JPS60201520A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、薄膜形磁気記録媒体に関するものであシ、特
に鉄を原材料とした垂直磁気記録媒体に関するものであ
る。

〔従来技術〕

従来の薄膜形の垂直磁気記録媒体としては、　Ｃ。

−Ｏｒ金合金代表されるＣｏ系の合金薄膜が用いられて
いる。前記Ｃｏ系合金薄膜は通常スパッタリング法や電
子ビーム蒸着法によって形成されている。

しかし、　Ｃｏ系の合金をスパッタリング法で形成する
場合、膜形成速度が遅いため大量生産に適した製法とは
言い難く、ＣＯとＣｒを用いた電子ビーム蒸着法による
製法の場合ＣＯとＣｒの融点、飽和蒸気圧などが大きく
異なるため膜の組成制御が困難などの問題があった。さ
らに前記いずれの製法の場合も垂直方向の磁気特性を改
善するためには。

膜形成中に基体を１５０〜３００Ｃ程度の温度に加熱し
なければならないという難点があづだ。

上記問題点を解決する方法として、ＣＯを用い。

酸素ガスを導入した真空雰囲気中で電子ビーム蒸着法に
より、垂直方向のＣｏ粒子と非強磁性のＣｏｏ粒子の２
相混合状態よシなるＣｏ系の垂直磁化膜が提案されてい
る（第７回応用磁気学会学術講演概要集、　７ａＡ−９
−７ａＡ−Ｂ、　１９８３．１１　）。

しかし、このような従来のＣｏ−０ｒで代表されるＣｏ
系合金を用いた垂直磁気記録媒体あるいはｃ。

とｃｏ酸化物よシ成る垂直磁気記録媒体では、主成分に
Ｃｏを用いているため次の欠点がある。Ｃ。

は産出量が少なく、高価であシ、かつ価格の変動が大き
く、また供給にも不安定になる要因があるなど大量生産
をする磁気記録媒体用の原材料としては甚だしく適性に
欠けるものである。

さらに、　ＣｏとＣＯ酸化物よ構成る垂直磁気記録媒体
においては、高温にすると基体面に対し垂直方向の磁気
異方性をあられす垂直異方性磁界（Ｈｋ）および垂直方
向保磁力が低下するという欠点があった。

一方、鉄を主成分とした垂直磁気記録媒体は。

コバルトと比べ結晶磁気異方性エネルギーが小さい。ま
た、コバルトのような最密六方構造の結晶構造ではなく
、体心立方あるいは面心立方構造であるため一軸結晶磁
気異方性が小さい。したがって、鉄を主成分としだ、垂
直磁化膜の形成は困難と考えられていた。しかし９本発
明者らは９強磁性層中に含まれる鉄化合物の種類１組成
などを主体として蒸着栄件などを含めて鋭意検討した結
果。

驚くべきことに強磁性層中に鉄と特定の鉄化合物を含ま
せることによシ、優れた垂直磁気異方性を有することを
見出し、木不明に到達したのである。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記欠点のないもの、すなわち、高温
雰囲気中でも、基体面と垂直方向の磁気異方性の低下が
なく、かつ垂直方向の保磁力の低下がないものであって
、しかも２強磁性層の原材料の供給９価格が安定し、大
量生産に適した垂直磁気記録媒体を提供することにある
。

〔発明の構成〕

すなわち本発明は、基体上に、基体面と垂直方向に磁化
容易軸を有し、かつ主成分が鉄と、鉄酸化物、鉄水酸化
物、鉄窒化物、鉄硫化物、鉄炭酸化合物の群から選ばれ
た少なくとも一種の鉄化合物より成る強磁性層が形成さ
れていることを特徴とする垂直磁気記録媒体である。

本発明で用いることのできる基体としては、特に限定さ
れるものではないが、アルミニウム、銅。

鉄、ステンレスなどで代表される金属、ガラス。

セラミックなどの無機材料、プラスチックフィルムなど
の有機重合体材料などがあげられる。特にＩＪｏ工性、
成形性、可撓性が重視される場合には。

有機重合体材料が適しておシ、中でもポリエチレンテレ
フタレート、ホリエチレンナフタレート。

ポリエチレンジカルボキシレート、などのポリエステル
、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテンなどのポ
リオレフィン、ポリメチルメタアクリレート、ポリカー
ボネート、ポリスルフォン。

