１・・・Ａｒレーザ，２０２・・・Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ，２０３・・・光結合部，２０４・・・集光レンズ，
２０５・・・シングルモードファイバ，２０６・・・ホ
ログラフィ光学系，２０７・・・イメージファイバ，２
０８・・・ＴＶカメラ。
ザ，２０３・・・光結合部，２０４・・・集光レンズ，
２０５・・・シングルモードファイバ，２０６・・・ホ
ログラフィ光学系，２０７・・・イメージファイバ，２
０８・・・ＴＶカメラ。
ところが、従来技術例は、ホログラフィ光学系の小型化
は達成されているが、第２図の光結合部２０３に問題が
ある。つまり、レーザをシングルモードファイバに結合
させるためには、レーザ光を対物レンズ等を使用して集
光し、その集光位置にシングルモードファイバのコアが
一致するようにファイバ先端位置を調整する。シングル
モードファイバのコア径は約１０μｍであるから、約７
μｍの精度で微調整を行わなければならない。１つのレ
ーザ光を１本のシングルモードファイバに結合させる場
合は、上記の方法で比較的容易に行える。
は達成されているが、第２図の光結合部２０３に問題が
ある。つまり、レーザをシングルモードファイバに結合
させるためには、レーザ光を対物レンズ等を使用して集
光し、その集光位置にシングルモードファイバのコアが
一致するようにファイバ先端位置を調整する。シングル
モードファイバのコア径は約１０μｍであるから、約７
μｍの精度で微調整を行わなければならない。１つのレ
ーザ光を１本のシングルモードファイバに結合させる場
合は、上記の方法で比較的容易に行える。
ところが２つのレーザ光を１本のシングルモードファイ
バに結合させる場合は事情が異なる。すなわち、最初は
ファイバの先端位置を微調整して結合が可能であるか、
２番目のレーザを結合させる場合は、ファイバ先端を動
かせないので、レーザビームの光路自体を調整しなけれ
はならない。調整方向は、平行移動のみならず、傾斜（
あおり）も必要である。これを実現するためには、回転
ミラー，ウェッジプレート等が必要となり、機構が複雑
となる。
バに結合させる場合は事情が異なる。すなわち、最初は
ファイバの先端位置を微調整して結合が可能であるか、
２番目のレーザを結合させる場合は、ファイバ先端を動
かせないので、レーザビームの光路自体を調整しなけれ
はならない。調整方向は、平行移動のみならず、傾斜（
あおり）も必要である。これを実現するためには、回転
ミラー，ウェッジプレート等が必要となり、機構が複雑
となる。
また、機械加工で、微調整機構を含まない第２図の光結
合部を製作するためには、１μｍのオーダの機械加工精
度が必要となり、加工が困難である。
合部を製作するためには、１μｍのオーダの機械加工精
度が必要となり、加工が困難である。
（発明の目的と構成）
本発明は上記の欠陥を改善する新規な光学装置を提供す
るものである。以下、本発明の構成を第３図に従って説
明する。こゝで図中の番号は下記のものを示している。
るものである。以下、本発明の構成を第３図に従って説
明する。こゝで図中の番号は下記のものを示している。
３０１・・・シングルモードファイバ，３０２，３１８
・・・コリメートレンズ，、３０３，３０４，３０７，
３０８，３０９・・・光路変換ミラー、３０５・・・ビ
ームスプリッタ、３０６・・・ダイクロイックミラー、
３１０・・・ＢＳＯ，３１１・・・結像レンズ，３１２
・・・イメージファイバ，３１３・・・記録光，３１４
・・・物体光，３１５・・・参照光，３１６・・・測定
物体，３１７・・・半導体レーザ，３１９・・・基板。
・・・コリメートレンズ，、３０３，３０４，３０７，
３０８，３０９・・・光路変換ミラー、３０５・・・ビ
ームスプリッタ、３０６・・・ダイクロイックミラー、
３１０・・・ＢＳＯ，３１１・・・結像レンズ，３１２
・・・イメージファイバ，３１３・・・記録光，３１４
・・・物体光，３１５・・・参照光，３１６・・・測定
物体，３１７・・・半導体レーザ，３１９・・・基板。
ホログラフィ記録光（例えば波長４８８μｍＡｒレーザ
）をシングルモードファイバ３０１で伝送し、その出射
光をコリメートレンズ３０２で平行光に変換する。これ
をミラー３０３で光路変換し、ビームスプリッタ３０５
でビーム分割する。一方のビームは、測定物体３１６で
反射し物体光３１４となり、他方はミラー３０４で光路
変換し参照光３１５となる。
）をシングルモードファイバ３０１で伝送し、その出射
光をコリメートレンズ３０２で平行光に変換する。これ
をミラー３０３で光路変換し、ビームスプリッタ３０５
でビーム分割する。一方のビームは、測定物体３１６で
反射し物体光３１４となり、他方はミラー３０４で光路
変換し参照光３１５となる。
物体光と参照光はＢＳＯ３１０上で交差し、発生した干
