JP3309040B2 - 非磁性セラミックス及びその製造方法 - Google Patents
非磁性セラミックス及びその製造方法Info
- Publication number
- JP3309040B2 JP3309040B2 JP34230595A JP34230595A JP3309040B2 JP 3309040 B2 JP3309040 B2 JP 3309040B2 JP 34230595 A JP34230595 A JP 34230595A JP 34230595 A JP34230595 A JP 34230595A JP 3309040 B2 JP3309040 B2 JP 3309040B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- weight
- thermal expansion
- slider
- cao
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Magnetic Ceramics (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド用セラ
ミック基板、各種磁気ヘッド用スライダー、磁気ヘッド
のスペーサ、磁気テープガイド、マイクロマシン用部品
等に使用される非磁性セラミックスに関するものであ
り、特にコンピュータ用ハードディスク（コンポジット
タイプ、薄膜タイプ、積層タイプ等）、光磁気ディス
ク、フロッピーディスク、磁気テープ、またはオーディ
オ用レコーダやビデオテープレコーダ等の磁気記録に使
用される磁気ヘッドのスライダー用材料に最適な非磁性
セラミックスに関するものである。
ミック基板、各種磁気ヘッド用スライダー、磁気ヘッド
のスペーサ、磁気テープガイド、マイクロマシン用部品
等に使用される非磁性セラミックスに関するものであ
り、特にコンピュータ用ハードディスク（コンポジット
タイプ、薄膜タイプ、積層タイプ等）、光磁気ディス
ク、フロッピーディスク、磁気テープ、またはオーディ
オ用レコーダやビデオテープレコーダ等の磁気記録に使
用される磁気ヘッドのスライダー用材料に最適な非磁性
セラミックスに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッドを用いた磁気記録装置は、高
記録密度化、高容量化が進みつつあり、それに伴い、磁
気ヘッドに対しても高線密度化、高トラック密度化への
対応が要求されている。
記録密度化、高容量化が進みつつあり、それに伴い、磁
気ヘッドに対しても高線密度化、高トラック密度化への
対応が要求されている。
【０００３】このような磁気ヘッドを用いた磁気ディス
クへの記録において、高容量化に対応した高線密度、高
トラック密度を達成する方法の一つとしてコンポジット
スライダーが採用されている。いわゆるコンポジット型
磁気ヘッドは、磁気ヘッドコアをセラミックス製のスラ
イダーに接着している。なお、磁気ヘッドコアとスライ
ダーは、雰囲気を４００℃前後の高温として、両者の間
に配置されたガラスを溶融することにより接着されてい
る。
クへの記録において、高容量化に対応した高線密度、高
トラック密度を達成する方法の一つとしてコンポジット
スライダーが採用されている。いわゆるコンポジット型
磁気ヘッドは、磁気ヘッドコアをセラミックス製のスラ
イダーに接着している。なお、磁気ヘッドコアとスライ
ダーは、雰囲気を４００℃前後の高温として、両者の間
に配置されたガラスを溶融することにより接着されてい
る。
【０００４】このヘッドコアとしては、一般に高い透磁
率を有するＭｎ−Ｚｎ系フェライトが使用されており、
これに薄膜を設けたＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Ｇａ
ｐ）タイプが量産されている。
率を有するＭｎ−Ｚｎ系フェライトが使用されており、
これに薄膜を設けたＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Ｇａ
ｐ）タイプが量産されている。
【０００５】さらに、ヘッドコアの一部を非磁性基板に
置き換え、非磁性基板上に磁性薄膜を成膜した複合コア
も採用されている。この様な複合コアを成す非磁性基板
としては、機械的強度の大きなチタン酸カルシウム（Ｃ
ａＴｉＯ3 ）系の材料が用いられている。
置き換え、非磁性基板上に磁性薄膜を成膜した複合コア
