JPS60200979A - クラツド容器 - Google Patents
クラツド容器Info
- Publication number
- JPS60200979A JPS60200979A JP5772484A JP5772484A JPS60200979A JP S60200979 A JPS60200979 A JP S60200979A JP 5772484 A JP5772484 A JP 5772484A JP 5772484 A JP5772484 A JP 5772484A JP S60200979 A JPS60200979 A JP S60200979A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vessel
- alloy
- ore
- life
- contg
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B14/00—Crucible or pot furnaces
- F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
- F27B14/10—Crucibles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
- C03B5/06—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture in pot furnaces
- C03B5/08—Glass-melting pots
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クラッド容器に関するものである。
従来、Ta又はTa合金の容器は高温ガラスや金属酸化
物を含む鉱石4解用るつほや真空蒸着用のトレー、ボー
トなどに広く用いられていた。これは、Taの融点か約
3000°Cと非常に高り、延性展性に冨むため容易に
加工できるからである。ところが、Taは400℃をこ
えると空気中の酸素と反応して酸化物を作りやすいため
不活性雰囲気で使用しなければならないというわずられ
しさかあった。さらに、このような不活性雰囲気中で使
用しても、金属酸化物を含むガラスや鉱石などを溶解す
る場合には、溶融物の中に含まれる酸素とT aが結合
して酸化物を作り、容器の”I−aが溶出して容器の寿
命が短かいという欠点があった。このため他の金属を加
えて合金とし耐消耗性の向上が図られているが、′I″
aの酸化を防止するに足る合金が発見されていないのが
実情である。
物を含む鉱石4解用るつほや真空蒸着用のトレー、ボー
トなどに広く用いられていた。これは、Taの融点か約
3000°Cと非常に高り、延性展性に冨むため容易に
加工できるからである。ところが、Taは400℃をこ
えると空気中の酸素と反応して酸化物を作りやすいため
不活性雰囲気で使用しなければならないというわずられ
しさかあった。さらに、このような不活性雰囲気中で使
用しても、金属酸化物を含むガラスや鉱石などを溶解す
る場合には、溶融物の中に含まれる酸素とT aが結合
して酸化物を作り、容器の”I−aが溶出して容器の寿
命が短かいという欠点があった。このため他の金属を加
えて合金とし耐消耗性の向上が図られているが、′I″
aの酸化を防止するに足る合金が発見されていないのが
実情である。
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであり、耐消耗性
の優れた長寿命の容器を提供することを目的とする。
の優れた長寿命の容器を提供することを目的とする。
本発明ば、T a又は′1゛a合金の表面にIr又はI
r合金か被覆されていることを特徴とするクラッド容器
である。
r合金か被覆されていることを特徴とするクラッド容器
である。
本発明において、Ir又はIr合金を用いるのは、[r
のMJ!点が2454℃と′1゛aと同様に高く、しか
も高温度におりる耐酸化性特に金属酸化物に対する耐酸
化性に優れ“ζいるからである。しかし、無垢の1rや
1r合金の容器は高価で加工が困難なため被覆すること
とした。被覆はイオンブレーティングやスパックリング
や蒸着などの物理的蒸着が湿式AIよりも良い。これは
、物理的蒸着によれば’l’ a容器の表面層にIr原
子が埋没されて1rと′1゛aの接合面の密着硬度が高
くなり、機械的強度の高いクラット容器かiMられるか
らである。
のMJ!点が2454℃と′1゛aと同様に高く、しか
も高温度におりる耐酸化性特に金属酸化物に対する耐酸
化性に優れ“ζいるからである。しかし、無垢の1rや
1r合金の容器は高価で加工が困難なため被覆すること
とした。被覆はイオンブレーティングやスパックリング
や蒸着などの物理的蒸着が湿式AIよりも良い。これは
、物理的蒸着によれば’l’ a容器の表面層にIr原
子が埋没されて1rと′1゛aの接合面の密着硬度が高
くなり、機械的強度の高いクラット容器かiMられるか
らである。
。。ように、lr又はIr合金を被覆したるつぼは耐酸
化性に優れ、接合面の機械的強度も優れていることから
長寿命のものとなる。なお、Ir合金としては、P t
−I r 、Rk+ −1rかある。
化性に優れ、接合面の機械的強度も優れていることから
長寿命のものとなる。なお、Ir合金としては、P t
−I r 、Rk+ −1rかある。
以下、実施例と従来例について説明する。
〔実施例1〕
肉厚5mm、高さ 100mm、内径801111の一
断面コノ字形゛l″a’Mるつぼの内壁に次の条件で1
)tを厚さ10μmまでイオンブレーティングした。
断面コノ字形゛l″a’Mるつぼの内壁に次の条件で1
)tを厚さ10μmまでイオンブレーティングした。
雰囲気ガス: 2.0X10 mm 11gイオン化電
圧、電流:40V、5A 電子ヒ−ムl容解:9kv、300mA熱電子 : I
OV、100A これを実施晶1とする。
圧、電流:40V、5A 電子ヒ−ムl容解:9kv、300mA熱電子 : I
OV、100A これを実施晶1とする。
〔実施例2〕
実施例1と同一形状の’I’ a Mるっほの内外壁に
次の条件でP L −1r合金を厚さ0.1mmマグネ
1−ロンスパッタリングした。
次の条件でP L −1r合金を厚さ0.1mmマグネ
1−ロンスパッタリングした。
圧力ニArガス3 X 10 ++m 11g印加電圧
: <OOV 高周波電源: 13.56 Mllz これを実施品2とする。
: <OOV 高周波電源: 13.56 Mllz これを実施品2とする。
実施例1で用いたl’ a Mるつほを従来品とした。
