JPS60264363A - 磁気ヘツド用非磁性セラミツク材料 - Google Patents
磁気ヘツド用非磁性セラミツク材料Info
- Publication number
- JPS60264363A JPS60264363A JP59120596A JP12059684A JPS60264363A JP S60264363 A JPS60264363 A JP S60264363A JP 59120596 A JP59120596 A JP 59120596A JP 12059684 A JP12059684 A JP 12059684A JP S60264363 A JPS60264363 A JP S60264363A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- magnetic
- ceramic material
- coefficient
- thermal expansion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は磁気ヘッドの構成に用いられる非磁性セラミッ
ク材料に係り、特に金属磁性薄膜を蒸着あるいはスパッ
タリング等をするための薄膜磁気ヘッド用の非磁性セラ
ミック基板材料に関するものである。
ク材料に係り、特に金属磁性薄膜を蒸着あるいはスパッ
タリング等をするための薄膜磁気ヘッド用の非磁性セラ
ミック基板材料に関するものである。
磁気ヘッドはＶ Ｔ Ｒ（Ｖｉｄｅｏ Ｔａｐｅ Ｒｅ
ｃｏｒｄｅｒ ） 。
ｃｏｒｄｅｒ ） 。
コンピュータ、オーディオ機器の心臓部品として近年需
要が急拡大している。
要が急拡大している。
ＶＴＲやコンピュータ等の高密度記録が一段と進むにつ
れて９次世代の磁気ヘッドとして薄膜で構成する薄膜磁
気ヘッドの研究が最近活発に行われている。
れて９次世代の磁気ヘッドとして薄膜で構成する薄膜磁
気ヘッドの研究が最近活発に行われている。
薄膜ヘッドは記録、再生機能をパーマロイ（Ｆｅ−Ｎｊ
） 、センダスト（Ｆｅ −ＡＪ −８１）等ｏ金属磁
性薄膜に持たせ、耐摩耗性等の摺動性能を非磁性基板に
持たせる複合ヘッドであり、基板自体にも重要な特性が
要求される。
） 、センダスト（Ｆｅ −ＡＪ −８１）等ｏ金属磁
性薄膜に持たせ、耐摩耗性等の摺動性能を非磁性基板に
持たせる複合ヘッドであり、基板自体にも重要な特性が
要求される。
従来この種の非磁性セラミック基板としては。
チタン酸バリウムＢａＴ１０ｇ＋チタン酸カルシウムＣ
ａＴｉＯｓ、 ７ ＃ミナ・炭化チタン）Ｊ冨Ｏｓ ”
Ｔ ｉ Ｃ等のセラミック材料が提案されていた。
ａＴｉＯｓ、 ７ ＃ミナ・炭化チタン）Ｊ冨Ｏｓ ”
Ｔ ｉ Ｃ等のセラミック材料が提案されていた。
ところがこのような材料で構成されたセラミツり基板に
は次のような問題があった。
は次のような問題があった。
すなわち金属磁性薄膜の特性を引出すための蒸着、スパ
ッタリング等の膜形成の際およびその後の熱処理や、ギ
ャップ部のガラスボンディング時に、後述するように基
板との熱膨張率の相違から薄膜が剥離するという難点が
あった。
ッタリング等の膜形成の際およびその後の熱処理や、ギ
ャップ部のガラスボンディング時に、後述するように基
板との熱膨張率の相違から薄膜が剥離するという難点が
あった。
また従来提案されていた前記セラミック基板はその熱膨
張率が高々１０×１０−６／／℃程度と小さく。
張率が高々１０×１０−６／／℃程度と小さく。
また熱膨張率が金属磁性薄膜と一致するガラスの場合に
は、硬度が低く磁気テープとの摺動時の摩耗が大きい欠
点があった。
は、硬度が低く磁気テープとの摺動時の摩耗が大きい欠
点があった。
このためにパーマロイ等の金属磁性薄膜の熱膨張率１２
〜１．５ Ｘ １０−７℃にはソ合致し、フェライト並
みの耐摩耗性を有する非磁性基板の出現が強く要望され
ていた。
〜１．５ Ｘ １０−７℃にはソ合致し、フェライト並
みの耐摩耗性を有する非磁性基板の出現が強く要望され
ていた。