も採用されている。この様な複合コアを成す非磁性基板
としては、機械的強度の大きなチタン酸カルシウム（Ｃ
ａＴｉＯ3 ）系の材料が用いられている。
【０００６】一方、上記ヘッドコアを保持するスライダ
ーの材料としては、例えばチタン酸カルシウム（ＣａＴ
ｉＯ3 ）やチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）が用いら
れている。
ーの材料としては、例えばチタン酸カルシウム（ＣａＴ
ｉＯ3 ）やチタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ3 ）が用いら
れている。
【０００７】
【発明が解決しようとする問題点】ここで、スライダー
の熱膨張係数がヘッドコアの熱膨張係数と異なると、ヘ
ッドコアをスライダーに接着する際の熱応力により亀裂
や残留歪みが生じて接着が不十分となり、ヘッドコアが
スライダーから脱落し、磁気ヘッドとして不良となる恐
れがある。このような不良品の発生を確実に防止するた
めには、スライダーの熱膨張係数をヘッドコアの熱膨張
係数に一致させる必要がある。
の熱膨張係数がヘッドコアの熱膨張係数と異なると、ヘ
ッドコアをスライダーに接着する際の熱応力により亀裂
や残留歪みが生じて接着が不十分となり、ヘッドコアが
スライダーから脱落し、磁気ヘッドとして不良となる恐
れがある。このような不良品の発生を確実に防止するた
めには、スライダーの熱膨張係数をヘッドコアの熱膨張
係数に一致させる必要がある。
【０００８】しかしながら、ヘッドコアの材料である高
透磁率Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトの熱膨張係数は１０５〜
１３０×１０-7／℃であり、複合コアの熱膨張係数は１
００〜１２０×１０-7／℃であるのに対し、スライダー
として使用されるチタン酸カルシウム、チタン酸バリウ
ムの熱膨張係数は、それぞれ１００〜１２０×１０-7／
℃、８０〜１００×１０-7／℃程度と、ヘッドコアの熱
膨張係数よりも小さく、ヘッドコアの熱膨張係数の範囲
を全てカバーできるスライダー材料はなかった。
透磁率Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトの熱膨張係数は１０５〜
１３０×１０-7／℃であり、複合コアの熱膨張係数は１
００〜１２０×１０-7／℃であるのに対し、スライダー
として使用されるチタン酸カルシウム、チタン酸バリウ
ムの熱膨張係数は、それぞれ１００〜１２０×１０-7／
℃、８０〜１００×１０-7／℃程度と、ヘッドコアの熱
膨張係数よりも小さく、ヘッドコアの熱膨張係数の範囲
を全てカバーできるスライダー材料はなかった。
【０００９】また、ハードディスク用磁気ヘッド等にお
いては、ディスクが回転すると共に磁気ヘッドが浮上す
るＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ ｓｔａｒｔ／ｓｔｏｐ）と
呼ばれる方法が採用されているので、ディスク起動時お
よび停止時にディスクとヘッドが接触する。したがっ
て、スライダー部分にポア（空孔）があると摺動する際
にポア部分に潤滑剤や磁性粉が付着したり、ポア部分よ
り前記付着物が脱落し、これにより、磁気媒体を破壊し
たり、データの破壊や、ヘッドの損傷を生じ、磁気記録
装置の信頼性を著しく低下させるという問題があった。
いては、ディスクが回転すると共に磁気ヘッドが浮上す
るＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ ｓｔａｒｔ／ｓｔｏｐ）と
呼ばれる方法が採用されているので、ディスク起動時お
よび停止時にディスクとヘッドが接触する。したがっ
て、スライダー部分にポア（空孔）があると摺動する際
にポア部分に潤滑剤や磁性粉が付着したり、ポア部分よ
り前記付着物が脱落し、これにより、磁気媒体を破壊し
たり、データの破壊や、ヘッドの損傷を生じ、磁気記録
装置の信頼性を著しく低下させるという問題があった。
【００１０】特に近年においては磁気ディスクの磁性膜
は薄くなり、僅かな摺動性の不調でも信頼性が低下する
ようになっているため、ポアサイズの小さなスライダー
用材料が要求されるようになっている。
は薄くなり、僅かな摺動性の不調でも信頼性が低下する
ようになっているため、ポアサイズの小さなスライダー
用材料が要求されるようになっている。
