JPS60194086A - クラツド容器 - Google Patents
クラツド容器Info
- Publication number
- JPS60194086A JPS60194086A JP5064284A JP5064284A JPS60194086A JP S60194086 A JPS60194086 A JP S60194086A JP 5064284 A JP5064284 A JP 5064284A JP 5064284 A JP5064284 A JP 5064284A JP S60194086 A JPS60194086 A JP S60194086A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alloy
- vapor deposition
- coating
- atoms
- clad vessel
- Prior art date
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- Granted
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、クラッド容器に関するものである。
従来、ＭＯ又はＭｏ合金の容器は高温ガラスや金属酸化
物を含む鉱石溶解用るつぼや真空蒸着用のトレー、ボー
トなどに広く用いられていた。これは、Ｍｏの融点が約
２６１０℃と非常に高く、延性展性に冨むため容易に加
工できるからである。ところが、Ｍｏは５００℃をこえ
ると空気中の酸素と反応して酸化物を作り、この酸化物
が蒸発しやすいため不活性雰囲気で使用しなければなら
ないというわずられしさがあった。さらに、このような
不活性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むガラス
や鉱石又は酸素を含んだ金属１合金などを溶解する場合
には、溶融物の中に含まれる酸素とＭｏが結合して酸化
物を作り、容器のＭｏが熔出して容器の寿命が短かいと
いう欠点があった。このため他の金属を加えて合金゛と
し耐消耗性の向上が図られているが、ｐ／ｉｏの酸化を
防止するに足る合金が発見されていないのが実情である
。
物を含む鉱石溶解用るつぼや真空蒸着用のトレー、ボー
トなどに広く用いられていた。これは、Ｍｏの融点が約
２６１０℃と非常に高く、延性展性に冨むため容易に加
工できるからである。ところが、Ｍｏは５００℃をこえ
ると空気中の酸素と反応して酸化物を作り、この酸化物
が蒸発しやすいため不活性雰囲気で使用しなければなら
ないというわずられしさがあった。さらに、このような
不活性雰囲気中で使用しても、金属酸化物を含むガラス
や鉱石又は酸素を含んだ金属１合金などを溶解する場合
には、溶融物の中に含まれる酸素とＭｏが結合して酸化
物を作り、容器のＭｏが熔出して容器の寿命が短かいと
いう欠点があった。このため他の金属を加えて合金゛と
し耐消耗性の向上が図られているが、ｐ／ｉｏの酸化を
防止するに足る合金が発見されていないのが実情である
。
本発明は上記欠点に鑑みなされたものであり、耐消耗性
の優れた長寿命の容器を提供することを目的とする。
の優れた長寿命の容器を提供することを目的とする。
本発明は、Ｍｏ又はＭｏ合金の表面にＩｒ又はＩｒ合金
が被覆されていることを特徴とするクラッド容器である
。
が被覆されていることを特徴とするクラッド容器である
。
本発明において、Ｉｒ又はＩｒ合金を用いるのは、Ｉｒ
の融点が２４５４℃とＭＯと同様に高く、しかも高温に
おける耐酸化性特に金属酸化物に対する耐酸化性に優れ
ているからである。しかし、Ｉｒや■「合金を板にする
などの加工が困難なため被覆することとした。被覆はイ
オンブレーティングやスパックリングや蒸着などの物理
的蒸着が湿式メッキよりも良い。これは、物理的蒸着に
よればＭｏ容器の表面層に１ｒ原子が埋没されてＭＯ原
子とｌｒ原子のなじみが良い結果１ｒ−Ｍｏ合金の接合
面の密着硬度が高くなり、機械的強度の高いクラッド容
器が得られるからである。このように、Ｉｒ又はＩｒ合
金を被覆したルツボは耐酸化性に優れ、機械的強度も優
れていることから長寿命のものとなる。なお、Ｉｒ合金
としては、１ｒ−Ｍｏ、Ｉｒ−Ｗなどがある。
の融点が２４５４℃とＭＯと同様に高く、しかも高温に
おける耐酸化性特に金属酸化物に対する耐酸化性に優れ
ているからである。しかし、Ｉｒや■「合金を板にする
などの加工が困難なため被覆することとした。被覆はイ
オンブレーティングやスパックリングや蒸着などの物理
的蒸着が湿式メッキよりも良い。これは、物理的蒸着に
よればＭｏ容器の表面層に１ｒ原子が埋没されてＭＯ原
子とｌｒ原子のなじみが良い結果１ｒ−Ｍｏ合金の接合
面の密着硬度が高くなり、機械的強度の高いクラッド容
器が得られるからである。このように、Ｉｒ又はＩｒ合
金を被覆したルツボは耐酸化性に優れ、機械的強度も優
れていることから長寿命のものとなる。なお、Ｉｒ合金
としては、１ｒ−Ｍｏ、Ｉｒ−Ｗなどがある。
以下、実施例と従来例について説明する。
〔実施例１〕
肉厚５ｍｍ、高さ １００龍、内径８０龍の断面コの字
形Ｍｏ製るつぼの内壁に次の条件でＩｒを厚さ１０μｍ
までイオンブレーティングした。
形Ｍｏ製るつぼの内壁に次の条件でＩｒを厚さ１０μｍ
までイオンブレーティングした。
圧力 ：Ａｒガス２．ＯＸ １０ ＋ｎ ｌ１ｇ電圧
： ４００Ｖ 電流 ｚ ＩＡ 電子ビーム溶解 ： ９ ｋ ｖ、 ３００ ｍＡ熱電
子 ： ＩＯＶ、１００Ａ これを実施品１とする。
： ４００Ｖ 電流 ｚ ＩＡ 電子ビーム溶解 ： ９ ｋ ｖ、 ３００ ｍＡ熱電
子 ： ＩＯＶ、１００Ａ これを実施品１とする。
〔実施例２〕
実施例１と同一形状のＭｏ製るつぼの内外壁に次の条件
で１ｒ−Ｗ合金を厚さ０．１龍マグネトロンスパツタリ
ングした。
で１ｒ−Ｗ合金を厚さ０．１龍マグネトロンスパツタリ
ングした。
圧力 ：Ａｒガス３ ｘ １０−’ａ ｌ１ｇ電圧 ：
４００Ｖ 電流 ：工Ａ 高周波電源 ： １３．５６ Ｍｌｌｚこれを実施品２
とする。
４００Ｖ 電流 ：工Ａ 高周波電源 ： １３．５６ Ｍｌｌｚこれを実施品２
とする。
実施例１で用いたＭ ｏ Ｍるつぼを従来品とした。
次に、上記実施品１．２と従来品に５ｉＯｚ −ＡＩ２
０３ガラスを５００ｇ入れＡｒ雰囲気、温度約２２００
℃×６０分間で使用した。これを１０回くり返したとこ
ろ、従来品は６０μｍそのＭｏ容器の表面から削られた