本発明者は先の発明、即ち特願昭５９−５９９３２号に
よってＴｌ０２２０〜６０重量％ 、 Ｎｉ０６０〜２
０１・□ 重量％、 ＣａＯまたはＭｇＯの少なくとも
一種が１０〜４０重量％及びＡ＃ａ ｏ３． ＺｒＯ２
またはＣｒ、０．（Ｄ少なくとも一種が２．５〜１０重
量％からなる組成物で熱膨張率が１１〜１４ Ｘ １０
−’／℃であることを要旨とするセラミック材料がかか
る問題を解決しうることを開示した。
よってＴｌ０２２０〜６０重量％ 、 Ｎｉ０６０〜２
０１・□ 重量％、 ＣａＯまたはＭｇＯの少なくとも
一種が１０〜４０重量％及びＡ＃ａ ｏ３． ＺｒＯ２
またはＣｒ、０．（Ｄ少なくとも一種が２．５〜１０重
量％からなる組成物で熱膨張率が１１〜１４ Ｘ １０
−’／℃であることを要旨とするセラミック材料がかか
る問題を解決しうることを開示した。
上記セラミック材料は、固有抵抗が１ｏ１１Ω・ｍ以上
の絶縁性を有するものであるが、磁気ヘッド用非磁性セ
ラミック材料としては、磁気ヘッドが記録媒体と接触摺
動下で使用される場合には、摺動時に発生する帯電現象
が問題となることがあり。
の絶縁性を有するものであるが、磁気ヘッド用非磁性セ
ラミック材料としては、磁気ヘッドが記録媒体と接触摺
動下で使用される場合には、摺動時に発生する帯電現象
が問題となることがあり。
この場合には固有抵抗を１０６０・国以下とすることが
好ましい。
好ましい。
本発明はかかる点に鑑み、先に開示した組成物の熱膨張
率、耐摩耗性をそこなうことなく、固有抵抗を低下せし
めうる改良・研究を進めた結果。
率、耐摩耗性をそこなうことなく、固有抵抗を低下せし
めうる改良・研究を進めた結果。
Ｔｉ０２２ ｏ〜６０重量％、 Ｎｉ０６０〜２０重量
％。
％。
ＣａＯｉたはＭｇＯの少なくとも一種が１０〜４０重量
％及びＡｆｆｌ＊Ｏｓ＋ ＺｒＯ２またはｃｒｆｆｉｏ
３の少なくとも一種が２．５〜１０重量％からなる組成
物を主成分として主成分全量に対してＣａＭｎ０．を２
〜１５重量％添加することが有効であることを見い出し
９本発明をなすに至った。
％及びＡｆｆｌ＊Ｏｓ＋ ＺｒＯ２またはｃｒｆｆｉｏ
３の少なくとも一種が２．５〜１０重量％からなる組成
物を主成分として主成分全量に対してＣａＭｎ０．を２
〜１５重量％添加することが有効であることを見い出し
９本発明をなすに至った。
本発明の薄膜ヘッド用に好適な磁気ヘッド用セラミック
基板材料で形成された非磁性基板の特徴は＋ Ａ４０ｓ
＋ ＺｒＯ２またはＣｒ、０．の少なくとも一種を含む
特定組成のＴｉ０２− ＮｉＯ−ＣａＯ−ＭｇＯ複合酸
化物に特定量のＣａＭｎＱｓを添加したことにあり、こ
れにより固有抵抗が１０’Ω・歯以下で熱膨張率が１１
〜１４Ｘ１０’／℃と金属磁性薄膜にはソ合致し。
基板材料で形成された非磁性基板の特徴は＋ Ａ４０ｓ
＋ ＺｒＯ２またはＣｒ、０．の少なくとも一種を含む
特定組成のＴｉ０２− ＮｉＯ−ＣａＯ−ＭｇＯ複合酸
化物に特定量のＣａＭｎＱｓを添加したことにあり、こ
れにより固有抵抗が１０’Ω・歯以下で熱膨張率が１１
〜１４Ｘ１０’／℃と金属磁性薄膜にはソ合致し。
フェライト並み以上の耐摩耗性を有するものを提供する
点にある。
点にある。
本発明の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料においてＣ
ａＭｎ０ａは、ＴｉＯ２２０〜６０重量％、Ｎｉ０６０
〜２０重量％、 ＣａＯまだはＭｇＯの少なくとも一種
が１０〜４０重量％及びＡＡ！ｚｏｓ、 ＺｒＯ，また
はＣｒ２Ｏ３の少なくとも一種が２．５〜１０重量％よ
りなる組成分全量に対して、２〜１５重量％である必要
がちシ、この範囲を逸脱すると目的とするものが得られ
ない。
ａＭｎ０ａは、ＴｉＯ２２０〜６０重量％、Ｎｉ０６０
〜２０重量％、 ＣａＯまだはＭｇＯの少なくとも一種
が１０〜４０重量％及びＡＡ！ｚｏｓ、 ＺｒＯ，また
はＣｒ２Ｏ３の少なくとも一種が２．５〜１０重量％よ
りなる組成分全量に対して、２〜１５重量％である必要
がちシ、この範囲を逸脱すると目的とするものが得られ
ない。
