JPS60194506A - 磁気ヘツド用セラミツク基板材料 - Google Patents
磁気ヘツド用セラミツク基板材料Info
- Publication number
- JPS60194506A JPS60194506A JP59050540A JP5054084A JPS60194506A JP S60194506 A JPS60194506 A JP S60194506A JP 59050540 A JP59050540 A JP 59050540A JP 5054084 A JP5054084 A JP 5054084A JP S60194506 A JPS60194506 A JP S60194506A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ions
- ceramic substrate
- thermal expansion
- mixed
- mn2o3
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属磁性薄膜を蒸着あるいはスパッタリング等
をするための薄膜磁気ヘッド用の非磁性セラミック基板
材料に関するものである。
をするための薄膜磁気ヘッド用の非磁性セラミック基板
材料に関するものである。
磁気ヘッドはＶＴＲ（Ｖｉｄ、ｅｏ Ｔａｐｅ Ｒｅｃ
ｏｒｔｉｅｒ ）。
ｏｒｔｉｅｒ ）。
コンピュータ、オーディオ機器の心臓部品として近年需
要が急拡大している。
要が急拡大している。
ＶＴＲやコンピュータ等の高密度記録か一段と進むにつ
れ、次世代の磁気ヘッドとして薄膜で構成する薄膜磁気
・＼ラドの研究が最近活発に行われている。
れ、次世代の磁気ヘッドとして薄膜で構成する薄膜磁気
・＼ラドの研究が最近活発に行われている。
薄膜ヘッドは記録、再生機能をパーマロイ（Ｆ。
−Ｎｉ）、センダスト（Ｆ、−Ａ／−８Ｆ、）等の金属
磁性薄膜に持たせ、耐摩耗性等の摺動性能を非磁性基板
に持たせる複合ヘッドであり、基板自体にも重要な特性
が要求される。
磁性薄膜に持たせ、耐摩耗性等の摺動性能を非磁性基板
に持たせる複合ヘッドであり、基板自体にも重要な特性
が要求される。
従来、この種の非磁性セラミック基板としてはチタン酸
カルシウムＣａＴｉ０□アルミナ、炭化チタンｈｔ、ｏ
、・ＴＬＯ等のセラミック材料が提案されていた。
カルシウムＣａＴｉ０□アルミナ、炭化チタンｈｔ、ｏ
、・ＴＬＯ等のセラミック材料が提案されていた。
ところかこのような材料で構成されたセラミック基板に
は次の如き問題があった。
は次の如き問題があった。
の蒸着、スパッタリング等の膜形成の際および七の後の
熱処理や、ギャップ部のガラスボンディング時に後述す
るように基板との熱膨張率の相異から薄膜か剥離すると
いう難点があった。
熱処理や、ギャップ部のガラスボンディング時に後述す
るように基板との熱膨張率の相異から薄膜か剥離すると
いう難点があった。
また従来提案されていた前記セラミック基板はその熱膨
張係数が高々ｌ０ＸＩＯ−’１℃程度と小さく、又、熱
膨張率が金属磁性薄膜と一致するガラスの場合には硬度
が低く磁気テープとの摺動時の摩耗が大きい欠点があっ
た。
張係数が高々ｌ０ＸＩＯ−’１℃程度と小さく、又、熱
膨張率が金属磁性薄膜と一致するガラスの場合には硬度
が低く磁気テープとの摺動時の摩耗が大きい欠点があっ
た。
このためパー与ロイ等の金属磁性薄膜の熱膨張率１２〜
１５Ｘ１０”−６１℃に合致し、フェライト並みの耐摩
耗性を有する非磁性基板の出現が強く要望されていた。
１５Ｘ１０”−６１℃に合致し、フェライト並みの耐摩
耗性を有する非磁性基板の出現が強く要望されていた。
本発明者は、かかる点に鑑み鋭意研究を進めた結果、Ｃ
αイオン及びＭｒＬイオンを含む特定組成の複合酸化物
より成るセラミック材料がこの目的に適合することを見
出し、本発明をなすに至った。
αイオン及びＭｒＬイオンを含む特定組成の複合酸化物
より成るセラミック材料がこの目的に適合することを見
出し、本発明をなすに至った。
即ち、本発明は、前記各イオンがＣａＯ，ＭｎＯ，。
酸化物換算で
よりなる磁気ヘッド用の非磁性のセラミック基板材料を
提供するものである。
提供するものである。
本発明の磁気ヘッド用↓ラミック基板材料で形成された