ポリアミド、芳香族ポリアミド、ポリフェニレンスルフ
ィド、ポリフェニレンオキサイド、ポリアミドイミド、
ポリイミド、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポ
リ弗化ビニリデン、ポリテトラフルオロエチレン、酢酸
セルローズ、メチルセルローズ、エチルセルローズ、エ
ポキシ［ＢＷ　、ウレタン樹脂あるいはこれらの混合物
、共重合物などが適している。特に二軸延伸されたフィ
ルム。

シート類は、平面性９寸法安定性に優れ最も適しており
、中でもポリエステル、ポリフェニレンスルフィド、芳
香族ポリアミドなどが最も適している。基体の形状とし
ては、ドラム状、ディスク状。

シート状、テープ状、カード状等いずれでも良く。

厚みも特に限定されるものではない。シート状。

テープ状、カード状等の場合、加工性２寸法安定性の点
で、厚みは２μ〜５００μ、中でも４μ〜２００μの範
囲が好ましい。

本発明で用いられる基体は２次に述べる磁気記録層の形
成に先だち、易接着化、平面性改良９着色、帯電防止、
耐摩耗性付与等の目的で各種の表面処理や前処理が施さ
れても良い。

本発明において、基体面と垂直方向に磁化容易軸を有し
た強磁性層とは９次のように規定されるものである。

強磁性層の磁気特性は、、ＴＩＳ　Ｃ！−２５６１で示
されている振動型磁力計法や、自記磁束計法によって測
定できる。磁気特性の測定方法について振動型磁力計法
によって測定する方法を第１図によシ説明する。第１図
においてＯは原点、たて軸は磁化された磁性層の磁化量
（Ｍ）を示し、よこ軸は磁性層に印加する外部磁界（Ｈ
）を示す。

磁化されていない測定試料の磁性層に外部磁界（Ｈ）を
一方向に絶えず増加しつつ印加すると、外部磁界（ａ）
の増加に従って破線矢印の如く磁化量（Ｍ３は増大して
いく。外部磁界（Ｈ）がある値以上になると、それ以上
外部磁界（ｎ）を増しても磁化量（Ｍ）は飽和して、そ
れ以上増大しなくなる。第１図におけるＡ点がこの点で
ある。Ａ点における磁化量（Ｍ）を飽和磁化（Ｍｓ）と
呼ぶ。さらにＡ点より出発して、逆に外部磁界（ｎ＞を
実線矢印の如く減少させていくと、磁化量（Ｍ）も減少
をはじめる。

外部磁界（Ｈ）を０の状態にしても磁化量（Ｍ）はＤと
ならず残留磁化（Ｍｒ）の値を残す。さらに外部磁界（
Ｈ）を０を越えて、負方向に増大させていくと。

磁化量ＣＭ＞はＯとなる。この時の外部磁界（ｍ）の強
さを保磁力（Ｈｃ）と呼ぶ。さらに外部磁界（ｕ）を負
方向に増大すると磁化量（Ｍ）はある値で飽和する。こ
の値が負の飽和磁化（第１図Ｂ点）である。

さらに３点よシ出発して再び外部磁界（Ｈ）を正方向に
印加をはじめると、磁化量（Ｍ３は再び正方向に実線矢
印の如く増大しはじめ、負方向の残留磁化点（−Ｍｒ）
を経て、磁化量（Ｍ）は口とナシ、再び最初の正の飽和
磁化点（第１図Ａ点）に戻る。以上のようにして得られ
る曲線は、ヒステリシスループと呼ばれており、このヒ
ステリシスループにより保磁力（Ｈｅ）ｌ飽和磁化（Ｍ
ｓ）などの磁気特性が測定できる。

磁気記録媒体に使用する場合は、このヒステリシスルー
ズで囲まれる面積（Ｓ）が大きいものほど記録容量が大
きく、高密度記録に適している。

試料とする強磁性層表面に垂直方向に外部磁界を加えな
がら測定したヒステリシスループで囲まれる面積をＳｌ
とし９強磁性層表面に平行方向に外部磁界を加えた場合
のヒステリシスループの面積をＳ７．とする。Ｓ、、が
Ｓ＃にくらべ大きい場合は、垂直方向の磁気記録に適し
た磁気記録媒体といえる。