前記範囲において、 ＴｉＯ２は２０重量％以下では耐
摩耗性が悪く、６０重量％以上では熱膨張率が小さくな
る。ＮｉＯは熱膨張率を高めるものであるが２０重量％
以下では熱膨張率が小さく、６０重量％以上では耐摩耗
性が悪くなる。ＣａＯまたはＭｇＯの少なくとも一種が
１０重量％以下では熱膨張率が小さく、４０重量％以上
では耐摩耗性が低下する。そしテＡ１２０ｍ、 ＺｒＯ
２またはＣｒ２Ｏ３の少なくとも一種の量は２．５〜１
０重量％である必要があわ、これ以上では熱膨張率が小
さくなる。
摩耗性が悪く、６０重量％以上では熱膨張率が小さくな
る。ＮｉＯは熱膨張率を高めるものであるが２０重量％
以下では熱膨張率が小さく、６０重量％以上では耐摩耗
性が悪くなる。ＣａＯまたはＭｇＯの少なくとも一種が
１０重量％以下では熱膨張率が小さく、４０重量％以上
では耐摩耗性が低下する。そしテＡ１２０ｍ、 ＺｒＯ
２またはＣｒ２Ｏ３の少なくとも一種の量は２．５〜１
０重量％である必要があわ、これ以上では熱膨張率が小
さくなる。
そしてＣａＭｎ０．は２重量％以下では固有抵抗が高く
、１５重量％以上では耐摩耗性が悪化する。
、１５重量％以上では耐摩耗性が悪化する。
本発明の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料によシセラ
ミック基板を製造する方法について一例を示す。
ミック基板を製造する方法について一例を示す。
所定量の酸化チタン、酸化ニッケル、酸化カルシウム、
酸化マグネシウム、あるいは焼成によシこれらの酸化物
に変換しうる化合物をボールミル等の混合機を用いて十
分混合した後、この混合物を８００〜１２００℃の温度
で仮焼する。
酸化マグネシウム、あるいは焼成によシこれらの酸化物
に変換しうる化合物をボールミル等の混合機を用いて十
分混合した後、この混合物を８００〜１２００℃の温度
で仮焼する。
次にとの仮焼粉末にＡ−１ｘｏｓ、 ＺｒＯ，Ｃｒ、Ｏ
，粉末及び前記仮焼粉末と同様な方法で作成したＣａ■
旧３仮焼粉末を加え、ボールミル等の混合機を用いて再
混合粉砕し、乾燥後プレスバインダーを混ぜて成形し、
１４００〜１５５０℃の温度範囲で大気中または窒素中
で焼成する。この場合、各原料を独立粉末として用いて
もよいし、任意の組合せの仮焼粉末（例えば、 ＣａＴ
ｉＯ，、ＭｇＴ ｉｏｓ粉末）を用いてもよい。さら
に共沈法やコロイド添加法等の公知の手段によって調整
した複合酸化物、複合酸化物粉末として用いてもよい０
成形後の焼成においては常圧焼結法以外にホットプレス
法などの高密度化焼成法を使用してもよい。
，粉末及び前記仮焼粉末と同様な方法で作成したＣａ■
旧３仮焼粉末を加え、ボールミル等の混合機を用いて再
混合粉砕し、乾燥後プレスバインダーを混ぜて成形し、
１４００〜１５５０℃の温度範囲で大気中または窒素中
で焼成する。この場合、各原料を独立粉末として用いて
もよいし、任意の組合せの仮焼粉末（例えば、 ＣａＴ
ｉＯ，、ＭｇＴ ｉｏｓ粉末）を用いてもよい。さら
に共沈法やコロイド添加法等の公知の手段によって調整
した複合酸化物、複合酸化物粉末として用いてもよい０
成形後の焼成においては常圧焼結法以外にホットプレス
法などの高密度化焼成法を使用してもよい。
次に具体的な実施例により２本発明をさらに詳しく説明
する。
する。
なお熱膨張率はＪＩＳ法に準じ室温より５００℃におけ
る平均線膨張よりめた。又耐摩耗性はビン−円板式摩耗
試験機を使用し、荷重５０に９／ｃＪｙ’ｌ’ ［、ｉ
ｘｂｏｃｍ／−０、ア、。。−一１．ッ。
る平均線膨張よりめた。又耐摩耗性はビン−円板式摩耗
試験機を使用し、荷重５０に９／ｃＪｙ’ｌ’ ［、ｉ
ｘｂｏｃｍ／−０、ア、。。−一１．ッ。
片の重さの変化よりめた０なおビンにサンプル。
円板に鉄を用いた。固有抵抗は、サンプルの両端にイン
ジウム・ガリウム電極を塗布し、絶縁抵抗計を用いて室
温で測定した。
ジウム・ガリウム電極を塗布し、絶縁抵抗計を用いて室
温で測定した。
実施例
炭酸マンガン及び炭酸カルシウムを等モルの配合比率で