非磁性基板の特徴は、Ｃαイオン及びＭｒＬイオンを含
む特定組成の複合酸化物からなる点にあり、熱膨張率が
１２ＸｌＯ”’Ｊ℃以上と金属磁性膜に合致し、フェラ
イト並みの耐摩耗性を有する点にある。
非磁性基板の特徴は、Ｃαイオン及びＭｒＬイオンを含
む特定組成の複合酸化物からなる点にあり、熱膨張率が
１２ＸｌＯ”’Ｊ℃以上と金属磁性膜に合致し、フェラ
イト並みの耐摩耗性を有する点にある。
本発明の薄膜ヘッド用セラミック基板材料においてＣα
イオン、ＭｒＬイオンの含有量は、ＣｃＬＯ２ＭＴＬ２
０．酸化物換算で （ＭｎｘＯｓ ／ （ＣａＯ＋ＭｒＬ、０． ） ）
Ｘ １００か４０市漬チから７５重量％の範囲にあるこ
とが必要である。
イオン、ＭｒＬイオンの含有量は、ＣｃＬＯ２ＭＴＬ２
０．酸化物換算で （ＭｎｘＯｓ ／ （ＣａＯ＋ＭｒＬ、０． ） ）
Ｘ １００か４０市漬チから７５重量％の範囲にあるこ
とが必要である。
この場合、４０重量％未満では複合酸化物中に０．０が
不必要に存在し、耐摩耗性を損い、また７５重賦チを超
えたときでは目的とする高い熱膨張率が得られない。
不必要に存在し、耐摩耗性を損い、また７５重賦チを超
えたときでは目的とする高い熱膨張率が得られない。
本発明ではＣαイオン及びＭｎイオンを含む特定組成域
の複合酸化物か非磁性であり、大きな熱膨張率と、フェ
ライト並みの耐摩耗性を有し、かかる性質が金属磁性薄
膜ヘッド用基板の要求するものに合致することを見出し
たことにあり、その実用上の有効性は非常に高い。
の複合酸化物か非磁性であり、大きな熱膨張率と、フェ
ライト並みの耐摩耗性を有し、かかる性質が金属磁性薄
膜ヘッド用基板の要求するものに合致することを見出し
たことにあり、その実用上の有効性は非常に高い。
本発明の薄膜ヘッド用セラミック基板材料によりセラミ
ック基板を製造する方法について１例苓示す。、 所足量の酸化カルシウム、酸化マンガンあるいは焼成に
よりこれらの酸化物に変換しつる化合物をボールミル等
の混合機を用いて充分混合したのち、この混合物を８０
０〜１２００℃の温度で仮焼する。次にこの仮焼粉末を
ボールミル等の混合機を用いて再混合粉砕し、この混合
粉末を乾燥後、プレスバインダーを混ぜて成形し、１２
５０℃〜１４００℃の温度範囲で大気又は窒素中で焼成
する。この場合、各原料を独立粉末として用いてもよい
し、あるいは共沈法やコロイド添加法等の公知の手段よ
い。又、成形後の焼成においては、常圧焼結法以外にホ
ットプレス法などの高密度化焼成法を利用してもよい。
ック基板を製造する方法について１例苓示す。、 所足量の酸化カルシウム、酸化マンガンあるいは焼成に
よりこれらの酸化物に変換しつる化合物をボールミル等
の混合機を用いて充分混合したのち、この混合物を８０
０〜１２００℃の温度で仮焼する。次にこの仮焼粉末を
ボールミル等の混合機を用いて再混合粉砕し、この混合
粉末を乾燥後、プレスバインダーを混ぜて成形し、１２
５０℃〜１４００℃の温度範囲で大気又は窒素中で焼成
する。この場合、各原料を独立粉末として用いてもよい
し、あるいは共沈法やコロイド添加法等の公知の手段よ
い。又、成形後の焼成においては、常圧焼結法以外にホ
ットプレス法などの高密度化焼成法を利用してもよい。
次に具体的な実施例により本発明をさらに詳しく説明す
る。
る。
なお熱膨張率はＪＩＳ法に準じ室温より５００℃におけ
る平均線膨張よりめた。
る平均線膨張よりめた。
又、耐摩耗性はピン−円板式摩耗試験機を使用し、荷重
５０ ｋｙ ／ ｅｅｌ 、周速１５０ ｃｍ／ ｓｅ
ｃの条件で１００時間運転し、試験片の長さの変化より
めた。なおピンにサンプル、円板には鉄を用いた。
５０ ｋｙ ／ ｅｅｌ 、周速１５０ ｃｍ／ ｓｅ
ｃの条件で１００時間運転し、試験片の長さの変化より
めた。なおピンにサンプル、円板には鉄を用いた。
実施例
・炭酸力ルシュウムおよび炭酸マンガンの比率を表１に
示す如く、変え、ボールミルで２４時時間式混合し、乾
燥後大気中で１０００℃で焼成し、各種の仮焼粉末を作
成した。
示す如く、変え、ボールミルで２４時時間式混合し、乾
燥後大気中で１０００℃で焼成し、各種の仮焼粉末を作
成した。
次に得られた各種仮焼粉末をボールミルで２４時間再湿
式混合し乾燥後プレスバインダーとしてＰＶＡ（ポリビ
