JPH0317071B2 - - Google Patents
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- JPH0317071B2 JPH0317071B2 JP5772584A JP5772584A JPH0317071B2 JP H0317071 B2 JPH0317071 B2 JP H0317071B2 JP 5772584 A JP5772584 A JP 5772584A JP 5772584 A JP5772584 A JP 5772584A JP H0317071 B2 JPH0317071 B2 JP H0317071B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
- C03B5/06—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture in pot furnaces
- C03B5/08—Glass-melting pots
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B14/00—Crucible or pot furnaces
- F27B14/08—Details peculiar to crucible or pot furnaces
- F27B14/10—Crucibles
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Crucibles And Fluidized-Bed Furnaces (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クラツド容器に関するものである。
従来、Mo又はMo合金の容器は高温ガラスや
金属酸化物を含む鉱石溶解用るつぼや真空蒸着用
のトレー、ボートなどに広く用いられていた。こ
れは、Moの融点が約2610℃と非常に高く、高温
での機械的性質に優れているからである。ところ
が、Moは500℃をこえると空気中の酸素と反応
して酸化物を作り、この酸化物が蒸発しやすいた
め不活性雰囲気で使用しなければならないという
わずらわしさがあつた。さらに、このような不活
性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むガラ
スや鉱石などを溶解する場合には、溶融物の中に
含まれる酸素とMoが結合して酸化物を作り、容
器のMoが溶出して容器の寿命が短かいという欠
点があつた。このため他の金属を加えて合金とし
て耐消耗性の向上が図られているが、Moの酸化
を防止するに足る合金が発見されていないのが実
情である。
金属酸化物を含む鉱石溶解用るつぼや真空蒸着用
のトレー、ボートなどに広く用いられていた。こ
れは、Moの融点が約2610℃と非常に高く、高温
での機械的性質に優れているからである。ところ
が、Moは500℃をこえると空気中の酸素と反応
して酸化物を作り、この酸化物が蒸発しやすいた
め不活性雰囲気で使用しなければならないという
わずらわしさがあつた。さらに、このような不活
性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むガラ
スや鉱石などを溶解する場合には、溶融物の中に
含まれる酸素とMoが結合して酸化物を作り、容
器のMoが溶出して容器の寿命が短かいという欠
点があつた。このため他の金属を加えて合金とし
て耐消耗性の向上が図られているが、Moの酸化
を防止するに足る合金が発見されていないのが実
情である。
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであり、
耐消耗性の優れた長寿命の容器を提供することを
目的とする。
耐消耗性の優れた長寿命の容器を提供することを
目的とする。
本発明は、Mo又はMo合金の表面にPt又はPt
合金が被覆されていることを特徴とするクラツド
容器である。
合金が被覆されていることを特徴とするクラツド
容器である。
本発明において、Pt又はPt合金を用いるのは、
Ptの融点が1770℃とMoと同様に高く、しかも高
温における耐酸化性特に金属酸化物に対する耐酸
化性に優れているからである。しかし、無垢の
PtやPt合金の容器は高価であるための被覆する
こととした。被覆はイオンプレーテイングやスパ
ツタリングや蒸着などの物理的蒸着が湿式蒸着よ
りも良い。これは、物理的蒸着によればMo容器
の表面層にPt原子が埋没されてPtとMoの接合面
の密着硬度が高くなり、機械的強度の高いクラツ
ド容器が得られるからである。このように、Pt
又はPt合金を被覆したるつぼは耐酸化性に優れ、
接合面の機械的強度も優れていることから長寿命
のものとなる。なお、Pt合金としては、Ir−Pt、
Rh−Pt、Ｗ−Ptがある。
Ptの融点が1770℃とMoと同様に高く、しかも高
温における耐酸化性特に金属酸化物に対する耐酸
化性に優れているからである。しかし、無垢の
PtやPt合金の容器は高価であるための被覆する
こととした。被覆はイオンプレーテイングやスパ
ツタリングや蒸着などの物理的蒸着が湿式蒸着よ
りも良い。これは、物理的蒸着によればMo容器
の表面層にPt原子が埋没されてPtとMoの接合面
の密着硬度が高くなり、機械的強度の高いクラツ
ド容器が得られるからである。このように、Pt
又はPt合金を被覆したるつぼは耐酸化性に優れ、
接合面の機械的強度も優れていることから長寿命
のものとなる。なお、Pt合金としては、Ir−Pt、
Rh−Pt、Ｗ−Ptがある。
以下、実施例と従来例について説明する。
実施例 １
肉厚５mm、高さ100mm、内径80mmの断面コの字