ボールミルに入れ２４時時間式混合し。
ボールミルに入れ２４時時間式混合し。
乾燥後大気中で１０００℃で焼成してＣａＭｎ０．仮焼
粉末を得た。次に酸化チタン、酸化ニッケル、酸化マグ
ネシウム及び炭酸カルシウムの比率を変え。
粉末を得た。次に酸化チタン、酸化ニッケル、酸化マグ
ネシウム及び炭酸カルシウムの比率を変え。
ボールミルで２４時時間式混合し乾燥後大気中で１００
０℃で焼成し各種仮焼粉末を作成した。これらの各種仮
焼粉末にＡｌ２Ｏ５，ＺｒＯ，Ｃｒ２０ｇ各粉末及び前
記調整したＣａＭｎＯ３仮焼粉末を各種比率で加えボー
ルミルで２４時間再度湿式混合し、乾燥後プレスバイン
ダーとして得られた粉末に対してポリビニルアルコール
１重量％を加え、 ２ｔｏｎ ／（３１で成形し１４５
０℃で１時間大気中で焼成して表１に示すサンプル１〜
２１を作成した。
０℃で焼成し各種仮焼粉末を作成した。これらの各種仮
焼粉末にＡｌ２Ｏ５，ＺｒＯ，Ｃｒ２０ｇ各粉末及び前
記調整したＣａＭｎＯ３仮焼粉末を各種比率で加えボー
ルミルで２４時間再度湿式混合し、乾燥後プレスバイン
ダーとして得られた粉末に対してポリビニルアルコール
１重量％を加え、 ２ｔｏｎ ／（３１で成形し１４５
０℃で１時間大気中で焼成して表１に示すサンプル１〜
２１を作成した。
この表１においてサンプル３〜６，１０〜１３゜１７〜
２０が本発明の範囲内のものである。またサンプル１，
８．１５の固有抵抗は１０′１Ω・訓以上の値であった
。この結果よシ明らかなように。
２０が本発明の範囲内のものである。またサンプル１，
８．１５の固有抵抗は１０′１Ω・訓以上の値であった
。この結果よシ明らかなように。
本発明による特定組成の複合酸化物が熱膨張率において
金属磁性薄膜とはソ合致し、しかも耐摩耗性においてフ
ェライト並み以上の性能を有し、かつ固有抵抗が１０６
Ω・ｍ以下であることがわかる。
金属磁性薄膜とはソ合致し、しかも耐摩耗性においてフ
ェライト並み以上の性能を有し、かつ固有抵抗が１０６
Ω・ｍ以下であることがわかる。
以下余白
〔効果〕
本発明によれば、固有抵抗が低くかつその熱膨張率が金
属磁性薄膜にはソ合致し、しかも摩耗量が小さい非磁性
の薄膜ヘッド用セラミック基板として好適なものを得る
ことができる。
属磁性薄膜にはソ合致し、しかも摩耗量が小さい非磁性
の薄膜ヘッド用セラミック基板として好適なものを得る
ことができる。
なお本発明のセラミック材料は、前記薄膜ヘッド用とし
て限定されるものではなく、か＼る性能が適用しうる他
の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料として当然に使用
し得るものである。
て限定されるものではなく、か＼る性能が適用しうる他
の磁気ヘッド用非磁性セラミック材料として当然に使用
し得るものである。
特許出願人 ティーディーケイ株式会社代理人弁理士
山 谷 晧 榮 手 続 補 正 書 （自発） 昭和６０年４月５日 ２、発明の名称 磁気ヘッド用非磁性セラミック材料３
、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都中央区日本橋−丁目１３番１号氏 名
（３０６） ティーディーケイ株式会社代表者 大 歳
寛 ４、代理人 住 所 東京都千代田区神田淡路町１丁目１９番８号６
、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄７、補正
の内容 明細書第１０頁の表１を別紙の通り補正する。
山 谷 晧 榮 手 続 補 正 書 （自発） 昭和６０年４月５日 ２、発明の名称 磁気ヘッド用非磁性セラミック材料３
、補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都中央区日本橋−丁目１３番１号氏 名
（３０６） ティーディーケイ株式会社代表者 大 歳
寛 ４、代理人 住 所 東京都千代田区神田淡路町１丁目１９番８号６
、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄７、補正