本発明でいう、基体面と垂直方向に磁化容易軸を有する
強磁性層とは、基体面に垂直方向の外部磁界に対するヒ
ステリシスループの面積Ｓ工と、基体面と平行方向の外
部磁界に対するヒステリシスループの面積Ｓより算出さ
れる磁気異方性係数（ＳＬ／Ｓｌ）が　１．０よシ大き
いものであり、望ましくは１．２以上、さらに望ましく
は１４以上のものをいう。

また、垂直磁気記録媒体の垂直方向への磁気異方性をあ
られす他の指標として垂直異方性磁界（Ｈｋ）があシ、
　この値が大きいほど垂直方向に磁化されやすい優れた
垂直磁気記録媒体と言える。

垂直異方性磁界（Ｈｋ）の測定方法について第２図によ
り説明する。第２図において０は原点、たて軸は磁化さ
れた磁性層の磁化量ＣＭ）を示し、よこ軸は磁性層に印
加する外部磁界（Ｈ）を示す。第２図は、試料とする強
磁性層表面に平行方向に外部磁界を加えた場合のヒステ
リシスループである。原点Ｏより該ヒステリシスループ
に引いた接線と。

正の飽和磁化点Ａを通り、外部磁界軸（Ｈ）と平行に引
いた直線との交点Ｃの外部磁界（Ｈ）の値が垂直異方性
磁界（Ｈｋ）である。

まだ２本発明における鉄化合物とは鉄酸化物。

鉄窒化物、鉄水酸化物、鉄硫化物、鉄炭酸化合物などで
あり、具体的には鉄酸化物としてはＦｅＯ。

Ｆｅ２Ｏ３，Ｆｅ、０４などであシ、鉄窒化物としては
Ｆｅ２Ｎ　、　Ｆｅ４Ｎなどであり、鉄水酸化物として
はＦｅ（ＯＨ）２．　Ｆｅ（ＯＨ）、　、　Ｆｅ０ＯＨ
などであり、鉄硫化物としてはＦｅｅ　、・Ｆｅ２５３
などであり、鉄炭酸化合物としてはＦｅＣｏ、　、　Ｆ
ｅ０Ｏ３・Ｈ２Ｏなどである。また。

ここに記載した以外の中間的な組成をもつ非化学量論的
な鉄化合物も含まれる。

また鉄とその他の元素との原子ノく−セント比は鉄が９
０％〜３０チ、その他の元素が１０％〜７０％の範囲が
垂直方向の磁気特性を向上するうえで望ましい。

また鉄化合物のうち、鉄酸化物を含有することによって
垂直方向の磁気特性が改善されるため。

鉄酸化物を含有していることが非常に望ましい。

この場合強磁性層中に含まれる鉄と酸素の原子ノく一セ
ント比は鉄が９０チ〜３０チ、酸素が１０チ〜７０チの
範囲が望ましく、さらに鉄が８０％〜５０襲、酸素が２
０チ〜５０％の範囲が一層望ましい。また、該強磁性層
中には鉄および鉄化合物以外に耐食性、耐摩耗性、可と
う性２表面粗さ。

ヘッドタッチなどを改善する目的で他の元素や化合物を
微量含ませる事は本発明の効果を妨げない範囲で差し支
えない。

本発明における強磁性層とは鉄および鉄化合物を含んだ
ものであり、該強磁性層の厚さは特に限定しないが、実
用的には０．０２μｍ〜５μｍの範囲であシ、可とう性
、ヘッドタッチおよび該強磁性層の成膜速度を考慮した
場合０．０５μｍ〜２．０μｍの範囲が望ましい。

また本発明における強磁性層は、基体面と垂直方向に磁
化容易軸を有し、垂直磁気記録に適した強磁性層であり
、基体面と水平方向に磁化容易軸を有する強磁性層につ
いては同一材料・組成であっても本発明には含まれない
。

また本発明の強磁性層と基体の間に接着方向上。

記録再生特性などの向上、その他の目的のために下地層
を一層あるいは複数層積層させることは一層に差し支え
ない。

本発明の垂直磁気記録媒体の形成方法としては。

反応性蒸着２反応性イオンブレーティング、反応性スパ
ッタリングなどがあるが、必ずしもこれらに限定されな
い。以下に反応性蒸着による垂直磁気記録媒体の製法の
一例を示す。