形Mo製るつぼの内壁に次の条件でPtを厚さ10μ
ｍまでイオンプレーテイングした。
形Mo製るつぼの内壁に次の条件でPtを厚さ10μ
ｍまでイオンプレーテイングした。
圧力：2.0×10-4mmHg
イオン化電圧、電流：40V、5A
電子ビーム溶解：9kv、300ｍＡ
熱電子：10V、100A
これを実施品１とする。
実施例 ２
実施例１と同一形状のMo製るつぼの内外壁に
次の条件でRh−Pt合金を厚さ0.1mmマグネトロン
スパツタリングした。
次の条件でRh−Pt合金を厚さ0.1mmマグネトロン
スパツタリングした。
圧力：Arガス３×10-3mmHg
印加電圧：400V
高周波電源：13.56MHz
これを実施品２とする。
従来例
実施例１で用いたMo製るつぼを従来品とし
た。
た。
次に、上記実施品１、２と従来品にアルカリ亜
鉛硼珪酸ガラスを500ｇ入れAr雰囲気、温度約
1200℃×60分間で使用した。これを10回くり返し
たところ、従来品は60μｍそのMo容器の表面か
ら削られたのに対し、実施品１は7μ、実施品２
は3μ削られたにとどまつた。
鉛硼珪酸ガラスを500ｇ入れAr雰囲気、温度約
1200℃×60分間で使用した。これを10回くり返し
たところ、従来品は60μｍそのMo容器の表面か
ら削られたのに対し、実施品１は7μ、実施品２
は3μ削られたにとどまつた。
次に、実施品２と従来品の容器の底部を大気中
で直接ヒーター加熱して温度約1000℃で10時間保
持したところ、従来品はMoが酸化され、蒸発し
て12ｇ減量したのに対し、実施品２は減量しなか
つた。
で直接ヒーター加熱して温度約1000℃で10時間保
持したところ、従来品はMoが酸化され、蒸発し
て12ｇ減量したのに対し、実施品２は減量しなか
つた。
これらのことから本発明のクラツドるつぼは従
来品に比べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著
しく耐酸化性が優れ、しかも外壁までPr合金被
覆した実施品２は大気加熱しても耐酸化性が優れ
ていることがわかる。
来品に比べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著
しく耐酸化性が優れ、しかも外壁までPr合金被
覆した実施品２は大気加熱しても耐酸化性が優れ
ていることがわかる。
以上詳述したように本発明によれば、耐消耗性
の優れた長寿命のクラツド容器を提供することが
できる。しかも、Mo製容器を完全に被覆すれば
大気中でも長寿命のものがえられ、高価な設備を
必要とせず、高価なPtが少量ですむことと併せ
て安価なものとなる。
の優れた長寿命のクラツド容器を提供することが
できる。しかも、Mo製容器を完全に被覆すれば
大気中でも長寿命のものがえられ、高価な設備を
必要とせず、高価なPtが少量ですむことと併せ
て安価なものとなる。
Claims (1)
- １ Mo又はMo合金の表面にPt又はPt合金を被
覆されていることを特徴とするクラツド容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5772584A JPS60200980A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5772584A JPS60200980A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60200980A JPS60200980A (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0317071B2 true JPH0317071B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=13063907
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5772584A Granted JPS60200980A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | クラツド容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60200980A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2565936B2 (ja) * | 1987-11-17 | 1996-12-18 | 田中貴金属工業株式会社 | クラッド容器 |
| JPH01219179A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| WO2016010040A1 (ja) * | 2014-07-14 | 2016-01-21 | 株式会社福田結晶技術研究所 | タンタル酸リチウム単結晶の育成装置及び育成方法 |
| EP3702483B1 (de) | 2019-02-26 | 2022-05-11 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Formkörper aus einer molybdän-aluminium-titan-legierung |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP5772584A patent/JPS60200980A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60200980A (ja) | 1985-10-11 |
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