渉縞は、ホログラムとしてＢＳＯに記録される。
渉縞は、ホログラムとしてＢＳＯに記録される。
半導体レーザ（ＧａＡｓ系レーザダイオード，ＩｎＰ系
レーザダイオード）３１７の出射光は、コリメートレン
ズ３１８で平行光に変換され、ミラー３０７，３０８で
光路変換され、ホログラフィ再生光としてＢＳＯ３１０
に入射する。ホログラフィ再生像は、ダイクロイックミ
ラー３０６で反射し、ミラー３０９で光路変換し、結像
レンズ３１１によって、イメージファイバ３１２に結合
する。
レーザダイオード）３１７の出射光は、コリメートレン
ズ３１８で平行光に変換され、ミラー３０７，３０８で
光路変換され、ホログラフィ再生光としてＢＳＯ３１０
に入射する。ホログラフィ再生像は、ダイクロイックミ
ラー３０６で反射し、ミラー３０９で光路変換し、結像
レンズ３１１によって、イメージファイバ３１２に結合
する。
第４図は、第３図の光学装置を含む全体構成を示す図で
、図中の毎号は下記のものを示している。
、図中の毎号は下記のものを示している。
４０１・・・Ａｒレーザ，４０２・・・光結合部，４０
３・・・シングルモードファイバ，４０４・・・ホログ
ラフィ光学系，４０５・・・イメージファイバ，４０６
・・・ＴＶカメラ。
３・・・シングルモードファイバ，４０４・・・ホログ
ラフィ光学系，４０５・・・イメージファイバ，４０６
・・・ＴＶカメラ。
（発明の効果）
本発明の光学装置の効果は、
（１）ホログラフィ再生用光源として半導体レーザを使
用することにより 従来複雑な機構によって構成されて
いた２種のレーザと１本のシングルモードファイバとの
結合部を簡素化することが可能となる。
用することにより 従来複雑な機構によって構成されて
いた２種のレーザと１本のシングルモードファイバとの
結合部を簡素化することが可能となる。
（２）システム全体が小型・簡素化できる。
等である。
第１図は従来の光学装置系を示す説明図，第２図は従来
の光学系を含む全体構成を示す説明図，第３図は本発明
の光学装置系を示す説明図，第４図は本発明の光学装置
系を含む全体構成を示す図である。 １０１・・・シングルモードファイバ、１０２・・・コ
リメートレンズ、１０３，１０７・・・ダイクロイック
ミラー、１０４，１０５，１０８，１０９，１１０，１
１６・・・光路変換ミラー、１０６・・・ビームスプリ
ッタ、１１１・・・再生光、１１２・・・イメージファ
イバ、１１３・・・物体光、１１４・・・参照光、１１
５・・・ＢＳＯ、１１７・・・結像レンズ、１１８・・
・記録光、１１９・・・測定物体、１２０・・・基板、
２０１・・・Ａｒレーザ、２０２・・・Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ、２０３・・・光結合部、２０４・・・集光レンズ、
２０５・・・シングルモードファイバ、２０６・・・ホ
ログラフィ光学系、２０７・・・イメージファイバ、２
０８・・・ＴＶカメラ、３０１・・・シングルモードフ
ァイバ、３０２，３１８・・・コリメートレンズ、３０
３，３０４，３０７，３０８，３０９・・・光路変換ミ
ラー、３０５・・・ビームスプリッタ、３０６・・・ダ
イクロイックミラー、３１０・・・ＢＳＯ、３１１・・
・結像レンズ、３１２・・・イメージファイバ、３１３
・・・記録光、３１４・・・物体光、３１５・・・参照
光、３１６・・・測定物体、３１７・・・半導体レーザ
、３１９・・・基板、４０１・・・Ａｒレーザ、４０２
・・・光結合部、４０３・・・シングルモードファイバ
、４０４・・・ホログラフィ光学系、４０５・・・イメ
ージファイバ、４０６・・・ＴＶカメラ。 特許出願人 工業技術院長 川田裕部 −４Ｃ ：２−
の光学系を含む全体構成を示す説明図，第３図は本発明
の光学装置系を示す説明図，第４図は本発明の光学装置
系を含む全体構成を示す図である。 １０１・・・シングルモードファイバ、１０２・・・コ
リメートレンズ、１０３，１０７・・・ダイクロイック
ミラー、１０４，１０５，１０８，１０９，１１０，１
１６・・・光路変換ミラー、１０６・・・ビームスプリ
ッタ、１１１・・・再生光、１１２・・・イメージファ
イバ、１１３・・・物体光、１１４・・・参照光、１１
５・・・ＢＳＯ、１１７・・・結像レンズ、１１８・・
・記録光、１１９・・・測定物体、１２０・・・基板、
２０１・・・Ａｒレーザ、２０２・・・Ｈｅ−Ｎｅレー
ザ、２０３・・・光結合部、２０４・・・集光レンズ、
２０５・・・シングルモードファイバ、２０６・・・ホ
ログラフィ光学系、２０７・・・イメージファイバ、２
０８・・・ＴＶカメラ、３０１・・・シングルモードフ
ァイバ、３０２，３１８・・・コリメートレンズ、３０
３，３０４，３０７，３０８，３０９・・・光路変換ミ
ラー、３０５・・・ビームスプリッタ、３０６・・・ダ
イクロイックミラー、３１０・・・ＢＳＯ、３１１・・