使用する装置は、真空槽内に巻き出しロール。

冷却ドラム、巻き取シロールで構成される長尺フィルム
の走行系を具備し、前記冷却ドラム直下に。

凹部を有した電子ビーム蒸着器を備えた半連続式電子ビ
ーム蒸着装置である。該装置内には、蒸発蒸気流と前記
冷却ドラム法線とがなす角、すなわち入射角が６０度を
越える蒸発蒸気流が、基体に入射しないようにドラム直
下部分のみ開口部を有した遮蔽板を、冷却ドダムに近接
して配設した。

該装置の走行系に有機高分子フィルムを配し、電子ビー
ム蒸着器の凹部に鉄を配した状態とする。

この時有機高分子フィルムの裏面は冷却ドラムにより５
０℃以下に冷却されている。まず該電子ビーム蒸着装置
の真空槽内を１　ｘ　１０−５Ｔｏｒｒになるまで排気
し９次いで例えば酸素ガス、窒素ガス。

水蒸気、硫化水素ガス、二酸化炭素ガス、などのガスの
うちから、単一ガスあるいは二種以上のガスを混合して
真空槽内の圧力が１０３〜５　ｘ　１０””ＴＯｒｒに
なるまで導入した雰囲気中で、有機高分子フィルムを走
行させ電子ビーム蒸着法によシ鉄を蒸発させ９本発明の
垂直磁気記録媒体を形成するのである。

〔発明の効果〕

本発明の垂直磁気記録媒体は２強磁性層が基体面と垂直
方向に磁化容易軸を有し、かつ該強磁性層の主成分が鉄
および鉄化合物よ構成るために該垂直磁気記録媒体を高
温雰囲気に放置しても、基体面と垂直方向の磁気異方性
が低下せず、かつ垂直方向の保磁力も低下しない。また
９強磁性層を形成するだめの原材料の価格が安く、かつ
供給の不安がないため、大量生産に最適である。

本発明の垂直磁気記録媒体は、高密度磁気記録媒体とし
ての特性に優れるので、垂直磁気記録型のフロッピーデ
ィスクあるいは記録・消去が可能なデジタル・オーディ
オ・ディスク、ディジタル・オーディオ・テープ、垂直
磁気記録型のビデオ・テープ等の用途に最適である。

〔特性の測定方法・評価基準〕

（１）保磁力、飽和磁化、磁気異方性係数の測定方法 振動試料型磁力計（理研電子■製、、ＢＨＶ−３０）を
使用し、外部磁界を基体面の垂直方向と平行方向に加え
た場合のヒステリシスループを、それぞれ記録し、保磁
力、飽和磁化を得る。また。

ヒステリシスループで囲まれる面積をプランメータ（ケ
ント設計製図器機■、９０６−６４００）で測定し、外
部磁界が垂直方向のループの面積（Ｓ、）と平行方向の
ループの面積（Ｓ＃）の比（Ｓ、。

／Ｓ＃）を磁気異方性係数とする。

（２）垂直異方性磁界の測定方法 振動試料型磁力計（理研電子■製、ＢＨＶ−３０）を使
用し、外部磁界を基体面と平行方向に加えた場合のヒス
テリシスループを得る。このヒステリシスループに原点
より引いた接線と正の飽和磁化点を通９外部磁界軸と平
行に引いた直線との交点の外部磁界の強さが垂直異方性
磁界である。

（３）強磁性層の組成分析方法 Ｘ線光電子分光、オージェ電子分光にて強磁性層深さ方
向に測定した（測定装置はＸ線光電子分光、オージェ電
子分光いずれもブイ・ジー・サイエンティフィック社製
ＥＳＣＡＬＡＢ−５型）。