のに対し、実施品ｌは５μｍ、実施品２は３μｍ削られ
たにとどまった。
０３ガラスを５００ｇ入れＡｒ雰囲気、温度約２２００
℃×６０分間で使用した。これを１０回くり返したとこ
ろ、従来品は６０μｍそのＭｏ容器の表面から削られた
のに対し、実施品ｌは５μｍ、実施品２は３μｍ削られ
たにとどまった。
次に、実施品１と２の容器の底部を大気中で直接ヒータ
ー加熱して温度約１０００℃で１０時間保持したところ
、実施品１はＭＯが酸化され、蒸発して１２ｇ減量した
のに対し、実施品２は減量しなかった。
ー加熱して温度約１０００℃で１０時間保持したところ
、実施品１はＭＯが酸化され、蒸発して１２ｇ減量した
のに対し、実施品２は減量しなかった。
なお、従来品の表面ｊ−の硬度と実施品１．２の境界層
の硬度はそれぞれ１５０１１ｖ、２５０１１ｖ、３００
１１ｖであった。
の硬度はそれぞれ１５０１１ｖ、２５０１１ｖ、３００
１１ｖであった。
これらのことから本発明のクラッドるつぼは従来品に比
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく耐酸化性が
優れ、しかも外壁までｌｒ合金被覆した実施品２は大気
加熱しても耐酸化性が優れていることがわかる。また、
実ｈｉ品の境界層の硬度は従来品の表面層の硬度よりは
るかに高いことから、実施品は機械的強度に優れている
ことがわかる。特に実施品２は、２つの硬度の高いＩｒ
−ＭＯ合金層にＭｏ層がはさまれたサンドインチ構造を
とっているため特に機械的強度が優れていることがわか
る。
べて金属酸化物の溶解用るつぼとして著しく耐酸化性が
優れ、しかも外壁までｌｒ合金被覆した実施品２は大気
加熱しても耐酸化性が優れていることがわかる。また、
実ｈｉ品の境界層の硬度は従来品の表面層の硬度よりは
るかに高いことから、実施品は機械的強度に優れている
ことがわかる。特に実施品２は、２つの硬度の高いＩｒ
−ＭＯ合金層にＭｏ層がはさまれたサンドインチ構造を
とっているため特に機械的強度が優れていることがわか
る。
以上詳述したように本発明によれば、耐消耗性の優れた
長寿命のクラッド容器を提供することができる。しかも
、Ｍ ｏ ！！容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿
命のものかえられ、高価な設備を必要とせず、高価なｌ
ｒが少量ですむことと併せて安価なものとなる。
長寿命のクラッド容器を提供することができる。しかも
、Ｍ ｏ ！！容器を完全に被覆すれば大気中でも長寿
命のものかえられ、高価な設備を必要とせず、高価なｌ
ｒが少量ですむことと併せて安価なものとなる。
Claims (1)
- ＭＯ又はＭｏ合金の表面にＩｒ又はＩｒ合金が被覆され
ていることを特徴とするクラ・２ド容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5064284A JPS60194086A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | クラツド容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5064284A JPS60194086A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | クラツド容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60194086A true JPS60194086A (ja) | 1985-10-02 |
| JPH0317066B2 JPH0317066B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=12864602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5064284A Granted JPS60194086A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | クラツド容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60194086A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01132747A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01219179A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JP2004514634A (ja) * | 2000-11-20 | 2004-05-20 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 石英融解炉及び石英製品の製造方法 |
-
1984
- 1984-03-16 JP JP5064284A patent/JPS60194086A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01132747A (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-25 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01219179A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-09-01 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JPH01275779A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | クラッド容器 |
| JP2004514634A (ja) * | 2000-11-20 | 2004-05-20 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 石英融解炉及び石英製品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0317066B2 (ja) | 1991-03-07 |
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