次に、上記実施晶1,2と従来品に5i02−Al2O
,3カラスを500g入れAr雰囲気、温度約2200
’c x 60分間で使用した。これを10回くり返し
たところ、従来品は50μそのTa容器の表面から削ら
れたのに刻し、実施晶1は5μ、実施晶2は3μ削られ
たにととまった。
,3カラスを500g入れAr雰囲気、温度約2200
’c x 60分間で使用した。これを10回くり返し
たところ、従来品は50μそのTa容器の表面から削ら
れたのに刻し、実施晶1は5μ、実施晶2は3μ削られ
たにととまった。
次に、実施品2と従来例の容器の底部を大気中で直接ピ
ータ−加熱して温度約1000℃で10時間保持したと
ごろ、従来例は′1′aが殆んど酸化され、だのに対し
、実施晶2は殆んと酸化されなかった。
ータ−加熱して温度約1000℃で10時間保持したと
ごろ、従来例は′1′aが殆んど酸化され、だのに対し
、実施晶2は殆んと酸化されなかった。
なお、従来品の表面j−の硬度と実施品1,2の境界層
の硬度はそれぞれ1001Iv、22011v、160
11vで あ っ ノこ 。
の硬度はそれぞれ1001Iv、22011v、160
11vで あ っ ノこ 。
これらのことから本発明のクラッドるつほは従来品に比
べて金属酸化物の溶解用るつぼとし、て著しく耐酸化性
か優れ、しかも外壁までIr合金被覆した実施晶2ば大
気加熱し−(も耐酸化性か優れていることかわかる。ま
た、実施品の境界層の硬度は従来品の表面層の硬度より
はるかに高いことから、実施品は機械的強度に優れてい
ることかわかる。
べて金属酸化物の溶解用るつぼとし、て著しく耐酸化性
か優れ、しかも外壁までIr合金被覆した実施晶2ば大
気加熱し−(も耐酸化性か優れていることかわかる。ま
た、実施品の境界層の硬度は従来品の表面層の硬度より
はるかに高いことから、実施品は機械的強度に優れてい
ることかわかる。
以上詳述したように本発明によれは、耐消耗性の優れた
長ソj−命のクラット容器を提供することができる。し
かも、i’ a製容器を完全に被覆ずれは大気中でも長
寿命のものかえられ、高価な設(1i#を必要とせず、
高価なIrか少量でずむごとと併せて安イ曲なものとな
る。
長ソj−命のクラット容器を提供することができる。し
かも、i’ a製容器を完全に被覆ずれは大気中でも長
寿命のものかえられ、高価な設(1i#を必要とせず、
高価なIrか少量でずむごとと併せて安イ曲なものとな
る。
出願人 田中貴蚕属工業株式会社
Claims (1)
- 1゛a又はTa合金の表面にlr又は1r合金を被覆さ
れていることを特徴とするクラッド容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5772484A JPS60200979A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5772484A JPS60200979A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60200979A true JPS60200979A (ja) | 1985-10-11 |
JPH0317070B2 JPH0317070B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=13063881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5772484A Granted JPS60200979A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60200979A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01132750A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
JPH01275780A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
GB2306512A (en) * | 1995-10-27 | 1997-05-07 | Leybold Ag | Electron beam vacuum coating plant having a crucible of high melting material |
JP2012184147A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-27 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス製造用容器 |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP5772484A patent/JPS60200979A/ja active Granted
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01132750A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
JPH01275780A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
GB2306512A (en) * | 1995-10-27 | 1997-05-07 | Leybold Ag | Electron beam vacuum coating plant having a crucible of high melting material |
GB2306512B (en) * | 1995-10-27 | 1999-06-16 | Leybold Ag | Vacuum coating plant with a crucible disposed in the vacuum chamber for holding material to be evaporated |
JP2012184147A (ja) * | 2011-03-08 | 2012-09-27 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス製造用容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0317070B2 (ja) | 1991-03-07 |
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