【００１１】また、一部のディスク媒体に対しチタン酸
カルシウム系スライダーは摺動特性が悪いとの問題もあ
った。
カルシウム系スライダーは摺動特性が悪いとの問題もあ
った。
【００１２】これに対し、本発明者は、熱膨張係数の大
きいヘッドコアに適用でき、かつ、磁気メディアとの摺
動性に優れた磁気ヘッドスライダー用の非磁性セラミッ
クスを得るべく、種々の検討を重ねた結果、Ｃａ系フェ
ライトにおいてＣａＯとＦｅ2 Ｏ3 のモル比率を所定値
に特定することにより、摺動特性が優れ、熱膨張係数が
大きな優れた特性を有する磁気ヘッドスライダー用の非
磁性セラミックスを得られることを突き止めた（特開平
５−８５８０７号公報参照）。
きいヘッドコアに適用でき、かつ、磁気メディアとの摺
動性に優れた磁気ヘッドスライダー用の非磁性セラミッ
クスを得るべく、種々の検討を重ねた結果、Ｃａ系フェ
ライトにおいてＣａＯとＦｅ2 Ｏ3 のモル比率を所定値
に特定することにより、摺動特性が優れ、熱膨張係数が
大きな優れた特性を有する磁気ヘッドスライダー用の非
磁性セラミックスを得られることを突き止めた（特開平
５−８５８０７号公報参照）。
【００１３】しかし、この組成系では、大きな熱膨張係
数を有するＭｎ−Ｚｎ系フェライトのヘッドコアには対
応できたが、上記複合コアに対しては熱膨張係数が大き
すぎるという問題があった。
数を有するＭｎ−Ｚｎ系フェライトのヘッドコアには対
応できたが、上記複合コアに対しては熱膨張係数が大き
すぎるという問題があった。
【００１４】
【課題を解決するための手段】そこで本発明者は、上記
複合コアにも適用でき、かつ磁気メディアとの摺動性に
優れた磁気ヘッドスライダー用の非磁性セラミックスを
得るべく、種々の検討を重ねた結果、熱膨張係数の大き
なＣａ系フェライト（ＣａＯ・Ｆｅ2 Ｏ3 又は２ＣａＯ
・Ｆｅ2 Ｏ3 ）に熱膨張係数の小さな酸化亜鉛（Ｚｎ
Ｏ）を加えることで、熱膨張係数を１００〜１２６×１
０-7／℃の広い範囲で自由にコントロールでき、しかも
これらのＣａ系フェライトと酸化亜鉛（ＺｎＯ）はいず
れも摺動性に優れていることから、得られた非磁性セラ
ミックスも優れた摺動特性を有することを見い出した。
複合コアにも適用でき、かつ磁気メディアとの摺動性に
優れた磁気ヘッドスライダー用の非磁性セラミックスを
得るべく、種々の検討を重ねた結果、熱膨張係数の大き
なＣａ系フェライト（ＣａＯ・Ｆｅ2 Ｏ3 又は２ＣａＯ
・Ｆｅ2 Ｏ3 ）に熱膨張係数の小さな酸化亜鉛（Ｚｎ
Ｏ）を加えることで、熱膨張係数を１００〜１２６×１
０-7／℃の広い範囲で自由にコントロールでき、しかも
これらのＣａ系フェライトと酸化亜鉛（ＺｎＯ）はいず
れも摺動性に優れていることから、得られた非磁性セラ
ミックスも優れた摺動特性を有することを見い出した。
【００１５】即ち、本発明の非磁性セラミックスは、組
成が酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）５８〜７８重量％、酸化カル
シウム（ＣａＯ）９〜４１重量％及び酸化亜鉛（Ｚｎ
Ｏ）を０．３〜２１重量％含むことを特徴とするもので
ある。
成が酸化鉄（Ｆｅ2 Ｏ3 ）５８〜７８重量％、酸化カル
シウム（ＣａＯ）９〜４１重量％及び酸化亜鉛（Ｚｎ
Ｏ）を０．３〜２１重量％含むことを特徴とするもので
ある。
【００１６】また、本発明は、上記主成分１００重量部
に対し、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ
2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種を合計で０．１〜３重
量部含有することを特徴とするものである。
に対し、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ
2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種を合計で０．１〜３重
量部含有することを特徴とするものである。
【００１７】ここでＦｅ2 Ｏ3 を５８〜７８重量％、Ｃ
ａＯを９〜４１重量％としたのは、ＣａＯが４１重量％
よりも多くなると、セラミックス中に微量のＣａＯ相が
生じ、ポアサイズが大きくなって焼結性が著しく悪くな
るからである。また、Ｆｅ2Ｏ3 が７８重量％よりも多
くなると、磁性フェライト相が発生し非磁性フェライト
として不適切となるからである。