Ｘ線光電子分光の場合の使用線源はＡｊ？−にα線。

出力は１０　ｋＶ　−２０ｍＡである。深さ方向のエツ
チングはＡｒイオンエツチングによる。

オージェ電子分光の場合ビーム電圧３ｋｖ、深さ方向の
エツチングはＡｒイオンエツチングによる。

以下、実施例に基づいて本発明の一実施態様を説明する
。

実施例１〜６ 半連続式電子ビーム蒸着装置の真空槽内を排気系により
１　ｘ　１１］　ＴＯｒｒ以下になるまで排気する。

次いで導入ガスとして、酸素２０体積チ、残部窒素でバ
ランスさせた混合ガスをバリアプルリークパルプを通じ
て真空槽内の圧力が２　ｘ　１０　Ｔｏｒｒになるまで
導入し、厚さ５０μの２軸延伸されたポリエチレンテレ
フタレートフィルムを約２ｍ／ｍｉｎの速度で走行させ
、電子ビーム蒸着によシ鉄と鉄化合物より成る膜厚的２
０００Ｘの強磁性層を連続的に形成した。得られた磁気
記録媒体を実施例１とし、この磁気特性を第１表に示す
。なお装置の真空槽内には９巻き出しロール、冷却ドラ
ム、巻き取シロールで構成されるフィルム走行系を具備
し、前記冷却ドラム直下に凹部を有した電子ビーム蒸着
器を備え、蒸発蒸気流の冷却ドラムへの入射角が１６度
以下になるような開口部を有する遮蔽板を、冷却ドラム
に近接して配した。またポリエチレンテレフタレートフ
ィルム裏面は５０℃以下に冷却されている。同様の装置
により。

酸素３０体積チ、残部窒素でバランスさせた混合ガスを
真空槽内圧力が１．５　ｘ　１０　Ｔｏｒｒになるまで
導入し、厚さ５０μのポリエチレンテレフタレートフィ
ルムを約２　ｍ　／　ｍｉｎの速度で走行させ。

電子ビーム蒸着によシ厚さ約２２００Ｘの鉄と鉄化合物
より成る強磁性層を形成した。この磁気記録媒体を実施
例２とし、この磁気特性を第１表に示す。同様の装置に
よシ、酸素４５体積係、残部窒素でバランスさせた混合
ガスを真空槽内の圧力が９ｘ１０Ｔｏｒｒになるまで導
入し、厚さ２５μのポリエチレンテレフタレートフィル
ムを約４ｍ／ｍｉｎの速度で走行させ、電子ビーム蒸着
により厚さ約１ｓｏｏＸの鉄と鉄化合物よ構成る強磁性
層を連続的に形成した。この磁気記録媒体を実施例６と
し、この磁気特性を第１表に示す。これら実施例１〜乙
の本発明の磁気記録媒体の磁気異方性係数は各々１．９
．１．８．２．１であり、いずれも１８０以上であり基
体面と垂直方向に磁化容易軸を有した垂直磁気記録媒体
であった。また実施例１〜乙について組成分析した結果
、該強磁性層の主成分はＦｅ　、　Ｆｅ２Ｏ３，Ｆｅ、
０４．　Ｆｅ（ＯＨ）２で構成されていることがわかっ
た。

また実施例１〜３を１６０℃の熱風オーブン中に８時間
放置した後の垂直方向保磁力と異方性磁界について測定
した結果を第１表に示す。第１表に示すように実施例１
〜３は垂直方向保磁力、および垂直異方性磁界の低下は
なかった。

比較例１ 実施例１に示した半連続式電子ビーム蒸着装置を使用し
、内部に蒸発蒸気流の冷却ドラムへの入射角が１６度以
下になるような開口部を有する遮蔽板を配した走行系に
２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム、
厚さ５０μを配し。

電子ビーム蒸着器の凹部にコバルトを配した状態にて、
該真空蒸着装置の真空槽を排気系によシ１ｘ１０Ｔｏｒ
ｒ以下になるまで排気し２次いで酸素ガスをバリアプル
リークバルブを通じて真空槽内の圧力が、３ｘ１０Ｔｏ
ｒｒになるまで導入した雰囲気中で、前記ポリエチレン
テレフタレートヲ約５　ｍ　／　ｍｉｎの速度で走行さ
せた状態で、電子ビーム蒸着により約１５ｏｏＸの厚さ
のコバルトとコバルト酸化物より成る強磁性層をポリエ
チレンテレフタレートフィルム上に形成した。得られた
磁気記録媒体を比較例１とし、この磁気特性を第１表に
示す。比較例１も磁気異方性係数は１３６であシ、基体
面と垂直方向に磁化容易軸を有した垂直磁気記録媒体で
あった。しかし、比較例１を１６０℃の熱風オーブン中
に８時間放置した後の磁気特性は、第１表に示すように
、垂直方向保磁力。