ニルアルコール） ｌ ｗｔ ％を加え９ ｔｏｎ ／
ｒＪ ’Ｆ＃ ｊＭ １１３（１０℃で１蒔１ｕｌ
熔ｊｊ２１．て表１に示すサンプル１〜９を作成した。
式混合し乾燥後プレスバインダーとしてＰＶＡ（ポリビ
ニルアルコール） ｌ ｗｔ ％を加え９ ｔｏｎ ／
ｒＪ ’Ｆ＃ ｊＭ １１３（１０℃で１蒔１ｕｌ
熔ｊｊ２１．て表１に示すサンプル１〜９を作成した。
このようにして得られた最終焼結体のＣｃｔＯ、Ｍｎ２
０ｓ酸化物換算の組成比率と熱膨張率及び耐摩耗性の結
果を表８１に示す。
０ｓ酸化物換算の組成比率と熱膨張率及び耐摩耗性の結
果を表８１に示す。
なお１、この表１には従来のＺｎフェライトの特性をも
示しである。
示しである。
表 １
この表１においてサンプル２〜６か本発明の範囲内のも
のである。サンプル１は摩耗量か犬であり、サンプル７
〜９は熱膨張率が小である。これの場合には耐摩耗性が
悪く、また７５％を超えた場合には熱膨張率が小さいこ
とがわかる。
のである。サンプル１は摩耗量か犬であり、サンプル７
〜９は熱膨張率が小である。これの場合には耐摩耗性が
悪く、また７５％を超えた場合には熱膨張率が小さいこ
とがわかる。
本発明によれば、熱膨張係数もパーマロイ等の金属磁性
薄膜に合致し、摩耗量か小さい非磁性の薄膜ヘッド用セ
ラミック基板として好適なものを得ることができる。
薄膜に合致し、摩耗量か小さい非磁性の薄膜ヘッド用セ
ラミック基板として好適なものを得ることができる。
特許出願人 ティーディーケイ株式会社代理人 弁理士
山 谷 晧 榮
山 谷 晧 榮
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｃαイオン及びＭｎイオンを含む複合酸化物より成る磁
気ヘッド用基板材料であって、前記イオンがＣａＯ、Ｍ
ｎ＝Ｏｓ酸化物換算で であることを特徴とする磁気ヘッド用セラミック基板材
料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59050540A JPS60194506A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 磁気ヘツド用セラミツク基板材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59050540A JPS60194506A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 磁気ヘツド用セラミツク基板材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60194506A true JPS60194506A (ja) | 1985-10-03 |
Family
ID=12861839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59050540A Pending JPS60194506A (ja) | 1984-03-16 | 1984-03-16 | 磁気ヘツド用セラミツク基板材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60194506A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0278102A (ja) * | 1987-12-24 | 1990-03-19 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 発光ダイオード照明具 |
-
1984
- 1984-03-16 JP JP59050540A patent/JPS60194506A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0278102A (ja) * | 1987-12-24 | 1990-03-19 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 発光ダイオード照明具 |
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