ａＯを９〜４１重量％としたのは、ＣａＯが４１重量％
よりも多くなると、セラミックス中に微量のＣａＯ相が
生じ、ポアサイズが大きくなって焼結性が著しく悪くな
るからである。また、Ｆｅ2Ｏ3 が７８重量％よりも多
くなると、磁性フェライト相が発生し非磁性フェライト
として不適切となるからである。
【００１８】さらに、ＺｎＯを０．３〜２１重量％とし
たのは、０．３重量％未満ではＣａ系フェライトの熱膨
張係数を小さくする効果が小さく、一方２１重量％を越
える場合は熱膨張係数が１００×１０-7／℃未満と小さ
くなり過ぎて、ガラスボンディング時のクラック発生原
因となり好ましくないためである。
たのは、０．３重量％未満ではＣａ系フェライトの熱膨
張係数を小さくする効果が小さく、一方２１重量％を越
える場合は熱膨張係数が１００×１０-7／℃未満と小さ
くなり過ぎて、ガラスボンディング時のクラック発生原
因となり好ましくないためである。
【００１９】なお、フェライトは結晶構造によって磁気
特性が異なり、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトやＮｉ−Ｚｎ系
フェライト等は結晶が逆スピネル構造となるために強磁
性を示すが、正スピネル構造やコランダム型の結晶構造
を有するフェライトは強磁性を示さず非磁性体となる。
そして、本発明で用いるＣａ系フェライトは一般に非磁
性体であることから、これを主成分とすることにより、
非磁性のセラミックスとすることができる。
特性が異なり、Ｍｎ−Ｚｎ系フェライトやＮｉ−Ｚｎ系
フェライト等は結晶が逆スピネル構造となるために強磁
性を示すが、正スピネル構造やコランダム型の結晶構造
を有するフェライトは強磁性を示さず非磁性体となる。
そして、本発明で用いるＣａ系フェライトは一般に非磁
性体であることから、これを主成分とすることにより、
非磁性のセラミックスとすることができる。
【００２０】また、上記主成分に対して、ＭｇＯ、Ｔｉ
Ｏ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2、Ａｌ2 Ｏ3 の少な
くとも一種を合計で０．１〜３重量部含有させたのは、
焼結性を向上させるためである。この合計量を上記範囲
としたのは、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、Ｚ
ｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種が、合計で３重量
部よりも多く含有されると焼結性が悪くなり、ポアサイ
ズも大きくなるからである。これらの副成分は、焼結助
剤として別途添加する他、ＣａＯやＦｅ2 Ｏ3、ＺｎＯ
等の原料中に含まれていたり、あるいは粉砕、混合工程
時に粉砕ボールの摩耗により混入する場合もある。
Ｏ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2、Ａｌ2 Ｏ3 の少な
くとも一種を合計で０．１〜３重量部含有させたのは、
焼結性を向上させるためである。この合計量を上記範囲
としたのは、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、Ｚ
ｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種が、合計で３重量
部よりも多く含有されると焼結性が悪くなり、ポアサイ
ズも大きくなるからである。これらの副成分は、焼結助
剤として別途添加する他、ＣａＯやＦｅ2 Ｏ3、ＺｎＯ
等の原料中に含まれていたり、あるいは粉砕、混合工程
時に粉砕ボールの摩耗により混入する場合もある。
【００２１】さらに、本発明の非磁性セラミックスの製
造方法は以下の通りである。
造方法は以下の通りである。
【００２２】まず、例えば市販されている純度９９％以
上のＦｅ2 Ｏ3 （不純物としてＳｉ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｃ
ａ、Ｎａ、Ｓ、Ｃｌ、Ｍｇ、Ｃｒ、Ｐ、Ｎａ、Ｎｂ等を
含む）を使い、ＣａＯ源としてＣａＣｌ2 、ＣａＣ
Ｏ3 、ＣａＦｅ2 Ｏ4 、Ｃａ2 Ｆｅ2 Ｏ5 等を使用し、
これらを所定量秤量し、この後ボールミルを用いて湿式
混合する。これを乾燥し、乾燥後の原料を酸化性雰囲気
において所定温度で所定時間仮焼し、仮焼後の原料にＺ
ｎＯ源として、ＺｎＯ原料を所定量加え、アルミナボー