の内容 明細書第１０頁の表１を別紙の通り補正する。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ’ｒｔｏ、２９〜６０重量％、 Ｎｉ０６０〜２０重量
％。 ＣａＯまたはＭｇＯの少なくとも一種が１０〜４０重量
％及びＭコＯ，、ＺｒＯ，またはＣｒ、Ｏｓの少なくと
も一種が２．５〜１０重量％とを主成分として、 Ｃａ
Ｍｎ０゜が前記主成分全量に対して２〜１５重量％添加
されることを特徴とする磁気ヘッド用非磁性セラミック
材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59120596A JPS60264363A (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 磁気ヘツド用非磁性セラミツク材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59120596A JPS60264363A (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 磁気ヘツド用非磁性セラミツク材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60264363A true JPS60264363A (ja) | 1985-12-27 |
Family
ID=14790170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59120596A Pending JPS60264363A (ja) | 1984-06-12 | 1984-06-12 | 磁気ヘツド用非磁性セラミツク材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60264363A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01252565A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Tokin Corp | 磁気ヘッド用非磁性磁器材料及びその製造方法 |
| EP0690437A3 (en) * | 1994-06-28 | 1996-07-24 | Sony Corp | Magnetic material for magnetic head and magnetic head formed from the same material |
-
1984
- 1984-06-12 JP JP59120596A patent/JPS60264363A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01252565A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Tokin Corp | 磁気ヘッド用非磁性磁器材料及びその製造方法 |
| EP0690437A3 (en) * | 1994-06-28 | 1996-07-24 | Sony Corp | Magnetic material for magnetic head and magnetic head formed from the same material |
| US5610786A (en) * | 1994-06-28 | 1997-03-11 | Sony Corporation | Magnetic head having Cao-TiO2 -NiO ceramic with specified CaO/TiO.sub.2 |
| KR100445102B1 (ko) * | 1994-06-28 | 2004-11-06 | 소니 가부시끼 가이샤 | 자기헤드 |
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