・結像レンズ、３１２・・・イメージファイバ、３１３
・・・記録光、３１４・・・物体光、３１５・・・参照
光、３１６・・・測定物体、３１７・・・半導体レーザ
、３１９・・・基板、４０１・・・Ａｒレーザ、４０２
・・・光結合部、４０３・・・シングルモードファイバ
、４０４・・・ホログラフィ光学系、４０５・・・イメ
ージファイバ、４０６・・・ＴＶカメラ。 特許出願人 工業技術院長 川田裕部 −４Ｃ ：２−
Claims (1)
- １．Ｂｉ１２ＳｉＯ２０（以下ＢＳＯと略記する。）を
ホログラフィ素子として使用した光学装置において、ホ
ログラフィ記録光（例えばＡｒレーザ光）をシングルモ
ードファイバで伝送し、シングルモード出射光をコリメ
ートレンズで平行光に変換し、これをビームスプリッタ
で物体光と参照先に分割し、物体からの反射光およびミ
ラーにより光路変換された参照光をＢＳＯ上で交差させ
発生した干渉縞をホログラムとしてＢＳＯに記録すると
ともに、半導体レーザの出射光をコリメートレンズで平
行光に変換し、さらにミラーで光路を変換し、これをホ
ログラフィ再生光としてＢＳＯに入射し、得られたホロ
グラフィ再生像をイメージファイバで伝送することを特
徴とする光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6104684A JPS60205567A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6104684A JPS60205567A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60205567A true JPS60205567A (ja) | 1985-10-17 |
Family
ID=13159897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6104684A Pending JPS60205567A (ja) | 1984-03-30 | 1984-03-30 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60205567A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62223648A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-10-01 | アエロスパシアル，ソシエテ ナシヨナル アンデユストリエル | 非破壊検査装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50146358A (ja) * | 1974-05-14 | 1975-11-25 | ||
| JPS5430858A (en) * | 1977-08-11 | 1979-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | Hologram recorder-reproducer |
| JPS57195204A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Constitution of optical system which has saved polarized state |
-
1984
- 1984-03-30 JP JP6104684A patent/JPS60205567A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50146358A (ja) * | 1974-05-14 | 1975-11-25 | ||
| JPS5430858A (en) * | 1977-08-11 | 1979-03-07 | Mitsubishi Electric Corp | Hologram recorder-reproducer |
| JPS57195204A (en) * | 1981-05-25 | 1982-11-30 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Constitution of optical system which has saved polarized state |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62223648A (ja) * | 1986-01-20 | 1987-10-01 | アエロスパシアル，ソシエテ ナシヨナル アンデユストリエル | 非破壊検査装置 |
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