ルまたはジルコニアボール、メノーボールを用い平均粒
径が２μｍ以下となるよう微粉砕する。ここで仮焼した
Ｃａ系フェライトに別途用意したＺｎＯを添加するのは
ＺｎＯの添加量により熱膨張係数を調整することが可能
であり、種々の熱膨張係数を有する材料を容易に製造可
能とするからである。
上のＦｅ2 Ｏ3 （不純物としてＳｉ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｃ
ａ、Ｎａ、Ｓ、Ｃｌ、Ｍｇ、Ｃｒ、Ｐ、Ｎａ、Ｎｂ等を
含む）を使い、ＣａＯ源としてＣａＣｌ2 、ＣａＣ
Ｏ3 、ＣａＦｅ2 Ｏ4 、Ｃａ2 Ｆｅ2 Ｏ5 等を使用し、
これらを所定量秤量し、この後ボールミルを用いて湿式
混合する。これを乾燥し、乾燥後の原料を酸化性雰囲気
において所定温度で所定時間仮焼し、仮焼後の原料にＺ
ｎＯ源として、ＺｎＯ原料を所定量加え、アルミナボー
ルまたはジルコニアボール、メノーボールを用い平均粒
径が２μｍ以下となるよう微粉砕する。ここで仮焼した
Ｃａ系フェライトに別途用意したＺｎＯを添加するのは
ＺｎＯの添加量により熱膨張係数を調整することが可能
であり、種々の熱膨張係数を有する材料を容易に製造可
能とするからである。
【００２３】なお、ＺｎＯの添加は仮焼後に限らず、最
初からＦｅ2 Ｏ3 、ＣａＯ、ＺｎＯを所定量秤量し、混
合・粉砕して原料粉末を得ることもできる。
初からＦｅ2 Ｏ3 、ＣａＯ、ＺｎＯを所定量秤量し、混
合・粉砕して原料粉末を得ることもできる。
【００２４】そして、この原料粉末にバインダーを加え
造粒を行った後、所定圧力でプレス成形し焼成すること
で本発明の非磁性セラミックスを得ることができる。特
に、この焼成時に、酸化雰囲気中において１０００〜１
２００℃の常圧で焼成して相対密度９５％以上の予備焼
結体を得た後、この予備焼結体を不活性ガス雰囲気中で
１０００〜１２００℃で熱間静水圧加圧（ＨＩＰ）処理
することが好ましく、このような焼成方法によればポア
サイズが１μｍ以下の焼結体を得ることができる。
造粒を行った後、所定圧力でプレス成形し焼成すること
で本発明の非磁性セラミックスを得ることができる。特
に、この焼成時に、酸化雰囲気中において１０００〜１
２００℃の常圧で焼成して相対密度９５％以上の予備焼
結体を得た後、この予備焼結体を不活性ガス雰囲気中で
１０００〜１２００℃で熱間静水圧加圧（ＨＩＰ）処理
することが好ましく、このような焼成方法によればポア
サイズが１μｍ以下の焼結体を得ることができる。
【００２５】なお、本発明の非磁性セラミックスは、各
種記録再生ヘッド用のスライダーに限らず、磁気ヘッド
のスペーサ、磁気テープガイド、マイクロマシン用部品
等さまざまな分野に使用することができる。
種記録再生ヘッド用のスライダーに限らず、磁気ヘッド
のスペーサ、磁気テープガイド、マイクロマシン用部品
等さまざまな分野に使用することができる。
【００２６】
【実施例】実施例１ 市販されている純度９９％以上のＦｅ2 Ｏ3 （不純物と
してＳｉ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｃａ、Ｎａ、Ｓ、Ｃｌ、Ｍｇ、
Ｃｒ、Ｐ、Ｎａ、Ｎｂ等を含む）を使い、ＣａＯ源とし
てＣａＣｌ2 、ＣａＣＯ3 等を使用し、純度９９％以上
のＺｎＯとともに、最終組成が表１となるよう所定量秤
量し、この後ボールミルを用いて湿式混合し、これを乾
燥し、乾燥後の原料を酸化性雰囲気において所定温度で
所定時間仮焼した。
してＳｉ、Ａｌ、Ｍｎ、Ｃａ、Ｎａ、Ｓ、Ｃｌ、Ｍｇ、
Ｃｒ、Ｐ、Ｎａ、Ｎｂ等を含む）を使い、ＣａＯ源とし
てＣａＣｌ2 、ＣａＣＯ3 等を使用し、純度９９％以上
のＺｎＯとともに、最終組成が表１となるよう所定量秤
量し、この後ボールミルを用いて湿式混合し、これを乾
燥し、乾燥後の原料を酸化性雰囲気において所定温度で
所定時間仮焼した。
【００２７】仮焼後の原料をアルミナボールまたはジル
コニアボール、メノーボールを用い平均粒径が２μｍ以
下となるよう微粉砕した。なお、この粉砕によりＺｒＯ
2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 等が合計３重量％以下混入す
ることがある。
コニアボール、メノーボールを用い平均粒径が２μｍ以
下となるよう微粉砕した。なお、この粉砕によりＺｒＯ
2 、Ａｌ2 Ｏ3 、ＳｉＯ2 等が合計３重量％以下混入す
ることがある。
【００２８】得られた原料にバインダーを加えて造粒を