垂直異方性磁界が大きく低下した。

比較例２ 実施例１と同様の走行系を具備した半連続式電子ビーム
蒸着装置の内部に、いわゆる斜方蒸着を行なうため、蒸
発蒸気流の冷却ドラムへの入射角が６５度以下の蒸気流
が入射しないようにした遮蔽板を配した。この装置の巻
取系に厚さ５０μの２軸延伸されたポリエチレンテレフ
タレートフィルムを配し、電子ビーム蒸着器の凹部に電
解鉄を配した状態で、該電子ビーム蒸着装置の真空槽内
を５　ｘ　１０””　Ｔｏｒｒ以下になるまで排気した
後、酸素ガスのみをバリアプルリークノ（ルプを通じて
。

真空槽内の圧力が５　ｘ　１０　、　Ｔｏｒｒになるま
で導入し、前記ポリエステルフィルムを約６　ｍ　／　
ｍｉｎの速度で走行させ、電子ビーム蒸着によシ膜厚約
９８０ｘの鉄系強磁性層を前記フィルム上に連続して形
成した。得られた磁気記録媒体を比較例２とし、この媒
体の強磁性層の組成分析をしたところ。

Ｆｅ　、　Ｆｅ２Ｏ３，’Ｆｅ３Ｏ４，Ｆｅ（ＯＨ）２
などで構成されていた。しかし、比較例２の磁気異方性
係数は０゜８２であり、磁化容易軸は基体面垂直方向に
なく。

また第１表に磁気特性を示すとおシ、垂直方向の保磁力
、垂直異方性磁界とも小さく、垂直磁気記録媒体として
は使用できなかった。

比較例６ 実施例１に示した半連続式電子ビーム蒸着装置を使用し
、内部には蒸発蒸気流の入射角を制限する遮蔽板を配置
せずに、該装置の走行系に２軸延伸された厚さ５０μの
ポリエチレンテレフタレートフィルムを配し、電子ビー
ム蒸着器の凹部に鉄を配した状態にて、該真空蒸着装置
の真空槽内を１ｘ１０Ｔｏｒｒ以下になるまで排気し、
ガスの導入を行なわずに前記ポリエチレンテレフタレー
トフィルムを約８　ｍ　／　ｍｉｎの速度で走行させ、
電子ビーム蒸着によシ厚さ８００Ｘの鉄膜を連続的に形
成した。得られた磁気記録媒体を比較例６とし。

この磁気特性を第１表に示す。比較例６の磁気異方性係
数は０．０８であシ、まだ垂直方向保磁力。

垂直異方性磁界とも第１表に示す如く小さな値であシ、
比較例３は垂直磁気記録媒体としては使用できなかった
。

【図面の簡単な説明】

第１図は磁気特性の測定例をあられすヒステリシスルー
プの模式図、第２図は垂直異方性磁界の測定例をあられ
すヒステリシスループの模式図である。 ０：原　点 Ｍ：磁化量 Ｈ：外部磁界 Ａ：正の飽和磁化点 Ｂ：負の飽和磁化点 Ｃ：交　点 Ｈｋ：垂直異方性磁界 特許出願人　東　し　株　式　会　社 第２菌 昭和　年　月　日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示 昭和５９年特許願第５５１７０号 ２、発明の名称 垂直磁気記録媒体 ４６補正命令の日付　自発 ５、補正により増加する発明の数　なし６、補正の対象 明細書中「発明の詳細な説明」の欄 ７、補正の内容 （１）明細書第２頁第８行のｒ３００ｃＪを「３００℃
」と補正する。 （２）同書第１２頁第７行の「３５」を「４５」と補正
する。 （３）同書同頁第１４行の「になるｊをＵ以下になる」
と補正する。 （４）同書同頁第１８行のｒ１０３Ｊを「２×１０−３
　」と補正する。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上に、基体面と垂直方向に磁化容易軸を有し
   、かつ主成分が鉄と、鉄酸化物、鉄水酸化物、鉄窒化物
   、鉄硫化物、鉄炭酸化合物の群から選ばれた少なくとも
   一種の鉄化合物より成る強磁性層が形成されていること
   を特徴とする垂直磁気記録媒体。