行った後、０．８〜２．０ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でプレ
ス成形した。その後、酸化性雰囲気において常圧下の所
定温度で焼成した。得られた焼結体を１０００〜１２０
０℃でアルゴン雰囲気中２０００気圧でＨＩＰ処理し
た。得られた試料について嵩比重、熱膨張係数、ポア
率、焼結性について調べた。結果を表１に示す。
行った後、０．８〜２．０ｔｏｎ／ｃｍ2 の圧力でプレ
ス成形した。その後、酸化性雰囲気において常圧下の所
定温度で焼成した。得られた焼結体を１０００〜１２０
０℃でアルゴン雰囲気中２０００気圧でＨＩＰ処理し
た。得られた試料について嵩比重、熱膨張係数、ポア
率、焼結性について調べた。結果を表１に示す。
【００２９】ここで、嵩比重は水中におけるアルキメデ
ス法により求め、熱膨張係数は熱膨張係数測定装置によ
り求めた。ポアの発生率は１μｍのダイヤモンド砥粒に
よる最終ラップ面に生じるポア径を測定することにより
評価した。
ス法により求め、熱膨張係数は熱膨張係数測定装置によ
り求めた。ポアの発生率は１μｍのダイヤモンド砥粒に
よる最終ラップ面に生じるポア径を測定することにより
評価した。
【００３０】表１の結果より、Ｎｏ．１と１３はＣａＯ
が若干多いことから焼結性が劣っており、またＮｏ．６
と７はＦｅ2 Ｏ3 が多く非磁性セラミックスとしては適
切でなかった。
が若干多いことから焼結性が劣っており、またＮｏ．６
と７はＦｅ2 Ｏ3 が多く非磁性セラミックスとしては適
切でなかった。
【００３１】これらに対し、Ｎｏ．２〜５、８〜１２、
１５〜１８は本発明の範囲内の非磁性セラミックスであ
り、熱膨張係数はそれぞれ１２８〜１００×１０-7／℃
の範囲内であり、ポアの発生率および焼結性は良好であ
った。
１５〜１８は本発明の範囲内の非磁性セラミックスであ
り、熱膨張係数はそれぞれ１２８〜１００×１０-7／℃
の範囲内であり、ポアの発生率および焼結性は良好であ
った。
【００３２】
【表１】
【００３３】次に、表１の各試料について２本のレール
を有するスライダー形状に加工し、取付金具を介してデ
ィスク上にセットした。そして、ディスクの最大回転数
を３６００ｒｐｍとして回転と停止（ＣＳＳ）を繰り返
した。このＣＳＳ回数の５０００回毎にディスクとヘッ
ドの傷の有無を調べた。結果を表２、３に示す。
を有するスライダー形状に加工し、取付金具を介してデ
ィスク上にセットした。そして、ディスクの最大回転数
を３６００ｒｐｍとして回転と停止（ＣＳＳ）を繰り返
した。このＣＳＳ回数の５０００回毎にディスクとヘッ
ドの傷の有無を調べた。結果を表２、３に示す。
【００３４】この結果より、Ｎｏ．２〜５、８〜１２、
１５〜１８の本発明実施例については、メディアやスラ
イダーに傷が発生するまでのＣＳＳ回数が大きく、優れ
た摺動特性を有することが分かる。
１５〜１８の本発明実施例については、メディアやスラ
イダーに傷が発生するまでのＣＳＳ回数が大きく、優れ
た摺動特性を有することが分かる。
【００３５】
【表２】
【００３６】
【表３】
【００３７】実施例２ 実施例１と同様のＦｅ2 Ｏ3 、ＣａＯ、ＺｎＯからなる
主成分に対して、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、Ｓｉ
Ｏ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種を表４に
示す含有量となるように秤量し、この後ボールミルを用
いて湿式混合した。その他は上記実施例１と同様にして
各試料を得た。得られた試料について実施例１と同様に
嵩比重、熱膨張係数、ポア率、焼結性について調べた。
結果は表５に示す通りである。
主成分に対して、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、Ｓｉ
Ｏ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種を表４に
示す含有量となるように秤量し、この後ボールミルを用
いて湿式混合した。その他は上記実施例１と同様にして
各試料を得た。得られた試料について実施例１と同様に
嵩比重、熱膨張係数、ポア率、焼結性について調べた。
結果は表５に示す通りである。
【００３８】表５によりＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、Ｓ
ｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 を０．１〜３重量部含有
することにより焼結性が良くなり、ポアサイズも小さく
なることが判明した。
ｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 を０．１〜３重量部含有
することにより焼結性が良くなり、ポアサイズも小さく
なることが判明した。
【００３９】さらに実施例１と同様にしてＣＳＳ試験を
行った結果を表６に示すように、摺動特性も良好となる
ことが判った。
行った結果を表６に示すように、摺動特性も良好となる
ことが判った。
【００４０】
【表４】
【００４１】
【表５】
【００４２】
【表６】
【００４３】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の非磁性セラ
ミックスは、９〜４１重量％のＣａＯと、５８〜７８重
量％のＦｅ2 Ｏ3 と、０．３〜２１重量％のＺｎＯを含
有することによって、熱膨張係数をヘッドコア用材料の
熱膨張係数に近づけることができるため、磁気ヘッド用
スライダーを構成すれば、ヘッドコアを接着する際に亀
裂や残留歪みを生ぜずに確実に接着することができる。
ミックスは、９〜４１重量％のＣａＯと、５８〜７８重
量％のＦｅ2 Ｏ3 と、０．３〜２１重量％のＺｎＯを含
有することによって、熱膨張係数をヘッドコア用材料の
熱膨張係数に近づけることができるため、磁気ヘッド用
スライダーを構成すれば、ヘッドコアを接着する際に亀
裂や残留歪みを生ぜずに確実に接着することができる。
【００４４】また、ポアの発生率および焼結性の良好な
非磁性セラミックスを得られるため、磁気ヘッド用スラ
イダーを構成すればＣＳＳ時に潤滑剤や磁性粉等が付着
することがなく、記録データの破壊やヘッドの破損を確
実に防止し、磁気記録装置の信頼性を著しく向上するこ
とができる。
非磁性セラミックスを得られるため、磁気ヘッド用スラ
イダーを構成すればＣＳＳ時に潤滑剤や磁性粉等が付着
することがなく、記録データの破壊やヘッドの破損を確
実に防止し、磁気記録装置の信頼性を著しく向上するこ
とができる。
【００４５】さらに本発明によれば、上記主成分１００
重量部に対しＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、Ｚ
ｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種を合計０．１〜３
重量部含むことによって、焼結性が向上し、ポアサイズ
も小さくなり、摺動特性を向上させることができる。
重量部に対しＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、Ｚ
ｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少なくとも一種を合計０．１〜３
重量部含むことによって、焼結性が向上し、ポアサイズ
も小さくなり、摺動特性を向上させることができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C04B 35/495 C04B 35/26
Claims (3)
- 【請求項１】９〜４１重量％のＣａＯと、５８〜７８重
量％のＦｅ2 Ｏ3 と、０．３〜２１重量％のＺｎＯを含
有することを特徴とする非磁性セラミックス。 - 【請求項２】上記主成分１００重量部に対しＭｇＯ、Ｔ
ｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2 Ｏ3 の少
なくとも一種を合計０．１〜３重量部含むことを特徴と
する請求項１記載の非磁性セラミックス。 - 【請求項３】９〜４１重量％のＣａＯと、５８〜７８重
量％のＦｅ2 Ｏ3 と、０．３〜２１重量％のＺｎＯを含
み、必要に応じてこれら主成分１００重量部に対してＭ
ｇＯ、ＴｉＯ2 、ＭｎＯ、ＳｉＯ2 、ＺｒＯ2 、Ａｌ2
Ｏ3 の一種以上を合計０．１〜３重量部含む原料を混合
粉砕し、この混合粉体を所定形状に成形した後、得られ
た成形体を酸化雰囲気で予備焼成し、熱間静水圧加圧処
理を施す工程からなる非磁性セラミックスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34230595A JP3309040B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 非磁性セラミックス及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34230595A JP3309040B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 非磁性セラミックス及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09183655A JPH09183655A (ja) | 1997-07-15 |
| JP3309040B2 true JP3309040B2 (ja) | 2002-07-29 |
Family
ID=18352703
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34230595A Expired - Fee Related JP3309040B2 (ja) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 非磁性セラミックス及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3309040B2 (ja) |
-
1995
- 1995-12-28 JP JP34230595A patent/JP3309040B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09183655A (ja) | 1997-07-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS61158862A (ja) | 磁気ヘツドスライダ材料 | |
| JP3309040B2 (ja) | 非磁性セラミックス及びその製造方法 | |
| JP3825079B2 (ja) | 非磁性セラミックスの製造方法 | |
| JP3152740B2 (ja) | 非磁性セラミックス | |
| JP2859016B2 (ja) | 磁気ヘッドのスライダー用磁器 | |
| JP3819960B2 (ja) | 導電性セラミックスの製造方法及びこれを用いた磁気ディスク保持部材 | |
| JP3085619B2 (ja) | 非磁性セラミックス | |
| JP3325439B2 (ja) | 磁気ヘッド用スライダーおよびその製造方法 | |
| JPH09328358A (ja) | 非磁性セラミックス及びその製造方法 | |
| US5242865A (en) | Non-magnetic substrate of magnetic head | |
| JP2832863B2 (ja) | 磁気ヘッド用非磁性セラミックス | |
| JPH0376762B2 (ja) | ||
| US5404259A (en) | Magnetic head having high wear resistance and non-magnetic substrate used in the magnetic head | |
| JP2554604B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダ用セラミック材料 | |
| JPH09249454A (ja) | 磁気ヘッド用セラミックス | |
| JP2968736B2 (ja) | 磁気ヘッドスライダ用セラミック材料 | |
| JPH05319895A (ja) | 磁気ヘッド用非磁性セラミックス | |
| JPH06157128A (ja) | 非磁性セラミックス | |
| JPH11278922A (ja) | フェライト磁器 | |
| JPH0977557A (ja) | 磁気ヘッド用セラミックス | |
| JPH1079309A (ja) | 磁気ヘッド用ヘマタイト系材料及びその製造方法 | |
| JPH0798687B2 (ja) | 磁気ヘッド用非磁性セラミックス | |
| JPS6259069B2 (ja) | ||
| JPH1079308A (ja) | 磁気ヘッド用ヘマタイト系材料及びその製造方法 | |
| JPH06282810A (ja) | 磁気ヘッド用非磁性基板材料 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |